JP4881677B2 - 荷電粒子線走査方法及び荷電粒子線装置 - Google Patents
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- 試料に荷電粒子線を二次元的に走査する際に、走査線間間隔を拡張して前記荷電粒子線を走査して、前記走査線間隔方向の倍率が、走査線方向の倍率より低倍率となる画像を形成する荷電粒子線走査方法において、
所望の走査線間間隔方向の倍率と、前記走査線方向の倍率との倍率比に基づく値を算出するステップと、前記走査線間間隔方向の倍率と前記走査線方向の倍率との比に基づく値を、前記走査線間隔方向、或いは前記走査線方向の走査信号に乗算し、第1の演算された走査信号を計算するステップと、当該第1の演算された走査信号について、走査方向を回転させる計算を行うステップと、当該走査方向を回転させる計算が実施された走査信号について、前記所望の倍率比となるように、前記走査線間隔方向及び前記走査線方向の第2の演算された走査信号を計算するステップを備えたことを特徴とする荷電粒子線走査方法。 - 請求項1において、
前記走査線間間隔方向の倍率と前記走査線方向の倍率との比に基づく値を、前記走査線方向の走査信号に乗算する場合には、前記走査線間間隔方向の倍率に基づく係数に基づいて、前記第2の演算された走査信号を計算し、
前記走査線間間隔方向の倍率と前記走査線方向の倍率との比に基づく値を、前記走査線間間隔方向の走査信号に乗算する場合には、前記走査線方向の倍率に基づく係数に基づいて、前記第2の演算された走査信号を計算することを特徴とする荷電粒子線走査方法。 - 請求項2において、
前記走査線方向の走査信号に乗算される前記走査線間間隔方向の倍率と前記走査線方向の倍率との比に基づく値は、走査線間間隔方向の倍率÷走査線方向の倍率であり、前記走査線間間隔方向の走査信号に乗算される前記走査線間間隔方向の倍率と前記走査線方向の倍率との比に基づく値は、走査線方向の倍率÷走査線間間隔方向の倍率であることを特徴とする荷電粒子線走査方法。 - 走査線間間隔を変化させることによって、走査線間間隔方向の倍率を、走査線方向の倍率より低倍率となるように、荷電粒子線を走査する荷電粒子線走査方法において、
所望の走査線方向の倍率と、走査線間間隔の倍率比に基づいて、前記走査線方向、或いは前記走査線間間隔方向の走査信号を計算し、当該走査信号について前記荷電粒子線の走査方向を回転させるための計算を行い、当該回転の計算が行われた走査信号について、前記所望の走査線方向の倍率と、走査線間間隔方向の倍率となるように、前記走査線方向、及び走査線間間隔方向の走査信号を計算することを特徴とする荷電粒子線走査方法。 - 請求項4において、
前記所望の走査線方向の倍率と走査線間間隔方向の倍率比に基づいて計算される走査信号は、前記走査線間間隔方向の倍率/前記走査線方向の倍率、或いは前記走査線方向の倍率/前記走査線間間隔方向の倍率を、走査線方向の走査信号、或いは走査線間間隔方向の走査信号に乗算することによって求められるものであることを特徴とする荷電粒子線走査方法。 - 請求項4において、
前記荷電粒子線の走査方向を回転させるための計算は、前記走査線方向の倍率と、走査線間間隔方向の倍率比に基づく計算が施された走査信号に対して行われることを特徴とする荷電粒子線走査方法。 - 荷電粒子線源と、当該荷電粒子線源より放出される荷電粒子線を試料上で走査する偏向器と、当該偏向器に供給する信号を制御する制御装置を備えた荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、設定された走査線方向の倍率と、走査線間間隔方向との倍率比に基づいた走査領域となるように走査信号を演算し、当該走査信号について前記荷電粒子線の走査方向を回転させるための演算を行い、当該回転の計算が行われた走査信号について、前記設定された走査線方向の倍率と、走査線間間隔方向の倍率に応じた走査信号を演算することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7において、
前記走査線方向の倍率と、走査線間間隔方向の倍率と、前記走査方向の回転角を設定可能な表示装置を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7において、
前記走査線間間隔方向の倍率は、前記走査線方向の倍率より低倍率であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 設定された倍率と設定された走査方向の回転角に基づいて、荷電粒子線装置に供給する走査信号を演算する演算装置において、
当該演算装置は、前記荷電粒子線の走査線方向に設定された倍率Mxと、当該倍率Mxより低倍率に設定される前記荷電粒子線の走査線間間隔方向の倍率Myとの比に関する値を前記走査線方向の走査信号、或いは前記走査線間間隔方向の走査信号に乗算し、前記MxとMyの比に関する値が乗算された走査信号について、前記設定された回転角に基づく回転演算を実施することを特徴とする演算装置。
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