JP6367887B2 - 研磨物品及びその製造方法 - Google Patents
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Description
試料400mlを約50L相当の放熱量(100mW/Kg・K以下)のジュワー瓶に入れ、ガラス製の蓋をして3本のばねで止める。温度をガラス保護管に通した熱電対でレコーダーに記録する。ジュワー瓶を任意の温度に設定された高温槽(空気浴)にいれ、液温が一週間以内に6℃以上発熱するか分解に至る最低温度を求める。
本実施形態において、原料成分には、上記以外の成分が含まれていてもよく、例えば原料成分は、2つ以上の活性水素官能基を有し且つエチレン性不飽和結合を有しない第二多官能化合物(以下、「(a’)成分」と称する。)を更に含んでいてもよい。
原料成分として、下記表1に示す成分を準備した。表1に示す原料成分のうち、(b)成分及び(f)成分以外を混合し、プレミックス液を調製した。このプレミックス液と(b)成分と(f)成分とをミキサーで混合して、混合物を円筒形の反応容器(外径320mm、内径137mm、高さ320mm、内容積21019cm3)に20kg/分の速度で63.1秒流し込んだ。発泡による漏出が無いよう反応容器に蓋をして、25分間静置した。反応容器から発泡体を取り出し、オーブンに入れて120℃、390分の条件で加熱して、円筒状発泡体を得た。
円盤状のサンプルを2228rpmの回転数で回転させ、幅40mm、厚さ1.5mmのテストブレードをサンプルの外周に押し当てて研磨した。テストブレードにかける荷重は8LBS(3630gr)とし、研磨時間は60秒とした。研磨後、サンプルの重量及びテストブレードの重量を測定して、下記式により、研磨量及び磨耗量を測定した。
研磨量=(テストブレードの初期重量(g))−(研磨後のテストブレードの重量(g))
磨耗量=(サンプルの初期重量(g))−(研磨後のサンプルの重量(g))
サンプルの重量を測定して、下記式により密度を求めた。
密度(g/cm3)=サンプルの重量(g)/サンプルの容積(cm3)
原料成分を表1に示すとおりに変更したこと以外は、実施例1と同様にして円盤状のサンプルを複数枚製造し、得られたサンプルのうち6枚について実施例1と同様にして研磨量、磨耗量、密度の測定を行った。測定結果は、表3に示すとおりであった。
原料成分を表1に示すとおりに変更したこと以外は、実施例1と同様にして円盤状のサンプルを複数枚製造した。得られたサンプルのうち9枚について、上記の方法で研磨量、磨耗量、密度の測定を行った。測定結果は、表4に示すとおりであった。
原料成分を表1に示すとおりに変更したところ、原料成分を混合した直後に発泡が生じて均一な発泡体を成形することができなかった。
(a)成分
・Poly−bd−R45:ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、出光興産株式会社製
(a’)成分
・PTMG2000:ポリテトラメチレンエーテルグリコール、三菱化学株式会社製
・1,4−butandiol:1,4−ブタンジオール、三菱化学株式会社製
・Ethacure100:ジエチルトルエンジアミン、アルベマール日本株式会社製
(b)成分
・Cosmonate LL:製品名「コスモネート LL」、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、三井化学ポリウレタン株式会社製
(c)成分
・Perhexa C:1,1−ジ(t−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、自己促進分解温度60℃、日本油脂株式会社製
・Percure O:t−ブチル−パーオキシ−2−エチルヘキサノエート、自己促進分解温度40℃、日本油脂株式会社製
(d)成分
・Dabco BA 100:反応阻害剤、カルボキシル基含有ポリエステル樹脂(ポリメリック酸)、Air Products社製
(f)成分
・Alodure BFRPL P120:酸化アルミニウム粒子、平均粒径125μm、Treibacher Schleifmittel社製
・Alodure BFRPL P80:酸化アルミニウム粒子、平均粒径200μm、Treibacher Schleifmittel社製
・デンシック C ♯1000:炭化ケイ素粒子、平均粒径12μm、昭和電工株式会社製
(その他)
・Dabco DC−1:ウレタン化触媒、Air Products社製
・Dabco DC−2:ウレタン化触媒、Air Products社製
・L−655:商品名「NIAX SILICONE L−655」、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製
・KR−55:商品名「プレンアクト KR 55」、有機チタン化合物、味の素ファインテクノ株式会社製
・PL−200:ジアルキルフタレート、シージーエスター株式会社製
Claims (7)
- エチレン性不飽和結合及び2つ以上の活性水素官能基を有する多官能化合物に由来する構造と、2つ以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネートに由来する構造と、活性水素官能基とイソシアネート基との反応を阻害するウレタン化反応阻害剤に由来する構造と、研磨粒子と、を含む発泡体を備える、研磨物品。
- 前記発泡体が、2つ以上の活性水素官能基を有し且つエチレン性不飽和結合を有しない第二多官能化合物に由来する構造を更に含む、請求項1に記載の研磨物品。
- 前記第二多官能化合物の重量平均分子量が、400未満である、請求項2に記載の研磨物品。
- 前記ウレタン化反応阻害剤が、酸を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記ウレタン化反応阻害剤が、カルボキシル基を有するポリエステル樹脂を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記ウレタン化反応阻害剤が、2個以上のカルボキシル基を有するポリメリック酸である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記発泡体の密度が、0.5〜2.5g/cm3である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の研磨物品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016207297A JP6367887B2 (ja) | 2016-10-21 | 2016-10-21 | 研磨物品及びその製造方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011229796A Division JP6066549B2 (ja) | 2011-10-19 | 2011-10-19 | 研磨物品及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017024171A JP2017024171A (ja) | 2017-02-02 |
JP6367887B2 true JP6367887B2 (ja) | 2018-08-01 |
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ID=57945696
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016207297A Expired - Fee Related JP6367887B2 (ja) | 2016-10-21 | 2016-10-21 | 研磨物品及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6367887B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8516825D0 (en) * | 1985-07-03 | 1985-08-07 | Dow Chemical Iberica Sa | Preparation of cross-linked polyethylene foams |
US4933373A (en) * | 1989-04-06 | 1990-06-12 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive wheels |
JPH11322878A (ja) * | 1998-05-13 | 1999-11-26 | Dainippon Ink & Chem Inc | 泡含有ポリウレタン成形物の製造方法、泡含有成形物用ウレタン樹脂組成物及びそれを用いた研磨パッド |
US6387972B1 (en) * | 2001-02-15 | 2002-05-14 | Crompton Corporation | Process to enhance polyurethane foam performance |
CN101501112B (zh) * | 2006-07-28 | 2011-12-14 | 东丽株式会社 | 互穿聚合物网络结构体及研磨垫以及它们的制造方法 |
JP5511315B2 (ja) * | 2009-10-30 | 2014-06-04 | 株式会社リコー | 静電荷像現像用トナー、その製造方法、現像剤、画像形成方法及び画像形成装置 |
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2016
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017024171A (ja) | 2017-02-02 |
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