JP6340588B2 - スクリーン印刷装置 - Google Patents

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Description

本発明は、基板に接触させたマスク上でスキージを摺動させることにより、マスクに設けられたパターン孔を通じて基板上にペーストを印刷するスクリーン印刷装置に関するものである。
スクリーン印刷装置において、マスクと基板との間の位置ずれを防ぐための基板の保持方法としては、従来、真空吸引によるものが知られているが(例えば、特許文献1)、ブロア吸引によるものも考えられる。ブロア吸引による吸引力は真空吸引ほど大きくはないが、基板に反り等の変形があってリークが生じている場合であっても基板の保持力を十分に維持し得るという利点がある。また、基板に形成された開口を通じてマスクも吸引すれば、マスクが変形していた場合であってもこれを矯正でき、マスクの基板への密着度を高めることができる。
特開2003−224395号公報
しかしながら、ブロア吸引でマスクを吸引すると、マスク上のペーストがパターン孔を通じて吸引され、ペーストの過剰な「にじみ」が生じて印刷不良が発生するおそれがある。
そこで本発明は、ペーストのにじみによる印刷不良の発生を抑えることができるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。
本発明のスクリーン印刷装置は、基板に接触させたマスク上でスキージを摺動させることにより、前記マスクに設けられたパターン孔を通じて前記基板上にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記基板の下面に接触する天板部に第1の吸引孔が設けられた箱状部材と、前記箱状部材の内部空間に連通して前記箱状部材の外部延びたブロア吸引用配管と、前記ブロア吸引用配管を通じて空気を吸い出し、前記第1の吸引孔にブロア吸引力を発生させるモータと、前記モータの回転数を変化させるインバータと、前記箱状部材の前記天板部に設けられた第2の吸引孔に繋がり、前記箱状部材の前記内部空間を通って前記箱状部材の外部に延びた真空吸引用配管と、前記真空吸引用配管を通じて前記第2の吸引孔に真空圧を供給する真空圧供給手段とを備えた。
本発明によれば、ペーストのにじみによる印刷不良の発生を抑えることができる。
本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の制御系統を示すブロック図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備える下受けボックス及び吸引機構の構成図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備える下受けボックスの平面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備える操作パネルに表示される操作画面の一例を示す図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置1を示している。スクリーン印刷装置1はマスク2、スキージヘッド3及び基板保持移動部4を備えている。スクリーン印刷装置1の各部の作動制御は制御装置5が行う(図2)。
マスク2は水平姿勢に保持されており、上面にペーストPstが供給される。マスクには基板PBの電極配置に応じたパターン孔2hが形成されている。スキージヘッド3はスキージ昇降シリンダ3aによって昇降されるスキージ3bを備えている。スキージヘッド3はヘッド移動機構3Mに駆動されて水平方向に移動する。
基板保持移動部4は、基板PBを保持する基板保持機構部4aと、基板保持機構部4aを水平面内方向及び上下方向に移動させる移動機構部4bから成る。基板保持機構部4aは搬送コンベア11、下受けボックス12、クランパ13及び吸引機構14を備える。搬送コンベア11は基板PBを搬送して位置決めし、下受けボックス12は搬送コンベア11が位置決めした基板PBを上面において下受けする。クランパ13は、下受けボックス12が下受けした基板PBを側方からクランプする。吸引機構14は、下受けボックス12が下受けした基板PBを吸引して下受けボックス12の上面に保持する。
図3において、箱状部材である下受けボックス12は、上面が基板PBの下面と接触する天板部12aと、天板部12aを保持する支持部12bから成る。天板部12aは支持部12bに対して着脱自在となっている。天板部12aには複数の第1の吸引孔21と複数の第2の吸引孔22が設けられている。第1の吸引孔21は基板PBとマスク2をブロア吸引するための孔である。このため第1の吸引孔21は、クランパ13でクランプした基板PBの下面と対向する位置及び基板PBの切り欠き部Kと対向する位置に設けられている(図4も参照)。図4では、基板PBの下面と対向する位置に設けられた第1の吸引孔21は符号21aで示し、基板PBの切欠き部Kと対向する位置に設けられた第1の吸引孔21は符号21bで示している。一方、第2の吸引孔22は基板PBを真空吸引するための孔である。このため第2の吸引孔22は、クランパ13でクランプした基板PBの下面のうち、切り欠き部Kと対向する位置を避けた位置に設けられている(図4も参照)。
