JP6355232B2 - X線検査装置 - Google Patents

X線検査装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6355232B2
JP6355232B2 JP2014035350A JP2014035350A JP6355232B2 JP 6355232 B2 JP6355232 B2 JP 6355232B2 JP 2014035350 A JP2014035350 A JP 2014035350A JP 2014035350 A JP2014035350 A JP 2014035350A JP 6355232 B2 JP6355232 B2 JP 6355232B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
content
inspection
ray
region
transmission image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014035350A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2015161522A (ja
Inventor
一幸 杉本
一幸 杉本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ishida Co Ltd
Original Assignee
Ishida Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ishida Co Ltd filed Critical Ishida Co Ltd
Priority to JP2014035350A priority Critical patent/JP6355232B2/ja
Publication of JP2015161522A publication Critical patent/JP2015161522A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6355232B2 publication Critical patent/JP6355232B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

本発明は、複数種類の内容物が容器内に収納された物品に対しX線を照射し、得られたX線透過画像に基づいて複数種類の内容物の欠品検査を行うX線検査装置に関する。
X線検査装置は、容器内に収納された物品への異物混入検査や物品の割れ欠け検査に広く使用されている。また、容器内に収納された物品の個数検査が行われることもある。例えば、下記特許文献1では、クッキー等が容器内に整列収納されたものを検査対象とし、その欠品検査を行うときには、あらかじめ設定された濃淡範囲内の画素数を積算し、その積算結果から欠品検査を行うようにしている。
また、下記特許文献2では、検査対象物品の周囲を構成する画素の積算値を求め、その積算値から周囲長の合計を得て割れ欠け検査をするようにしている。
特開2002−310944号公報 特開2002−310946号公報
ところが、物品が複数種類の内容物から構成される場合には、ひとつの検査基準では、複数種類の内容物の検査ができない。そのため、上記特許文献に記載されたX線検査装置では、このような複数種類の内容物からなる物品に対しては、欠品検査や割れ欠け検査ができないという問題があった。
本発明は、検査対象物品が複数種類の内容物からなる場合であっても、内容物毎に検査することのできる新たなX線検査装置を提供することを課題とする。
本発明に係るX線検査装置は、複数種類の内容物を収納する物品にX線を照射して得られるX線透過画像に基づいて前記物品の検査を行うX線検査装置であって、前記X線透過画像上の各内容物の位置から各内容物を特定し、特定した各内容物の特徴に対応する検査基準でもって各内容物を検査する処理手段を備えたことを特徴とする。
ここで、各内容物の特徴とは、例えば、X線透過画像に写し出された各内容物の画素数(面積)とかその周囲長、或いは、各内容物の濃淡ピーク(その画像の中で最も多く検出される明るさ)や濃淡偏差(その画像の明るさのばらつき具合)等である。また、容器内での各内容物の収納位置が種類別に決まっていれば、各内容物の相対位置も特徴となる。こうした特徴量に良品としての許容範囲を加味したものを検査基準とし、その検査基準とX線透過画像から抽出した各内容物の特徴量とを比較することにより、各内容物の欠品検査や割れ欠け検査を行うのである。
また、前記処理手段は、X線透過画像上の各内容物の位置から各内容物を特定し、特定した内容物に対応する検査基準でもって各内容物の検査を行うことを特徴とする。
この場合において、各内容物に対応する画像の重心を求め、各重心の相対位置から各内容物を特定するように構成すると、収納容器の輪郭を基準として各内容物の位置を特定する必要がないから、容器がX線透過画像としては写らない場合や、X線透過画像上において容器の位置が一定しない場合等に有用となる。
また、X線透過画像を表示する表示部を備え、設定モードにおいて、表示されたX線透過画像上の何れかの内容物を指定すれば、指定された内容物の特徴が表示され、その特徴に基づいて、指定した内容物の検査基準が設定されることを特徴とする。
