JP6402612B2 - Method for manufacturing electromagnetic shielding film - Google Patents

Method for manufacturing electromagnetic shielding film Download PDF

Info

Publication number
JP6402612B2
JP6402612B2 JP2014251983A JP2014251983A JP6402612B2 JP 6402612 B2 JP6402612 B2 JP 6402612B2 JP 2014251983 A JP2014251983 A JP 2014251983A JP 2014251983 A JP2014251983 A JP 2014251983A JP 6402612 B2 JP6402612 B2 JP 6402612B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electromagnetic wave
wave shielding
layer
sheet
release sheet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2014251983A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2016115764A (en
Inventor
白石 史広
史広 白石
雅彦 渡邊
雅彦 渡邊
明徳 橋本
明徳 橋本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Bakelite Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Bakelite Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Bakelite Co Ltd filed Critical Sumitomo Bakelite Co Ltd
Priority to JP2014251983A priority Critical patent/JP6402612B2/en
Publication of JP2016115764A publication Critical patent/JP2016115764A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6402612B2 publication Critical patent/JP6402612B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、電磁波シールド用フィルムの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing an electromagnetic wave shielding film.

従来、携帯電話、医療機器のように電磁波の影響を受けやすい電子部品や、半導体素子等の発熱性電子部品、さらにはコンデンサー、コイル等の各種電子部品、またはこれらの電子部品を回路基板に実装された電子機器は、電磁波によるノイズの影響を軽減するため、その表面に電磁波シールド用フィルムが貼付されてきた。   Conventionally, electronic components that are easily affected by electromagnetic waves, such as mobile phones and medical devices, exothermic electronic components such as semiconductor elements, various electronic components such as capacitors and coils, or these electronic components are mounted on a circuit board. In order to reduce the influence of noise caused by electromagnetic waves, an electromagnetic shielding film has been attached to the surface of the electronic devices.

このような電磁波シールド用フィルムとしては、例えば、絶縁性材料からなる保護層と、保護層の一方または双方の面に積層した金属層とを有するものが開発されている(例えば、特許文献1参照。)。   As such an electromagnetic wave shielding film, for example, a film having a protective layer made of an insulating material and a metal layer laminated on one or both surfaces of the protective layer has been developed (see, for example, Patent Document 1). .)

しかしながら、特許文献1に記載のように、電磁波シールド用フィルムを、金属層を有する構成とした場合、近年要望が高まりつつある軽量化・薄型化に対応できないという問題があった。   However, as described in Patent Document 1, when the electromagnetic wave shielding film has a configuration having a metal layer, there is a problem that it is not possible to cope with the reduction in weight and thickness that has been increasingly demanded in recent years.

さらに、従来技術では上記問題に加え、基板に電子部品を搭載することで形成される凹凸に対して、電磁波シールド用フィルムで被覆しようとすると、この電磁波シールド用フィルムの凹凸に対する形状追従性が優れないという問題から、前記凹凸に対しては、アルミやSUSのような金属カンシールドと呼ばれるシールド方法が取られてきた。しかし、この金属カンシールドは基板上の各部品個別に対しては実施できず、種類別に配置された部品集合体に対して施され、その影響で基板上の各部品の配置には制約があり、基板の設計自由度は、機能面からは必ずしも最良というわけではない。   Furthermore, in addition to the above problems, the conventional technology has excellent shape followability to the unevenness of the electromagnetic shielding film when it is attempted to cover the unevenness formed by mounting electronic components on the substrate with the electromagnetic shielding film. Due to the problem of not having such a structure, a shield method called a metal can shield such as aluminum or SUS has been taken against the unevenness. However, this metal can shield cannot be applied to each individual component on the board, and is applied to the assembly of components arranged according to type, and there is a restriction on the arrangement of each component on the substrate due to the influence. The design freedom of the board is not always the best from the functional aspect.

かかる問題点を解決することを目的に、近年、保護層(基材層)と、この保護層に積層された絶縁層および電磁波遮断層とを備える電磁波シールド用フィルムが提案されている(例えば、特許文献2参照。)。   In recent years, for the purpose of solving such problems, an electromagnetic wave shielding film including a protective layer (base material layer), and an insulating layer and an electromagnetic wave shielding layer laminated on the protective layer has been proposed (for example, (See Patent Document 2).

この電磁波シールド用フィルムでは、基板に電子部品を搭載することで形成された凹凸に、電磁波遮断層および絶縁層側を電子部品に貼付した後、凹凸内に電磁波遮断層および絶縁層を保護層側から押し込むことで、基板上の凹凸の形状に対応するようにして、基板の凹凸が電磁波遮断層および絶縁層で被覆される。そのため、基板の設計自由度を高め、かつ軽量化・薄型化を図ることができる。   In this electromagnetic wave shielding film, the electromagnetic wave shielding layer and the insulating layer side are affixed to the unevenness formed by mounting the electronic component on the substrate, and then the electromagnetic wave shielding layer and the insulating layer are placed in the unevenness on the protective layer side. By pushing in, the unevenness of the substrate is covered with the electromagnetic wave shielding layer and the insulating layer so as to correspond to the shape of the unevenness on the substrate. Therefore, the degree of freedom in designing the substrate can be increased, and the weight and thickness can be reduced.

ここで、保護層(保護シート)としては、その軽量化・薄膜化をより図るために、その厚さが薄く、かつ、優れた可撓性を有するもの、すなわち、弾性率の低いものであることが求められる。   Here, the protective layer (protective sheet) has a small thickness and excellent flexibility, that is, a low elastic modulus, in order to further reduce its weight and thickness. Is required.

したがって、これらの特性を備える保護層上に、直接、電磁波遮断層および絶縁層を積層して電磁波シールド用フィルムを製造すると、保護層にシワが生じた電磁波シールド用フィルムが得られてしまうという問題があった。   Therefore, when an electromagnetic wave shielding film is produced by directly laminating an electromagnetic wave shielding layer and an insulating layer on a protective layer having these characteristics, an electromagnetic wave shielding film having wrinkles in the protective layer is obtained. was there.

特開2006−156946公報JP 2006-156946 A 特開2014−057041公報JP 2014-057041 A

本発明の目的は、基板の設計自由度を高め、かつ軽量化・薄型化を図るとともに、優れた歩留まりで電磁波シールド用フィルムを製造することができる電磁波シールド用フィルムの製造方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a method for producing an electromagnetic shielding film capable of producing an electromagnetic shielding film with an excellent yield while increasing the degree of freedom in designing a substrate, reducing the weight and reducing the thickness. is there.

このような目的は、下記(1)〜(10)に記載の本発明により達成される。
(1) 保護シートと、該保護シートの一方の面側に積層された絶縁層および電磁波遮断層とを有する電磁波シールド用フィルムの製造方法であって、
シート状をなす第1の離型シートの上面に、液状をなす電磁波遮断層形成材料を供給した後、乾燥させることで、前記電磁波遮断層を形成し、その後、前記電磁波遮断層に前記保護シートを貼付することで第1の積層シートを得る第1の工程と、
シート状をなす第2の離型シートと絶縁層とが積層された第2の積層シートを用意し、前記第1の積層シートから前記第1の離型シートを剥離させ、その後、前記第2の離型シート上の前記絶縁層を、前記保護シート上の前記電磁波遮断層に貼付することで前記電磁波シールド用フィルムを得る第2の工程とを有することを特徴する電磁波シールド用フィルムの製造方法。
Such an object is achieved by the present invention described in the following (1) to (10).
(1) A method for producing an electromagnetic wave shielding film having a protective sheet, and an insulating layer and an electromagnetic wave shielding layer laminated on one surface side of the protective sheet,
After supplying a liquid-form electromagnetic wave shielding layer forming material on the upper surface of the sheet-like first release sheet, the electromagnetic wave shielding layer is formed by drying, and then the protective sheet is formed on the electromagnetic wave shielding layer. A first step of obtaining a first laminated sheet by pasting
A second laminated sheet in which a sheet-like second release sheet and an insulating layer are laminated is prepared, the first release sheet is peeled from the first laminated sheet, and then the second And a second step of obtaining the electromagnetic wave shielding film by applying the insulating layer on the release sheet to the electromagnetic wave shielding layer on the protective sheet. .

(2) 前記第1の工程において、前記第1の離型シートは、予め巻回されており、前記電磁波遮断層形成材料の供給に先立って、巻出される上記(1)に記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   (2) In the first step, the first release sheet is wound in advance, and is unwound before supply of the electromagnetic wave shielding layer forming material. Film manufacturing method.

(3) 前記第1の工程において、前記保護シートは、予め巻回されており、前記電磁波遮断層への貼付に先立って、巻出される上記(1)または(2)に記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   (3) In the first step, the protective sheet is wound in advance, and is unrolled prior to application to the electromagnetic wave shielding layer, for electromagnetic shielding according to (1) or (2) above A method for producing a film.

(4) 前記第1の工程において、得られた前記第1の積層シートは、巻回される上記(1)ないし(3)のいずれかに記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   (4) The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of (1) to (3), wherein the obtained first laminated sheet is wound in the first step.

(5) 前記第2の工程において、巻回された前記第1の積層シートは、前記絶縁層への貼付に先立って、巻出された後、前記第1の離型シートが剥離される上記(4)に記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   (5) In the second step, the wound first laminated sheet is unwound before being attached to the insulating layer, and then the first release sheet is peeled off. The manufacturing method of the film for electromagnetic wave shield as described in (4).

(6) 前記第2の積層シートは、さらに、前記絶縁層上に積層された第3の離型シートを備え、前記第2の工程において、予め巻回されており、前記電磁波遮断層への貼付に先立って、巻出された後、前記第3の離型シートが剥離される上記(1)ないし(5)のいずれかに記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   (6) The second laminated sheet further includes a third release sheet laminated on the insulating layer. In the second step, the second laminated sheet is wound in advance, and is applied to the electromagnetic wave shielding layer. The manufacturing method of the film for electromagnetic wave shields in any one of said (1) thru | or (5) from which the said 3rd release sheet is peeled after unwinding prior to sticking.

(7) 前記第2の工程において、得られた前記電磁波シールド用フィルムは、巻回される上記(1)ないし(6)のいずれかに記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   (7) The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of (1) to (6), wherein the obtained electromagnetic wave shielding film is wound in the second step.

(8) 前記第2の工程において、前記保護シートと前記電磁波遮断層との間の接合強度をA[N/mm]とし、前記第2の離型シートと前記絶縁層との間の接合強度をB[N/mm]としたとき、A>Bなる関係を満足するよう設定された前記電磁波シールド用フィルムを得る上記(1)ないし(7)のいずれかに記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   (8) In the second step, the bonding strength between the protective sheet and the electromagnetic wave shielding layer is A [N / mm], and the bonding strength between the second release sheet and the insulating layer. The electromagnetic wave shielding film according to any one of the above (1) to (7), wherein the electromagnetic wave shielding film is set so as to satisfy the relationship of A> B where B is [N / mm]. Method.

(9) 前記第1の離型シートは、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレンおよびポリエチレンのうちの少なくとも1種を主材料として含有する上記(1)ないし(8)のいずれかに記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   (9) The electromagnetic wave shielding film according to any one of (1) to (8), wherein the first release sheet contains at least one of polyethylene terephthalate, polypropylene, and polyethylene as a main material. Method.

(10) 前記第1の離型シートは、その平均厚さが20μm以上、50μm以下である上記(1)ないし(9)のいずれかに記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   (10) The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of (1) to (9), wherein the first release sheet has an average thickness of 20 μm or more and 50 μm or less.

本発明によれば、たとえ保護層としてその厚さが薄く、さらに、弾性率の低いものを用いたとしても保護層にシワが生じることなく、優れた歩留まりで電磁波シールド用フィルムを製造することができる。そのため、かかる電磁波シールド用フィルムを用いて覆われる基板の設計自由度を高め、かつ軽量化・薄型化を図ることが可能である。   According to the present invention, it is possible to produce an electromagnetic shielding film with an excellent yield without causing wrinkles in the protective layer even if the protective layer is thin, and even a low elastic modulus is used. it can. Therefore, it is possible to increase the degree of freedom in designing a substrate covered with such an electromagnetic wave shielding film, and to reduce the weight and thickness.

本発明の電磁波シールド用フィルムの製造方法を適用して製造された電磁波シールド用フィルムの実施形態を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows embodiment of the film for electromagnetic wave shields manufactured by applying the manufacturing method of the film for electromagnetic wave shields of this invention. 図1に示す電磁波シールド用フィルムを用いた電子部品の被覆方法を説明するための縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view for demonstrating the coating method of the electronic component using the film for electromagnetic wave shields shown in FIG. 図1に示す電磁波シールド用フィルムを用いた電子部品の被覆方法の他の被覆方法を説明するための縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view for demonstrating the other coating method of the coating method of the electronic component using the film for electromagnetic wave shields shown in FIG. 図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第1の電磁波シールド用フィルム製造装置の第1実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 1st Embodiment of the 1st film production apparatus for electromagnetic wave shields used for manufacture of the film for electromagnetic wave shields shown in FIG. 図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第2の電磁波シールド用フィルム製造装置の第1実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 1st Embodiment of the 2nd film manufacturing apparatus for electromagnetic wave shields used for manufacture of the film for electromagnetic wave shields shown in FIG. 図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第1の電磁波シールド用フィルム製造装置の第2実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 2nd Embodiment of the 1st film production apparatus for electromagnetic wave shields used for manufacture of the film for electromagnetic wave shields shown in FIG. 図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第2の電磁波シールド用フィルム製造装置の第2実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 2nd Embodiment of the 2nd film production apparatus for electromagnetic wave shields used for manufacture of the film for electromagnetic wave shields shown in FIG. 図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第1の電磁波シールド用フィルム製造装置の第3実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 3rd Embodiment of the 1st film production apparatus for electromagnetic wave shields used for manufacture of the film for electromagnetic wave shields shown in FIG. 図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第2の電磁波シールド用フィルム製造装置の第3実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 3rd Embodiment of the 2nd electromagnetic wave shielding film manufacturing apparatus used for manufacture of the electromagnetic wave shielding film shown in FIG. 図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第1の電磁波シールド用フィルム製造装置の第4実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 4th Embodiment of the 1st film production apparatus for electromagnetic wave shields used for manufacture of the film for electromagnetic wave shields shown in FIG. 図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第2の電磁波シールド用フィルム製造装置の第4実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 4th Embodiment of the 2nd film manufacturing apparatus for electromagnetic wave shields used for manufacture of the film for electromagnetic wave shields shown in FIG.

以下、本発明の電磁波シールド用フィルムの製造方法を、添付図面に示す好適実施形態に基づいて、詳細に説明する。   Hereinafter, the manufacturing method of the film for electromagnetic wave shielding of this invention is demonstrated in detail based on suitable embodiment shown to an accompanying drawing.

本発明の電磁波シールド用フィルムの製造方法は、保護シートと、該保護シートの一方の面側に積層された絶縁層および電磁波遮断層とを有する電磁波シールド用フィルムの製造方法であり、シート状をなす第1の離型シートの上面に、液状をなす電磁波遮断層形成材料を供給した後、乾燥させることで、前記電磁波遮断層を形成し、その後、前記電磁波遮断層に前記保護シートを貼付することで第1の積層シートを得る第1の工程と、シート状をなす第2の離型シートと絶縁層とが積層された第2の積層シートを用意し、前記第1の積層シートから前記第1の離型シートを剥離させ、その後、前記第2の離型シート上の前記絶縁層を、前記保護シート上の前記電磁波遮断層に貼付することで前記電磁波シールド用フィルムを得る第2の工程とを有することを特徴する。   The method for producing an electromagnetic wave shielding film of the present invention is a method for producing an electromagnetic wave shielding film having a protective sheet, and an insulating layer and an electromagnetic wave shielding layer laminated on one surface side of the protective sheet. A liquid electromagnetic wave shielding layer forming material is supplied to the upper surface of the first release sheet to be formed, and then dried to form the electromagnetic wave shielding layer, and then the protective sheet is attached to the electromagnetic wave shielding layer. Preparing a first laminated sheet, a second laminated sheet in which a sheet-like second release sheet and an insulating layer are laminated, and from the first laminated sheet, A second release sheet is obtained by peeling the first release sheet, and then sticking the insulating layer on the second release sheet to the electromagnetic wave shielding layer on the protective sheet. Process To further comprising a.

かかる製造方法を適用して電磁波シールド用フィルムを製造することで、たとえ保護層としてその厚さが薄く、さらに、弾性率の低いものを用いたとしても、得られる電磁波シールド用フィルムを、保護層にシワを生じることなく優れた歩留まりで製造することができる。そのため、かかる電磁波シールド用フィルムを用いて覆われる基板の設計自由度を高め、かつ軽量化・薄型化を図ることが可能である。   By producing such an electromagnetic wave shielding film by applying such a production method, the obtained electromagnetic wave shielding film can be obtained as a protective layer even if the protective layer is thin and has a low elastic modulus. It can be manufactured with excellent yield without causing wrinkles. Therefore, it is possible to increase the degree of freedom in designing a substrate covered with such an electromagnetic wave shielding film, and to reduce the weight and thickness.

なお、以下では、本発明の電磁波シールド用フィルムの製造方法を説明するのに先立って、まず、かかる製造方法を適用して製造された電磁波シールド用フィルムについて説明する。   In the following, before describing the method for producing an electromagnetic wave shielding film of the present invention, an electromagnetic wave shielding film produced by applying such production method will be described first.

<電磁波シールド用フィルム>
まずは、電磁波シールド用フィルムについて説明する。
<Electromagnetic wave shielding film>
First, the electromagnetic wave shielding film will be described.

図1は、本発明の電磁波シールド用フィルムの製造方法を適用して製造された電磁波シールド用フィルムの実施形態を示す縦断面図である。なお、以下の説明では、説明の便宜上、図1中の上側を「上」、下側を「下」と言う。   FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an embodiment of an electromagnetic wave shielding film produced by applying the method for producing an electromagnetic wave shielding film of the present invention. In the following description, for convenience of description, the upper side in FIG. 1 is referred to as “upper” and the lower side is referred to as “lower”.

電磁波シールド用フィルムは、基板5上の凹凸6を被覆するために用いられる電磁波シールド用フィルムである。   The electromagnetic wave shielding film is an electromagnetic wave shielding film used for covering the unevenness 6 on the substrate 5.

図1に示すように、本実施形態において、電磁波シールド用フィルム10は、保護層(保護シート)1と、絶縁層2と、電磁波遮断層3とを含んで構成され、電磁波遮断層3および絶縁層2は、保護層1の下面(一方の面)側から、電磁波遮断層3が保護層1に接触して、この順で積層されている。   As shown in FIG. 1, in the present embodiment, the electromagnetic wave shielding film 10 includes a protective layer (protective sheet) 1, an insulating layer 2, and an electromagnetic wave shielding layer 3. The layer 2 is laminated in this order with the electromagnetic wave shielding layer 3 coming into contact with the protective layer 1 from the lower surface (one surface) side of the protective layer 1.

なお、以下では、基板5上に電子部品4が搭載(載置)され、この電子部品4の搭載により基板5上に凸部65と凹部66とからなる凹凸6が形成されており、この凹凸6を電磁波シールド用フィルム10で被覆する場合について説明する。なお、基板5上に搭載する電子部品4としては、例えば、フレキシブル回路基板(FPC)上に搭載されているLCDドライバーIC、タッチパネル周辺のIC+コンデンサーまたは電子回路基板(マザーボード)が挙げられる。   In the following description, the electronic component 4 is mounted (placed) on the substrate 5, and the unevenness 6 including the convex portions 65 and the concave portions 66 is formed on the substrate 5 by mounting the electronic component 4. The case where 6 is covered with the electromagnetic wave shielding film 10 will be described. Examples of the electronic component 4 mounted on the substrate 5 include an LCD driver IC mounted on a flexible circuit board (FPC), an IC + capacitor around the touch panel, or an electronic circuit board (motherboard).

<保護層1>
まず、保護層1について説明する。
<Protective layer 1>
First, the protective layer 1 will be described.

