JP2012007201A - めっき装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】側壁30と側壁に囲まれた開口部31とを有するカップ20と、ウエハ90を、カップ20の開口部に対向させると共に、カップと離間して保持する電極ピン70およびウエは押さえ88と、ウエハ90の外周部に接触する電極ピン70と、カップ20内のめっき液60に接触して配置されるアノード電極52と、カップ20にめっき液を供給し、めっき液をウエハに接触させた後、カップとウエハとの間の隙間82からオーバーフローさせるポンプと、カップの側壁に設けられたスリット32とを備える。
【選択図】図1
Description
めっき液がその内部に供給されるめっき用容器であって、側壁と前記側壁に囲まれた開口部とを有する前記めっき容器と、
被めっき基板を、前記めっき用容器の前記開口部に対向させると共に、前記めっき用容器と離間して保持する保持手段と、
前記被めっき基板の外周部に接触するカソード電極と、
前記めっき容器内の前記めっき液に接触して配置されるアノード電極と、
前記めっき容器に前記めっき液を供給し、前記めっき液を前記被めっき基板に接触させた後、前記めっき用容器と前記被めっき基板との間の隙間からオーバーフローさせるめっき液供給手段と、
前記めっき容器の前記側壁に設けられた貫通孔と、を備えるめっき装置が提供される。
図1、2を参照すれば、本発明の第1の実施の形態のめっき装置1は、ベース10と、ベース10上に設けられたカップ20と、カップ20の上部の外側の周辺部に配設されたリング80と、リング80上に設けられた電極ピン70と、ウエハ押さえ88とを備えている。
Cu2++2e−→Cu
により、図3(B)に示すように、レジスト112の開口部114にCuめっき膜120が形成される。
図4を参照すれば、本発明の第2の実施の形態のめっき装置1の一例では、スリット32の前面に水平方向移動可能な扉34を設けた点が第1の実施の形態と異なるが、他の点は同じである。扉34は全スリット32の前面にそれぞれ設けている。扉34を水平方向に移動させることによって、スリット32の開口量を可変とし、スリット32を介してめっき槽21からカップ20の外側に流出するめっき液60の流量を可変としている。このように、スリット32に扉34を設けることで、スリット32を介してめっき槽21からカップ20の外側に流出するめっき液60の流量の厳密な制御が可能となる。
図6を参照すれば、本発明の第3の実施の形態のめっき装置1では、スリット32を120度間隔で等間隔に配置し、スリット32全てを電極ピン70の真下に、電極ピン70と対向してそれぞれ配置し、電極ピン70の中間には配置していない点が第1の実施の形態と異なるが、他の点は同じである。
本発明の第4の実施の形態のめっき装置1は、スリット32を120度間隔で等間隔に配置し、スリット32全てを電極ピン70の真下に、電極ピン70に対向してそれぞれ配置し、電極ピン70の中間には配置せず、スリット32の前面に水平方向移動可能な扉34(図4参照)または垂直方向移動可能な扉34(図5参照)を設けた点が第1の実施の形態と異なるが、他の点は同じである。扉34は全スリット32の前面にそれぞれ設けている。扉34を設けることによって、スリット32の開口量を可変とし、第3の実施の形態よりも、スリット32を介してめっき槽21からカップ20の外側に流出するめっき液60の流量の厳密な制御を可能としている。
10 ベース
12 供給口
20 カップ
21 めっき槽
22 供給口
24 上端
26 底部周辺部
28 底部
30 側壁
32 スリット
34 扉
50 アノード板
52 アノード電極
60 めっき液
70 電極ピン
72 ウエハ搭載部
80 リング
82 隙間
88 ウエハ押さえ
90 ウエハ
92 表面(めっき面)
94 裏面
95 中心部
96 外周部
97 近傍
110 シート層
112 レジストまたはドライフィルム
114 開口
120 Cuめっき膜
Claims (4)
- めっき液がその内部に供給されるめっき用容器であって、側壁と前記側壁に囲まれた開口部とを有する前記めっき容器と、
被めっき基板を、前記めっき用容器の前記開口部に対向させると共に、前記めっき用容器と離間して保持する保持手段と、
前記被めっき基板の外周部に接触するカソード電極と、
前記めっき容器内の前記めっき液に接触して配置されるアノード電極と、
前記めっき容器に前記めっき液を供給し、前記めっき液を前記被めっき基板に接触させた後、前記めっき用容器と前記被めっき基板との間の隙間からオーバーフローさせるめっき液供給手段と、
前記めっき容器の前記側壁に設けられた貫通孔と、を備えるめっき装置。 - 前記貫通孔は、前記カソード電極と対向して設けられている請求項1記載のめっき装置。
- 前記貫通孔は、前記カソード電極と対向する箇所および対向しない箇所の両方の箇所に設けられている請求項1記載のめっき装置。
- 前記貫通孔の開口量を変える開口量可変手段をさらに備える請求項1〜3のいずれか1項に記載のめっき装置。
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