これにより、オペレーターが各内容物の検査基準を確認したり、調整したりすることができるから、各内容物の検査精度を適切に維持することができる。
本発明によれば、検査対象物品が複数種類の内容物からなる場合であっても、種類別に各内容物を検査することのできる新たなX線検査装置を提供することができる。
本発明に係るX線検査装置の一実施形態の概略構成図。 上記X線検査装置の一実施形態の構成ブロック図。 上記X線検査装置で撮像したX線透過画像の一例を示す図。 図3のX線透過画像を二値化した画像。 図4の二値化画像から各領域の重心を求めた図。 図5の二値化画像から基準領域を求める説明図。 図6の基準領域から各領域の相対位置を求める図。 容器が写り込んだ二値化画像から基準領域を求める説明図。 各内容物の検査基準を表示して設定する操作画面の一例。 上記実施形態の動作の一例を示すフローチャート。 図10のステップS1の処理内容を示すフローチャート。
以下、本発明に係るX線検査装置の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、X線検査装置の一実施形態の概略構成図を示す。この図において、X線検査装置1の入口側には、搬入コンベア10が接続され、出口側には、搬出コンベア20が接続されている。そして、上流から搬送されてきた物品Bは、搬入コンベア10を介してX線検査装置1に搬入され、そこで物品Bの収納個数の検査や、異物混入検査、欠品検査、割れ欠け検査等が行われて、搬出コンベア20へ送り出される。送り出された物品Bは、下流の振分装置30(図2参照)を介して梱包ラインへ搬送される。また、X線検査装置1の検査結果は、振分装置30に送信されて、不良品は、ライン外へ、正常品は、そのまま梱包ラインへと搬送される。
X線検査装置1は、X線を遮蔽するシールドボックス2と、シールボックス2の出入口間に架け渡された搬送コンベア3と、搬送される物品BにX線を照射するX線照射手段4と、照射されたX線を検出するラインセンサ5と、操作画面を操作して運転条件や検査基準の設定、さらには、検査に必要な種々の設定項目を入力するタッチパネル6と、これらを制御する後述の制御手段7と、シールドボックス2を含む装置全体を支持する支持脚8とを備えている。
搬送コンベア3は、シールドボックス2の入口と出口との間に架け渡されたベルトコンベアで構成され、設定速度でもって物品Bを搬送するように構成されている。また、その入口と出口には、X線の漏洩を防止する図示しない遮蔽暖簾が設けられている。
X線照射手段4は、シールドボックス2内に格納された図示しないX線管と、X線管から照射されるX線を物品Bの搬送方向Fと直行する方向に扇状に広げる図示しないコリメータとで構成されている。そして、ラインセンサ5に向けて照射されたX線は、物品Bと搬送コンベア3のベルトとを透過してラインセンサ5に入力される。
ラインセンサ5は、物品Bの搬送方向Fと直行する方向に直線状に配列された複数のフォトダイオードと、その上に重ねられた複数のシンチレータとで構成され、物品Bを透過したX線は、各シンチレータで光に変換され、その光が各フォトダイオードで電気信号に変換されて、X線透過信号として出力される。こうして出力されたX線透過信号は、図示しないA/D変換器でデジタル量に変換されて、後述の制御手段7に順次入力される。
タッチパネル6は、フルドット表示の液晶ディスプレイで構成され、そこに表示される操作画面を操作することにより、X線検査装置1の起動・停止、必要な運転条件や検査基準の設定、推定質量を最適化するための操作等ができるようになっている。また、運転開始前の初期画面では、搬送コンベア3の速度やX線照射手段4のX線強度等が設定可能であり、運転開始後の画面では、例えば、X線透過画像を処理するときの検出感度や、質量推定機能を働かせるためのX線出力や暗部強調の設定、さらには、検査対象物品の濃淡レベルと推定質量との対応関係を最適化させるための操作や、物品1個の実質量とその平面サイズとが設定できるようになっている。
図2は、X線検査装置1の構成ブロック図を示す。この図において、制御手段7は、コンピューターで構成され、搬送コンベア3、X線照射手段4、ラインセンサ5、タッチパネル6と接続されてこれらを制御するとともに、振分装置30とも接続されて、その検査結果を振分装置30に送信するようになっている。
制御手段7は、CPU11と、ROM12とRAM13を搭載し、また、大容量のCFカード(フラッシュメモリ型メモリーカード)14と記憶メディア挿入用のドライブ15を備えている。そして、それらは、アドレスバスやデータバスを介して相互に接続されている。
ROM12には、異物混入検査、欠品検査、割れ欠け検査等の標準的な検査プログラムが格納され、CF14には、複数種類の内容物毎に異なった基準にて検査する各種プログラムが格納されている。また、このCF14には、内容物毎の位置情報や特徴量も記憶されている。
図2の領域特定部11aと処理手段11bは、CPU11が各種プログラムを実行することによって実現される機能を示している。CPU11は、ROM12やCF14から各種プログラムを読み出して、異物混入検査、欠品検査、割れ欠け検査等を実行するが、それらの検査は従来と変わらないので、ここでは、領域特定部11aと処理手段11bが行う処理について詳述する。
CPU11は、CF14から画像処理プログラムを読み出して実行することにより、ラインセンサ5から出力されたX線透過信号をRAM13上に展開して、二次元のX線透過画像を形成する。次に、そのX線透過画像にマスク処理を施して、図3のような収納容器を消去したX線透過画像を形成する。続いて、そのX線透過画像を所定の閾値で二値化して、図4のような二値化された画像を形成する。