保護層(保護シート)1は、可撓性を備え、後述する電子部品の被覆方法の貼付工程において、電磁波シールド用フィルム10を用いて、基板5上の凹凸6に絶縁層2および電磁波遮断層3を押し込むことで、この凹凸6を被覆する際に、押し込まれた絶縁層2および電磁波遮断層3が破断するのを防止する保護(緩衝)材として機能するものである。さらに、保護層1は電磁波遮断層3の酸化による劣化を防止する機能を有する。   The protective layer (protective sheet) 1 has flexibility, and an insulating layer 2 and an electromagnetic wave shielding layer are formed on the unevenness 6 on the substrate 5 by using an electromagnetic wave shielding film 10 in an attaching process of an electronic component coating method described later. By pressing 3, the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 that have been pressed function as a protective (buffer) material to prevent breakage when covering the unevenness 6. Further, the protective layer 1 has a function of preventing deterioration of the electromagnetic wave shielding layer 3 due to oxidation.

この保護層1の構成材料としては、特に限定されず、例えば、シンジオタクチックポリスチレン、ポリメチルペンテン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、無軸延伸ポリプロピレンおよび二軸延伸ポリプロピレン等のポリプロピレン、環状オレフィンポリマー、シリコーン、スチレンエラストマー樹脂、スチレンブタジエンゴムのような樹脂材料が挙げられる。これらの中でも、無軸延伸ポリプロピレンを用いることが好ましい。これにより、保護層1の絶縁層2および電磁波遮断層3に対する保護性、さらには耐熱性を向上させることができる。   The constituent material of the protective layer 1 is not particularly limited. For example, syndiotactic polystyrene, polymethylpentene, polybutylene terephthalate, polyethylene terephthalate, polypropylene such as non-axially oriented polypropylene and biaxially oriented polypropylene, cyclic olefin polymers, Examples thereof include resin materials such as silicone, styrene elastomer resin, and styrene butadiene rubber. Among these, it is preferable to use non-axially stretched polypropylene. Thereby, the protection with respect to the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 of the protective layer 1 and further the heat resistance can be improved.

また、保護層1の常温(25℃)における貯蔵弾性率は、2.0E+02〜5.0E+10Paであるのが好ましく、2.0E+03〜5.0E+09Paであるのがより好ましく、2.0E+04〜3.0E+09Paであるのがさらに好ましい。   The storage elastic modulus of the protective layer 1 at normal temperature (25 ° C.) is preferably 2.0E + 02 to 5.0E + 10 Pa, more preferably 2.0E + 03 to 5.0E + 09 Pa, and 2.0E + 04 to 3. More preferably, it is 0E + 09 Pa.

このように、保護層1の常温(25℃)における貯蔵弾性率を、前記範囲内に設定することにより、保護層1は可撓性を有するものであると言うことができ、電磁波シールド用フィルム10を用いて、基板5上の凹凸6を被覆する際に、絶縁層2および電磁波遮断層3に破断を生じさせることなく絶縁層2および電磁波遮断層3を凹凸6の形状に対応した状態で押し込むことができる。その結果、この凹凸6が設けられた基板5が、破断の発生が防止された電磁波遮断層3をもって確実に被覆されるようになるため、この電磁波遮断層3による凹凸6が設けられた基板5に対する電磁波シールド(遮断)性が向上することとなる。   Thus, by setting the storage elastic modulus at normal temperature (25 ° C.) of the protective layer 1 within the above range, it can be said that the protective layer 1 has flexibility, and an electromagnetic shielding film. 10 is used to cover the irregularities 6 on the substrate 5 without causing the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 to break, so that the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 correspond to the shapes of the irregularities 6. Can be pushed in. As a result, the substrate 5 provided with the unevenness 6 is surely covered with the electromagnetic wave shielding layer 3 in which the occurrence of breakage is prevented. Therefore, the substrate 5 provided with the unevenness 6 by the electromagnetic wave shielding layer 3 is provided. The electromagnetic wave shielding (blocking) property against is improved.

保護層1の厚みは、特に限定されないが、3μm以上、20μm以下であることが好ましく、5μm以上、15μm以下であることがより好ましく、さらに好ましくは7μm以上、12μm以下である。保護層1の厚みが前記下限値未満である場合、保護層1ひいては絶縁層2および電磁波遮断層3が破断し、その電磁波シールド性が低下するおそれがある。また、保護層1の厚みが前記上限値を超える場合、電磁波シールド用フィルム10を用いて被覆する基板5の設計によっては、基板5を電磁波シールド用フィルム10で被覆した積層体の軽量化・薄型化が実現されないおそれがある。   Although the thickness of the protective layer 1 is not specifically limited, It is preferable that they are 3 micrometers or more and 20 micrometers or less, It is more preferable that they are 5 micrometers or more and 15 micrometers or less, More preferably, they are 7 micrometers or more and 12 micrometers or less. When the thickness of the protective layer 1 is less than the lower limit, the protective layer 1 and thus the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 may be broken, and the electromagnetic shielding properties thereof may be reduced. Further, when the thickness of the protective layer 1 exceeds the upper limit, depending on the design of the substrate 5 covered with the electromagnetic wave shielding film 10, the weight and thickness of the laminate in which the substrate 5 is covered with the electromagnetic wave shielding film 10 can be reduced. May not be realized.

さらに、保護層1は、その電磁波遮断層3側の面に、粘着剤層を備えるものであってもよい。これにより、保護層1と電磁波遮断層3との粘着性(密着性)の向上が図られる。   Furthermore, the protective layer 1 may include a pressure-sensitive adhesive layer on the surface on the electromagnetic wave shielding layer 3 side. Thereby, the adhesiveness (adhesiveness) of the protective layer 1 and the electromagnetic wave shielding layer 3 is improved.

この粘着剤層は、例えば、主として、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤およびゴム系粘着剤等のうちの少なくとも1種からなる粘着剤で構成される。   This pressure-sensitive adhesive layer is mainly composed of, for example, a pressure-sensitive adhesive made of at least one of an acrylic pressure-sensitive adhesive, a silicone pressure-sensitive adhesive, and a rubber-based pressure-sensitive adhesive.

アクリル系粘着剤としては、例えば、(メタ)アクリル酸およびそれらのエステルで構成される樹脂、(メタ)アクリル酸およびそれらのエステルと、それらと共重合可能な不飽和単量体(例えば酢酸ビニル、スチレン、アクリルニトリル等)との共重合体等が挙げられる。また、これらの樹脂を2種類以上混合したものが挙げられる。   Examples of the acrylic pressure-sensitive adhesive include resins composed of (meth) acrylic acid and esters thereof, (meth) acrylic acid and esters thereof, and unsaturated monomers copolymerizable therewith (for example, vinyl acetate). , Styrene, acrylonitrile and the like) and the like. Moreover, what mixed 2 or more types of these resin is mentioned.

また、これらの中でも、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチルヘキシルおよび(メタ)アクリル酸ブチルからなる群から選ばれる1種以上と、(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチルおよび酢酸ビニルの中から選ばれる1種以上との共重合体が好ましい。これにより、粘着層が粘着する電磁波遮断層3との密着性や粘着性の制御が容易になる。   Among these, one or more selected from the group consisting of methyl (meth) acrylate, ethylhexyl (meth) acrylate and butyl (meth) acrylate, and hydroxyethyl (meth) acrylate and vinyl acetate A copolymer with one or more selected is preferred. Thereby, control of adhesiveness and adhesiveness with the electromagnetic wave shielding layer 3 to which the adhesive layer adheres becomes easy.

この場合、粘着剤層には、粘着性(接着性)を制御するためにウレタンアクリレート、アクリレートモノマー、多価イソシアネート化合物(例えば、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート)等のイソシアネート化合物等のモノマーおよびオリゴマーが含まれていてもよい。   In this case, the pressure-sensitive adhesive layer has a urethane acrylate, an acrylate monomer, a polyvalent isocyanate compound (for example, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate), etc. in order to control adhesiveness (adhesiveness). Monomers and oligomers such as isocyanate compounds may be included.

また、ゴム系粘着剤としては、例えば、天然ゴム系、イソプレンゴム系、スチレン−ブタジエン系、再生ゴム系、ポリイソブチレン系のものや、スチレン−イソプレン−スチレン、スチレン−ブタジエン−スチレン等のゴムを含むブロック共重合体を主とするもの等が挙げられる。   Examples of rubber-based adhesives include natural rubber-based, isoprene rubber-based, styrene-butadiene-based, recycled rubber-based, and polyisobutylene-based rubbers, and rubbers such as styrene-isoprene-styrene and styrene-butadiene-styrene. The thing etc. which mainly have the block copolymer containing are mentioned.

さらに、シリコーン系粘着剤としては、例えば、ジメチルシロキサン系、ジフェニルシロキサン系のもの等が挙げられる。   Furthermore, examples of the silicone-based pressure-sensitive adhesive include dimethylsiloxane-based and diphenylsiloxane-based ones.

なお、粘着剤層に含まれる粘着剤は、硬化型および非硬化型のいずれであってもよいが、硬化型の場合、粘着剤層には、架橋剤が添加されていてもよい。この架橋剤としては、例えば、エポキシ系化合物、イソシアナート系化合物、金属キレート化合物、金属アルコキシド、金属塩、アミン化合物、ヒドラジン化合物、アルデヒド系化合物等が挙げられる。   The pressure-sensitive adhesive contained in the pressure-sensitive adhesive layer may be either a curable type or a non-curable type, but in the case of a curable type, a crosslinking agent may be added to the pressure-sensitive adhesive layer. Examples of the crosslinking agent include epoxy compounds, isocyanate compounds, metal chelate compounds, metal alkoxides, metal salts, amine compounds, hydrazine compounds, aldehyde compounds, and the like.

また、硬化型の場合、粘着剤層には、粘着剤層を紫外線等の光の照射により硬化させる光重合開始剤が添加されていてもよい。この光重合開始剤としては、例えば、メトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフエノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)−フェニル]−2−モルホリノプロパン−1等のアセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾインイソブチルエーテル系化合物、ベンゾイン安息香酸メチル系化合物、ベンゾイン安息香酸系化合物、ベンゾインメチルエーテル系化合物、ベンジルフィニルサルファイド系化合物、ベンジル系化合物、ジベンジル系化合物、ジアセチル系化合物等が挙げられる。   In the case of the curable type, a photopolymerization initiator that cures the pressure-sensitive adhesive layer by irradiation with light such as ultraviolet rays may be added to the pressure-sensitive adhesive layer. Examples of the photopolymerization initiator include methoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) -phenyl]- Acetophenone compounds such as 2-morpholinopropane-1, benzophenone compounds, benzoin compounds, benzoin isobutyl ether compounds, benzoin methyl benzoate compounds, benzoin benzoic acid compounds, benzoin methyl ether compounds, benzylfinyl sulfide compounds Compounds, benzyl compounds, dibenzyl compounds, diacetyl compounds and the like.

さらに、粘着剤層には、その接着強度およびシェア強度を高める目的で、ロジン樹脂、テルペン樹脂、クマロン樹脂、フェノール樹脂、スチレン樹脂、脂肪族系石油樹脂、芳香族系石油樹脂、脂肪族芳香族系石油樹脂等の粘着付与材等が添加されていてもよい。   Furthermore, the adhesive layer has a rosin resin, terpene resin, coumarone resin, phenol resin, styrene resin, aliphatic petroleum resin, aromatic petroleum resin, aliphatic aromatic for the purpose of increasing its adhesive strength and shear strength. A tackifier such as a petroleum petroleum resin may be added.

また、粘着剤層には、例えば、可塑剤、粘着付与剤、増粘剤、充填剤、老化防止剤、防腐剤、防カビ剤、染料、顔料等の各種添加剤が必要に応じ添加されていてもよい。   In addition, various additives such as a plasticizer, a tackifier, a thickener, a filler, an anti-aging agent, an antiseptic, an antifungal agent, a dye, and a pigment are added to the adhesive layer as necessary. May be.

<電磁波遮断層3>
次に、電磁波遮断層(遮断層)3について説明する。
<Electromagnetic wave blocking layer 3>
Next, the electromagnetic wave blocking layer (blocking layer) 3 will be described.

電磁波遮断層3は、基板5上に設けられた電子部品4と、この電磁波遮断層3を介して、基板5(電子部品4)と反対側に位置する他の電子部品等とを、これら少なくとも一方から生じる電磁波を遮断(シールド)する機能を有する。   The electromagnetic wave shielding layer 3 includes an electronic component 4 provided on the substrate 5, and other electronic components located on the opposite side of the substrate 5 (electronic component 4) via the electromagnetic wave shielding layer 3. It has a function of shielding (shielding) electromagnetic waves generated from one side.

この電磁波遮断層3は、特に限定されず、如何なる形態で電磁波を遮断するものであってもよく、例えば、電磁波遮断層3に入射した電磁波を反射させることにより遮断(遮蔽)する反射層と、電磁波遮断層3に入射した電磁波を吸収することにより遮断(遮蔽)する吸収層とが挙げられる。   The electromagnetic wave shielding layer 3 is not particularly limited, and may be any type of electromagnetic wave shielding material. For example, a reflection layer that shields (shields) an electromagnetic wave incident on the electromagnetic wave shielding layer 3; And an absorption layer that blocks (shields) the electromagnetic wave incident on the electromagnetic wave blocking layer 3 by absorbing the electromagnetic wave.

以下、反射層および吸収層について、それぞれ、説明する。
反射層は、上述のとおり、反射層に入射した電磁波を反射させることにより遮断するものである。
Hereinafter, each of the reflective layer and the absorbing layer will be described.
As described above, the reflective layer blocks the electromagnetic wave incident on the reflective layer by reflecting it.

この反射層としては、例えば、導電性接着剤層、金属薄膜層、金属メッシュ、ITOなどの導電性材料の表面処理等が挙げられる。これらを単独あるいは併用してもよい。これらの中でも、導電性接着剤層を用いることが好ましい。導電性接着剤層は、その膜厚(厚み)を比較的薄く設定したとしても、優れた電磁波シールド性を発揮するため、反射層として好ましく用いられる。   Examples of the reflective layer include a surface treatment of a conductive material such as a conductive adhesive layer, a metal thin film layer, a metal mesh, and ITO. These may be used alone or in combination. Among these, it is preferable to use a conductive adhesive layer. The conductive adhesive layer is preferably used as a reflective layer because it exhibits excellent electromagnetic shielding properties even when its film thickness (thickness) is set to be relatively thin.

前記導電性接着剤層としては、金属粉とバインダー樹脂とを含んで構成され、金属粉は例えば、金、銀、銅または銀コート銅、ニッケル等が挙げられる。これらの中でも、電磁波シールド性に優れているという理由から、銀を用いることが好ましい。   The conductive adhesive layer includes a metal powder and a binder resin, and examples of the metal powder include gold, silver, copper, silver-coated copper, and nickel. Among these, it is preferable to use silver because it has excellent electromagnetic shielding properties.

前記導電性接着剤層における金属粉とバインダー樹脂との含有比率は、特に制限されないが、重量比で40:60〜90:10であることが好ましく、50:50〜80:20であることがより好ましく、さらには55:45〜70:30であることが好ましい。金属粉とバインダー樹脂との含有比率が前記下限値未満である場合、導電性の発現が困難になるおそれがある。また、金属粉とバインダー樹脂との含有比率が前記上限値を超える場合、可撓性や電子機器部品との密着性が低下するおそれがある。   The content ratio of the metal powder and the binder resin in the conductive adhesive layer is not particularly limited, but is preferably 40:60 to 90:10 by weight, and preferably 50:50 to 80:20. More preferably, it is more preferably 55:45 to 70:30. When the content ratio of the metal powder and the binder resin is less than the lower limit, it may be difficult to develop conductivity. Moreover, when the content ratio of metal powder and binder resin exceeds the said upper limit, there exists a possibility that flexibility and adhesiveness with an electronic device component may fall.

前記導電性接着剤層は、前記金属粉とバインダー樹脂との他に、さらに難燃剤、レベリング剤、粘度調整剤等を含有しても良い。   In addition to the metal powder and the binder resin, the conductive adhesive layer may further contain a flame retardant, a leveling agent, a viscosity modifier, and the like.

反射層の厚みT(E1)は、特に限定されないが、5μm以上、100μm以下であることが好ましく、8μm以上、50μm以下であることがより好ましく、さらに好ましくは10μm以上、30μm以下である。反射層の厚みが前記下限値未満である場合、反射層の構成材料等によっては耐ハゼ折り性が不足し、搭載部品端部で破断するおそれがあるとともに、電磁波を遮断(シールド)する電磁波シールド性も低下するおそれがある。反射層の厚みが前記上限値を超える場合、反射層の構成材料等によっては形状追従性が不足するおそれがある。また、かかる範囲内の厚みT(E1)としても、優れた電磁波シールド性を発揮させることができるため、反射層の厚みT(E1)の薄膜化を実現すること、ひいては、絶縁層2および遮断層(反射層)3で被覆された電子部品4が搭載された基板5の軽量化および薄型化を実現することができる。   The thickness T (E1) of the reflective layer is not particularly limited, but is preferably 5 μm or more and 100 μm or less, more preferably 8 μm or more and 50 μm or less, and further preferably 10 μm or more and 30 μm or less. When the thickness of the reflective layer is less than the above lower limit value, depending on the constituent material of the reflective layer, the folding resistance may be insufficient, there is a risk of breaking at the end of the mounted component, and electromagnetic wave shielding that shields (shields) electromagnetic waves There is also a risk that the property will also decrease. When the thickness of the reflective layer exceeds the upper limit, the shape following property may be insufficient depending on the constituent material of the reflective layer. Further, even when the thickness T (E1) within such a range can be exhibited excellent electromagnetic wave shielding properties, it is possible to reduce the thickness of the reflective layer T (E1), and thus the insulating layer 2 and the shielding layer. It is possible to reduce the weight and thickness of the substrate 5 on which the electronic component 4 covered with the layer (reflective layer) 3 is mounted.

吸収層は、上述のとおり、吸収層に入射した電磁波を吸収し、熱エネルギーに変換することにより遮断するものである。   As described above, the absorption layer absorbs the electromagnetic wave incident on the absorption layer and converts it into heat energy to block it.

この吸収層としては、例えば、金属粉および導電性高分子材料等の導電吸収材料を主材料として構成される導電吸収層、炭素系材料および導電性高分子材料等の誘電吸収材料を主材料として構成される誘電吸収層、軟磁性金属等の磁性吸収材料を主材料として構成される磁性吸収層等が挙げられ、これらを単独あるいは併用してもよい。   As this absorption layer, for example, a conductive absorption layer composed mainly of a conductive absorption material such as metal powder and a conductive polymer material, and a dielectric absorption material such as a carbon-based material and a conductive polymer material as a main material. Examples thereof include a dielectric absorption layer, a magnetic absorption layer composed mainly of a magnetic absorption material such as a soft magnetic metal, and these may be used alone or in combination.

なお、導電吸収層は、電界を印加した際に材料内部に流れる電流により、電磁エネルギーを熱エネルギーに変換することで、電磁波を吸収し、誘電吸収層は、電磁波を誘電損失により熱エネルギーに変換することで、電磁波を吸収し、磁性吸収層は、過電流損、ヒステレス損、磁気共鳴等の磁性損失により、電波のエネルギーを熱に変換して消費することで、電磁波を吸収する。   The conductive absorption layer absorbs electromagnetic waves by converting electromagnetic energy into thermal energy by the current flowing inside the material when an electric field is applied, and the dielectric absorption layer converts electromagnetic waves into thermal energy by dielectric loss. Thus, the electromagnetic wave is absorbed, and the magnetic absorption layer absorbs the electromagnetic wave by converting the energy of the radio wave to heat due to magnetic loss such as overcurrent loss, hysteresis loss, and magnetic resonance.

