JP6352616B2 - X線計測装置 - Google Patents
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Description
(第1の実施形態)
(第2の実施形態)
(第3の実施形態)
Claims (7)
- 電子線を出射すると共に可視光を放出する電子線源と、
前記電子線源から出射された前記電子線及び前記電子線源から放出された前記可視光が照射され、電子線励起によってX線を出射するターゲットと、
前記ターゲットから出射された前記X線が照射される試料を支持する試料支持部と、
前記ターゲットから出射された前記X線を前記試料に集光させる集光光学系と、
前記電子線源、前記ターゲット、前記試料支持部及び前記集光光学系を収容する真空筐体とを備え、
前記ターゲットのターゲット面は、前記ターゲットから出射された前記X線と、前記電子線源から放出された前記可視光とを分離し、且つ、前記ターゲットから出射された前記X線が前記集光光学系に入射し、且つ、前記ターゲット面で反射された前記可視光が前記集光光学系に入射しないように、配置されている、X線計測装置。 - 前記ターゲット面の角度を調整する角度調整部を更に備える、請求項1記載のX線計測装置。
- 前記ターゲット面の形状は、楕円面形状又は放物面形状である、請求項1又は2記載のX線計測装置。
- 前記ターゲットは、前記電子線源から放出された前記可視光を反射させる光反射面を更に有する、請求項1〜3のいずれか一項記載のX線計測装置。
- 前記真空筐体に収容され、前記試料に照射されて前記試料を透過した前記X線を検出するX線検出部を更に備える、請求項1〜4のいずれか一項記載のX線計測装置。
- 前記真空筐体に収容され、前記X線の照射によって前記試料から放出された蛍光を検出する蛍光検出部を更に備える、請求項1〜5のいずれか一項記載のX線計測装置。
- 前記真空筐体に収容され、前記試料に照射されて前記試料を透過した前記X線を結像させる結像光学系を更に備える、請求項1〜6のいずれか一項記載のX線計測装置。
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