JP6408936B2 - めっき装置 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記上側位置決め構造体は、前記基板ホルダに形成された位置決め孔に挿入される位置決め突起を少なくとも含むことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記支持台は金属から構成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記箱体は電場を遮ることができる材料から構成されていることを特徴とする。
2,103 アノードホルダ
3,104 基板ホルダ
3a ホルダハンガ
4,106 調整板
5 筒状部
6 フレーム
7 箱体
7a 端壁
7b 側壁
7c 底壁
8 遮蔽壁
10 支持台
11A,11B ブリッジ
12,13 位置決め突起
15,17 位置決め孔
16,18 位置決め孔(長孔)
22 第1の位置決めブロック
22a 第1ストッパブロック
22b 第2ストッパブロック
23 第2の位置決めブロック
24,25,26 切り欠き
30,31,32 ねじ
30a,31a,32a 雄ねじ部
30b,31b,32b ねじ頭部
36,37,38 スペーサ
42 アノードホルダストッパ
43 基板ホルダストッパ
44 調整板ストッパ
50,101 めっき槽
51,107 電源
Claims (6)
- めっき槽と、
基板を保持するための基板ホルダと、
アノードを保持したアノードホルダと、
前記基板ホルダに保持された基板上の電位分布を調整する調整板と、
前記基板ホルダと前記アノードホルダと前記調整板を前記めっき槽内で位置決めするためのフレームを有し、
前記フレームは、
前記アノードホルダ、前記基板ホルダ、および前記調整板の上部を支持する支持台と、
前記支持台に固定された箱体と、
前記アノードホルダ、前記基板ホルダ、および前記調整板の上部と前記支持台との相対位置を固定する上側位置決め構造体と、
前記アノードホルダ、前記基板ホルダ、および前記調整板の下部と前記箱体との相対位置を固定する下側位置決め構造体とを備えていることを特徴とするめっき装置。 - 前記上側位置決め構造体は前記支持台に設けられ、前記下側位置決め構造体は前記箱体に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。
- 前記上側位置決め構造体は、前記基板ホルダに形成された位置決め孔に挿入される位置決め突起を少なくとも含むことを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。
- 前記支持台は金属から構成されていることを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。
- 前記箱体は、前記支持台に支持されている前記アノードホルダおよび前記調整板を囲む形状を有していることを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。
- 前記箱体は電場を遮ることができる材料から構成されていることを特徴とする請求項5に記載のめっき装置。
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