これらの中でも、誘電吸収層、導電吸収層を用いることが好ましい。
誘電吸収層および導電吸収層は、その膜厚(厚み)を比較的薄く設定したとしても、特に優れた電磁波シールド性を発揮するため、吸収層として好ましく用いられる。また、その層中に含まれる材料の粒子径が小さいことやその添加量も少なくできることから、その膜厚を比較的容易に薄く設定することができ、また軽量化も可能である。
Among these, it is preferable to use a dielectric absorption layer and a conductive absorption layer.
Even if the film thickness (thickness) is set to be relatively thin, the dielectric absorption layer and the conductive absorption layer are preferably used as the absorption layer because they exhibit particularly excellent electromagnetic shielding properties. In addition, since the particle size of the material contained in the layer is small and the amount of addition can be reduced, the film thickness can be set relatively easily and the weight can be reduced.

なお、導電吸収材料としては、例えば、導電性高分子、ATO等の金属酸化物、導電性セラミックスが挙げられる。   Examples of the conductive absorption material include conductive polymers, metal oxides such as ATO, and conductive ceramics.

また、導電性高分子としては、例えば、ポリアセチレン、ポリピロール、PEDOT(poly−ethylenedioxythiophene)、PEDOT/PSS、ポリチオフェン、ポリアニリン、ポリ(p−フェニレン)、ポリフルオレン、ポリカルバゾール、ポリシランまたはこれらの誘導体等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the conductive polymer include polyacetylene, polypyrrole, PEDOT (poly-ethylene dioxythiophene), PEDOT / PSS, polythiophene, polyaniline, poly (p-phenylene), polyfluorene, polycarbazole, polysilane, and derivatives thereof. 1 type or 2 types or more of these can be used in combination.

誘電吸収材料としては、炭素系材料、導電性高分子等が挙げられる。
また、炭素系材料としては、例えば、単層カーボンナノチューブ、多層カーボンナノチューブのようなカーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、CNナノチューブ、CNナノファイバー、BCNナノチューブ、BCNナノファイバー、グラフェンや、カーボンマイクロコイル、カーボンナノコイル、カーボンナノホーン、カーボンナノウォールのような炭素等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
Examples of the dielectric absorbing material include carbon-based materials and conductive polymers.
Examples of carbon-based materials include carbon nanotubes such as single-walled carbon nanotubes and multi-walled carbon nanotubes, carbon nanofibers, CN nanotubes, CN nanofibers, BCN nanotubes, BCN nanofibers, graphene, carbon microcoils, carbon Examples thereof include carbon such as nanocoil, carbon nanohorn, and carbon nanowall, and one or more of these can be used in combination.

さらに、磁性吸収材料としては、例えば、鉄、ケイ素鋼、磁性ステンレス(Fe−Cr−Al−Si合金)、センダスト(Fe−Si−Al合金)、パーマロイ(Fe−Ni合金)、ケイ素銅(Fe−Cu−Si合金)、Fe−Si合金、Fe−Si−B(−Cu−Nb)合金のような軟磁性金属、フェライト等が挙げられる。   Further, examples of the magnetic absorbing material include iron, silicon steel, magnetic stainless steel (Fe—Cr—Al—Si alloy), sendust (Fe—Si—Al alloy), permalloy (Fe—Ni alloy), silicon copper (Fe -Cu-Si alloy), Fe-Si alloy, soft magnetic metal such as Fe-Si-B (-Cu-Nb) alloy, ferrite and the like.

吸収層の厚みT(E2)は、特に限定されないが、1μm以上、100μm以下であることが好ましく、2μm以上、80μm以下であることがより好ましく、さらに好ましくは、3μm以上、50μm以下である。吸収層の厚みが前記下限値未満である場合、吸収層の構成材料等によっては、基板搭載部品の端部で破断するおそれがある。また、吸収層の厚みが前記上限値を超える場合、吸収層の構成材料等によっては形状追従性が不足するおそれがある。また、かかる範囲内の厚みT(E2)としても、優れた電磁波シールド性を発揮させることができるため、吸収層の厚みT(E2)の薄膜化を実現すること、ひいては、絶縁層2および遮断層(吸収層)3で被覆された電子部品4が搭載された基板5の軽量化を実現することができる。   The thickness T (E2) of the absorbent layer is not particularly limited, but is preferably 1 μm or more and 100 μm or less, more preferably 2 μm or more and 80 μm or less, and further preferably 3 μm or more and 50 μm or less. When the thickness of the absorbent layer is less than the lower limit, depending on the constituent material of the absorbent layer, there is a risk of breaking at the end of the board-mounted component. Moreover, when the thickness of an absorption layer exceeds the said upper limit, there exists a possibility that shape followability may be insufficient depending on the constituent material etc. of an absorption layer. Further, even if the thickness T (E2) within such a range can be exhibited excellent electromagnetic wave shielding properties, it is possible to reduce the thickness T (E2) of the absorption layer, and thus the insulating layer 2 and the shielding layer. It is possible to reduce the weight of the substrate 5 on which the electronic component 4 covered with the layer (absorbing layer) 3 is mounted.

以上のような電磁波遮断層3は、電磁波を遮断(シールド)する電磁波シールド性が5dB以上であるのが好ましく、30dB以上であるのがより好ましく、50dB以上であるのがさらに好ましい。このような電磁波シールド性を有する電磁波遮断層3を、優れた電磁波シールド性を有するものと言うことができ、電磁波をより確実に遮断することができる。   The electromagnetic wave shielding layer 3 as described above preferably has an electromagnetic wave shielding property for shielding (shielding) electromagnetic waves of 5 dB or more, more preferably 30 dB or more, and further preferably 50 dB or more. It can be said that the electromagnetic wave shielding layer 3 having such an electromagnetic wave shielding property has an excellent electromagnetic wave shielding property, and can more reliably block electromagnetic waves.

また、電磁波遮断層3は、その常温(25℃)における貯蔵弾性率が1.0E+02〜1.0E+09Paであるのが好ましく、5.0E+02〜5.0E+08Paであるのがより好ましい。前記貯蔵弾性率をかかる範囲内に設定することにより、貼付工程において、基板5上の凹凸6に絶縁層2および電磁波遮断層3を押し込むことで、この凹凸6を被覆する際に、かかる押し込みにより、破断されることなく、電磁波遮断層3を凹凸6の形状に対応して変形させることができる。   The electromagnetic wave shielding layer 3 preferably has a storage elastic modulus at ordinary temperature (25 ° C.) of 1.0E + 02 to 1.0E + 09 Pa, more preferably 5.0E + 02 to 5.0E + 08 Pa. By setting the storage elastic modulus within such a range, by pressing the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 into the irregularities 6 on the substrate 5 in the pasting step, The electromagnetic wave shielding layer 3 can be deformed corresponding to the shape of the irregularities 6 without being broken.

なお、前述のとおり、電磁波遮断層3は、反射層と吸収層とのいずれであってもよいが、ほぼ同一の電磁波シールド性を有する場合には、吸収層であるのが好ましい。吸収層では、吸収層に入射した電磁波を吸収し、熱エネルギーに変換することで遮断するため、この吸収により電磁波が消滅することから、反射層のように反射した電磁波が電磁波遮断層3で被覆されていない他の部材等に対して誤作動等の悪影響をおよぼしてしまうのを確実に防止することができる。   As described above, the electromagnetic wave shielding layer 3 may be either a reflection layer or an absorption layer. However, when the electromagnetic wave shielding layer 3 has substantially the same electromagnetic wave shielding properties, it is preferably an absorption layer. In the absorption layer, the electromagnetic wave incident on the absorption layer is absorbed and blocked by converting it into thermal energy. This absorption causes the electromagnetic wave to disappear, so that the reflected electromagnetic wave is covered with the electromagnetic wave blocking layer 3 as in the reflective layer. It is possible to reliably prevent adverse effects such as malfunctions from being exerted on other members that are not provided.

<絶縁層2>
次に、絶縁層2について説明する。
<Insulating layer 2>
Next, the insulating layer 2 will be described.

絶縁層2は、電磁波遮断層3に接触して設けられ、保護層1側から電磁波遮断層3、絶縁層2の順で積層されている。このように積層された絶縁層2および電磁波遮断層3を備える電磁波シールド用フィルム10を用いて基板5上の凹凸6を被覆することで、基板5および電子部品4に絶縁層2が接触し、基板5側から絶縁層2、電磁波遮断層3の順で被覆することとなる。   The insulating layer 2 is provided in contact with the electromagnetic wave shielding layer 3, and the electromagnetic wave shielding layer 3 and the insulating layer 2 are laminated in this order from the protective layer 1 side. The insulating layer 2 is in contact with the substrate 5 and the electronic component 4 by covering the unevenness 6 on the substrate 5 using the electromagnetic wave shielding film 10 including the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 laminated in this manner, The insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 are coated in this order from the substrate 5 side.

このように、本実施形態では、絶縁層2は、基板5および電子部品4を被覆し、これにより、基板5上で隣接する電子部品4同士を絶縁するとともに、基板5および電子部品4を、絶縁層2を介して基板5と反対側に位置する他の部材(電子部品等)から絶縁する。   Thus, in the present embodiment, the insulating layer 2 covers the substrate 5 and the electronic component 4, thereby insulating the adjacent electronic components 4 on the substrate 5, and the substrate 5 and the electronic component 4. It insulates from other members (electronic parts etc.) located on the opposite side to substrate 5 via insulating layer 2.

この絶縁層2としては、例えば、熱硬化性を有する絶縁樹脂または熱可塑性を有する絶縁樹脂(絶縁フィルム)が挙げられる。これらの中でも、熱可塑性を有する絶縁樹脂を用いることが好ましい。熱可塑性を有する絶縁樹脂は、屈曲性に優れたフィルムであることから、貼付工程において、基板5上の凹凸6に対して絶縁層2および電磁波遮断層3を押し込む際に、絶縁層2を、凹凸6の形状に対応して確実に追従させることができる。また、熱可塑性を有する絶縁樹脂は、その軟化点温度に加熱すると、接着対象の基板から再剥離することができるので、基板の修理の際には、特に有用である。   Examples of the insulating layer 2 include a thermosetting insulating resin or a thermoplastic insulating resin (insulating film). Among these, it is preferable to use an insulating resin having thermoplasticity. Since the insulating resin having thermoplasticity is a film having excellent flexibility, when the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 are pressed into the unevenness 6 on the substrate 5 in the attaching step, the insulating layer 2 is Corresponding to the shape of the irregularities 6 can be surely followed. In addition, an insulating resin having thermoplasticity is particularly useful when repairing a substrate because it can be re-peeled from the substrate to be bonded when heated to its softening point temperature.

熱可塑性を有する絶縁樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートのような熱可塑性ポリエステル、α−オレフィン、酢酸ビニル、ポリビニルアセタール、エチレン酢酸ビニル、塩化ビニル、アクリル、ポリアミド、セルロースが挙げられる。これらの中でも基板との密着性、屈曲性、耐薬品性に優れるという理由から熱可塑性ポリエステル、α−オレフィンを用いることが好ましい。   Examples of the insulating resin having thermoplasticity include thermoplastic polyesters such as polyethylene terephthalate, α-olefin, vinyl acetate, polyvinyl acetal, ethylene vinyl acetate, vinyl chloride, acrylic, polyamide, and cellulose. Among these, it is preferable to use thermoplastic polyesters and α-olefins because they are excellent in adhesion to the substrate, flexibility and chemical resistance.

さらに、熱可塑性を有する絶縁樹脂には、耐熱性や耐屈曲性等の性能を損なわない範囲で、フェノール系樹脂、シリコーン系樹脂、ユリア系樹脂、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂等を含有させることができる。また、熱可塑性を有する絶縁樹脂には、後述する導電性接着剤層の場合と同様に、接着性、耐ハンダリフロー性を劣化させない範囲で、シランカップリング剤、酸化防止剤、顔料、染料、粘着付与樹脂、可塑剤、紫外線吸収剤、消泡剤、レベリング調整剤、充填剤、難燃剤等を添加してもよい。   Furthermore, the insulating resin having thermoplasticity is a phenolic resin, a silicone resin, a urea resin, an acrylic resin, a polyester resin, a polyamide resin, as long as the performance such as heat resistance and flex resistance is not impaired. A polyimide resin or the like can be contained. In addition, in the insulating resin having thermoplasticity, as in the case of the conductive adhesive layer described later, a silane coupling agent, an antioxidant, a pigment, a dye, as long as the adhesiveness and solder reflow resistance are not deteriorated. You may add tackifying resin, a plasticizer, a ultraviolet absorber, an antifoamer, a leveling regulator, a filler, a flame retardant, etc.

絶縁層2の厚みT(D)は、特に限定されないが、3μm以上、50μm以下であることが好ましく、4μm以上、30μm以下であることがより好ましく、さらに好ましくは5μm以上、20μm以下である。絶縁層2の厚みが前記下限値未満である場合、耐ハゼ折り性が不足し、凹凸6への熱圧着後に折り曲げ部にてクラックが発生したり、フィルム強度が低下し、電磁波遮断層3の絶縁性支持体としての役割を担うことが難しい。前記上限値を超える場合、形状追従性が不足するおそれがある。すなわち、絶縁層2の厚みT(D)を前記範囲内に設定することにより、絶縁層2を屈曲性により優れたものとすることができ、貼付工程において、基板5上の凹凸6に対して絶縁層2および電磁波遮断層3を押し込む際に、絶縁層2を、凹凸6の形状に対応してより確実に追従させることができる。また、絶縁層2の厚みT(D)の薄膜化を実現すること、ひいては、絶縁層2および遮断層(反射層)3で被覆された電子部品4が搭載された基板5の軽量化および薄型化を実現することができる。   The thickness T (D) of the insulating layer 2 is not particularly limited, but is preferably 3 μm or more and 50 μm or less, more preferably 4 μm or more and 30 μm or less, and further preferably 5 μm or more and 20 μm or less. When the thickness of the insulating layer 2 is less than the lower limit value, the resistance to goby folds is insufficient, cracks occur at the bent portion after thermocompression bonding to the irregularities 6, the film strength decreases, and the electromagnetic wave shielding layer 3 It is difficult to play a role as an insulating support. If the upper limit is exceeded, shape followability may be insufficient. That is, by setting the thickness T (D) of the insulating layer 2 within the above range, the insulating layer 2 can be made more flexible, and in the pasting process, the unevenness 6 on the substrate 5 can be reduced. When the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 are pushed in, the insulating layer 2 can be made to follow more reliably corresponding to the shape of the irregularities 6. Further, it is possible to reduce the thickness T (D) of the insulating layer 2 and to reduce the weight and thickness of the substrate 5 on which the electronic component 4 covered with the insulating layer 2 and the blocking layer (reflective layer) 3 is mounted. Can be realized.

また、絶縁層2の25〜150℃における平均線膨張係数は、50〜1000[ppm/℃]であるのが好ましく、100〜700[ppm/℃]であるのがより好ましい。絶縁層2の平均線膨張係数をかかる範囲内に設定することにより、電磁波シールド用フィルム10の加熱時において、絶縁層2は、優れた伸縮性を有するものとなるため、絶縁層2、さらには電磁波遮断層3の凹凸6に対する形状追従性をより確実に向上させることができる。   Moreover, it is preferable that the average linear expansion coefficient in 25-150 degreeC of the insulating layer 2 is 50-1000 [ppm / degrees C], and it is more preferable that it is 100-700 [ppm / degrees C]. By setting the average linear expansion coefficient of the insulating layer 2 within such a range, the insulating layer 2 has excellent stretchability when the electromagnetic wave shielding film 10 is heated. The shape following property with respect to the unevenness 6 of the electromagnetic wave shielding layer 3 can be improved more reliably.

なお、この絶縁層2は、図1で示したように、1層で構成されるものの他、上述した絶縁フィルムのうち異なるものを積層させた2層以上の積層体であってもよい。   In addition, as shown in FIG. 1, this insulating layer 2 may be a laminated body of two or more layers in which different ones of the above-described insulating films are laminated, in addition to those constituted by one layer.

なお、前記形状追従性は、以下のようにして求めることができる。
すなわち、まず、縦100mm×横100mm×高さ2mmのプリント配線板(マザーボード)に、幅0.2mm、各必要段差の溝を、0.2mm間隔で碁盤目状に形成することにより、プリント配線基板を得る。その後、電磁波シールド用フィルムを、手または真空加圧式ラミネーターを用いて、温度25℃、圧力0.1MPa、時間20秒の条件で、プリント配線板に圧着させ、プリント配線板に貼り付ける。貼付後、プリント配線板に貼り付けた遮断層および絶縁層とプリント配線板上の溝との間に空隙があるかどうかを判断する。なお、空隙があるかどうかは、例えば、マイクロスコープや顕微鏡およびレーザー変位計で段差を観察することで評価し得る。
The shape following property can be obtained as follows.
That is, first, a printed wiring board (motherboard) having a length of 100 mm × width 100 mm × height 2 mm has a width of 0.2 mm and grooves of each necessary step are formed in a grid pattern at intervals of 0.2 mm. Get the substrate. Then, the film for electromagnetic wave shielding is pressure-bonded to the printed wiring board by hand or using a vacuum pressurizing laminator under the conditions of a temperature of 25 ° C., a pressure of 0.1 MPa, and a time of 20 seconds, and is attached to the printed wiring board. After pasting, it is determined whether or not there is a gap between the barrier layer and insulating layer pasted on the printed wiring board and the groove on the printed wiring board. In addition, it can be evaluated by observing a level | step difference with a microscope, a microscope, and a laser displacement meter, for example whether there exists a space | gap.

さらに、絶縁層2は、その電磁波遮断層3側の面、および、電磁波遮断層3と反対側の面の双方または何れか一方に、粘着剤層を備えるものであってもよい。これにより、電磁波遮断層3と絶縁層2との粘着性(密着性)および/または電磁波シールド用フィルム10で被覆する基板5と絶縁層2との粘着性(密着性)の向上が図られる。   Furthermore, the insulating layer 2 may be provided with a pressure-sensitive adhesive layer on both or any one of the surface on the electromagnetic wave shielding layer 3 side and the surface opposite to the electromagnetic wave shielding layer 3. Thereby, the adhesiveness (adhesiveness) between the electromagnetic wave shielding layer 3 and the insulating layer 2 and / or the adhesiveness (adhesiveness) between the substrate 5 covered with the electromagnetic wave shielding film 10 and the insulating layer 2 is improved.

この粘着剤層としては、前述した保護層1の説明で記載した粘着剤層と同様のものが挙げられる。   As this adhesive layer, the thing similar to the adhesive layer described by description of the protective layer 1 mentioned above is mentioned.

<電子部品の被覆方法>
以上のような構成の電磁波シールド用フィルム10を用いて、例えば、以下のようにして、基板5上に搭載された電子部品4が被覆される。
<Method of coating electronic parts>
Using the electromagnetic wave shielding film 10 having the above configuration, for example, the electronic component 4 mounted on the substrate 5 is covered as follows.

図2は、図1に示す電磁波シールド用フィルムを用いた電子部品の被覆方法を説明するための縦断面図である。   FIG. 2 is a longitudinal sectional view for explaining a method of coating an electronic component using the electromagnetic wave shielding film shown in FIG.

以下の電子部品の被覆方法は、基板5上に、電磁波シールド用フィルム10を絶縁層2と電子部品4が接着するように貼付する貼付工程を有する。   The following method for coating an electronic component has a pasting step of pasting the electromagnetic wave shielding film 10 on the substrate 5 so that the insulating layer 2 and the electronic component 4 are adhered.

(貼付工程)
前記貼付工程とは、例えば、図2(a)に示すように、基板5上に電子部品4を搭載することで設けられた凹凸6に、電磁波シールド用フィルム10を貼付する工程である。
(Attaching process)
The affixing step is a step of affixing the electromagnetic shielding film 10 on the unevenness 6 provided by mounting the electronic component 4 on the substrate 5 as shown in FIG. 2A, for example.

貼付する方法としては、特に限定されないが、例えば、以下のような方法が挙げられる。   Although it does not specifically limit as a method to stick, For example, the following methods are mentioned.