吸引機構14は、ブロア吸引用配管23、ブロア吸引源24、複数の真空吸引用配管27及び制御バルブ28から成る。図3において、ブロア吸引用配管23は下受けボックス12の内部空間12Sに連通し、下受けボックス12の外部を延びている。ブロア吸引源24はブロア吸引用配管23に接続されている。ブロア吸引源24は、ブロア吸引用配管23を通じて空気を吸い出し、第1の吸引孔21にブロア吸引力を発生させるモータ25と、モータ25に供給される電源の周波数を変更することによりモータ25の回転数を変化させるインバータ26から成る。
図3において、各真空吸引用配管27は天板部12aの下面側から各第2の吸引孔22に繋がっている。これら真空吸引用配管27は、下受けボックス12の内部空間12Sを通って下受けボックス12の側面の開口部(この開口部はシールされている)を通過し、下受けボックス12の外部に延びている。複数の真空吸引用配管27は真空源29に接続されている。制御バルブ28は真空吸引用配管27と真空源29との間に介装されている。制御バルブ28は制御装置5によって操作され、真空源29が真空吸引用配管27に供給する真空圧の制御を行う。すなわち制御バルブ28は、真空吸引用配管27を通じて第2の吸引孔22に真空圧を供給する真空圧供給手段となっている。
図2及び図3において、制御装置5には操作パネル30が接続されている。操作パネル30には、例えば図5に示すように、インバータ26を通じてモータ25の回転数の調整(設定及び変更)を行うための操作画面GMが表示される。作業者が操作パネル30の操作画面からインバータ26に供給される電源の周波数を変更する操作を行うとモータ25の回転数が変化し、これにより第1の吸引孔21を通じた空気の吸引流量(ブロア流量)が変更されて、基板PB及びマスク2の吸引力が増減する。なお、図5に示す例では、操作画面GMの中の「ブロア周波数」の欄Wに、テンキーを含む数値入力ボタン群TNから所望の周波数値を入力することによってインバータ26の電源の周波数設定を行うようになっている。
このような構成のスクリーン印刷装置1が基板PBにペーストPstを印刷するときには、先ず、搬送コンベア11が基板PBを搬入して所定の位置に位置決めする。そして、下受けボックス12が基板PBを下受けし、クランパ13が基板PBをクランプする。
クランパ13が基板PBをクランプしたら、移動機構部4bが基板保持機構部4aを移動させ、基板PBの電極とマスク2のパターン孔2hが合致するように、基板PBをマスク2に接触させる(図6中に示す矢印A)。基板PBがマスク2に接触したら、吸引機構14が作動し、第1の吸引孔21から基板PBとマスク2をブロア吸引し、第2の吸引孔22から基板PBを真空吸引する。基板PBは第2の吸引孔22から真空吸引されるのに加えて第1の吸引孔21からブロア吸引されるので、基板PBに反り等の変形があって真空吸引力が不十分になる場合であっても、基板PBは下受けボックス12の上面にしっかりと保持される。また、マスク2も第1の吸引孔21からブロア吸引されるので、マスク2に反りがある場合であってもこれが矯正され、マスク2は基板PBにしっかりと密着する。
モータ25の回転数が大きいほどブロア流量は大きくなり、マスク2の基板PBへの密着度は増大するものの、ブロア流量が過大であると、ブロア吸引によってマスク2のパターン孔2hを通じてマスク2の下面側に吸い出されるペーストPstの「にじみ」が過剰となり、印刷不良が発生するおそれが生じる。作業者は、印刷不良が発生するモータ25の回転数(限界回転数とする)を予め調べておき、モータ25の回転数が上記限界回転数以下となるように、インバータ26を通じたモータ25の回転数の設定操作(直接的にはモータ25に供給される電源の周波数の設定操作)を行うことで、ペーストPstのにじみに起因する印刷不良を防止することができる。本実施の形態では、このようなインバータ26を通じたモータ25の回転数の設定操作を操作パネル30から容易に行うことができ、操作性に優れたものとなっている。
基板PBとマスク2が吸引されたら、スキージ3bが下降してマスク2の上面に当接する。そして、スキージヘッド3は水平方向に移動し(図6中に示す矢印B)、スキージ3bをマスク2上で摺動させる。これによりマスク2上のペーストPstはスキージ3bによって掻き寄せられ、マスク2のパターン孔2hを通じて基板PB上に印刷される。
基板PB上にペーストPstが印刷されたら、移動機構部4bが基板保持機構部4aを下降させ、基板PBをマスク2から離間させる。基板PBがマスク2から離間したら、吸引機構14は基板PBとマスク2の吸引を解除する。更に、クランパ13が開いて基板PBのクランプを解除し、搬送コンベア11が基板PBをスクリーン印刷装置1の外部に搬出する。これにより基板PBの1枚当たりのスクリーン印刷が完了する。
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置1では、基板PBの保持において、ブロア吸引力を発生さえるモータ25の回転数をインバータ26によって変化させることができる。このためブロア流量の調整が可能であり、ブロア流量をペーストPstのにじみが過剰とならない程度に調整することで、ペーストPstのにじみによる印刷不良の発生を抑えることができる。
ペーストのにじみによる印刷不良の発生を抑えることができるスクリーン印刷装置を提供する。
1 スクリーン印刷装置
2 マスク
2h パターン孔
3b スキージ
12 下受けボックス(箱状部材)
12S 内部空間
12a 天板部
21 第1の吸引孔
22 第2の吸引孔
23 ブロア吸引用配管
25 モータ
26 インバータ
27 真空吸引用配管
28 制御バルブ(真空圧供給手段)
30 操作パネル
PB 基板
Pst ペースト