領域特定部11aは、この二値化された画像にラベリング処理を施して、図4に示すような内容物が写り込んだ領域R1〜R5を特定し、続いて、各領域R1〜R5から、それぞれの領域の特徴を抽出する。その特徴としては、例えば、各領域R1〜R5が占める画素数やその周囲長、各領域R1〜R5の濃淡ピークや濃淡偏差等がある。これらの特徴が異なっていれば、種類が異なり、同一であれば、同じ種類であると看做すことができる。したがって、処理手段11bは、領域R1〜R5毎に、それぞれの内容物に対応する検査基準と検査プログラムをRAM13やCF14から読み出して、欠品検査や割れ欠け検査を実行する。
なお、各領域R1〜R5の周囲長を求める場合は、各領域R1〜R5とその背景との境界の画素数を、左右に繋がっている画素は1を、斜めに繋がっている画素は1.4142をそれぞれ加算して求める。
各領域から抽出される特徴は、前述の画素数や周囲長等に限定されない。例えば、容器内の各内容物の収納位置が種類別に固定化されていれば、各内容物の相対位置を特徴として抽出することもできる。その場合には、各領域R1〜R5の中から基準となる領域を一つ選択し、その基準領域の重心と他の領域の重心との相対位置から各領域の内容物を特定する。この手法による場合は、各領域の相対位置は一定しているが、容器がX線透過画像に写らない場合とか、容器の位置がX線透過画像上で一定しない場合等に有用となる。
ここで、各領域R1〜R5の相対位置を求める手法を説明しておく。まず、図5に示すように、個々の領域R1〜R5の重心C1〜C5を求め、それらの重心から基準となる領域の重心を一つ選択する。例えば、図6のX線透過画像の左上B1から適度な大きさの正方形S1の範囲に領域R1の重心C1が入っているか否かを確認し、入っていなければ、その正方形の範囲を広げた次の正方形S2の範囲に重心C1が入っているか否かを確認する。こうした処理を繰り返して、重心C1が正方形の範囲に最初に入った領域を基準領域の重心として選択する。
この手法を使うときは、領域特定部11aは、例えば、図6の隅B1を原点とし、領域R1の重心座標が(X1、Y1)で、値がY1>X1とすると、領域R1については、数値の大きいY1をその領域R1の代表値とする。また、領域R2の重心座標が(X2、Y2)で、値がX2>Y2とすると、数値の大きいX2をその領域R2の代表値とする。こうして各重心C1〜C5の代表値を求め、求めた各代表値の中から値の最も小さい代表値の領域を基準領域として選択する。このようにすれば、前述の正方形の範囲に領域の重心が最初に入った領域を基準とする図6の手法と等価となる。
次に、領域特定部11aは、個々の領域R1〜R5の相対位置を図7で示すようにして求める。例えば、図7の領域R1の重心C1から領域R2の相対位置を求める場合は、
領域R2の横方向位置=領域R2の重心C2の横方向位置(X2)−基準領域R1の重 心C1の横方向位置(X1)
領域R2の縦方向位置=領域R2の重心C2の縦方向位置(Y2)−基準領域R1の縦 方向位置(Y1)
として求める。
この手法では、領域R1の重心C1を基準にして他の領域R2〜R5の相対位置を求めたが、容器や収納箱がX線透過画像に写し出される場合は、それらの一辺を基準とすることもできる。例えば、図8は、箱の一辺を基準位置とした場合の例である。箱の左上の位置L1を基準位置(原点)とし、領域R1の重心C1を原点からの相対位置(Q1、Q2)とする。
こうして、各領域R1〜R5の画素数や周囲長、濃淡ピークや濃淡偏差等の特徴が抽出され、さらに、各領域R1〜R5の相対位置が特定されれば、領域特定部11aは、各領域R1〜R5の特徴(画素数、周囲長、濃淡ピーク、濃淡偏差等)と各領域R1〜R5の相対位置とを関連付けてCF14に記憶する。これにより、各内容物の収納位置が決まっている場合は、各領域R1〜R5の相対位置を特定するだけで、各領域R1〜R5の特徴をCF14から読み出すことができるが、そうでない場合は、X線透過画像から抽出した各領域の特徴から各内容物を特定することになる。
処理手段11bは、各内容物に対応する検査基準でもって各内容物を検査するが、その際に使用する検査基準は、良品を試験的に流してX線透過画像を取得し、そこから抽出された各領域R1〜R5の特徴量(例えば、画素数、周囲長、濃淡ピーク、濃淡偏差等)に所定の上下限値、例えば、±5%を加えた範囲を、良品と判定するための検査基準としている。また、同じ種類の良品であっても、抽出した特徴量がバラつく場合は、複数の良品を流し、それぞれのX線透過画像から抽出された特徴量の上限値と下限値でもって良品と判定するための許容範囲としても良い。
また、抽出された特徴量をタッチパネル6の表示欄T1〜T4に表示し、その特徴量を手動で調整するようにしても良い。例えば、図9に示すように、タッチパネル6の左側表示画面にX線透過画像を、その右側に特徴量を表示する表示欄T1〜T4を設ける。そして、オペレーターが領域R1をタッチすると、その領域R1の特徴量の上下限値が各表示欄T1〜T4に表示されるようにする。そして、表示欄T1を指定して、図示しないアップキーやダウンキー、あるいは、テンキー等を操作すれば、画素数の上下限値を調整することができる。同様にして、周囲長や濃淡ピーク、さらには、濃淡偏差等の許容範囲も調整することができる。また、必要に応じて、各領域の領域分離回数も表示させて設定することができる。こうして、各領域R1〜R5の特徴量の許容範囲を設定した後、図示しない確定キーを操作すれば、それぞれの許容範囲が良品としての検査基準となる。