すなわち、まず、基板5の凹凸6が形成されている側の面と、電磁波シールド用フィルム10の絶縁層2側の面とが対向するように、基板5と電磁波シールド用フィルム10とを重ね合わせた状態でセットし、その後、これらを常温下において、電磁波シールド用フィルム10側から均一に電磁波シールド用フィルム10と基板5とが互いに接近するように、加圧することにより実施される。   That is, first, the substrate 5 and the electromagnetic wave shielding film 10 are overlapped so that the surface of the substrate 5 where the irregularities 6 are formed faces the surface of the electromagnetic wave shielding film 10 on the insulating layer 2 side. Then, these are carried out by applying pressure so that the electromagnetic wave shielding film 10 and the substrate 5 approach each other uniformly from the electromagnetic wave shielding film 10 side at room temperature.

このように電磁波シールド用フィルム10側から均一に加圧することで、保護層1が凹凸6の形状に対応して変形し、さらに、この変形に併せて、保護層1よりも基板5側に位置する、絶縁層2および電磁波遮断層3が凹凸6の形状に対応して変形する。これにより、凹凸6の形状に対応して保護層1、絶縁層2および電磁波遮断層3が押し込まれた状態で、保護層1、絶縁層2および電磁波遮断層3により凹凸6が被覆される。   Thus, by uniformly pressing from the electromagnetic wave shielding film 10 side, the protective layer 1 is deformed corresponding to the shape of the irregularities 6, and in addition to this deformation, the protective layer 1 is positioned closer to the substrate 5 side. The insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 are deformed corresponding to the shape of the irregularities 6. Accordingly, the unevenness 6 is covered with the protective layer 1, the insulating layer 2, and the electromagnetic wave blocking layer 3 in a state where the protective layer 1, the insulating layer 2, and the electromagnetic wave blocking layer 3 are pushed in corresponding to the shape of the unevenness 6.

このような貼付工程において、貼付する温度は、常温であり、具体的には、5℃以上、35℃以下であることが好ましく、20℃以上、30℃以下であることがより好ましく、25℃であることがさらに好ましい。   In such a pasting step, the temperature to be pasted is normal temperature, specifically, preferably 5 ° C. or higher and 35 ° C. or lower, more preferably 20 ° C. or higher and 30 ° C. or lower, more preferably 25 ° C. More preferably.

また、貼付する圧力は、特に限定されないが、0.05MPa以上、0.5MPa以下であることが好ましく、より好ましくは0.1MPa以上、0.3MPa以下である。   The pressure to be applied is not particularly limited, but is preferably 0.05 MPa or more and 0.5 MPa or less, more preferably 0.1 MPa or more and 0.3 MPa or less.

さらに、貼付する時間は、特に限定されないが、1秒以上、60秒以下であることが好ましく、より好ましくは5秒以上、30秒以下である。   Furthermore, the sticking time is not particularly limited, but is preferably 1 second or longer and 60 seconds or shorter, more preferably 5 seconds or longer and 30 seconds or shorter.

貼付工程における条件を上記範囲内に設定することにより、電磁波シールド用フィルム10側からの加圧による電子部品4の破損を招くことなく、基板5上の凹凸6に対して絶縁層2および電磁波遮断層3を押し込んだ状態で、これら絶縁層2および電磁波遮断層3により凹凸6を確実に被覆することができる。   By setting the conditions in the affixing step within the above range, the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding against the unevenness 6 on the substrate 5 without causing damage to the electronic component 4 due to pressurization from the electromagnetic wave shielding film 10 side. The unevenness 6 can be reliably covered with the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 while the layer 3 is pressed.

以上のような工程を経ることにより、保護層1、絶縁層2および電磁波遮断層3により凹凸6を被覆することができる。なお、本実施形態のように、被覆した凹凸6に保護層1が残存する被覆方法では、基板5の反対側に位置する他の部材(電子部品等)と電磁波遮断層3とを絶縁する絶縁層としての機能を保護層1が発揮する。   By passing through the above processes, the unevenness | corrugation 6 can be coat | covered with the protective layer 1, the insulating layer 2, and the electromagnetic wave shielding layer 3. FIG. In the covering method in which the protective layer 1 remains on the coated unevenness 6 as in the present embodiment, insulation that insulates the electromagnetic wave blocking layer 3 from other members (such as electronic components) located on the opposite side of the substrate 5. The protective layer 1 exhibits the function as a layer.

さらに、電磁波シールド用フィルム10を用いて、上述した方法の他、電磁波シールド用フィルム10から保護層1を剥離して、絶縁層2および電磁波遮断層3により、基板5上に搭載された電子部品4を被覆するようにしてもよい。   Further, in addition to the above-described method using the electromagnetic wave shielding film 10, the protective layer 1 is peeled off from the electromagnetic wave shielding film 10, and the electronic component mounted on the substrate 5 by the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3. 4 may be covered.

図3は、図1に示す電磁波シールド用フィルムを用いた電子部品の被覆方法の他の被覆方法を説明するための縦断面図である。   FIG. 3 is a longitudinal sectional view for explaining another coating method of the electronic component using the electromagnetic wave shielding film shown in FIG.

以下の電子部品の他の被覆方法は、基板5上に、電磁波シールド用フィルム10を絶縁層2と電子部品4が接着するように貼付する貼付工程と、前記貼付工程の後、保護層1を剥離する剥離工程とを有する。   Another method for coating the following electronic component is to apply an electromagnetic wave shielding film 10 on the substrate 5 so that the insulating layer 2 and the electronic component 4 are adhered, and after the applying step, the protective layer 1 is applied. And a peeling step for peeling.

(貼付工程)
貼付工程では、図2で説明した電子部品の被覆方法と同様に、図3(a)に示すように、基板5上に電子部品4を搭載することで設けられた凹凸6に、電磁波シールド用フィルム10を貼付する。
(Attaching process)
In the pasting step, as in the electronic component covering method described with reference to FIG. 2, as shown in FIG. 3A, the unevenness 6 provided by mounting the electronic component 4 on the substrate 5 is used for electromagnetic wave shielding. A film 10 is applied.

(剥離工程)
剥離工程では、例えば、図3(b)に示すように、前記貼付工程の後、保護層1を電磁波シールド用フィルム10から剥離する。
(Peeling process)
In the peeling step, for example, as shown in FIG. 3B, the protective layer 1 is peeled from the electromagnetic shielding film 10 after the pasting step.

この剥離工程により、本実施形態では、電磁波シールド用フィルム10における保護層1と電磁波遮断層3との界面において、剥離が生じ、その結果、電磁波遮断層3から保護層1が剥離される。これにより、電磁波遮断層3から保護層1を剥離した状態で、絶縁層2および電磁波遮断層3により凹凸6が被覆される。   By this peeling process, in this embodiment, peeling arises in the interface of the protective layer 1 and the electromagnetic wave shielding layer 3 in the electromagnetic wave shielding film 10, and as a result, the protective layer 1 is peeled from the electromagnetic wave shielding layer 3. Thus, the unevenness 6 is covered with the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 in a state where the protective layer 1 is peeled from the electromagnetic wave shielding layer 3.

なお、このような電磁波シールド用フィルム10を用いた絶縁層2および電磁波遮断層3による凹凸6の被覆では、図3に示したように、貼付する電磁波シールド用フィルム10の形状が対応して、凹凸6を絶縁層2および電磁波遮断層3で被覆することができる。そのため、被覆すべき凹凸6の形状に対応して電磁波シールド用フィルム10の形状を適宜設定することにより、被覆すべき凹凸6を選択的に絶縁層2および電磁波遮断層3で被覆することができる。すなわち、絶縁層2および電磁波遮断層3による凹凸6の選択的な電磁波シールドが可能となる。   In addition, in the covering of the irregularities 6 with the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 using such an electromagnetic wave shielding film 10, as shown in FIG. 3, the shape of the electromagnetic wave shielding film 10 to be applied corresponds, The unevenness 6 can be covered with the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3. Therefore, the unevenness 6 to be covered can be selectively covered with the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 by appropriately setting the shape of the electromagnetic wave shielding film 10 corresponding to the shape of the unevenness 6 to be covered. . That is, the electromagnetic wave can be selectively shielded from the unevenness 6 by the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3.

また、保護層1を剥離する方法としては、特に限定されないが、例えば、手作業による剥離が挙げられる。   Moreover, it does not specifically limit as a method of peeling the protective layer 1, For example, peeling by manual work is mentioned.

この手作業による剥離では、例えば、まず、保護層1の一方の端部を把持し、この把持した端部から保護層1を電磁波遮断層3から引き剥がし、次いで、この端部から中央部へさらには他方の端部へと順次保護層1を引き剥がすことにより、電磁波遮断層3から保護層1が剥離される。   In this manual peeling, for example, one end portion of the protective layer 1 is first gripped, and the protective layer 1 is peeled off from the electromagnetic wave shielding layer 3 from the gripped end portion, and then from this end portion to the central portion. Furthermore, the protective layer 1 is peeled from the electromagnetic wave shielding layer 3 by sequentially peeling the protective layer 1 to the other end.

なお、剥離の際には、保護層1を加熱するのが好ましく、その際の加熱温度は、180℃以下であることが好ましく、より好ましくは150℃以下、さらに好ましくは100℃以下である。   In the peeling, the protective layer 1 is preferably heated, and the heating temperature at that time is preferably 180 ° C. or lower, more preferably 150 ° C. or lower, and further preferably 100 ° C. or lower.

以上のような工程を経ることにより、電磁波遮断層3から保護層1を剥離した状態で、絶縁層2および電磁波遮断層3により凹凸6を被覆することができる。   By passing through the above processes, the unevenness | corrugation 6 can be coat | covered with the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 in the state which peeled the protective layer 1 from the electromagnetic wave shielding layer 3. FIG.

<電磁波シールド用フィルム製造装置>
<<第1実施形態>>
以上のような電磁波シールド用フィルム10は、本発明の電磁波シールド用フィルムの製造方法により製造されるが、まず、この電磁波シールド用フィルムの製造方法に用いられる第1の電磁波シールド用フィルム製造装置(以下、単に「第1のフィルム製造装置」と言うこともある。)100、および、第2の電磁波シールド用フィルム製造装置(以下、単に「第2のフィルム製造装置」と言うこともある。)200について順次説明する。
<Electromagnetic wave shielding film manufacturing apparatus>
<< First Embodiment >>
The electromagnetic wave shielding film 10 as described above is manufactured by the method for manufacturing an electromagnetic wave shielding film of the present invention. First, the first electromagnetic wave shielding film manufacturing apparatus ( Hereinafter, it may be simply referred to as “first film manufacturing apparatus”.) 100 and a second electromagnetic wave shielding film manufacturing apparatus (hereinafter also referred to simply as “second film manufacturing apparatus”). 200 will be described sequentially.

図4は、図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第1の電磁波シールド用フィルム製造装置の第1実施形態を示す斜視図、図5は、図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第2の電磁波シールド用フィルム製造装置の第1実施形態を示す斜視図である。なお、以下では、説明の都合上、図4、5中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言い、左側を「左」、右側を「右」と言う。   4 is a perspective view showing a first embodiment of a first electromagnetic shielding film production apparatus used for producing the electromagnetic shielding film shown in FIG. 1, and FIG. 5 is production of the electromagnetic shielding film shown in FIG. It is a perspective view which shows 1st Embodiment of the film manufacturing apparatus for the 2nd electromagnetic wave shield used for a. In the following, for convenience of explanation, the upper side in FIGS. 4 and 5 is referred to as “upper” or “upper”, the lower side is referred to as “lower” or “lower”, the left side is referred to as “left”, and the right side is referred to as “right”. Say.

(第1のフィルム製造装置100)
第1のフィルム製造装置100は、第1の離型シート71と電磁波遮断層3と保護層1とがこの順で積層された積層シート(第1の積層シート)73を得るために用いられるものである。
(First film manufacturing apparatus 100)
The first film manufacturing apparatus 100 is used to obtain a laminated sheet (first laminated sheet) 73 in which the first release sheet 71, the electromagnetic wave shielding layer 3, and the protective layer 1 are laminated in this order. It is.

この第1のフィルム製造装置100は、第1の離型シート71および保護層(保護シート)1を搬送する搬送手段40と、第1の離型シート71に液状をなす電磁波遮断層形成材料を供給する液状材料供給手段50と、液状をなす電磁波遮断層形成材料を乾燥させて電磁波遮断層3を形成する乾燥手段60とを備えている。   The first film manufacturing apparatus 100 includes a conveying means 40 that conveys the first release sheet 71 and the protective layer (protective sheet) 1, and an electromagnetic wave shielding layer forming material that forms a liquid state on the first release sheet 71. Liquid material supply means 50 for supplying and drying means 60 for forming the electromagnetic wave shielding layer 3 by drying the liquid electromagnetic wave shielding layer forming material are provided.

図4に示すように、搬送手段40は、巻出しローラ46に予め巻回された第1の離型シート71および巻出しローラ47に予め巻回された保護層1をこれらの長手方向に沿って巻出して搬送するとともに、これらから得られる積層シート73を、巻取りローラ48に巻回するものである。   As shown in FIG. 4, the conveying means 40 is arranged along the longitudinal direction of the first release sheet 71 previously wound around the unwinding roller 46 and the protective layer 1 previously wound around the unwinding roller 47. The laminated sheet 73 obtained from these is wound around the take-up roller 48.

搬送手段40は、第1の離型シート71を予め巻回する巻出しローラ46と、保護層1を予め巻回する巻出しローラ47と、積層シート73を巻取る(巻回する)巻取りローラ48と、巻出しローラ46、47と巻取りローラ48との間に配置されたテンショナ(テンションローラ)41、42、43、44、45とを有している。   The conveying unit 40 winds (winds) the unwinding roller 46 that winds the first release sheet 71 in advance, the unwinding roller 47 that winds the protective layer 1 in advance, and the laminated sheet 73. A roller 48 and tensioners (tension rollers) 41, 42, 43, 44, 45 disposed between the unwinding rollers 46, 47 and the winding roller 48 are included.

なお、各ローラは、それぞれ、例えば、ステンレス鋼等のような金属材料で構成されている。また、これらのローラは、回動軸(中心軸)同士が同じ方向を向いており、互いに離間して配置されている。さらに、各ローラは、例えば第1のフィルム製造装置100全体を支持するフレーム(図示せず)に回動可能に支持されている。   Each roller is made of a metal material such as stainless steel, for example. In addition, these rollers are disposed such that the rotation axes (center axes) face the same direction and are separated from each other. Furthermore, each roller is rotatably supported by, for example, a frame (not shown) that supports the entire first film manufacturing apparatus 100.

巻出しローラ46は、外形形状が円柱状をなし、第1の離型シート71の搬送方向最上流側に位置して、第1の離型シート71がロール状に巻回されており、この第1の離型シート71を搬送方向に送り出すローラである。また、巻出しローラ47は、外形形状が円柱状をなし、第1の離型シート71の搬送方向の途中に位置して、保護層1がロール状に巻回されており、この保護層1を搬送方向に送り出すローラである。   The unwinding roller 46 has a cylindrical outer shape, is located on the most upstream side in the conveying direction of the first release sheet 71, and the first release sheet 71 is wound in a roll shape. This is a roller for feeding the first release sheet 71 in the transport direction. Further, the unwinding roller 47 has a cylindrical outer shape, is positioned in the middle of the conveying direction of the first release sheet 71, and the protective layer 1 is wound in a roll shape. Is a roller that sends out the toner in the conveying direction.

テンショナ41〜45は、それぞれ、外形形状が円柱状をなしている。また、これらのうち、テンショナ41〜43は、第1の離型シート71の長手方向の途中が接触して、掛け回されつつ回転するローラである。これにより、第1の離型シート71に張力を掛けつつ、搬送方向を変更して搬送することができる。さらに、テンショナ45は、保護層1の長手方向の途中が接触して、掛け回されつつ回転するローラである。これにより、保護層1に張力を掛けつつ、搬送方向を変更して搬送することができる。なお、テンショナ43、45は、それぞれ、電磁波遮断層3が形成された第1の離型シート71と保護層1とを挾持し得る程度に離間しており、これら同士を圧縮することで電磁波遮断層3に保護層1を貼付する圧縮ローラとしての機能も発揮する。さらに、テンショナ44は、電磁波遮断層3に保護層1が貼付された積層シート73の長手方向の途中が接触して、掛け回されつつ回転するローラである。これにより、積層シート73に張力を掛けつつ、搬送方向を変更して搬送することができる。   The tensioners 41 to 45 each have a cylindrical outer shape. Among these, the tensioners 41 to 43 are rollers that rotate while being wound around the middle of the first release sheet 71 in the longitudinal direction. As a result, the first release sheet 71 can be conveyed while changing the conveyance direction while applying tension. Furthermore, the tensioner 45 is a roller that rotates while being wound around the middle of the protective layer 1 in the longitudinal direction. Thereby, it can convey by changing a conveyance direction, applying tension | tensile_strength to the protective layer 1. FIG. Note that the tensioners 43 and 45 are separated to such an extent that the first release sheet 71 on which the electromagnetic wave blocking layer 3 is formed and the protective layer 1 can be held, and the electromagnetic waves are blocked by compressing them. The function as a compression roller for attaching the protective layer 1 to the layer 3 is also exhibited. Furthermore, the tensioner 44 is a roller that rotates while being wound around the longitudinal direction of the laminated sheet 73 in which the protective layer 1 is adhered to the electromagnetic wave shielding layer 3. Thereby, it can convey by changing a conveyance direction, applying tension | tensile_strength to the lamination sheet 73. FIG.

さらに、巻取りローラ48は、外形形状が円柱状をなし、第1の離型シート71の搬送方向最下流側に位置して、搬送方向上流側から送り出されてきた積層シート73を巻取るローラである。この巻取りローラ48にモータ(図示せず)が接続されており、このモータの作動により、第1の離型シート71および保護層1が搬送される。また、モータに印加する電圧の大きさを変更することにより、第1の離型シート71および保護層1の搬送速度を変更することができる。   Further, the winding roller 48 has a cylindrical outer shape, is positioned on the most downstream side in the transport direction of the first release sheet 71, and winds the laminated sheet 73 sent from the upstream side in the transport direction. It is. A motor (not shown) is connected to the take-up roller 48, and the first release sheet 71 and the protective layer 1 are conveyed by the operation of the motor. Moreover, the conveyance speed of the 1st release sheet 71 and the protective layer 1 can be changed by changing the magnitude | size of the voltage applied to a motor.

なお、図4では、巻出しローラ47には、保護層1が単層で巻回され、この保護層1を搬送方向に送り出すこととしたが、この場合に限らず、例えば、巻出しローラ47には、保護層1とこの保護層1を被覆する被覆層との積層体が巻回され、この積層体から被覆層を剥離した後に、保護層1を搬送方向に送り出すようにしてもよい。   In FIG. 4, the protective layer 1 is wound around the unwinding roller 47 as a single layer, and the protective layer 1 is sent out in the transport direction. Alternatively, a laminate of the protective layer 1 and a coating layer covering the protective layer 1 may be wound, and the protective layer 1 may be sent out in the transport direction after peeling the coating layer from the laminate.

液状材料供給手段50は、図4に示すように、ディスペンサー51を有している。このディスペンサー51は、テンショナ42とテンショナ43との間の、第1の離型シート71の搬送方向の最上流側の位置に、第1の離型シート71に対向して、その上側に配置されており、第1のフィルム製造装置100全体を支持する前記フレームに支持、固定されている。そして、このディスペンサー51から、液状をなす電磁波遮断層形成材料が液滴32として、第1の離型シート71に滴下(供給)され、これにより、第1の離型シート71上に液状被膜31が形成される。   As shown in FIG. 4, the liquid material supply unit 50 includes a dispenser 51. The dispenser 51 is disposed between the tensioner 42 and the tensioner 43 on the uppermost side in the conveying direction of the first release sheet 71 so as to face the first release sheet 71. It is supported and fixed to the frame that supports the entire first film manufacturing apparatus 100. From the dispenser 51, the liquid-form electromagnetic wave shielding layer forming material is dropped (supplied) as droplets 32 onto the first release sheet 71, whereby the liquid coating 31 is formed on the first release sheet 71. Is formed.