Claims (2)

  1. 基板に接触させたマスク上でスキージを摺動させることにより、前記マスクに設けられたパターン孔を通じて前記基板上にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、
    前記基板の下面に接触する天板部に第1の吸引孔が設けられた箱状部材と、
    前記箱状部材の内部空間に連通して前記箱状部材の外部延びたブロア吸引用配管と、
    前記ブロア吸引用配管を通じて空気を吸い出し、前記第1の吸引孔にブロア吸引力を発生させるモータと、
    前記モータの回転数を変化させるインバータと
    前記箱状部材の前記天板部に設けられた第2の吸引孔に繋がり、前記箱状部材の前記内部空間を通って前記箱状部材の外部に延びた真空吸引用配管と、
    前記真空吸引用配管を通じて前記第2の吸引孔に真空圧を供給する真空圧供給手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
  2. 前記インバータを通じて前記モータの回転数の調整を行う操作パネルを備えたことを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷装置。
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105358323B (zh) * 2013-07-11 2018-02-23 富士机械制造株式会社 丝网印刷方法及丝网印刷装置
US10449641B2 (en) 2016-02-18 2019-10-22 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. System for manufacturing assembly board and method for installing undersupporting device of the system
JP6572441B2 (ja) * 2016-02-18 2019-09-11 パナソニックIpマネジメント株式会社 実装基板製造システム及び実装基板製造システムにおける基板下受け部材の設置方法
JP2017147348A (ja) * 2016-02-18 2017-08-24 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品実装ライン及び部品実装ラインにおける基板下受け部材の設置方法
US10462945B2 (en) 2016-02-18 2019-10-29 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. System for manufacturing assembly board and method for installing undersupporting device of the system
JP2017147351A (ja) * 2016-02-18 2017-08-24 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品実装ライン及び部品実装ラインにおける基板下受け部材の設置方法
JP2017147349A (ja) * 2016-02-18 2017-08-24 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品実装ライン及び部品実装ラインにおける基板下受け部材の設置方法
US10440866B2 (en) * 2016-02-18 2019-10-08 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. System for manufacturing assembly board and method for installing undersupporting device of the system
JP7015325B2 (ja) 2018-01-15 2022-02-02 株式会社Fuji バックアップブロックおよびスクリーン印刷機
GB2593515A (en) * 2020-03-26 2021-09-29 Asm Assembly Systems Singapore Pte Ltd Tooling Vacuum unit

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4771687A (en) * 1986-12-31 1988-09-20 Usg Corporation Belt transfer printing of nonplanar articles
JPH03124683U (ja) * 1990-03-28 1991-12-17
JP2722806B2 (ja) * 1990-10-19 1998-03-09 三菱マテリアル株式会社 印刷配線用ベースプレート
JPH07156363A (ja) * 1993-12-02 1995-06-20 Toshiba Corp 印刷装置および印刷方法および印刷マスク
JP3431729B2 (ja) * 1995-07-12 2003-07-28 松下電器産業株式会社 回路基板の製造方法及び製造装置
JPH09314814A (ja) * 1996-05-28 1997-12-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd クリーニング装置およびクリーニング方法
JP2003051674A (ja) * 2001-08-06 2003-02-21 Noritake Co Ltd 厚膜基板のスルーホール印刷方法
JP2003224395A (ja) 2002-01-31 2003-08-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品実装用装置における基板の下受け装置
JP2005014460A (ja) * 2003-06-27 2005-01-20 Micro-Tec Co Ltd スクリーン印刷機
JP2005014470A (ja) * 2003-06-27 2005-01-20 Micro-Tec Co Ltd スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法
JP2006007480A (ja) * 2004-06-23 2006-01-12 Mitsumi Electric Co Ltd 合成樹脂印刷装置
JP2006329729A (ja) * 2005-05-25 2006-12-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 基板とマスクとのギャップ計測方法およびギャップ計測手段並びに印刷装置
WO2008001430A1 (en) * 2006-06-27 2008-01-03 Mitsubishi Electric Corporation Screen printing machine and solar battery cell
JP4926567B2 (ja) * 2006-06-29 2012-05-09 ヤマハ発動機株式会社 印刷装置および印刷方法
US7851013B2 (en) * 2007-03-08 2010-12-14 Nitto Denko Corporation Underlay substrate, screen printing method and manufacturing method of printed circuit substrate
JP2009154354A (ja) * 2007-12-26 2009-07-16 Panasonic Corp スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法ならびに基板保持装置および基板保持方法
JP2011088298A (ja) * 2009-10-20 2011-05-06 Hitachi Metals Ltd スクリーン印刷補助板、およびこれを用いたスクリーン印刷機
JP2011167997A (ja) * 2010-02-22 2011-09-01 Sumitomo Metal Electronics Devices Inc スクリーン印刷装置
JP6151925B2 (ja) * 2013-02-06 2017-06-21 ヤマハ発動機株式会社 基板固定装置、基板作業装置および基板固定方法

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