こうして得られた各領域の特徴量が、各領域の内容物を検査するための検査基準として登録されると、CPU11は、検査プログラムを実行して処理手段11bを機能させる。この処理手段11bは、領域特定部11aによって抽出された各領域の特徴や相対位置から、各領域の内容物に応じた検査基準でもって検査を実行する。そして、あるべき相対位置に内容物がなければ、欠品として処理し、各内容物が揃っていれば、各内容物について割れ欠け検査を実行する。また、各重心C1〜C5間の距離を求め、位置ズレの大きいものを不良品として処理する場合もある。
次に、この実施形態の動作を図10と図11のフローチャートに基づいて説明する。
検査対象物品を検査するためには、初期設定として、まず、良品Bを流してそのX線透過画像を取得し、そこから抽出される各内容物の特徴量を、各内容物を検査するための検査基準として設定しておく必要がある。
そこで、運転に際しては、まず、装置1を設定モードにして、図10のステップS1の抽出処理を実行する。図11は、その抽出処理の詳細を示す。この図11において、X線検査装置1を起動すると、各コンベヤ3、10、20が駆動され、続いて、コンベア10に良品Bを流すと、ラインセンサ5の出力が制御手段7に順次取り込まれて、RAM13上で二次元のX線透過画像が形成され、それが同時にタッチパネル6に表示される。そして、そのX線透過画像の濃淡レベルが大きく変化すると、その時点より少し前の時点からのX線透過画像がワーキングエリアに取り込まれ、濃淡レベルが変化しなくなると、良品Bがラインセンサ5を通過したと判断して、その時点までのX線透過画像が処理対象として特定される。続いて、処理対象とされたX線透過画像にマスク処理が施され、袋等の容器が写り込んだ部分がX線透過画像から消去される(ステップ10)。
次に、領域特定部11aが働いて、X線透過画像を二値化した後、それにラベリング処理を施して、図4に示すような、内容物が写り込んだ領域R1〜R5を特定する(ステップS11、S12)。次に、各領域R1〜R5の画素数や周囲長、濃淡ピークや濃淡偏差等の特徴量を抽出する(ステップS13)。続いて、領域R1の重心C1を求め、各領域R2〜R5の重心C2〜C5を、領域R1の重心C1に基づいて相対位置に変換する(ステップS14)。そして、個々の領域R1〜R5の相対位置と、各領域R1〜R5の特徴量とを関連付けて記憶する。(ステップS15)。これにより、各領域R1〜R5の特徴量の抽出処理が終了する。
ここで、物品Bの搬送コンベヤ3上での向きとそれを撮像するタイミングは、毎回、異なってくるから、各領域R1〜R5の内容物の位置を、図6の左上のB1を基準にした絶対位置で表すと、各領域R1〜R5の位置が特定できなくなる。そこで、前述のような相対位置に変換している。
こうして、X線透過画像上の各領域R1〜R5の相対位置と特徴量とを抽出した後、タッチパネル6に表示される確定ボタンを押すと、抽出された相対位置と特徴量とが検査基準として設定登録される。(ステップS2)。ただし、ここでの検査基準は、抽出された特徴量に所定の上下限値を加えた許容範囲である。また、以上では、一つの良品Bから特徴量を抽出したが、複数の良品Bから、幅のある特徴量を求め、その上下限値で特徴量の許容範囲を自動設定しても良い。また、それらの許容範囲をタッチパネルから手動で入力したり、調整したりしても良い。
こうして、良品Bの各内容物の相対位置と特徴量が検査基準として設定されると、通常モードに切替えて、X線検査装置1の運転を開始する。運転を開始して、検査対象物品Bを順次送り込むと、領域特定部11aが働いて、前述のステップS1の処理が実行され、各領域R1〜R5の相対位置と特徴量とが抽出される。
次に、処理手段11bが作動して、各領域R1〜R5から抽出された相対位置と特徴量とが、設定登録された相対位置と特徴量の許容範囲内に入っているか否かがチェックされる。そして、決められた位置に内容物がなければ、欠品と判定し、内容物があり、かつ、その特徴量が許容範囲内に入っていれば、それを良品として判定する(ステップ3)
こうして求められた検査結果は、タッチパネル6に表示されるとともに、毎回の検査結果は、CF14に記録される。
こうした一連のステップが、物品が搬入される度に繰り返さてれ、運転停止キーが操作されると、以上の処理を終了する(ステップS4)。
本発明は、例えば、複数種類のお菓子の詰め合せとか、弁当、或いは、材質の異なる複数の玩具などが収納された製品などの良・不良の検査に使用することができる。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、これらに限定されるものではなく、その他の実施形態も採用可能である。例えば、同一種類の内容物については、共通の検査基準を設定し、それに基づいて同一種類の内容物をまとめて検査するようにしても良い。 また、二値化するときの「しきい値」も内容物毎に設定することができる。また、良品かどうかを判別するための検査基準としては、前述の他に、各内容物の推定重量も設定することができる。さらに、検査内容としては、欠品検査や割れ欠け検査だけでなく、異物混入検査も併せて行うことができる。
1 X線検査装置
4 X線照射手段
5 ラインセンサ
6 タッチパネル
7 制御手段
11a 領域特定部
11b 処理手段
B 物品