電磁波遮断層形成材料としては、例えば、上述した電磁波遮断層3の構成材料を、溶媒または分散媒に溶解または分解したものが挙げられる。また、溶媒または分散媒としては、特に限定されないが、例えば、メシチレン、デカリン、ミネラルスピリット、トルエン、キシレン類等の炭化水素類、アニソール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジグライム等のアルコール/エーテル類、炭酸エチレン、酢酸エチル、酢酸N−ブチル、乳酸エチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン、γ−ブチロラクトン等のエステル/ラクトン類、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、2−ヘプタノン等のケトン類、N−メチル−2−ピロリドン等のアミド/ラクタム類が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   As an electromagnetic wave shielding layer forming material, for example, a material obtained by dissolving or decomposing the above-described constituent material of the electromagnetic wave shielding layer 3 in a solvent or a dispersion medium can be mentioned. Further, the solvent or dispersion medium is not particularly limited. For example, hydrocarbons such as mesitylene, decalin, mineral spirit, toluene, xylenes, anisole, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol methyl ether, diethylene glycol monoethyl ether , Alcohol / ethers such as diglyme, ethylene carbonate, ethyl acetate, N-butyl acetate, ethyl lactate, ethyl 3-ethoxypropionate, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene carbonate, γ-butyrolactone, etc. Esters / lactones, ketones such as cyclopentanone, cyclohexanone, methyl isobutyl ketone, 2-heptanone, N-methyl-2-pyrrolidone Amide / lactam may be mentioned of, can be used singly or in combination of two or more of them.

また、液状材料を第1の離型シート71上に供給する方法としては、特に限定されず、上述したディスペンサー51を用いて液滴32を供給する方法の他、各種塗布法を用いることができる。この塗布法としては、例えば、キャスティング法、コンマコート法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイヤーバーコート法、ディップコート法、スロットダイ法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法等が挙げられる。   Moreover, it does not specifically limit as a method of supplying a liquid material on the 1st release sheet 71, Various application methods can be used besides the method of supplying the droplet 32 using the dispenser 51 mentioned above. . Examples of the coating method include casting method, comma coating method, micro gravure coating method, gravure coating method, bar coating method, roll coating method, wire bar coating method, dip coating method, slot die method, screen printing method, flexographic method. Examples thereof include a printing method and an offset printing method.

乾燥手段60は、図4に示すように、一対の熱風供給部61を有している。これら熱風供給部61は、テンショナ42とテンショナ43との間の、第1の離型シート71の搬送方向の液状材料供給手段50よりも下流側の位置に、第1の離型シート71に対向して、その上方および下方に1つずつ配置されており、第1のフィルム製造装置100全体を支持する前記フレームに支持、固定されている。そして、各熱風供給部61は、電熱線で構成されたヒータ62が内蔵されており、このヒータ62で加熱された熱風が、図示しない複数の熱風供給孔を介して、第1の離型シート71上に形成された液状被膜31に対して吹き付けられる。これにより、液状被膜(電磁波遮断層形成材料)31が乾燥して、第1の離型シート71上に電磁波遮断層3が形成される。   The drying means 60 has a pair of hot air supply parts 61 as shown in FIG. These hot air supply parts 61 are opposed to the first release sheet 71 at a position downstream of the liquid material supply means 50 in the conveying direction of the first release sheet 71 between the tensioner 42 and the tensioner 43. And it is arrange | positioned 1 each in the upper direction and the downward direction, and is supported and fixed to the said frame which supports the 1st film manufacturing apparatus 100 whole. Each hot air supply unit 61 includes a heater 62 composed of a heating wire, and the hot air heated by the heater 62 passes through a plurality of hot air supply holes (not shown) to form the first release sheet. 71 is sprayed on the liquid coating 31 formed on the surface 71. Thereby, the liquid film (electromagnetic wave shielding layer forming material) 31 is dried, and the electromagnetic wave shielding layer 3 is formed on the first release sheet 71.

なお、ヒータ62は、図4に記載の構成とは異なり、各熱風供給部61において、第1の離型シート71の搬送方向に沿って、複数個(例えば、3つ)のものが並んで配設されるものであってもよい。この場合、複数個のヒータ62で加熱される熱風を、それぞれ、異なる温度に設定(例えば、前記搬送方向に沿って段階的に高温となるように設定)することができるため、液状被膜31の乾燥を、より効率よく円滑に行うことができる。   Note that, unlike the configuration shown in FIG. 4, a plurality of (for example, three) heaters 62 are arranged along the conveyance direction of the first release sheet 71 in each hot air supply unit 61. It may be arranged. In this case, each of the hot air heated by the plurality of heaters 62 can be set to a different temperature (for example, set so as to increase in steps along the transport direction). Drying can be performed more efficiently and smoothly.

(第2のフィルム製造装置200)
第2のフィルム製造装置200は、第1の離型シート71と電磁波遮断層3と保護層1とが積層された積層シート(第1の積層シート)73、および、第2の離型シート72と絶縁層2と第3の離型シート76とが積層された積層シート(第2の積層シート)75から、第2の離型シート72に電磁波シールド用フィルム10が積層された積層シート(第3の積層シート)74を得るために用いられ、各前記積層シート73〜75を搬送する搬送手段240を備えるものである。
(Second film manufacturing apparatus 200)
The second film manufacturing apparatus 200 includes a laminated sheet (first laminated sheet) 73 in which the first release sheet 71, the electromagnetic wave shielding layer 3 and the protective layer 1 are laminated, and a second release sheet 72. A laminated sheet (second laminate sheet) in which the electromagnetic shielding film 10 is laminated on the second release sheet 72 from the laminated sheet (second laminated sheet) 75 in which the insulating layer 2 and the third release sheet 76 are laminated. 3 laminated sheets) 74 and is provided with conveying means 240 for conveying the laminated sheets 73 to 75.

図5に示すように、この搬送手段240は、巻出しローラ251に予め巻回された積層シート73および巻出しローラ252に予め巻回された積層シート75をこれらの長手方向に沿って巻出して搬送するとともに、これらから得られる積層シート74を、巻取りローラ253に巻回する。   As shown in FIG. 5, the conveying means 240 unwinds the laminated sheet 73 pre-wound around the unwinding roller 251 and the laminated sheet 75 pre-wound around the unwinding roller 252 along the longitudinal direction thereof. The laminated sheet 74 obtained from these is wound around the winding roller 253.

このような搬送手段240は、巻回する積層シート73を巻き出す巻出しローラ251と、巻回された積層シート75を巻き出す巻出しローラ252と、積層シート74を巻取る(巻回する)巻取りローラ253と、積層シート73から剥離された第1の離型シート71を巻取る巻取りローラ254と、積層シート75から剥離された第3の離型シート76を巻取る巻取りローラ255と、巻出しローラ251、252と巻取りローラ253との間に配置されたテンショナ(テンションローラ)241、242、243、244、245、246とを有している。   Such a conveying means 240 winds (winds) the unwinding roller 251 for unwinding the laminated sheet 73 to be wound, the unwinding roller 252 for unwinding the wound laminated sheet 75, and the laminated sheet 74. A winding roller 253, a winding roller 254 that winds up the first release sheet 71 peeled from the laminated sheet 73, and a winding roller 255 that winds up the third release sheet 76 peeled from the laminated sheet 75 And tensioners (tension rollers) 241, 242, 243, 244, 245, and 246 disposed between the unwinding rollers 251 and 252 and the winding roller 253.

なお、各ローラは、それぞれ、例えば、ステンレス鋼等のような金属材料で構成されている。また、これらのローラは、回動軸(中心軸)同士が同じ方向を向いており、互いに離間して配置されている。さらに、各ローラは、例えば第2のフィルム製造装置200全体を支持するフレーム(図示せず)に回動可能に支持されている。   Each roller is made of a metal material such as stainless steel, for example. In addition, these rollers are disposed such that the rotation axes (center axes) face the same direction and are separated from each other. Furthermore, each roller is rotatably supported by a frame (not shown) that supports the entire second film manufacturing apparatus 200, for example.

巻出しローラ251は、外形形状が円柱状をなし、積層シート73の搬送方向最上流側に位置して、積層シート73がロール状に巻回されており、この積層シート73を搬送方向に送り出すローラである。また、巻出しローラ252は、外形形状が円柱状をなし、積層シート75の搬送方向最上流側、かつ、積層シート73の搬送方向の途中に位置して、積層シート75がロール状に巻回されており、この積層シート75を搬送方向に送り出すローラである。   The unwinding roller 251 has a cylindrical outer shape, is positioned on the most upstream side in the conveyance direction of the laminated sheet 73, the laminated sheet 73 is wound in a roll shape, and sends out the laminated sheet 73 in the conveyance direction. Laura. Further, the unwinding roller 252 has a cylindrical outer shape, and is positioned on the most upstream side in the conveying direction of the laminated sheet 75 and in the middle of the conveying direction of the laminated sheet 73 so that the laminated sheet 75 is wound in a roll shape. It is a roller that feeds the laminated sheet 75 in the conveying direction.

テンショナ241〜246は、それぞれ、外形形状が円柱状をなしている。また、これらのうち、テンショナ241〜243は、第1の離型シート71が剥離された積層シート73の途中が接触して、掛け回されつつ回転するローラである。これにより、第1の離型シート71が剥離された積層シート73に張力を掛けつつ、搬送方向を変更して搬送することができる。なお、テンショナ242は、テンショナ241に対して積層シート73を挿通可能な程度離間して配置されており、積層シート73が、テンショナ241、242同士の間に搬送された際に、剥離ローラとしての機能を発揮して、第1の離型シート71が剥離され、これにより、第1の離型シート71が剥離された積層シート73が搬送方向の下流側に搬送される。さらに、テンショナ244〜246は、第3の離型シート76が剥離された積層シート75の途中が接触して、掛け回されつつ回転するローラである。これにより、第3の離型シート76が剥離された積層シート75に張力を掛けつつ、搬送方向を変更して搬送することができる。なお、テンショナ244は、積層シート75が、テンショナ244に搬送されて搬送方向を変更する際に、剥離ローラとしての機能を発揮して、第3の離型シート76が剥離され、これにより、第3の離型シート76が剥離された積層シート75が搬送方向の下流側に搬送される。また、テンショナ243、246は、それぞれ、第1の離型シート71が剥離された積層シート73と、第3の離型シート76が剥離された積層シート75とを挾持し得る程度に離間しており、これら同士を圧縮することで電磁波遮断層3に絶縁層2を貼付する圧縮ローラとしての機能も発揮する。   The tensioners 241 to 246 each have a cylindrical outer shape. Among these, the tensioners 241 to 243 are rollers that rotate while being wound around the laminated sheet 73 from which the first release sheet 71 has been peeled off. Thereby, it can convey, changing a conveyance direction, applying tension | tensile_strength to the lamination sheet 73 from which the 1st release sheet 71 was peeled. The tensioner 242 is disposed so as to be spaced from the tensioner 241 so that the laminated sheet 73 can be inserted. When the laminated sheet 73 is conveyed between the tensioners 241 and 242, the tensioner 242 serves as a peeling roller. The first release sheet 71 is peeled off by exhibiting the function, whereby the laminated sheet 73 from which the first release sheet 71 has been peeled is transported downstream in the transport direction. Further, the tensioners 244 to 246 are rollers that rotate while being wound around the laminated sheet 75 from which the third release sheet 76 has been peeled off. Thereby, it can convey, changing a conveyance direction, applying tension | tensile_strength to the lamination sheet 75 from which the 3rd release sheet 76 was peeled. The tensioner 244 exhibits a function as a peeling roller when the laminated sheet 75 is conveyed to the tensioner 244 and changes the conveying direction, and the third release sheet 76 is peeled off. The laminated sheet 75 from which the third release sheet 76 has been peeled is conveyed downstream in the conveying direction. Further, the tensioners 243 and 246 are separated to such an extent that the laminated sheet 73 from which the first release sheet 71 is peeled and the laminated sheet 75 from which the third release sheet 76 is peeled can be held. And the function as a compression roller which affixes the insulating layer 2 to the electromagnetic wave shielding layer 3 by compressing these also exhibits.

さらに、巻取りローラ253は、外形形状が円柱状をなし、積層シート73、75の搬送方向最下流側に位置して、搬送方向上流側から送り出されてきた、これら積層シート73、75から得られる積層シート74を巻取るローラである。この巻取りローラ253にモータ(図示せず)が接続されており、このモータの作動により、積層シート73、75が搬送される。   Further, the winding roller 253 has a cylindrical shape, is located on the most downstream side in the conveying direction of the laminated sheets 73 and 75, and is obtained from the laminated sheets 73 and 75 that are sent from the upstream side in the conveying direction. It is a roller which winds up the laminated sheet 74 to be wound. A motor (not shown) is connected to the take-up roller 253, and the laminated sheets 73 and 75 are conveyed by the operation of the motor.

また、巻取りローラ254、255は、外形形状が円柱状をなし、それぞれ、積層シート73、75の近傍に位置して、積層シート73、75から剥離された離型シート71、76を巻取るローラである。これら巻取りローラ254、255に、それぞれ、モータ(図示せず)が接続されており、このモータの作動により、離型シート71、76が巻き取られる。   The winding rollers 254 and 255 are cylindrical in outer shape, and are positioned in the vicinity of the laminated sheets 73 and 75, respectively, to take up the release sheets 71 and 76 that are peeled off from the laminated sheets 73 and 75. Laura. A motor (not shown) is connected to each of the winding rollers 254 and 255, and the release sheets 71 and 76 are wound by the operation of the motor.

なお、これらモータに印加する電圧の大きさを変更することにより、積層シート73、75の搬送速度を変更することができる。   In addition, the conveyance speed of the lamination sheets 73 and 75 can be changed by changing the magnitude | size of the voltage applied to these motors.

(電磁波シールド用フィルムの製造方法)
以上のような第1および第2の電磁波シールド用フィルムの製造装置を用いた電磁波シールド用フィルムの製造方法(本発明の電磁波シールド用フィルムの製造方法)により、電磁波シールド用フィルム10が製造される。
(Method for producing electromagnetic shielding film)
The electromagnetic wave shielding film 10 is produced by the electromagnetic wave shielding film production method (the electromagnetic wave shielding film production method of the present invention) using the first and second electromagnetic wave shielding film production apparatuses as described above. .

この電磁波シールド用フィルムの製造方法は、本実施形態では、シート状をなす第1の離型シート71の上面に、液状をなす電磁波遮断層形成材料を供給した後、乾燥させることで、電磁波遮断層3を形成し、その後、電磁波遮断層3に保護層(保護シート)1を貼付することで積層シート(第1の積層シート)73を得る第1の工程と、予め用意された、それぞれシート状をなす第2の離型シート72と、絶縁層2と、第3の離型シート76とが、この順で積層された積層シート(第2の積層シート)75から、第3の離型シート76を剥離させるとともに、積層シート(第1の積層シート)73から第1の離型シート71を剥離させ、その後、第2の離型シート72上の絶縁層2を、保護層(保護シート)1上の電磁波遮断層3に貼付することで、第2の離型シート72と、この第2の離型シート72に積層された電磁波シールド用フィルム10とを備える積層シート(第3の積層シート)74を得る第2の工程とを有する。   In this embodiment, the method for producing the electromagnetic wave shielding film is provided by supplying a liquid electromagnetic wave shielding layer forming material to the upper surface of the sheet-like first release sheet 71 and then drying it. The first step of forming the layer 3 and then obtaining the laminated sheet (first laminated sheet) 73 by applying the protective layer (protective sheet) 1 to the electromagnetic wave shielding layer 3, and the respective sheets prepared in advance The second release sheet 72, the insulating layer 2, and the third release sheet 76 having a shape are laminated from the laminated sheet (second laminated sheet) 75 laminated in this order. The sheet 76 is peeled off, and the first release sheet 71 is peeled from the laminated sheet (first laminated sheet) 73, and then the insulating layer 2 on the second release sheet 72 is protected with a protective layer (protective sheet). ) Attach to electromagnetic wave shielding layer 3 on 1 Thus, a second step of obtaining a laminated sheet (third laminated sheet) 74 including the second release sheet 72 and the electromagnetic wave shielding film 10 laminated on the second release sheet 72. Have.

以下、これらの各工程について、順次説明する。
(第1の工程)
まず、シート状をなす第1の離型シート71の上面に、液状をなす電磁波遮断層形成材料を供給した後、乾燥させることで、電磁波遮断層3を形成し、その後、電磁波遮断層3に保護層(保護シート)1を貼付することで積層シート73を得る。
Hereinafter, each of these steps will be described sequentially.
(First step)
First, an electromagnetic wave shielding layer 3 is formed by supplying a liquid material for forming an electromagnetic wave shielding layer on the upper surface of the first release sheet 71 in the form of a sheet, followed by drying. A laminated sheet 73 is obtained by applying the protective layer (protective sheet) 1.

この第1の工程に、図4に示す、第1のフィルム製造装置100が用いられる。   In the first step, a first film manufacturing apparatus 100 shown in FIG. 4 is used.

(1−1)まず、第1の離型シート71が予め巻回された巻出しローラ46から、第1の離型シート71を、搬送方向に沿ってテンショナ41〜44にその途中が接触するように巻出し、その先端を巻取りローラ48に装着する。また、保護層1が予め巻回された巻出しローラ47から、保護層1を、搬送方向に沿ってテンショナ44、45にその途中が接触するように巻出し、その先端を巻取りローラ48に装着する。   (1-1) First, from the unwinding roller 46 on which the first release sheet 71 is wound in advance, the first release sheet 71 is brought into contact with the tensioners 41 to 44 along the conveying direction. The tip is attached to the take-up roller 48. Further, the protective layer 1 is unwound from the unwinding roller 47 on which the protective layer 1 has been wound in advance so as to be in contact with the tensioners 44 and 45 along the conveying direction, and the leading end thereof is wound on the winding roller 48. Installing.

そして、巻取りローラ48に接続されたモータの作動により、第1の離型シート71および保護層1を搬送方向に搬送させる。すなわち、第1の離型シート71は、次工程(1−2)における液滴32の供給に先立って、巻出しローラ46から巻出され、保護層1は、後工程(1−4)における電磁波遮断層3に対する貼付に先立って、巻出しローラ47から巻出される。   Then, the first release sheet 71 and the protective layer 1 are conveyed in the conveying direction by the operation of the motor connected to the winding roller 48. That is, the first release sheet 71 is unwound from the unwinding roller 46 prior to the supply of the droplets 32 in the next step (1-2), and the protective layer 1 is removed from the subsequent step (1-4). Prior to sticking to the electromagnetic wave shielding layer 3, it is unwound from the unwinding roller 47.

この第1の離型シート71は、その平均厚さが5μm以上、60μm以下であることが好ましく、20μm以上、40μm以下であることがより好ましい。   The average thickness of the first release sheet 71 is preferably 5 μm or more and 60 μm or less, and more preferably 20 μm or more and 40 μm or less.

また、第1の離型シート71は、その常温(25℃)における貯蔵弾性率は、5.5E+09Pa〜9.0E+11Paであるのが好ましく、6.0E+09P〜7.0E+10Paであるのがより好ましい。   The first release sheet 71 has a storage elastic modulus at normal temperature (25 ° C.) of preferably 5.5E + 09 Pa to 9.0E + 11 Pa, and more preferably 6.0E + 09P to 7.0E + 10 Pa.

第1の離型シート71の平均厚さおよび貯蔵弾性率を前記範囲内に設定することにより、第1の離型シート71に液状被膜31さらには電磁波遮断層3を形成する際に、第1の離型シート71にシワが生じるのを的確に抑制または防止することができる。したがって、かかる第1の離型シート71に積層される電磁波遮断層3および保護層1にもシワが生じるのをより的確に抑制または防止することができる。   By setting the average thickness and the storage elastic modulus of the first release sheet 71 within the above ranges, when the liquid coating 31 and the electromagnetic wave shielding layer 3 are formed on the first release sheet 71, the first The generation of wrinkles in the release sheet 71 can be accurately suppressed or prevented. Therefore, wrinkles can be more accurately suppressed or prevented from occurring in the electromagnetic wave shielding layer 3 and the protective layer 1 laminated on the first release sheet 71.

