JP6347895B2 - 投影リソグラフィのための照明光学ユニット及びそのための中空導波管構成要素 - Google Patents
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Description
ここで、記号表示は、次の意味を有する。
z:サジタル高さ
h:レンズ要素頂点からの距離、すなわち、光軸に対する距離
κ:円錐定数
ρ:1/半径
10 マイクロミラーアレイ
31 光学中空導波管構成要素
34 リレー光学ユニット
46 ランダム位相要素
Claims (14)
- 結像される物体を配置可能である物体視野(3)に向けて光源(6)の照明光(8)を案内するための投影リソグラフィのための照明光学ユニット(7)であって、
アクチュエータ系によって互いに独立に傾斜可能であって関連の傾斜アクチュエータ(12)に接続された多数の個々のミラー(11)を含むミラーアレイ(10)を含み、
前記ミラーアレイ(10)上に入射する照明光ビーム(32)を均一化及び安定化するために前記照明光(8)のビーム経路内で該ミラーアレイ(10)の上流に配置された光学中空導波管構成要素(31;39)を含み、
前記中空導波管構成要素(31;39)の上流に配置され、かつ入射照明光ビーム(30)を該中空導波管構成要素(31;39)内に結合するように機能する入力結合光学ユニット(29)を含み、
前記中空導波管構成要素(31;39)のビーム射出面(35)を前記ミラーアレイ(10)の上に結像するためのリレー光学ユニット(34;40)を含み、
前記中空導波管構成要素(31;39)の上流に配置されるランダム位相要素(46)を含む、
ことを特徴とする照明光学ユニット。 - 前記中空導波管構成要素(31;39)内の前記照明光(8)の内部反射角(α)が85°よりも大きいような配置を特徴とする請求項1に記載の照明光学ユニット。
- 前記中空導波管構成要素(31;39)は、導波管断面(A)に対する導波管長さ(B)の比の少なくとも100を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の照明光学ユニット。
- 前記中空導波管構成要素(31;39)の空洞(33)が、矩形導波管断面を有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 前記中空導波管構成要素(31;39)は、少なくとも2つの別々の構成要素部品(31a,31b;39a,39b,39c,39d)から生成され、そのうちの各構成要素部品(31a,31b;39a,39b,39c,39d)が、該中空導波管構成要素(31;39)の少なくとも1つの内部反射面(38)の境界を定めることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 前記中空導波管構成要素(31;39)は、4つの別々の構成要素部品(39aから39d)から生成され、そのうちの各構成要素部品(39aから39d)が、該中空導波管構成要素(31;39)の正確に1つの内部反射面(38)の境界を定めることを特徴とする請求項5に記載の照明光学ユニット。
- 前記中空導波管構成要素(31;39)は、4つの少なくとも部分的に反射性被覆が施されたミラー平行六面体(39aから39d)から構成されることを特徴とする請求項6に記載の照明光学ユニット。
- 前記リレー光学ユニット(34;40)は、少なくとも10の拡大結像スケールを有することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 前記リレー光学ユニット(34;40)は、1よりも多いレンズ要素(36,37;41,42,43,44)を有することを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(7)のための中空導波管構成要素(31;39)。
- 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(7)を含み、
基板を配置可能であり、投影露光中にその上に結像が達成される像平面(27)内の像視野の中に物体視野(3)を結像するための投影光学ユニット(26)を含む、
ことを特徴とする光学系。 - 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の照明光学ユニットを含み、
照明光(8)を発生させるための光源(6)を含む、
ことを特徴とする照明系。 - 請求項11に記載の光学系を含み、
照明光(8)を発生させるための光源(6)を含む、
ことを特徴とする投影露光装置(1)。 - 微細構造化又はナノ構造化構成要素をマイクロリソグラフィ的に生成する方法であって、
感光材料からなる層が少なくとも部分的に付加された基板を与える段階と、
結像される構造を有するレチクルを与える段階と、
請求項13に記載の投影露光装置(1)を与える段階と、
前記投影露光装置(1)を用いて前記レチクルの少なくとも一部を前記層の領域の上に投影する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
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