Claims (3)

  1. 複数種類の内容物を収納する物品にX線を照射して得られるX線透過画像に基づいて前記物品の検査を行うX線検査装置であって
    前記X線透過画像上の各内容物の位置から各内容物を特定し、特定した各内容物の特徴に対応する検査基準でもって各内容物を検査する処理手段を備えたことを特徴とするX線検査装置。
  2. 前記特徴が前記X線透過画像上の各内容物の画素数やその周囲長であり、前記検査基準が良品のX線透過画像から抽出された各内容物の画素数や周囲長の良品としての許容範囲である請求項1に記載のX線検査装置。
  3. 前記X線透過画像を表示する表示部を備え、設定モードにおいて、表示された前記X線透過画像上の何れかの内容物を指定すれば、指定された内容物の特徴が表示され、その特徴に基づいて、指定した内容物の検査基準が設定されることを特徴とする請求項1または請求項2の何れかに記載のX線検査装置。
JP2014035350A 2014-02-26 2014-02-26 X線検査装置 Active JP6355232B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014035350A JP6355232B2 (ja) 2014-02-26 2014-02-26 X線検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014035350A JP6355232B2 (ja) 2014-02-26 2014-02-26 X線検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015161522A JP2015161522A (ja) 2015-09-07
JP6355232B2 true JP6355232B2 (ja) 2018-07-11

