JP6374735B2 - 真空処理装置およびドライ洗浄方法 - Google Patents
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Description
まず、本実施の形態による真空処理装置およびドライ洗浄方法が明確となると思われるため、本発明者らが検討を行った従来のドライ洗浄の課題について説明する。
101 真空側ブロック
102 大気側ブロック
103a、103b エッチング処理ユニット(処理室)
104 吸着処理装置
105 真空側搬送容器(真空搬送室)
106a ロードロック室
106b アンロードロック室
107 大気側搬送容器
108 カセット載置台
109a,109b カセット
110 脱離処理装置
111 ガス供給装置
205 ウエハ載置用電極
206 処理室
207 ラジカル供給源
208 分散板
209 ウエハ
210 加熱ユニット
212 搬送ワンド(搬送装置)
301 開口部
302 赤外線ランプ
402 赤外線透過窓
403 ガスだまり
404 ガス案内板(ガス供給方向制御板)
Claims (11)
- 処理室と、
真空雰囲気にて被処理体を搬送するための搬送室であり前記処理室に接続された真空搬送室と、
前記被処理体にラジカルを吸着させる吸着処理装置と、
前記被処理体にガスを供給し前記真空搬送室に接続されたガス供給装置と、
前記ラジカルの吸着によって形成された表面層を脱離させ前記吸着処理装置と前記ガス供給装置との間に配置された脱離処理装置と、
を備え、
前記真空搬送室は、前記吸着処理装置から前記真空搬送室への第1方向に前記ラジカルが吸着した前記被処理体を搬送する搬送装置を具備することを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置において、
前記ラジカルが吸着した前記被処理体を搬送する速度および前記ガス供給装置から供給されるガスの流量は、前記被処理体に付着する異物の大きさまたは汚染物質の種類に基づいて求められることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置において、
前記脱離処理装置は、前記ラジカルが吸着した前記被処理体を加熱するランプを具備し、
前記ランプの第2方向の寸法は、前記ランプの前記第1方向の寸法よりも大きく、
前記第2方向は、前記被処理体を含む平面上にて前記第1方向と直交する方向であることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項3に記載の真空処理装置において、
前記ランプの前記第2方向の寸法は、前記被処理体の前記第2方向の寸法よりも大きいことを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置において、
前記ガス供給装置は、前記ガスの噴き出し口である開口部と前記ガスを前記被処理体へ供給するためのガスだまりを具備し、
前記開口部の第2方向の寸法は、前記開口部の前記第1方向の寸法よりも大きく、
前記第2方向は、前記被処理体を含む平面上にて前記第1方向と直交する方向であることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項5に記載の真空処理装置において、
前記開口部の前記第2方向の寸法は、前記被処理体の前記第2方向の寸法よりも大きいことを特徴とする真空処理装置。 - 請求項5に記載の真空処理装置において、
前記第1方向と反対方向に前記ガスを供給するための制御板が前記開口部に配置されていることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項5に記載の真空処理装置において、
前記ガスは、窒素ガス、酸素ガスまたは希ガスであることを特徴とする真空処理装置。 - 被処理体に付着した異物または汚染物質を除去するドライ洗浄方法において、
前記被処理体にラジカルを吸着させる工程と、
前記ラジカルが吸着した前記被処理体を第1方向に搬送しながら、前記ラジカルの吸着によって形成された表面層を脱離させるとともに前記被処理体へガスを供給する工程とを有し、
前記ガスは、前記第1方向と反対方向に供給されることを特徴とするドライ洗浄方法。 - 請求項9に記載のドライ洗浄方法において、
前記ガスの流量および前記ラジカルが吸着した前記被処理体を搬送する速度は、前記被処理体に付着する異物の大きさまたは汚染物質の種類に基づいて求められることを特徴とするドライ洗浄方法。 - 請求項9に記載のドライ洗浄方法において、
ランプの光を照射することにより前記表面層を脱離させ、
前記ランプの第2方向の寸法は、前記ランプの前記第1方向の寸法よりも大きく、
前記第2方向は、前記被処理体を含む平面上にて前記第1方向と直交する方向であることを特徴とするドライ洗浄方法。
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JP2014186742A JP6374735B2 (ja) | 2014-09-12 | 2014-09-12 | 真空処理装置およびドライ洗浄方法 |
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JP3954833B2 (ja) * | 2001-10-19 | 2007-08-08 | 株式会社アルバック | バッチ式真空処理装置 |
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