第1の離型シート71の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレンおよびポリエチレン等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、ポリプロピレンまたはポリエチレンを主材料として含有することが好ましい。これにより、第1の離型シート71の常温(25℃)における貯蔵弾性率を、容易に前記範囲内に設定することができる。   Although it does not specifically limit as a constituent material of the 1st release sheet 71, For example, a polyethylene terephthalate, a polypropylene, polyethylene, etc. are mentioned, Among these, it can use combining 1 type (s) or 2 or more types. Among these, it is preferable to contain polypropylene or polyethylene as a main material. Thereby, the storage elastic modulus in normal temperature (25 degreeC) of the 1st release sheet 71 can be easily set in the said range.

このように、液状被膜31さらには電磁波遮断層3の形成に適した第1の離型シート71が選択されることから、液状被膜31および電磁波遮断層3の形成の際に、これらにシワが生じるのを的確に抑制または防止することができる。   As described above, since the first release sheet 71 suitable for the formation of the liquid coating 31 and the electromagnetic wave shielding layer 3 is selected, the liquid coating 31 and the electromagnetic wave shielding layer 3 are wrinkled when they are formed. It is possible to accurately suppress or prevent the occurrence.

(1−2)次いで、テンショナ42とテンショナ43との間の、第1の離型シート71の搬送方向の最上流側の位置で、ディスペンサー51から、液状をなす電磁波遮断層形成材料を液滴32として、巻出しローラ46から巻出された第1の離型シート71に滴下(供給)することで、第1の離型シート71上に液状被膜31を形成する。   (1-2) Next, at the position on the most upstream side in the conveying direction of the first release sheet 71 between the tensioner 42 and the tensioner 43, a liquid-form electromagnetic wave shielding layer forming material is dropped from the dispenser 51. The liquid coating 31 is formed on the first release sheet 71 by dropping (supplying) 32 on the first release sheet 71 unwound from the unwinding roller 46.

なお、本工程において、第1の離型シート71上に形成される液状被膜31は、その幅が、図4に示すように、第1の離型シート71の幅よりも狭く設定されている。これにより、次工程(1−3)で形成される電磁波遮断層3の幅も第1の離型シート71の幅よりも狭く形成することができる。そのため、後工程(1−4)において、第1の離型シート71と保護層1との間から、電磁波遮断層3をはみ出させることなく、電磁波遮断層3に、保護層1を確実に貼付することができる。   In this step, the width of the liquid coating 31 formed on the first release sheet 71 is set to be narrower than the width of the first release sheet 71 as shown in FIG. . Thereby, the width | variety of the electromagnetic wave shielding layer 3 formed at the following process (1-3) can also be formed narrower than the width | variety of the 1st release sheet 71. FIG. For this reason, in the subsequent step (1-4), the protective layer 1 is securely attached to the electromagnetic wave shielding layer 3 without protruding the electromagnetic wave shielding layer 3 from between the first release sheet 71 and the protective layer 1. can do.

(1−3)次いで、テンショナ42とテンショナ43との間の、第1の離型シート71の搬送方向の液状材料供給手段50よりも下流側の位置で、乾燥手段60により、液状被膜(電磁波遮断層形成材料)31を乾燥させることにより、第1の離型シート71上に電磁波遮断層3を形成する。   (1-3) Next, at a position downstream of the liquid material supply means 50 in the conveying direction of the first release sheet 71 between the tensioner 42 and the tensioner 43, the drying means 60 applies a liquid film (electromagnetic wave). The electromagnetic wave shielding layer 3 is formed on the first release sheet 71 by drying the shielding layer forming material 31.

液状被膜31を乾燥させる際の液状被膜31の温度は、40℃以上、150℃以下であることが好ましく、50℃以上、120℃以下であることがより好ましい。これにより、液状被膜31を乾燥させて電磁波遮断層3を成膜することができるとともに、電磁波遮断層3に保護層1に対する接着性を発現させて、次工程(1−4)において、電磁波遮断層3に保護層1をより強固に接合することができる。また、電磁波遮断層3中に溶媒または分散媒が残存するのを的確に抑制または防止することができるため、溶媒または分散媒が残存することに起因して電磁波遮断層3に不具合が生じるのを確実に低減させることができる。   The temperature of the liquid coating 31 when drying the liquid coating 31 is preferably 40 ° C. or higher and 150 ° C. or lower, and more preferably 50 ° C. or higher and 120 ° C. or lower. Thereby, the liquid coating 31 can be dried to form the electromagnetic wave shielding layer 3, and the electromagnetic wave shielding layer 3 is allowed to exhibit adhesiveness to the protective layer 1. In the next step (1-4), the electromagnetic wave shielding layer 3 is formed. The protective layer 1 can be more firmly bonded to the layer 3. Further, since it is possible to accurately suppress or prevent the solvent or the dispersion medium from remaining in the electromagnetic wave shielding layer 3, the electromagnetic wave shielding layer 3 may be defective due to the remaining solvent or the dispersion medium. It can be reliably reduced.

(1−4)次いで、第1の離型シート71上に形成された電磁波遮断層3に、巻出しローラ47から巻出された保護層1を、テンショナ43、45との間で、電磁波遮断層3が形成された第1の離型シート71と保護層1とを圧縮することで、貼付する。   (1-4) Next, the electromagnetic wave shielding layer 3 formed on the first release sheet 71 is shielded against the electromagnetic wave between the tensioner 43 and the protective layer 1 unwound from the unwinding roller 47. The first release sheet 71 on which the layer 3 is formed and the protective layer 1 are compressed and pasted.

これにより、電磁波遮断層3に保護層1が接合され、第1の離型シート71上に、電磁波遮断層3と保護層1とが、この順で積層された積層シート73が得られる。   Thereby, the protective layer 1 is joined to the electromagnetic wave shielding layer 3, and the laminated sheet 73 in which the electromagnetic wave shielding layer 3 and the protective layer 1 are laminated in this order on the first release sheet 71 is obtained.

(1−5)次いで、得られた積層シート73を、テンショナ44を介した後、巻取りローラ48で巻き取る(巻回する)。   (1-5) Next, the obtained laminated sheet 73 is wound (wound) by the winding roller 48 after passing through the tensioner 44.

これにより、巻取りローラ48で巻き取られた状態で、電磁波遮断層3と保護層1とが、この順で積層された積層シート73を連続的に得ることができる。   Thereby, the laminated sheet 73 in which the electromagnetic wave shielding layer 3 and the protective layer 1 are laminated in this order in a state of being wound by the winding roller 48 can be obtained continuously.

上記の工程によれば、液状被膜31ひいては電磁波遮断層3の形成に適した第1の離型シート71に、液状被膜31ひいては電磁波遮断層3を形成することができる。そのため、シワの発生が的確に抑制または防止された状態でこの電磁波遮断層3上に保護層1を貼付することができる。その結果、電磁波遮断層3および保護層1においてシワを的確に生じさせることなく、巻取りローラ48で巻き取られた状態で積層シート73が得られる。   According to said process, the liquid film 31 and the electromagnetic wave shielding layer 3 can be formed in the 1st release sheet 71 suitable for formation of the liquid film 31 and the electromagnetic wave shielding layer 3 here. Therefore, the protective layer 1 can be affixed on the electromagnetic wave shielding layer 3 in a state in which the generation of wrinkles is accurately suppressed or prevented. As a result, the laminated sheet 73 is obtained in a state of being wound up by the winding roller 48 without causing wrinkles in the electromagnetic wave shielding layer 3 and the protective layer 1 accurately.

なお、第1の工程では、得られた積層シート73において、保護層1と電磁波遮断層3との間の接合強度をA[N/mm]とし、電磁波遮断層3と第1の離型シート71との間の接合強度をC[N/mm]としたとき、A>Cなる関係を満足するように設定されている。これにより、第2の工程において、保護層1と電磁波遮断層3との間で剥離を生じさせることなく、電磁波遮断層3から第1の離型シート71を確実に剥離させることができる。   In the first step, in the obtained laminated sheet 73, the bonding strength between the protective layer 1 and the electromagnetic wave shielding layer 3 is A [N / mm], and the electromagnetic wave shielding layer 3 and the first release sheet are used. 71 is set so as to satisfy the relationship of A> C, where C [N / mm] is the bonding strength with the 71. Thereby, in the second step, the first release sheet 71 can be reliably peeled from the electromagnetic wave shielding layer 3 without causing peeling between the protective layer 1 and the electromagnetic wave shielding layer 3.

また、第1の工程では、図4に示すように、巻出しローラ46から巻出される第1の離型シート71の巻き方向と、巻取りローラ48に巻き取られる第1の離型シート71の巻き方向とが同一の方向となっており、巻出しローラ47から巻出される保護層1の巻き方向と、巻取りローラ48に巻き取られる保護層1の巻き方向とが逆の方向となっている。これにより、巻取りローラ48に巻き取られる積層シート73に巻グセが生じるのを的確に抑制することができる。   In the first step, as shown in FIG. 4, the winding direction of the first release sheet 71 that is unwound from the unwinding roller 46 and the first release sheet 71 that is wound around the take-up roller 48. The winding direction of the protective layer 1 unwound from the unwinding roller 47 and the winding direction of the protective layer 1 wound around the winding roller 48 are opposite to each other. ing. Thereby, it is possible to accurately suppress the occurrence of winding gusset in the laminated sheet 73 wound around the winding roller 48.

(第2の工程)
次に、予め用意された、それぞれシート状をなす第2の離型シート72と、絶縁層2と、第3の離型シート76とが、この順で積層された積層シート(第2の積層シート)75から、第3の離型シート76を剥離させるとともに、積層シート(第1の積層シート)73から第1の離型シート71を剥離させ、その後、第2の離型シート72上の絶縁層2を、保護層(保護シート)1上の電磁波遮断層3に貼付することで、第2の離型シート72と、この第2の離型シート72に積層された電磁波シールド用フィルム10とを備える積層シート(第3の積層シート)74を得る。
(Second step)
Next, a pre-prepared laminated sheet (second laminated sheet) in which a second release sheet 72 having a sheet shape, an insulating layer 2, and a third release sheet 76 are laminated in this order. Sheet) 75 and the third release sheet 76 are peeled off, and the first release sheet 71 is peeled from the laminated sheet (first laminated sheet) 73, and then the second release sheet 72 is removed. By attaching the insulating layer 2 to the electromagnetic wave shielding layer 3 on the protective layer (protective sheet) 1, the second release sheet 72 and the electromagnetic wave shielding film 10 laminated on the second release sheet 72. A laminated sheet (third laminated sheet) 74 is obtained.

この第2の工程に、図5に示す、第2のフィルム製造装置200が用いられる。   In the second step, a second film manufacturing apparatus 200 shown in FIG. 5 is used.

(2−1)まず、シート状をなす第2の離型シート72と、絶縁層2と、第3の離型シート76とが、この順で積層された積層シート(第2の積層シート)75を予め用意し、この積層シート75が巻出しローラ252に巻回する。そして、この積層シート75が巻回された巻出しローラ252から、第3の離型シート76を剥離させた状態で、第3の離型シート76が剥離された積層シート75(第2の離型シート72と絶縁層2との積層体)を、絶縁層2が右側になるように、搬送方向に沿ってテンショナ244、245、246にその途中が接触するように巻出し、その先端を巻取りローラ253に装着する。また、この際、剥離させた第3の離型シート76の先端を巻取りローラ255に装着する。   (2-1) First, a laminated sheet (second laminated sheet) in which a second release sheet 72 having a sheet shape, the insulating layer 2, and a third release sheet 76 are laminated in this order. 75 is prepared in advance, and the laminated sheet 75 is wound around the unwinding roller 252. Then, in a state where the third release sheet 76 is peeled from the unwinding roller 252 around which the laminated sheet 75 is wound, the laminated sheet 75 (second release sheet 76) from which the third release sheet 76 has been peeled off. The laminate of the mold sheet 72 and the insulating layer 2) is unwound so that the insulating layer 2 is on the right side so that the middle is in contact with the tensioners 244, 245, and 246 along the transport direction, and the tip is wound. Mounted on the take-off roller 253 At this time, the tip of the peeled third release sheet 76 is attached to the take-up roller 255.

また、前記第1の工程で得られた積層シート73が予め巻回された巻出しローラ251から、第1の離型シート71を剥離させた状態で、第1の離型シート71が剥離された積層シート73(保護層1と電磁波遮断層3との積層体)を、電磁波遮断層3が右側になるように、搬送方向に沿ってテンショナ241、242、243にその途中が接触するように巻出し、その先端を巻取りローラ253に装着する。また、この際、剥離させた第1の離型シート71の先端を巻取りローラ254に装着する。   Further, the first release sheet 71 is peeled off in a state where the first release sheet 71 is peeled from the unwinding roller 251 around which the laminated sheet 73 obtained in the first step is wound in advance. The laminated sheet 73 (laminated body of the protective layer 1 and the electromagnetic wave shielding layer 3) is brought into contact with the tensioners 241, 242, and 243 along the conveying direction so that the electromagnetic wave shielding layer 3 is on the right side. Unwind and attach the leading end to the winding roller 253. At this time, the tip of the peeled first release sheet 71 is attached to the winding roller 254.

そして、巻取りローラ253に接続されたモータの作動により、第1の離型シート71が剥離された積層シート73と、第3の離型シート76が剥離された積層シート75とを搬送方向に搬送させる。すなわち、第1の離型シート71が剥離された積層シート73と、第3の離型シート76が剥離された積層シート75とは、次工程(2−2)における電磁波遮断層3に対する絶縁層2の貼付に先立って、それぞれ、巻出しローラ251と、巻出しローラ252とから巻出される。また、この際、巻取りローラ254、255に接続されたモータの作動により、離型シート71、76が剥離され、これら剥離された離型シート71、76が、それぞれ、巻取りローラ254、255で巻取られる。   Then, by the operation of the motor connected to the winding roller 253, the laminated sheet 73 from which the first release sheet 71 is peeled off and the laminated sheet 75 from which the third release sheet 76 is peeled in the transport direction. Transport. That is, the laminated sheet 73 from which the first release sheet 71 is peeled off and the laminated sheet 75 from which the third release sheet 76 is peeled off are an insulating layer for the electromagnetic wave shielding layer 3 in the next step (2-2). Prior to sticking 2, unwinding roller 251 and unwinding roller 252 unwind, respectively. At this time, the release sheets 71 and 76 are peeled off by the operation of the motor connected to the winding rollers 254 and 255, and the peeled release sheets 71 and 76 are taken up by the winding rollers 254 and 255, respectively. It is wound up with.

なお、第2の離型シート72および第3の離型シート76としては、前述した第1の離型シート71と同様のものを用いることができる。   In addition, as the 2nd release sheet 72 and the 3rd release sheet 76, the thing similar to the 1st release sheet 71 mentioned above can be used.

また、予め用意する積層シート(第2の積層シート)75としては、シート状をなす第2の離型シート72と、絶縁層2と、第3の離型シート76とが、この順で積層されたものであれば、特に限定されず、例えば、日栄化工社製(Neo Fixシリーズ)寺岡製作所社製(フィルム両面テープ7070)等を用いることができる。   In addition, as a previously prepared laminated sheet (second laminated sheet) 75, a sheet-like second release sheet 72, insulating layer 2, and third release sheet 76 are laminated in this order. If it was made, it will not specifically limit, For example, the product made from Nichiei Kako Co., Ltd. (Neo Fix series) Teraoka Seisakusho Co., Ltd. (film double-sided tape 7070), etc. can be used.

(2−2)次いで、巻取りローラ253に接続されたモータの作動により、搬送方向に搬送された第1の離型シート71が剥離された積層シート73と、第3の離型シート76が剥離された積層シート75とを、テンショナ243、246との間で圧縮することで、積層シート73が備える電磁波遮断層3を、積層シート75が備える絶縁層2に貼付する。   (2-2) Next, the laminated sheet 73 from which the first release sheet 71 conveyed in the conveyance direction is peeled off by the operation of the motor connected to the winding roller 253, and the third release sheet 76 are separated. The electromagnetic wave shielding layer 3 provided in the laminated sheet 73 is affixed to the insulating layer 2 provided in the laminated sheet 75 by compressing the peeled laminated sheet 75 between the tensioners 243 and 246.

これにより、絶縁層2に電磁波遮断層3が接合され、その結果、第2の離型シート72上に、絶縁層2と電磁波遮断層3と保護層1とが、この順で積層された電磁波シールド用フィルム10を備える積層シート74が得られる。   Thereby, the electromagnetic wave shielding layer 3 is joined to the insulating layer 2, and as a result, the electromagnetic wave in which the insulating layer 2, the electromagnetic wave shielding layer 3, and the protective layer 1 are laminated in this order on the second release sheet 72. A laminated sheet 74 including the shielding film 10 is obtained.

(2−3)次いで、得られた積層シート74を、巻取りローラ253で巻き取る。
これにより、巻取りローラ253で巻き取られた状態で、第2の離型シート72と電磁波シールド用フィルム10とを備える積層シート74が連続的に得られる。
(2-3) Next, the obtained laminated sheet 74 is wound up by the winding roller 253.
Thereby, in the state wound by the winding roller 253, the lamination sheet 74 provided with the 2nd release sheet 72 and the film 10 for electromagnetic wave shielding is obtained continuously.

上記の工程によれば、予め用意された第2の離型シート72と絶縁層2とが積層された積層体(第3の離型シート76が剥離された積層シート75)に対して、シワの発生が的確に抑制または防止された状態の電磁波遮断層3および保護層1を貼付することができる。その結果、絶縁層2、電磁波遮断層3および保護層1においてシワを的確に生じさせることなく、巻取りローラ253で巻き取られた状態で積層シート74が得られる。そのため、かかる電磁波シールド用フィルム10を用いて覆われる基板5の設計自由度を高め、かつ軽量化・薄型化を図ることが可能である。さらに、基板5に電子部品4を搭載することで形成される凹凸6に対して、形状追従性を電磁波シールド用フィルム10に発揮させて被覆することができる。   According to the above process, the wrinkle is reduced with respect to the laminate in which the second release sheet 72 and the insulating layer 2 prepared in advance are laminated (the laminated sheet 75 from which the third release sheet 76 is peeled). The electromagnetic wave blocking layer 3 and the protective layer 1 in a state in which the occurrence of the water is properly suppressed or prevented can be applied. As a result, the laminated sheet 74 is obtained in a state of being wound up by the winding roller 253 without causing wrinkles in the insulating layer 2, the electromagnetic wave shielding layer 3 and the protective layer 1 accurately. Therefore, it is possible to increase the design freedom of the substrate 5 covered with the electromagnetic wave shielding film 10 and to reduce the weight and thickness. Further, the unevenness 6 formed by mounting the electronic component 4 on the substrate 5 can be covered with the electromagnetic wave shielding film 10 by exhibiting shape followability.

なお、第2の工程では、得られた積層シート74において、保護層1と電磁波遮断層3との間の接合強度をA[N/mm]とし、絶縁層2と第2の離型シート72との間の接合強度をB[N/mm]としたとき、A>Bなる関係を満足するように設定されている。これにより、積層シート74から第2の離型シート72を剥離して、電磁波シールド用フィルム10とする際に、保護層1と電磁波遮断層3との間で剥離が生じるのを的確に抑制または防止することができる。   In the second step, in the obtained laminated sheet 74, the bonding strength between the protective layer 1 and the electromagnetic wave shielding layer 3 is A [N / mm], and the insulating layer 2 and the second release sheet 72 are used. Is set so as to satisfy the relationship of A> B where B [N / mm]. Thereby, when peeling the 2nd release sheet 72 from the lamination sheet 74 and setting it as the film 10 for electromagnetic wave shielding, it suppresses that peeling arises between the protective layer 1 and the electromagnetic wave shielding layer 3 exactly, or Can be prevented.