Family

ID=54184715

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014035350A Active JP6355232B2 (ja) 2014-02-26 2014-02-26 X線検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6355232B2 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6920988B2 (ja) * 2015-03-20 2021-08-18 株式会社イシダ 検査装置
JP2017156113A (ja) * 2016-02-29 2017-09-07 株式会社イシダ X線検査装置
JP7287791B2 (ja) * 2019-02-01 2023-06-06 株式会社キーエンス 画像検査装置
JP7466298B2 (ja) * 2019-12-03 2024-04-12 アンリツ株式会社 X線検査装置
JP7499097B2 (ja) 2019-12-20 2024-06-13 株式会社エー・アンド・デイ X線検査方法および装置
CN116686003A (zh) 2020-12-24 2023-09-01 株式会社佐竹 被分选物的识别方法、分选方法、分选装置以及识别装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005031069A (ja) * 2003-06-19 2005-02-03 Ishida Co Ltd X線検査装置
JP2005043210A (ja) * 2003-07-22 2005-02-17 Asahi Kasei Corp 製品内部の検査方法及び装置
JP2007183200A (ja) * 2006-01-10 2007-07-19 Ishida Co Ltd X線検査装置及び物品検査装置
JP2008116465A (ja) * 2007-12-03 2008-05-22 Anritsu Sanki System Co Ltd X線検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015161522A (ja) 2015-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6355232B2 (ja) X線検査装置
JP6126230B2 (ja) 検査装置
JP5739230B2 (ja) X線検査装置
JP6754155B1 (ja) 教師データ生成装置、検査装置およびコンピュータプログラム
JP6920988B2 (ja) 検査装置
JP5864404B2 (ja) X線検査装置
JP3860154B2 (ja) X線検査装置
JP6619547B2 (ja) 検査装置
JP6270319B2 (ja) X線検査装置
JP6068060B2 (ja) X線検査装置
JP2015137858A (ja) 検査装置
JP6188620B2 (ja) 検査装置及びptp包装機
JP2005031069A (ja) X線検査装置
JP6454503B2 (ja) 検査装置
JP2018155544A (ja) X線検査装置
JP3180313U (ja) 検査システム
JPWO2019235022A1 (ja) 検査装置
JP2009080030A (ja) X線検査装置
JP4170366B2 (ja) X線検査装置
JP2018048834A (ja) 擬似不良品を用いて動作確認される検査装置
JP3955559B2 (ja) X線検査装置
JP2021025874A (ja) 検査装置
JP6165426B2 (ja) X線検査装置
JP2016024096A (ja) 検査装置
JP7393793B2 (ja) X線検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170214

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20171130

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20171213

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180207

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180608

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180611

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6355232

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250