JP2016080474A - 液滴検査装置、液滴検査方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
紫外線遮断フィルタ12によって撮像部11に入光するのを遮断される。
10 照射部
11 撮像部
12 紫外線遮断フィルタ
13 制御部
13a 計測部
20 検査シート
21 液滴
22 照射領域
30 可視光成分
31 紫外線
40、41 光路変更部
100 基板処理システム
140、160、180 塗布装置
500 有機発光ダイオード
530 有機EL層
531 正孔注入層
532 正孔輸送層
533 発光層
534 電子輸送層
535 電子注入層
G ガラス基板
Claims (13)
- 被吐出体に吐出される液滴を検査する液滴検査装置であって、
前記液滴を含む前記被吐出体上の照射領域に紫外線を照射する照射部と、
前記液滴又は前記前記被吐出体が発光した前記照射領域を撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された撮像画像に基づいて、前記液滴の大きさ及び前記被吐出体上の前記液滴の位置を計測する計測部と、を有することを特徴とする、液滴検査装置。 - 前記撮像部の光軸上に設けられ、前記被吐出体で反射した紫外線を遮断する紫外線遮断フィルタをさらに有することを特徴とする、請求項1に記載の液滴検査装置。
- 前記撮像部は、前記被吐出体の主面に対して当該撮像部の光軸が垂直となる向きに配置され、
前記照射部は、前記液滴に対して斜め上方から紫外線を照射する向きに配置されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の液滴検査装置。 - 前記撮像部は、前記被吐出体の主面に対して当該撮像部の光軸が垂直となる向きに配置され、
前記照射部は、前記液滴の下方から紫外線を照射する向きに配置されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の液滴検査装置。 - 前記照射部からの紫外線の光路を前記照射領域に向ける光路変更部をさらに有することを特徴とする、請求項1又は2に記載の液滴検査装置。
- 前記液滴検査装置は、インクジェット方式で前記被吐出体に前記液滴を吐出する液滴吐出装置の内部に設けられていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の液滴検査装置。
- 前記液滴は、有機EL層に用いられる有機材料であることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の液滴検査装置。
- 被吐出体に吐出される液滴を検査する液滴検査方法であって、
前記液滴を含む前記被吐出体上の照射領域に照射部から紫外線を照射して、当該照射領域における前記液滴又は前記被吐出体を発光させ、
前記照射領域を撮像部によって撮像し、
前記撮像部によって撮像された撮像画像に基づいて、前記液滴の大きさ及び前記被吐出体上の前記液滴の位置を計測することを特徴とする、液滴検査方法。 - 前記撮像部によって前記被吐出体を撮像する際、当該撮像部の光軸上に設けられた紫外線遮断フィルタによって、前記被吐出体で反射した紫外線を遮断することを特徴とする、請求項8に記載の液滴検査方法。
- 前記液滴の検査は、インクジェット方式で前記被吐出体に前記液滴を吐出する液滴吐出装置の内部で行われることを特徴とする、請求項8又は9に記載の液滴検査方法。
- 前記液滴は、有機EL層に用いられる有機材料であることを特徴とする、請求項8〜10のいずれか一項に記載の液滴検査方法。
- 請求項8〜11のいずれか一項に記載の液滴検査方法を液滴検査装置によって実行させるように、当該液滴検査装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項12に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018105664A (ja) * | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 新電子株式会社 | コーティングの検査方法およびその装置 |
JP2022037644A (ja) * | 2020-08-25 | 2022-03-09 | キリンテクノシステム株式会社 | 画像取得装置及び画像取得方法、並びにそれらを用いた容器検査装置及び容器検査方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05232042A (ja) * | 1992-02-24 | 1993-09-07 | Nec Corp | 表面検査方法およびその装置 |
JPH08338814A (ja) * | 1995-06-09 | 1996-12-24 | Toray Ind Inc | フイルムの欠点検出装置およびフイルムの製造方法 |
JP2003130801A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-08 | Ushio Inc | 蛍光体の検査方法および装置 |
JP2007085834A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 蛍光体パネルの検査装置 |
US7206442B1 (en) * | 2001-11-16 | 2007-04-17 | Rudolph Technologies, Inc. | Optical inspection method utilizing ultraviolet light |
JP2008076245A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Tdk Corp | 被膜検査装置及びそれに用いるパレット |
JP2008142654A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Seiko Epson Corp | 画素観察システム、描画システム、液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法 |
JP2013117390A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 半導体素子画像認識装置及び半導体素子画像認識方法 |
JP2014113692A (ja) * | 2012-12-06 | 2014-06-26 | Seiko Epson Corp | 吐出検査方法、吐出検査装置、及び液滴吐出装置 |
-
2014
- 2014-10-15 JP JP2014210851A patent/JP2016080474A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05232042A (ja) * | 1992-02-24 | 1993-09-07 | Nec Corp | 表面検査方法およびその装置 |
JPH08338814A (ja) * | 1995-06-09 | 1996-12-24 | Toray Ind Inc | フイルムの欠点検出装置およびフイルムの製造方法 |
JP2003130801A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-08 | Ushio Inc | 蛍光体の検査方法および装置 |
US7206442B1 (en) * | 2001-11-16 | 2007-04-17 | Rudolph Technologies, Inc. | Optical inspection method utilizing ultraviolet light |
JP2007085834A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 蛍光体パネルの検査装置 |
JP2008076245A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Tdk Corp | 被膜検査装置及びそれに用いるパレット |
JP2008142654A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Seiko Epson Corp | 画素観察システム、描画システム、液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法 |
JP2013117390A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 半導体素子画像認識装置及び半導体素子画像認識方法 |
JP2014113692A (ja) * | 2012-12-06 | 2014-06-26 | Seiko Epson Corp | 吐出検査方法、吐出検査装置、及び液滴吐出装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018105664A (ja) * | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 新電子株式会社 | コーティングの検査方法およびその装置 |
JP2022037644A (ja) * | 2020-08-25 | 2022-03-09 | キリンテクノシステム株式会社 | 画像取得装置及び画像取得方法、並びにそれらを用いた容器検査装置及び容器検査方法 |
JP7217035B2 (ja) | 2020-08-25 | 2023-02-02 | キリンテクノシステム株式会社 | 容器検査装置及び容器検査方法 |
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