また、第2の工程では、図5に示すように、巻出しローラ252から巻出される積層シート75の巻き方向と、巻取りローラ253に巻き取られる第2の離型シート72と絶縁層2との積層体の巻き方向とが同一の方向となっており、巻出しローラ251から巻出される積層シート73の巻き方向と、巻取りローラ253に巻き取られる保護層1と電磁波遮断層3との積層体の巻き方向とが逆の方向となっている。これにより、巻取りローラ253に巻き取られる積層シート74に巻グセが生じるのを的確に抑制することができる。
以上のような工程を経ることで、電磁波シールド用フィルム10が製造される。
In the second step, as shown in FIG. 5, the winding direction of the laminated sheet 75 unwound from the unwinding roller 252, the second release sheet 72 wound on the winding roller 253, and the insulating layer 2. The winding direction of the laminated body is the same direction, the winding direction of the laminated sheet 73 unwound from the unwinding roller 251, the protective layer 1 and the electromagnetic wave blocking layer 3 wound around the winding roller 253, The direction of winding of the laminate is the opposite direction. Thereby, it is possible to accurately suppress the occurrence of winding gusset in the laminated sheet 74 wound around the winding roller 253.
By passing through the above processes, the electromagnetic wave shielding film 10 is manufactured.

なお、上記の方法によれば、電磁波シールド用フィルム10は、第2の離型シート72と電磁波シールド用フィルム10とを備える積層シート74として巻取りローラ253に巻回された状態で得られる。このような電磁波シールド用フィルム10を、電子部品の被覆方法に適用する際には、積層シート74から第2の離型シート72を剥離させるともに、電磁波シールド用フィルム10を適切な大きさに切断して、電子部品の被覆方法に用いるようにすればよい。   In addition, according to said method, the film 10 for electromagnetic wave shielding is obtained in the state wound by the winding roller 253 as the laminated sheet 74 provided with the 2nd mold release sheet 72 and the film 10 for electromagnetic wave shielding. When such an electromagnetic wave shielding film 10 is applied to an electronic component coating method, the second release sheet 72 is peeled from the laminated sheet 74 and the electromagnetic wave shielding film 10 is cut into an appropriate size. Thus, it may be used in a method for coating an electronic component.

また、第1のフィルム製造装置100および第2のフィルム製造装置200は、前述したような第1実施形態の構成のものの他、以下に示すような第2〜第4実施形態の構成のものとしても、電磁波シールド用フィルム10を製造することができる。   Moreover, the 1st film manufacturing apparatus 100 and the 2nd film manufacturing apparatus 200 are as things of the structure of 2nd-4th embodiment as shown below other than the thing of the structure of 1st Embodiment as mentioned above. Also, the electromagnetic wave shielding film 10 can be manufactured.

<第2実施形態>
図6は、図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第1の電磁波シールド用フィルム製造装置の第2実施形態を示す斜視図、図7は、図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第2の電磁波シールド用フィルム製造装置の第2実施形態を示す斜視図である。なお、以下では、説明の都合上、図6、7中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言い、左側を「左」、右側を「右」と言う。
Second Embodiment
6 is a perspective view showing a second embodiment of the first electromagnetic shielding film production apparatus used for producing the electromagnetic shielding film shown in FIG. 1, and FIG. 7 is production of the electromagnetic shielding film shown in FIG. It is a perspective view which shows 2nd Embodiment of the film manufacturing apparatus for the 2nd electromagnetic wave shield used for a. In the following, for convenience of explanation, the upper side in FIGS. 6 and 7 is referred to as “upper” or “upper”, the lower side is referred to as “lower” or “lower”, the left side is referred to as “left”, and the right side is referred to as “right”. Say.

以下、図6、7に示す第1のフィルム製造装置100および第2のフィルム製造装置200について説明するが、図4、5に示す第1のフィルム製造装置100および第2のフィルム製造装置200との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。   Hereinafter, the first film manufacturing apparatus 100 and the second film manufacturing apparatus 200 shown in FIGS. 6 and 7 will be described, but the first film manufacturing apparatus 100 and the second film manufacturing apparatus 200 shown in FIGS. The difference will be described mainly, and the description of the same matters will be omitted.

図6に示す第1のフィルム製造装置100では、巻出しローラ47から巻出される保護層1の巻出し方向が逆であること以外は、図4に示した第1のフィルム製造装置100と同様であり、図7に示す第2のフィルム製造装置200では、巻出しローラ251から巻出される積層シート73の巻出し方向が逆であること以外は、図5に示した第2のフィルム製造装置200と同様である。   The first film manufacturing apparatus 100 shown in FIG. 6 is the same as the first film manufacturing apparatus 100 shown in FIG. 4 except that the unwinding direction of the protective layer 1 unwound from the unwinding roller 47 is reversed. In the second film manufacturing apparatus 200 shown in FIG. 7, the second film manufacturing apparatus shown in FIG. 5 except that the unwinding direction of the laminated sheet 73 unwound from the unwinding roller 251 is reversed. 200.

すなわち、第1の工程では、図6に示すように、巻出しローラ46から巻出される第1の離型シート71の巻き方向と、巻取りローラ48に巻き取られる第1の離型シート71の巻き方向とが同一の方向となっており、巻出しローラ47から巻出される保護層1の巻き方向と、巻取りローラ48に巻き取られる保護層1の巻き方向とが同一の方向となっている。これにより、電磁波遮断層3に対する保護層1の貼付をより優れた強度で行うことができる。   That is, in the first step, as shown in FIG. 6, the winding direction of the first release sheet 71 unwound from the unwinding roller 46 and the first release sheet 71 wound up by the take-up roller 48. The winding direction of the protective layer 1 that is unwound from the unwinding roller 47 and the winding direction of the protective layer 1 that is wound around the winding roller 48 are the same direction. ing. Thereby, sticking of the protective layer 1 with respect to the electromagnetic wave shielding layer 3 can be performed with more excellent strength.

また、第2の工程では、図7に示すように、巻出しローラ252から巻出される積層シート75の巻き方向と、巻取りローラ253に巻き取られる第2の離型シート72と絶縁層2との積層体の巻き方向とが同一の方向となっており、巻出しローラ251から巻出される積層シート73の巻き方向と、巻取りローラ253に巻き取られる保護層1と電磁波遮断層3との積層体の巻き方向とが同一の方向となっている。これにより、絶縁層2に対する電磁波遮断層3の貼付をより優れた強度で行うことができる。   In the second step, as shown in FIG. 7, the winding direction of the laminated sheet 75 unwound from the unwinding roller 252, the second release sheet 72 wound on the winding roller 253, and the insulating layer 2. The winding direction of the laminated body is the same direction, the winding direction of the laminated sheet 73 unwound from the unwinding roller 251, the protective layer 1 and the electromagnetic wave blocking layer 3 wound around the winding roller 253, The winding direction of the laminate is the same direction. Thereby, sticking of the electromagnetic wave shielding layer 3 to the insulating layer 2 can be performed with more excellent strength.

このような構成の本実施形態のフィルム製造装置100、200も、前記第1実施形態のフィルム製造装置100、200と同様にして電磁波シールド用フィルム10を製造することができ、前記第1実施形態のフィルム製造装置100、200を用いた電磁波シールド用フィルム10の製造方法と同様の効果が得られる。   The film manufacturing apparatuses 100 and 200 of the present embodiment having such a configuration can also manufacture the electromagnetic wave shielding film 10 in the same manner as the film manufacturing apparatuses 100 and 200 of the first embodiment, and the first embodiment. The effect similar to the manufacturing method of the film 10 for electromagnetic wave shields using the film manufacturing apparatuses 100 and 200 is obtained.

<第3実施形態>
図8は、図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第1の電磁波シールド用フィルム製造装置の第3実施形態を示す斜視図、図9は、図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第2の電磁波シールド用フィルム製造装置の第3実施形態を示す斜視図である。なお、以下では、説明の都合上、図8、9中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言い、左側を「左」、右側を「右」と言う。
<Third Embodiment>
8 is a perspective view showing a third embodiment of the first electromagnetic wave shielding film manufacturing apparatus used for manufacturing the electromagnetic wave shielding film shown in FIG. 1, and FIG. 9 is the production of the electromagnetic wave shielding film shown in FIG. It is a perspective view which shows 3rd Embodiment of the film production apparatus for the 2nd electromagnetic wave shield used for a. In the following, for convenience of explanation, the upper side in FIGS. 8 and 9 is referred to as “upper” or “upper”, the lower side is referred to as “lower” or “lower”, the left side is “left”, and the right side is “right”. Say.

以下、図8、9に示す第1のフィルム製造装置100および第2のフィルム製造装置200について説明するが、図4、5に示す第1のフィルム製造装置100および第2のフィルム製造装置200との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。   Hereinafter, although the 1st film manufacturing apparatus 100 and the 2nd film manufacturing apparatus 200 which are shown in FIG. 8, 9 are demonstrated, the 1st film manufacturing apparatus 100 and the 2nd film manufacturing apparatus 200 which are shown in FIG. The difference will be described mainly, and the description of the same matters will be omitted.

図8に示す第1のフィルム製造装置100では、巻取りローラ48に巻き取られる積層シート73の巻取り方向が逆であること以外は、図4に示した第1のフィルム製造装置100と同様であり、図9に示す第2のフィルム製造装置200では、巻取りローラ253に巻き取られる積層シート74の巻取り方向が逆であること以外は、図5に示した第2のフィルム製造装置200と同様である。   The first film manufacturing apparatus 100 shown in FIG. 8 is the same as the first film manufacturing apparatus 100 shown in FIG. 4 except that the winding direction of the laminated sheet 73 wound around the winding roller 48 is reversed. In the second film manufacturing apparatus 200 shown in FIG. 9, the second film manufacturing apparatus shown in FIG. 5 except that the winding direction of the laminated sheet 74 wound around the winding roller 253 is reversed. 200.

すなわち、第1の工程では、図8に示すように、巻出しローラ46から巻出される第1の離型シート71の巻き方向と、巻取りローラ48に巻き取られる第1の離型シート71の巻き方向とが逆の方向となっており、巻出しローラ47から巻出される保護層1の巻き方向と、巻取りローラ48に巻き取られる保護層1の巻き方向とが同一の方向となっている。これにより、巻取りローラ48に巻き取られる積層シート73に巻グセが生じるのを的確に抑制することができる。   That is, in the first step, as shown in FIG. 8, the winding direction of the first release sheet 71 that is unwound from the unwinding roller 46 and the first release sheet 71 that is wound around the take-up roller 48. The winding direction of the protective layer 1 unwound from the unwinding roller 47 and the winding direction of the protective layer 1 wound around the winding roller 48 are the same direction. ing. Thereby, it is possible to accurately suppress the occurrence of winding gusset in the laminated sheet 73 wound around the winding roller 48.

また、第2の工程では、図9に示すように、巻出しローラ252から巻出される積層シート75の巻き方向と、巻取りローラ253に巻き取られる第2の離型シート72と絶縁層2との積層体の巻き方向とが逆の方向となっており、巻出しローラ251から巻出される積層シート73の巻き方向と、巻取りローラ253に巻き取られる保護層1と電磁波遮断層3との積層体の巻き方向とが同一の方向となっている。これにより、巻取りローラ253に巻き取られる積層シート74に巻グセが生じるのを的確に抑制することができる。   In the second step, as shown in FIG. 9, the winding direction of the laminated sheet 75 unwound from the unwinding roller 252, the second release sheet 72 wound on the winding roller 253, and the insulating layer 2. The winding direction of the laminate is opposite to the winding direction of the laminated sheet 73 unwound from the unwinding roller 251, the protective layer 1 and the electromagnetic wave blocking layer 3 wound around the winding roller 253, The winding direction of the laminate is the same direction. Thereby, it is possible to accurately suppress the occurrence of winding gusset in the laminated sheet 74 wound around the winding roller 253.

このような構成の本実施形態のフィルム製造装置100、200も、前記第1実施形態のフィルム製造装置100、200と同様にして電磁波シールド用フィルム10を製造することができ、前記第1実施形態のフィルム製造装置100、200を用いた電磁波シールド用フィルム10の製造方法と同様の効果が得られる。   The film manufacturing apparatuses 100 and 200 of the present embodiment having such a configuration can also manufacture the electromagnetic wave shielding film 10 in the same manner as the film manufacturing apparatuses 100 and 200 of the first embodiment, and the first embodiment. The effect similar to the manufacturing method of the film 10 for electromagnetic wave shields using the film manufacturing apparatuses 100 and 200 is obtained.

<第4実施形態>
図10は、図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第1の電磁波シールド用フィルム製造装置の第4実施形態を示す斜視図、図11は、図1に示す電磁波シールド用フィルムの製造に用いられる第2の電磁波シールド用フィルム製造装置の第4実施形態を示す斜視図である。なお、以下では、説明の都合上、図10、11中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言い、左側を「左」、右側を「右」と言う。
<Fourth embodiment>
10 is a perspective view showing a fourth embodiment of the first electromagnetic wave shielding film production apparatus used for producing the electromagnetic wave shielding film shown in FIG. 1, and FIG. 11 is production of the electromagnetic wave shielding film shown in FIG. It is a perspective view which shows 4th Embodiment of the film manufacturing apparatus for the 2nd electromagnetic wave shield used for a. In the following description, for convenience of explanation, the upper side in FIGS. 10 and 11 is referred to as “upper” or “upper”, the lower side is referred to as “lower” or “lower”, the left side is “left”, and the right side is “right”. Say.

以下、図10、11に示す第1のフィルム製造装置100および第2のフィルム製造装置200について説明するが、図4、5に示す第1のフィルム製造装置100および第2のフィルム製造装置200との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。   Hereinafter, although the 1st film manufacturing apparatus 100 and the 2nd film manufacturing apparatus 200 which are shown in FIG. 10, 11 are demonstrated, the 1st film manufacturing apparatus 100 and the 2nd film manufacturing apparatus 200 which are shown in FIG. The difference will be described mainly, and the description of the same matters will be omitted.

図10に示す第1のフィルム製造装置100では、巻出しローラ47から巻出される保護層1の巻き方向、ならびに、巻取りローラ48に巻き取られる積層シート73の巻き方向が逆であること以外は、図4に示した第1のフィルム製造装置100と同様であり、図11に示す第2のフィルム製造装置200では、巻出しローラ251から巻出される積層シート73の巻き方向、ならびに、巻取りローラ253に巻き取られる積層シート74の巻き方向が逆であること以外は、図5に示した第2のフィルム製造装置200と同様である。   In the first film manufacturing apparatus 100 shown in FIG. 10, the winding direction of the protective layer 1 unwound from the unwinding roller 47 and the winding direction of the laminated sheet 73 wound around the winding roller 48 are opposite. Is the same as the first film manufacturing apparatus 100 shown in FIG. 4, and in the second film manufacturing apparatus 200 shown in FIG. 11, the winding direction of the laminated sheet 73 unwound from the unwinding roller 251, and the winding It is the same as that of the 2nd film manufacturing apparatus 200 shown in FIG. 5 except the winding direction of the lamination sheet 74 wound up by the taking-up roller 253 being reverse.

すなわち、第1の工程では、図10に示すように、巻出しローラ46から巻出される第1の離型シート71の巻き方向と、巻取りローラ48に巻き取られる第1の離型シート71の巻き方向とが逆の方向となっており、巻出しローラ47から巻出される保護層1の巻き方向と、巻取りローラ48に巻き取られる保護層1の巻き方向とが逆の方向となっている。これにより、電磁波遮断層3に対する保護層1の貼付をより優れた強度で行うことができるとともに、巻取りローラ48に巻き取られる積層シート73に巻グセが生じるのを的確に抑制することができる。   That is, in the first step, as shown in FIG. 10, the winding direction of the first release sheet 71 that is unwound from the unwinding roller 46 and the first release sheet 71 that is wound around the take-up roller 48. The winding direction of the protective layer 1 unwound from the unwinding roller 47 is opposite to the winding direction of the protective layer 1 wound around the winding roller 48. ing. As a result, the protective layer 1 can be attached to the electromagnetic wave shielding layer 3 with superior strength, and the occurrence of winding gussets in the laminated sheet 73 wound around the winding roller 48 can be accurately suppressed. .

また、第2の工程では、図11に示すように、巻出しローラ252から巻出される積層シート75の巻き方向と、巻取りローラ253に巻き取られる第2の離型シート72と絶縁層2との積層体の巻き方向とが逆の方向となっており、巻出しローラ251から巻出される積層シート73の巻き方向と、巻取りローラ253に巻き取られる保護層1と電磁波遮断層3との積層体の巻き方向とが逆の方向となっている。これにより、絶縁層2に対する電磁波遮断層3の貼付をより優れた強度で行うことができるとともに、巻取りローラ253に巻き取られる積層シート74に巻グセが生じるのを的確に抑制することができる。   In the second step, as shown in FIG. 11, the winding direction of the laminated sheet 75 unwound from the unwinding roller 252, the second release sheet 72 wound on the winding roller 253, and the insulating layer 2. The winding direction of the laminate is opposite to the winding direction of the laminated sheet 73 unwound from the unwinding roller 251, the protective layer 1 and the electromagnetic wave blocking layer 3 wound around the winding roller 253, The winding direction of the laminate is the opposite direction. As a result, the electromagnetic wave shielding layer 3 can be attached to the insulating layer 2 with superior strength, and the occurrence of winding puddles in the laminated sheet 74 wound around the winding roller 253 can be accurately suppressed. .

このような構成の本実施形態のフィルム製造装置100、200も、前記第1実施形態のフィルム製造装置100、200と同様にして電磁波シールド用フィルム10を製造することができ、前記第1実施形態のフィルム製造装置100、200を用いた電磁波シールド用フィルム10の製造方法と同様の効果が得られる。   The film manufacturing apparatuses 100 and 200 of the present embodiment having such a configuration can also manufacture the electromagnetic wave shielding film 10 in the same manner as the film manufacturing apparatuses 100 and 200 of the first embodiment, and the first embodiment. The effect similar to the manufacturing method of the film 10 for electromagnetic wave shields using the film manufacturing apparatuses 100 and 200 is obtained.

なお、第1〜第4実施形態では、図1に示したように、電磁波シールド用フィルム10が備える保護層1が1層で構成される場合について説明したが、かかる構成のものに限定されず、例えば、保護層1は、第1の層、第2の層がこの順で積層された2層の積層体であってもよいし、第1の層、第2の層、第3の層がこの順で積層された3層の積層体であってもよい。   In addition, in 1st-4th embodiment, as shown in FIG. 1, although the case where the protective layer 1 with which the film 10 for electromagnetic wave shielding was comprised was comprised by 1 layer, it is not limited to the thing of this structure. For example, the protective layer 1 may be a two-layer laminate in which the first layer and the second layer are laminated in this order, or the first layer, the second layer, and the third layer. May be a three-layer laminated body laminated in this order.

2層の積層体の構成とする場合、第1の層としては、前記第1〜第4実施形態で説明した、保護層1と同様の構成のものを用いることができる。   When it is set as the structure of a 2 layer laminated body, the thing of the structure similar to the protective layer 1 demonstrated in the said 1st-4th embodiment can be used as a 1st layer.

第2の層は、第1の層と電磁波遮断層3との間に位置して、電磁波シールド用フィルムの製造方法の第1の工程において、電磁波遮断層3に保護層(保護シート)1を貼付する際に、第1の層を電磁波遮断層3に粘着(貼付)させる粘着層として機能するものである。   The second layer is located between the first layer and the electromagnetic wave shielding layer 3, and in the first step of the method for producing the electromagnetic wave shielding film, the protective layer (protective sheet) 1 is applied to the electromagnetic wave shielding layer 3. When pasting, the first layer functions as an adhesive layer that adheres (sticks) to the electromagnetic wave shielding layer 3.

この第2の層は、特に限定されないが、例えば、エポキシ系接着剤、アクリル系接着剤、ポリイミド系接着剤およびシアネート系接着剤等の各種接着剤を用いて形成される。   Although this 2nd layer is not specifically limited, For example, it forms using various adhesive agents, such as an epoxy adhesive, an acrylic adhesive, a polyimide adhesive, and a cyanate adhesive.

第2の層の厚みT(C)は、特に限定されないが、1μm以上、10μm以下であることが好ましく、3μm以上、8μm以下であることがより好ましい。第2の層の厚みが前記下限値未満である場合、第2の層の構成材料の種類によっては、第2の層による粘着性が十分に発揮されないおそれがある。また、第2の層の厚みが前記上限値を超える場合、電磁波シールド用フィルム10を用いて被覆する基板5の設計によっては、基板5を電磁波シールド用フィルム10で被覆した積層体の軽量化・薄型化が実現されないおそれがある。   The thickness T (C) of the second layer is not particularly limited, but is preferably 1 μm or more and 10 μm or less, and more preferably 3 μm or more and 8 μm or less. When the thickness of the second layer is less than the lower limit, depending on the type of the constituent material of the second layer, there is a possibility that the adhesiveness due to the second layer is not sufficiently exhibited. When the thickness of the second layer exceeds the upper limit, depending on the design of the substrate 5 covered with the electromagnetic wave shielding film 10, the weight of the laminate in which the substrate 5 is covered with the electromagnetic wave shielding film 10 can be reduced. Thinning may not be realized.

さらに、3層の積層体の構成とする場合、第1の層および第3の層としては、前記第1〜第4実施形態で説明した、保護層1と同様の構成のものを用いることができる。   Furthermore, when it is set as the structure of a three-layer laminated body, it is to use the thing of the structure similar to the protective layer 1 demonstrated in the said 1st-4th embodiment as a 1st layer and a 3rd layer. it can.

第2の層は、電子部品の被覆方法の貼付工程において、保護層1を押し込み用の保護として用いて基板5上の凹凸6に対して絶縁層2および電磁波遮断層3を押し込む際に、第3の層を、凹凸6に対して押し込む(埋め込む)ためのクッション機能を有するものである。また、第2の層は、この押し込む力を、第3の層、さらには、この第3の層を介して絶縁層2および電磁波遮断層3に、均一に作用させる機能を有しており、これにより、電磁波遮断層3と凹凸6との間にボイドを発生させることなく、絶縁層2および電磁波遮断層3を凹凸6に対して優れた密閉性をもって押し込むことができる。   The second layer is formed when the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 are pushed into the unevenness 6 on the substrate 5 using the protective layer 1 as a push protection in the attaching step of the electronic component covering method. 3 has a cushion function for pushing (embedding) the layer 3 into the irregularities 6. Further, the second layer has a function of causing the pushing force to uniformly act on the third layer, and further on the insulating layer 2 and the electromagnetic wave shielding layer 3 via the third layer. Thereby, the insulating layer 2 and the electromagnetic wave blocking layer 3 can be pushed into the unevenness 6 with excellent sealing properties without generating a void between the electromagnetic wave blocking layer 3 and the unevenness 6.

この第2の層(クッション層)の構成材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロプレン等のαオレフィン系重合体、エチレン、プロピレン、ブテン、ペンテン、ヘキセン、メチルペンテン等を共重合体成分として有するαオレフィン系共重合体、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド等のエンジニアリングプラスチックス系樹脂が挙げられ、これらを単独あるいは複数併用してもよい。これらの中でも、αオレフィン系共重合体を用いることが好ましい。具体的には、エチレン等のαオレフィンと、(メタ)アクリル酸エステルとの共重合体、エチレンと酢酸ビニルとの共重合体、エチレンと(メタ)アクリル酸との共重合体(EMMA)、およびそれらの部分イオン架橋物等が挙げられる。αオレフィン系共重合体は、形状追従性に優れ、さらに、第3の層の構成材料と比較して柔軟性に優れることから、かかる構成材料で構成される第2の層に、第3の層を凹凸6に対して押し込む(埋め込む)ためのクッション機能を確実に付与することができる。   As a constituent material of this second layer (cushion layer), for example, an α-olefin polymer such as polyethylene or polypropylene, an α having an ethylene, propylene, butene, pentene, hexene, methylpentene or the like as a copolymer component. Engineering plastics resins such as olefin copolymers, polyethersulfone, polyphenylene sulfide and the like may be used, and these may be used alone or in combination. Among these, it is preferable to use an α-olefin copolymer. Specifically, a copolymer of α-olefin such as ethylene and (meth) acrylic acid ester, a copolymer of ethylene and vinyl acetate, a copolymer of ethylene and (meth) acrylic acid (EMMA), And a partial ion cross-linked product thereof. Since the α-olefin copolymer is excellent in shape followability and further excellent in flexibility as compared with the constituent material of the third layer, the third layer is formed in the second layer composed of the constituent material. A cushion function for pushing (embedding) the layer into the unevenness 6 can be surely imparted.

第2の層の厚みT(C)は、特に限定されないが、10μm以上、100μm以下であることが好ましく、20μm以上、80μm以下であることがより好ましく、さらに好ましくは30μm以上、60μm以下である。第2の層の厚みが前記下限値未満である場合、第2の層の形状追従性が不足し、熱圧着工程で凹凸6への追従性が不足するというおそれがある。また、第2の層の厚みが前記上限値を超える場合、熱圧着工程において、第2の層からの樹脂のシミ出しが多くなり、圧着装置の熱盤に付着し、作業性が低下するというおそれがある。   The thickness T (C) of the second layer is not particularly limited, but is preferably 10 μm or more and 100 μm or less, more preferably 20 μm or more and 80 μm or less, and further preferably 30 μm or more and 60 μm or less. . When the thickness of the second layer is less than the lower limit value, the shape followability of the second layer is insufficient, and the followability to the unevenness 6 may be insufficient in the thermocompression bonding step. In addition, when the thickness of the second layer exceeds the upper limit, in the thermocompression bonding process, the resin is more likely to be smeared out from the second layer, and adheres to the hot platen of the crimping apparatus, thereby reducing workability. There is a fear.

また、第2の層の25〜150℃における平均線膨張係数は、500以上[ppm/℃]であるのが好ましく、1000以上[ppm/℃]であるのがより好ましい。第2の層の平均線膨張係数をかかる範囲内に設定することにより、電磁波シールド用フィルム10の加熱時において、第2の層を、第3の層と比較してより優れた伸縮性を有するものと容易にすることができる。そのため、第2の層、さらには電磁波遮断層3および絶縁層2の凹凸6に対する形状追従性をより確実に向上させることができる。   The average linear expansion coefficient of the second layer at 25 to 150 ° C. is preferably 500 or more [ppm / ° C.], more preferably 1000 or more [ppm / ° C.]. By setting the average linear expansion coefficient of the second layer within such a range, the second layer has more excellent stretchability than the third layer when the electromagnetic wave shielding film 10 is heated. Can be made easy with stuff. Therefore, the shape followability of the second layer, and further the electromagnetic wave shielding layer 3 and the insulating layer 2 with respect to the irregularities 6 can be improved more reliably.

さらに、保護層1は、このような3層の積層体に限らず、第1の層、第2の層および第3の層のうち、第1の層または第3の層が省略された2層の積層体であってもよい。   Further, the protective layer 1 is not limited to such a three-layer laminate, and the first layer, the second layer, and the third layer of the first layer, the second layer, and the third layer are omitted. It may be a laminate of layers.

以上、本発明の電磁波シールド用フィルムの製造方法について説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。   As mentioned above, although the manufacturing method of the film for electromagnetic wave shields of this invention was demonstrated, this invention is not limited to these.

例えば、本発明の電磁波シールド用フィルムの製造方法には、1または2以上の任意の工程が追加されていてもよい。   For example, one or two or more arbitrary steps may be added to the method for producing an electromagnetic wave shielding film of the present invention.

また、前記実施形態では、第2の離型シートを積層シートから剥離して得られたものを電磁波シールド用フィルムとして、電子部品の被覆方法に用いることとしたが、これに限らず、保護層と電磁波遮断層と絶縁層と第2の離型シートとがこの順で積層された積層体、すなわち第2の離型シートの剥離が省略されたものを電磁波シールド用フィルムとして用いることもできる。   Moreover, in the said embodiment, although what was obtained by peeling a 2nd release sheet from a lamination sheet was used for the coating method of an electronic component as an electromagnetic wave shielding film, it is not restricted to this, A protective layer A laminate in which an electromagnetic wave shielding layer, an insulating layer, and a second release sheet are laminated in this order, that is, a film in which peeling of the second release sheet is omitted can also be used as an electromagnetic wave shielding film.

さらに、前記実施形態では、磁波シールド用フィルムの製造方法の第2の工程において、第2の離型シート72と絶縁層2と第3の離型シート76とが、この順で積層された積層シート75を用意し、この積層シート75から第3の離型シート76を剥離させて、絶縁層2を電磁波遮断層3に貼付することとしたが、積層シート75は、絶縁層2への第3の離型シート76の積層が省略されたものであってもよい。   Furthermore, in the said embodiment, in the 2nd process of the manufacturing method of the film for magnetic wave shields, the 2nd release sheet 72, the insulating layer 2, and the 3rd release sheet 76 were laminated | stacked in this order. The sheet 75 was prepared, the third release sheet 76 was peeled from the laminated sheet 75, and the insulating layer 2 was attached to the electromagnetic wave shielding layer 3. However, the laminated sheet 75 is not attached to the insulating layer 2. The lamination of the third release sheet 76 may be omitted.

1 保護層
2 絶縁層
3 電磁波遮断層
4 電子部品
5 基板
6 凹凸
65 凸部
66 凹部
10 電磁波シールド用フィルム
31 液状被膜
32 液滴
40 搬送手段
41 テンショナ
42 テンショナ
43 テンショナ
44 テンショナ
45 テンショナ
46 巻出しローラ
47 巻出しローラ
48 巻取りローラ
50 液状材料供給手段
51 ディスペンサー
60 乾燥手段
61 熱風供給部
62 ヒータ
71 第1の離型シート
72 第2の離型シート
73 積層シート
74 積層シート
75 積層シート
76 第3の離型シート
100 第1のフィルム製造装置
200 第2のフィルム製造装置
240 搬送手段
241 テンショナ
242 テンショナ
243 テンショナ
244 テンショナ
245 テンショナ
246 テンショナ
251 巻出しローラ
252 巻出しローラ
253 巻取りローラ
254 巻取りローラ
255 巻取りローラ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Protective layer 2 Insulating layer 3 Electromagnetic wave shielding layer 4 Electronic component 5 Substrate 6 Concavity and convexity 65 Convex part 66 Concave part 10 Electromagnetic wave shielding film 31 Liquid film 32 Droplet 40 Conveying means 41 Tensioner 42 Tensioner 43 Tensioner 44 Tensioner 45 Tensioner 46 Unwinding roller 47 Unwinding roller 48 Winding roller 50 Liquid material supply means 51 Dispenser 60 Drying means 61 Hot air supply section 62 Heater 71 First release sheet 72 Second release sheet 73 Laminated sheet 74 Laminated sheet 75 Laminated sheet 76 3rd Release sheet 100 First film manufacturing apparatus 200 Second film manufacturing apparatus 240 Conveying means 241 Tensioner 242 Tensioner 243 Tensioner 244 Tensioner 245 Tensioner 246 Tensioner 251 Unwinding roller 252 Winding roller 253 Winding roller 254 Winding roller 255 Winding roller

Claims (10)

保護シートと、該保護シートの一方の面側に積層された絶縁層および電磁波遮断層とを有する電磁波シールド用フィルムの製造方法であって、
シート状をなす第1の離型シートの上面に、液状をなす電磁波遮断層形成材料を供給した後、乾燥させることで、前記電磁波遮断層を形成し、その後、前記電磁波遮断層に前記保護シートを貼付することで第1の積層シートを得る第1の工程と、
シート状をなす第2の離型シートと絶縁層とが積層された第2の積層シートを用意し、前記第1の積層シートから前記第1の離型シートを剥離させ、その後、前記第2の離型シート上の前記絶縁層を、前記保護シート上の前記電磁波遮断層に貼付することで前記電磁波シールド用フィルムを得る第2の工程とを有することを特徴する電磁波シールド用フィルムの製造方法。
A method for producing an electromagnetic wave shielding film having a protective sheet, an insulating layer and an electromagnetic wave shielding layer laminated on one surface side of the protective sheet,
After supplying a liquid-form electromagnetic wave shielding layer forming material on the upper surface of the sheet-like first release sheet, the electromagnetic wave shielding layer is formed by drying, and then the protective sheet is formed on the electromagnetic wave shielding layer. A first step of obtaining a first laminated sheet by pasting
A second laminated sheet in which a sheet-like second release sheet and an insulating layer are laminated is prepared, the first release sheet is peeled from the first laminated sheet, and then the second And a second step of obtaining the electromagnetic wave shielding film by applying the insulating layer on the release sheet to the electromagnetic wave shielding layer on the protective sheet. .
前記第1の工程において、前記第1の離型シートは、予め巻回されており、前記電磁波遮断層形成材料の供給に先立って、巻出される請求項1に記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   2. The production of the electromagnetic shielding film according to claim 1, wherein in the first step, the first release sheet is wound in advance and is unwound prior to supply of the electromagnetic wave shielding layer forming material. Method. 前記第1の工程において、前記保護シートは、予め巻回されており、前記電磁波遮断層への貼付に先立って、巻出される請求項1または2に記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   3. The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to claim 1, wherein, in the first step, the protective sheet is wound in advance and is unwound before being attached to the electromagnetic wave shielding layer. 前記第1の工程において、得られた前記第1の積層シートは、巻回される請求項1ないし3のいずれか1項に記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   4. The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to claim 1, wherein in the first step, the obtained first laminated sheet is wound. 5. 前記第2の工程において、巻回された前記第1の積層シートは、前記絶縁層への貼付に先立って、巻出された後、前記第1の離型シートが剥離される請求項4に記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   The said 1st release sheet is peeled off after the said 1st lamination sheet wound in the said 2nd process is unwound before sticking to the said insulating layer. The manufacturing method of the film for electromagnetic wave shield of description. 前記第2の積層シートは、さらに、前記絶縁層上に積層された第3の離型シートを備え、前記第2の工程において、予め巻回されており、前記電磁波遮断層への貼付に先立って、巻出された後、前記第3の離型シートが剥離される請求項1ないし5のいずれか1項に記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   The second laminated sheet further includes a third release sheet laminated on the insulating layer, and is wound in advance in the second step, and prior to being attached to the electromagnetic wave shielding layer. The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 5, wherein after the unwinding, the third release sheet is peeled off. 前記第2の工程において、得られた前記電磁波シールド用フィルムは、巻回される請求項1ないし6のいずれか1項に記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   The said electromagnetic wave shielding film obtained in the said 2nd process is a manufacturing method of the film for electromagnetic wave shielding of any one of Claim 1 thru | or 6 wound. 前記第2の工程において、前記保護シートと前記電磁波遮断層との間の接合強度をA[N/mm]とし、前記第2の離型シートと前記絶縁層との間の接合強度をB[N/mm]としたとき、A>Bなる関係を満足するよう設定された前記電磁波シールド用フィルムを得る請求項1ないし7のいずれか1項に記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   In the second step, the bonding strength between the protective sheet and the electromagnetic wave shielding layer is A [N / mm], and the bonding strength between the second release sheet and the insulating layer is B [ The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 7, wherein the electromagnetic wave shielding film set so as to satisfy a relationship of A> B when N / mm] is obtained. 前記第1の離型シートは、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレンおよびポリエチレンのうちの少なくとも1種を主材料として含有する請求項1ないし8のいずれか1項に記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 8, wherein the first release sheet contains at least one of polyethylene terephthalate, polypropylene, and polyethylene as a main material. 前記第1の離型シートは、その平均厚さが20μm以上、50μm以下である請求項1ないし9のいずれか1項に記載の電磁波シールド用フィルムの製造方法。   The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to claim 1, wherein the first release sheet has an average thickness of 20 μm or more and 50 μm or less.
JP2014251983A 2014-12-12 2014-12-12 Method for manufacturing electromagnetic shielding film Expired - Fee Related JP6402612B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014251983A JP6402612B2 (en) 2014-12-12 2014-12-12 Method for manufacturing electromagnetic shielding film

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014251983A JP6402612B2 (en) 2014-12-12 2014-12-12 Method for manufacturing electromagnetic shielding film

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016115764A JP2016115764A (en) 2016-06-23
JP6402612B2 true JP6402612B2 (en) 2018-10-10

Family

ID=56142310

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014251983A Expired - Fee Related JP6402612B2 (en) 2014-12-12 2014-12-12 Method for manufacturing electromagnetic shielding film

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6402612B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7038430B2 (en) * 2020-07-08 2022-03-18 株式会社東京セロレーベル Release film

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100874302B1 (en) * 2005-02-18 2008-12-18 도요 잉키 세이조 가부시끼가이샤 Electromagnetic shielding adhesive film, manufacturing method thereof and electromagnetic shielding method of adherend
JP2008249882A (en) * 2007-03-29 2008-10-16 Dainippon Printing Co Ltd Method of manufacturing composite filter for display
JP2009290195A (en) * 2008-04-30 2009-12-10 Toyo Ink Mfg Co Ltd Curable electromagnetic shielding adhesive film, and method for manufacturing the same
JP5742112B2 (en) * 2010-01-18 2015-07-01 東洋インキScホールディングス株式会社 Curable electromagnetic wave shielding adhesive film and method for producing the same
JP5426002B1 (en) * 2012-11-20 2014-02-26 清二 加川 Method for producing electromagnetic wave absorbing film
JP5736026B2 (en) * 2013-11-13 2015-06-17 タツタ電線株式会社 Conductive adhesive sheet, wiring board including the same, and method for producing conductive adhesive sheet

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016115764A (en) 2016-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6263846B2 (en) Electromagnetic wave shielding film and method for coating electronic component
KR101290324B1 (en) Conductive laminate and touch panel using same
JP7173186B2 (en) Shielding tape manufacturing method and shielding tape
KR20130119860A (en) Surface-protective adhesive film for transparent conductive film, and transparent conductive film using the same
JP6145231B2 (en) Adhesive tape
TW201105765A (en) Adhesive material having removability
CN111554195B (en) Flexible display module, preparation method thereof and electronic equipment
JP6401680B2 (en) Method for producing gas barrier film and method for transferring gas barrier film
JP6402612B2 (en) Method for manufacturing electromagnetic shielding film
JP2017228598A (en) Electromagnetic wave shield film, and electronic component-mounted substrate
JP6402584B2 (en) Method for manufacturing electromagnetic shielding film
JP2018170393A (en) Electromagnetic wave shielding film, and electronic component-mounted substrate
JP2015159214A (en) Electromagnetic wave shield film, and flexible printed board
KR101718855B1 (en) Method of composite sheet for shielding electromagnetic wave and dissipating heat
JP5608052B2 (en) Adhesive film application method
JP2017045946A (en) Electromagnetic wave shield film, and electronic component mounting substrate
JP2017017167A (en) Electromagnetic wave shielding film, and electronic component mounting board
JP2020172019A (en) Separator, composite separator, double-faced adhesive tape with separator, polishing pad with adhesive and back pad with adhesive as well as peeling method for composite separator
JP2011210924A (en) Manufacturing method by sticking of optical filter for display
JP2017135346A (en) Electromagnetic wave shielding film, and electronic component mounting board
JP2017063158A (en) Film for electromagnetic wave shielding, and electronic component mounting board
KR101803885B1 (en) Non-substrate type ultra thin transparent electrode and method for manufacturing the same
WO2023054316A1 (en) Method for producing connection film
JP2019046947A (en) Method for manufacturing film for electromagnetic wave shield
JP2009280796A (en) Pressure sensitive adhesive sheet and method of producing the same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20171109

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180724

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180814

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180827

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6402612

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees