JP6317442B2 - 流路部材、液体吐出ヘッド、および記録装置 - Google Patents

Description

本発明は、流路部材、液体吐出ヘッド、および記録装置に関する。

従来、液体吐出ヘッドとして、例えば、液体を吐出する複数の吐出素子と、吐出素子ごとに設けられた第１個別流路と、吐出素子ごとに設けられた第２個別流路と、第１方向の一方側から他方側に向けて延び、第１個別流路に共通して連通した第１共通流路と、第１共通流路と外部とを連通するための第１開口と、第１方向の一方側から他方側に向けて延び、第２個別流路に共通して連通した第２共通流路と、第２共通流路と外部とを連通するための第２開口を備える流路部材を用いたものが知られている（例えば、特許文献１の図１２参照）。そして、吐出素子にて液体はメニスカスに保持されており、外部から送られてきた信号に基づき、液体吐出ヘッドを駆動し印画を行っている。

特開２０１２−２５０５０３号公報

しかしながら、特許文献１に記載された液体吐出ヘッドでは、各吐出素子に加わる圧力が分布する範囲が大きくなり、液体のメニスカスを保持できない場合がある。

本発明の一実施形態に係る流路部材は、液体を吐出する複数の吐出素子と、前記吐出素子ごとに設けられた複数の第１個別流路と、前記吐出素子ごとに設けられた複数の第２個別流路と、第１方向の一方側から他方側に延び、複数の前記第１個別流路に共通して連通した第１共通流路と、前記第１共通流路と外部とを連通する第１開口と、前記第１方向の一方側から他方側に延び、複数の前記第２個別流路に共通して連通した第２共通流路と、前記第２共通流路と外部とを連通するための第２開口と、を備えており、前記第１開口は、前記第１共通流路の前記第１方向の一方側に設けられており、前記第２開口は、前記第２共通流路の前記第１方向の一方側に設けられている構成を有している。
本発明の一実施形態に係る流路部材は、上記構成に加えて、前記第１個別流路の流路抵抗が、前記第２個別流路の流路抵抗の０．５〜２倍である。
また、本発明の一実施形態に係る流路部材は、上記構成に加えて、前記第１開口を有する前記第１共通流路と前記第２開口を有する前記第２共通流路とが複数設けられており、複数の前記第１開口と複数の前記第２開口とが、前記第１方向に交差する第２方向に交互に設けられており、複数の前記第１開口と複数の前記第２開口とが、前記第１方向にずれ
て配置されている。
また、本発明の一実施形態に係る流路部材は、上記構成に加えて、平面視において、前記第１開口と当該第１開口の最も近くに配置された前記第１個別流路との距離が、前記第２開口と当該第２開口の最も近くに配置された前記第２個別流路との距離と等しい。
また、本発明の一実施形態に係る流路部材は、上記構成に加えて、平面視において、前記第２開口と当該第２開口の最も近くに配置された前記第１個別流路との距離が、前記第１開口と当該第１開口の最も近くに配置された前記第２個別流路との距離よりも短い
また、本発明の一実施形態に係る流路部材は、上記構成に加えて、複数の前記吐出素子、複数の前記第１個別流路、複数の前記第２個別流路、前記第１共通流路、前記第１開口、前記第２共通流路、および前記第２開口を備える第１吐出部と、複数の前記吐出素子、複数の前記第１個別流路、複数の前記第２個別流路、前記第１共通流路、前記第１開口、前記第２共通流路、および前記第２開口を備える第２吐出部と、が有り、前記第１吐出部および前記第２吐出部は、前記第１方向に並んで配置されており、前記第１吐出部の前記第１開口は、前記第１方向の前記一方側に設けられ、前記第１吐出部の前記第２開口は、前記第１方向の前記一方側に設けられており、前記第２吐出部の前記第１開口は、前記第１方向の前記他方側に設けられ、前記第２吐出部の前記第２開口は、前記第１方向の前記他方側に設けられている。

本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドは、上記に記載の流路部材と、前記流路部材上に配置されており、前記吐出素子を加圧する加圧部とを備える。
また、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドは、液体を吐出する複数の吐出素子と、前記吐出素子ごとに設けられた複数の第１個別流路と、前記吐出素子ごとに設けられた複数の第２個別流路と、第１方向の一方側から他方側に延び、複数の前記第１個別流路に共通して連通した第１共通流路と、前記第１共通流路と外部とを連通する第１開口と、前記第１方向の前記一方側から前記他方側に延び、複数の前記第２個別流路に共通して連通した第２共通流路と、前記第２共通流路と外部とを連通する第２開口と、を備えている流路部材、該流路部材上に配置されており、前記吐出素子を加圧する加圧部、および、前記流路部材上に配置されたリザーバ、を備え、前記第１開口は、前記第１共通流路の前記第１方向の前記一方側に設けられており、前記第２開口は、前記第２共通流路の前記第１方向の前記一方側に設けられており、前記リザーバは、前記第１共通流路に液体を供給する第３共通流路と、前記第２共通流路から液体を回収する第４共通流路とを有する。

本発明の一実施形態に係る記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えている。

各吐出素子に加わる圧力が分布する範囲を小さくすることができ、液体のメニスカスを保持することができる。

第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。 図１に示す液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 図２に示すヘッド本体を示し、（ａ）は分解斜視図、（ｂ）は断面図である。 図２に示す液体吐出ヘッドの一部を拡大する平面図である。 （ａ）は図４に示す吐出素子を拡大して示す拡大平面図、（ｂ）は図５（ａ）に示すＩ−Ｉ線断面図である。 図２に示す吐出素子を拡大して示す斜視図である。 （ａ）は従来の液体吐出ヘッドの一部の流路の概略構成を示す概略図、（ｂ）は（ａ）に示した流路の等価回路図である。 （ａ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部の流路の概略構成を示す概略図、（ｂ）は（ａ）に示した流路の等価回路図である。 （ａ）は図７に示す液体吐出ヘッドの各吐出素子に加わる圧力の分布を示す図、（ｂ）は図８に示す液体吐出ヘッドの各吐出素子に加わる圧力の分布を示す図である。 （ａ）は第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドを拡大して示す平面図、（ｂ）は断面斜視図である。 第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。 図１１に示す液体吐出ヘッドの一部を拡大して示す平面図である。 第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す断面図である。

＜第１の実施形態＞
図１を用いて、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含むカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１と称する）について説明する。

プリンタ１は、記録媒体Ｐを搬送ローラ７４ａから搬送ローラ７４ｂへと搬送することにより、記録媒体Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部７６は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、記録媒体Ｐに液滴を着弾させて、記録媒体Ｐに印刷を行なう。

本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。記録装置の他の実施形態としては、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。

プリンタ１には、記録媒体Ｐとほぼ平行になるように平板状のヘッド搭載フレーム７０が固定されている。ヘッド搭載フレーム７０には２０個の孔（不図示）が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔に搭載されている。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。

液体吐出ヘッド２は、図１（ｂ）に示すように細長い長尺形状をなしている。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、記録媒体Ｐの搬送方向に交差する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。隣り合う液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、記録媒体Ｐの幅方向に繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、記録媒体Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

４つのヘッド群７２は、記録媒体Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクからインクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクを印刷している。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。

なお、プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数、あるいはヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度、すなわち搬送速度を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、記録媒体Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、記録媒体Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。

プリンタ１は、記録媒体Ｐに印刷を行なう。記録媒体Ｐは、搬送ローラ７４ａに巻き取られた状態になっており、２つの搬送ローラ７４ｃの間を通った後、ヘッド搭載フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通る。その後２つの搬送ローラ７４ｄの間を通り、最終的に搬送ローラ７４ｂに回収される。

記録媒体Ｐとしては、印刷用紙以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、記録媒体Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙、裁断された布、木材、あるいはタイルなどであってもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や、化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部７６が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。

次に、図２〜９を用いて第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。本実施形態では、流路部材を第１流路部材４、リザーバを第２流路部材６、第３共通流路を第１統合流路２２、第４共通流路を第２統合流路２６、加圧部を変位素子４８として説明する。なお、図４，５では図面を分かりやすくするために、他の部材の下方にあって破線で描くべき流路などを実線で描いている。

なお、図面には、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、第３方向Ｄ３を図示している。第１方向Ｄ１は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向であり、第１共通流路２０および第２共通流路２４は、第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａから他方側Ｄ１ｂに向けて延びている。第２方向Ｄ２は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向であり、第１統合流路２２および第２統合流路２６は、第２方向Ｄ２の一方側Ｄ２ａから他方側Ｄ２ｂに向けて延びている。第３方向Ｄ３は、第２方向Ｄ２に直交する方向であり、一方側Ｄ３ａと他方側Ｄ３ｂとを有している。

図２に示すように、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａを備えている。液体吐出ヘッド２は、さらに、筐体５０と、放熱板５２と、配線基板５４と、押圧部材５６と、弾性部材５８と、信号伝達部材６０と、ドライバＩＣ６２とを備えている。なお、筐体５０、放熱板５２、配線基板５４、押圧部材５６、弾性部材５８、信号伝達部材６０、およびドライバＩＣ６２は必ずしも備えていなくてもよい。

液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａから信号伝達部材６０が引き出されており、信号伝達部材６０は、配線基板５４に電気的に接続されている。信号伝達部材６０には、液体吐出ヘッド２の駆動を制御するドライバＩＣ６２が設けられている。ドライバＩＣ６２は、弾性部材５８を介して押圧部材５６により放熱板５２に押圧されている。なお、配線基板５４を支持する支持部材の図示は省略している。

放熱板５２は、金属あるいは合金により形成することができ、ドライバＩＣ６２の熱を外部に放熱するために設けられている。放熱板５２は、螺子あるいは接着剤により筐体５０に接合されている。

筐体５０は、ヘッド本体２ａ上に載置されており、筐体５０と放熱板５２とにより、液体吐出ヘッド２を構成する各部材を覆っている。筐体５０は、開口５０ａ，５０ｂ，５０ｃと、断熱部５０ｄとを備えている。開口５０ａは、筐体５０の第３方向Ｄ３に対向する側面に設けられており、開口５０ａには放熱板５２が配置される。開口５０ｂは、下方に向けて開口しており、開口５０ｂを介して配線基板５４および押圧部材５６が筐体５０の内部に配置される。開口５０ｃは、上方に向けて開口しており、配線基板５４に設けられたコネクタ（不図示）が収容される。

断熱部５０ｄは、第２方向Ｄ２の一方側Ｄ２ａから他方側Ｄ２ｂに延びるように設けられており、放熱板５２とヘッド本体２ａとの間に配置されている。それにより、放熱板５２に放熱された熱が、ヘッド本体２ａに伝熱する可能性を低減することができる。筐体５０は、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。

図３（ａ）に示すように、ヘッド本体２ａは、第２方向Ｄ２に長い平板形状をなしており、第１流路部材４と、第２流路部材６と、圧電アクチュエータ基板４０とを有している。ヘッド本体２ａは、第１流路部材４上に、圧電アクチュエータ基板４０と第２流路部材６とが設けられている。圧電アクチュエータ基板４０は、図３（ａ）に示す第１流路部材４上の破線の領域に載置される。圧電アクチュエータ基板４０は、第１流路部材４に設けられた複数の加圧室１０（図５（ｂ）参照）を加圧するために設けられており、複数の変位素子４８（図５（ｂ）参照）を有している。

第１流路部材４は、内部に流路が形成されており、第２流路部材６から供給された液体を吐出孔８まで導いている。第１流路部材４は、一方の主面が加圧室面４−１を形成しており、加圧室面４−１に開口２０ａ，２４ａが形成されている。開口２０ａは、第２方向Ｄ２に沿って配列されており、加圧室面４−１の第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａに配置されている。開口２４ａは、第２方向Ｄ２に沿って配列されており、加圧室面４−１の第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａに配置されている。

第２流路部材６は、内部に流路が形成されており、液体タンクから供給された液体を第１流路部材４まで導いている。第２流路部材６は、第１流路部材４の加圧室面４−１の外周部上に設けられており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域の外側にて、接着剤（不図示）を介して、第１流路部材４と接合されている。

第２流路部材６は、図３に示すように、貫通孔６ａと、開口６ｂ，６ｃと、第１統合流路２２と、第２統合流路２６とを有している。貫通孔６ａは、第２方向Ｄ２に延びるように形成されており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域よりも外側に配置されている。貫通孔６ａには、信号伝達部材６０が挿通されている。

開口６ｂは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材６の第２方向Ｄ２における一方側Ｄ２ａに配置されている。開口６ｂは、液体タンクから第２流路部材６に液体を供給している。開口６ｃは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材６の他方側Ｄ２ｂに配置されている。

第１統合流路２２は、第２方向Ｄ２に延びるように形成されており、第１接続流路２２ａを有している。第１接続流路２２ａは、開口６ｂと開口２０ａとを接続しており、第１統合流路２２を介して第１流路部材４に液体が供給されている。

第２統合流路２６は、第２方向Ｄ２に延びるように形成されており、第２接続流路２６ａを有している。第２接続流路２６ａは、開口６ｃと開口２４ａとを接続しており、第２統合流路２６を介して第１流路部材４から液体が回収されている。なお、第２流路部材６は、必ずしも設けなくてもよい。

図５（ｂ）に示すように、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ〜４ｇが積層されて形成されており、加圧室面４−１と、吐出孔面４−２を有している。加圧室面４−１上には、圧電アクチュエータ基板４０が載置されており、吐出孔面４−２に開口した吐出孔８から、液体が吐出される。複数のプレート４ａ〜４ｇは、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。なお、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ〜４ｇを積層せずに、樹脂により一体形成してもよい。

第１流路部材４は、複数の第１共通流路２０と、複数の第１開口２０ａと、複数の第２共通流路２４と、複数の第２開口２４ａと、複数の吐出素子１５と、複数の第１個別流路１２と、複数の第２個別流路１４とが形成されており、加圧室面４−１に開口２０ａ，２４ａが形成されている。

第１共通流路２０は、第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａから他方側Ｄ１ｂに延びるように設けられており、第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａに設けられた開口２０ａと連通するように形成されている。また、第１共通流路２０は、第２方向Ｄ２に複数配列されている。

第２共通流路２４は、第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａから他方側Ｄ１ｂに延びるように設けられており、第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａに設けられた開口２４ａと連通するように形成されている。また、第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２に複数配列されており、第２方向Ｄ２に隣り合う第１共通流路２０同士の間に配置されている。そのため、第１共通流路２０および第２共通流路２４は、互いに第１方向Ｄ１に延びるとともに、第２方向Ｄ２に並んで配置されている。

吐出素子１５は、図４，６に示すように、吐出孔８と、加圧室１０とを有しており、第１個別流路１２と第２個別流路１４とが加圧室１０に接続されている。吐出素子１５は、隣り合う第１共通流路２０と第２共通流路２４との間に設けられており、第１流路部材４の平面方向にマトリクス状に形成されている。吐出素子１５は、吐出素子列１５ａと、吐出素子行１５ｂとを有している。吐出素子列１５ａは、第１方向Ｄ１に配列されており、吐出素子行１５ｂは、第２方向Ｄ２に配列されている。また、吐出素子列１５ａと同様に、加圧室列１０ｃと吐出孔列８ａも第１方向Ｄ１に配列されている。また、吐出素子行１５ｂと同様に、加圧室行１０ｄと吐出孔行８ｂも第２方向Ｄ２に配列されている。

第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とが成す角度は直角からずれている。このため、第１方向Ｄ１に配置されている吐出孔列８ａに属する吐出孔８同士は、その直角からのずれた分だけ、第２方向Ｄ２にずれて配置される。吐出孔列８ａは、第２方向Ｄ２に並んで配置されるので、異なる吐出孔列８ａに属する吐出孔８は、その分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。これらが合わさって、第１流路部材４の吐出孔８は、第２方向Ｄ２に一定間隔で並んで配置されている。これにより、吐出した液体により形成される画素で所定の範囲を埋めるように印刷ができる。

図４において、吐出孔８を第２方向Ｄ２に直交する第３方向Ｄ３に投影すると、仮想直線Ｒの範囲に３２個の吐出孔８が投影され、仮想直線Ｒ内で各吐出孔８は３６０ｄｐｉの間隔に並ぶ。これにより、仮想直線Ｒに直交する方向に記録媒体Ｐを搬送して印刷すれば、３６０ｄｐｉの解像度で印刷できる。

液体吐出ヘッド２では、第１個別流路１２から加圧室１０へ液体を供給し、第２個別流路１４が加圧室１０から液体を回収している。

加圧室１０は、加圧室本体１０ａと部分流路１０ｂとを有している。加圧室本体１０ａは、平面視して、円形状をなしており、加圧室本体１０ａの中心から下方に向けて部分流路１０ｂが延びている。加圧室本体１０ａは、加圧室本体１０ａ上に設けられた変位素子４８（図５参照）から圧力を受けることにより、加圧室１０中の液体に圧力を加えるように構成されている。

加圧室本体１０ａは、円柱形状であり、平面形状は円形状をなしている。平面形状が円形状であることにより、変位量、および変位により生じる加圧室１０の体積変化を大きくすることができる。

部分流路１０ｂは、直径が加圧室本体１０ａより小さい円柱形状であり、平面形状は円形状である。部分流路１０ｂは、加圧室面４−１から見たときに、加圧室本体１０ａの内側に配置されている。部分流路１０ｂは、加圧室本体１０ａと吐出孔８とを接続している。

なお、部分流路１０ｂは、吐出孔８側に向かって断面積の小さくなる円錐形状あるいは台形円錐形状であってもよい。それにより、第１共通流路２０および第２共通流路２４の流路抵抗を高くすることができ、圧力損失の差を小さくできる。

加圧室１０は、第１共通流路２０の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第１共通流路２０とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第１個別流路１２を介して接続されている。

また、加圧室１０は、第２共通流路２４の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第２共通流路２４とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第２個別流路１４を介して接続されている。

第１個別流路１２は、第１共通流路２０と加圧室本体１０ａとを接続している。第１個別流路１２は、第１共通流路２０の上面から上方へ向けて延びた後、加圧室本体１０ａの下面に接続されている。

第２個別流路１４は、第２共通流路２４と部分流路１０ｂとを接続している。第２個別流路１４は、第２共通流路２４の下面から第２方向Ｄ２に延び、第１方向Ｄ１に延びた後、部分流路１０ｂの側面１０ｂに接続されている。

液体吐出ヘッドの液体の循環について説明する。外部に設けられた液体タンクから、開口６ｂを介して第２流路部材６に液体が供給される。開口６ｂに供給された液体は、第１統合流路２２に供給され、開口２０ａを介して第１流路部材４に液体が供給される。開口２０ａを介して第１共通流路２０に供給された液体は、第１個別流路１２を介して加圧室本体１０ａに流れ込み、部分流路１０ｂに供給され、一部の液体は吐出孔８から吐出される。そして、残りの液体は、部分流路１０ｂから、第２個別流路１４を介して第２共通流路２４に回収され、開口２４ａを介して、第１流路部材４から第２流路部材６に回収される。開口２４ａを介して第２流路部材６に回収された液体は、第２統合流路２６を流れて、開口６ｃを介して外部へ回収される。

第１流路部材４の上面には、変位素子４８を含む圧電アクチュエータ基板４０が接合されており、各変位素子４８が各加圧室１０上に位置するように配置されている。圧電アクチュエータ基板４０は、加圧室１０によって形成された加圧室群と略同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、第１流路部材４の加圧室面４−１に圧電アクチュエータ基板４０が接合されることで閉塞される。

圧電アクチュエータ基板４０は、圧電体である２枚の圧電セラミック層４０ａ，４０ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層４０ａ，４０ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電セラミック層４０ａ，４０ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。

これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ_３系、ＢａＴｉＯ_３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ_３系、ＢｉＮａＮｂ_５Ｏ_１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層４０ｂは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層や金属板を用いてもよい。

圧電アクチュエータ基板４０には、共通電極４２と、個別電極４４と、接続電極４６とが形成されている。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。そして、個別電極４４は、圧電アクチュエータ基板４０の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている。

圧電セラミック層４０ａの個別電極４４と共通電極４２とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極４４に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子４８となっている。そのため、圧電アクチュエータ基板４０は、複数の変位素子４８を有している。

共通電極４２は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料により形成することができ、共通電極４２の厚さは２μｍ程度とすることができる。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａ上に共通電極用表面電極（不図示）を有しており、共通電極用表面電極が、圧電セラミック層４０ａを貫通して形成されたビアホールを介して共通電極４２と繋がっており、接地され、グランド電位に保持されている。

個別電極４４は、Ａｕ系などの金属材料により形成されており、個別電極本体４４ａと、引出電極４４ｂとを有している。図５（ａ）に示すように、個別電極本体４４ａは、平面視して、ほぼ円形状に形成されており、加圧室本体１０ａよりも小さく形成されている。引出電極４４ｂは、個別電極本体４４ａから引き出されており、引き出された引出電極４４ｂ上に接続電極４６が形成されている。

接続電極４６は、例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。接続電極４６は、信号伝達部材６０に設けられた電極と電気的に接合されている。

続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部７６からの制御でドライバＩＣ６２などを介して、個別電極４４に供給される駆動信号により、変位素子４８が変位する。駆動方法としては、いわゆる引き打ち駆動を用いることができる。

図７（ａ）は、従来の液体吐出ヘッド１０２の一部の流路の概略構成を示しており、（ｂ）は図７（ａ）に示した流路の等価回路図である。図８（ａ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２の一部の流路の概略構成を示しており、（ｂ）は、図８（ａ）に示した流路の等価回路図である。図９は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２のうちの図８（ａ）に示した流路と従来の液体吐出ヘッド１０２のうちの図７（ａ）に示した流路における、吐出素子１５に加わる圧力を吐出素子１５ごとに示している。なお、図７，８における矢印は液体の流れを示している。

図７，８において、Ｒ１は第１共通流路の流路抵抗である。Ｒ２は第１個別流路の流路抵抗である。Ｒ３は第２個別流路の流路抵抗である。Ｒ４は第２共通流路の流路抵抗である。なお、Ｒ１は、第１共通流路の全体の流路抵抗ではなく、隣り合う第１個別流路１２の間に位置する第１共通流路の流路抵抗である。Ｒ４も同様に、第２共通流路の全体の流路抵抗ではなく、隣り合う第２個別流路の間に位置する第２共通流路の流路抵抗である。また、本実施形態では、第１共通流路の流路抵抗Ｒ１と、このＲ１に対応する第２共通流路の流路抵抗Ｒ４とは、略等しい。なお、第１共通流路の流路抵抗Ｒ１と、このＲ１に対応する第２共通流路の流路抵抗Ｒ４とは、等しくなくてもよい。

また、図７，８において、複数の吐出素子１５は、第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａから順に、吐出素子１５ａ，吐出素子１５ｂ，吐出素子１５ｃ・・・吐出素子１５ｎ−２，吐出素子１５ｎ−１，１５ｎと称して説明する。また、図７（ｂ），８（ｂ）に示す圧力Ｐｉｎは、各吐出素子１５の入口側の圧力を示しており、圧力Ｐｏｕｔは、各吐出素子１５の出口側の圧力を示している。図９は各吐出素子１５に加わる圧力Ｐｉｎおよび圧力Ｐｏｕｔをプロットした図である。

液体吐出ヘッドが液体を吐出しない場合には、吐出孔８において、液体はメニスカスを形成している必要がある。吐出孔８の内側の圧力（以下、「吐出孔８の圧力」と称する）がほぼ０（ゼロ）であれば、液体は、その表面張力により、吐出孔８でメニスカスを形成する。液体の表面張力があるため、吐出孔８の圧力が僅かに正圧であったり、僅かに負圧であっても、吐出孔８にメニスカスは保持される。しかし、正圧が大きくなり過ぎると、液体は吐出孔８から溢れて、吐出孔面４−２に広がってしまう。一方、負圧が大きくなり過ぎると、外部の気体が吐出孔８から侵入してしまう。いずれにしても、そのような状態になると、吐出素子１５における圧力の伝搬が通常と異なるために、吐出素子１５の吐出特性が変動することにより、吐出が行なわれなくなってしまう。そのため、各吐出孔８の圧力は、０（ゼロ）付近の所定圧力の範囲内に収める必要がある。

吐出孔８の圧力は、圧力Ｐｉｎと圧力Ｐｏｕｔとの間の圧力になる。具体的には、Ｒ２およびＲ３の流路抵抗の値により差が生じるが、吐出孔８の圧力は、概ね、圧力Ｐｉｎと圧力Ｐｏｕｔとの間の中央の圧力、すなわち、圧力Ｐｉｎと圧力Ｐｏｕｔとの平均値になる。図９に示されたメニスカス保持領域は、圧力Ｐｉｎと圧力Ｐｏｕｔとの平均値が、０（ゼロ）付近の所定圧力の範囲内になる領域である。圧力Ｐｉｎおよび圧力Ｐｏｕｔが、このメニスカス保持領域に収まっていれば、吐出孔８の圧力は、メニスカスが保持できる範囲に収まることとなる。

従来の液体吐出ヘッド１０２は、第１開口１２０ａおよび第２開口１２４ａの配置が液体吐出ヘッド２と異なっている。第１開口１２０ａは第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａに設けられており、第２開口１２４ａは第１方向Ｄ１の他方側Ｄ１ｂに設けられている。そのため、図７（ａ）の矢印で示す向きに液体が流れることとなる。

そのため、吐出素子１５の第１共通流路１２０の接続位置により、吐出素子１５に加わる圧力Ｐｉｎの値が異なっている。具体的には、第１方向Ｄ１の他方側Ｄ１ｂに位置する吐出素子１５ｎの圧力ＰｉｎＮは、第１共通流路２０に流れる液体の圧力損失の影響により、第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａに位置する吐出素子１５ａの圧力Ｐｉｎ１に比べて小さくなっている。すなわち、第１方向Ｄ１における一方側Ｄ１ａから他方側Ｄ１ｂに向かうにつれて、吐出素子１５に加わる圧力Ｐｉｎは徐々に小さくなっている。

上記と同様に、吐出素子１５の第２共通流路１２４の接続位置によって、吐出素子１５に加わる圧力Ｐｏｕｔの値も異なっている。具体的には、第１方向Ｄ１の他方側Ｄ１ｂに位置する吐出素子１５ｎの圧力ＰｏｕｔＮは、第２共通流路１２４に流れる液体の圧力損失の影響により、第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａに位置する吐出素子１５ａの圧力Ｐｏｕｔ１に比べて小さくなっている。すなわち、第１方向Ｄ１における一方側Ｄ１ａから他方側Ｄ１ｂに向かうにつれて、吐出素子１５に加わる圧力Ｐｏｕｔは徐々に小さくなっている。

この結果、第１方向Ｄ１の最も一方側Ｄ１ａに配置されている吐出素子１５ａでは、圧力Ｐｉｎ１および圧力Ｐｏｕｔ１の両方が大きく、吐出孔８の圧力も大きくなる。これは、図９（ａ）に示された吐出素子１５に加わる圧力のうちで、グラフの最も右上に位置しているものになる。また、第１方向Ｄ１の最も他方側Ｄ１ｂに配置されている吐出素子１５ｎでは、圧力ＰｉｎＮおよび圧力ＰｏｕｔＮの両方が小さく、吐出孔８の圧力も小さくなる。これは、図９（ａ）に示された吐出素子１５に加わる圧力のうちで、グラフの最も左下に位置しているものになる。

圧力Ｐｉｎ１〜Ｎおよび圧力Ｐｏｕｔ１〜Ｎの関係は、上述のとおりであるため、吐出素子１５ａから吐出素子１５ｎまでの吐出素子１５に加わる圧力は、図９（ａ）に示すように、グラフの右上から左下に向かうように分布する。この分布は、メニスカス保持領域を横切るような分布になるため、各吐出素子１５に加わる圧力が分布する範囲が大きくなり、メニスカス保持領域内に収めることができず、各吐出素子１５のメニスカスが保持できない可能性があった。

図８に示す液体吐出ヘッド２は、第１開口２０ａが第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａに設けられており、第２開口２４ａが第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａに設けられている。そのため、図８（ａ）の矢印で示す向きに液体が流れることとなる。

そのため、吐出素子１５の第１共通流路２０の接続位置により、吐出素子１５に加わる圧力Ｐｉｎの値が異なっている。具体的には、第１方向Ｄ１の他方側Ｄ１ｂに位置する吐出素子１５ｎの圧力ＰｉｎＮは、第１共通流路２０に流れる液体の圧力損失の影響により、第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａに位置する吐出素子１５ａの圧力Ｐｉｎ１に比べて小さくなっている。すなわち、第１方向Ｄ１における一方側Ｄ１ａから他方側Ｄ１ｂに向かうにつれて、吐出素子１５に加わる圧力Ｐｉｎは徐々に小さくなっている。

上記と同様に、吐出素子１５の第２共通流路２４の接続位置によって、吐出素子１５に加わる圧力Ｐｏｕｔの値も異なっている。具体的には、第２共通流路２４に流れる液体の圧力損失の影響により、第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａに位置する吐出素子１５ａの圧力Ｐｏｕｔ１は、第１方向Ｄ１の他方側Ｄ１ｂに位置する吐出素子１５ｎの圧力ＰｏｕｔＮに比べて小さくなっている。すなわち、第１方向Ｄ１における他方側Ｄ１ｂから一方側Ｄ１ａに向かうにつれて、吐出素子１５に加わる圧力Ｐｏｕｔは徐々に小さくなっている。

この結果、第１方向Ｄ１の最も一方側Ｄ１ａに配置されている吐出素子１５ａでは、圧力Ｐｉｎ１は大きく、圧力Ｐｏｕｔは小さい。これは、図９（ｂ）に示された吐出素子１５に加わる圧力のうちで、グラフの最も右下に位置しているものになる。また、第１方向Ｄ１の最も他方側Ｄ１ｂに配置されている吐出素子１５ｎでは、圧力Ｐｉｎは小さく、圧力Ｐｏｕｔは大きい。これは、図９（ｂ）に示された吐出素子１５に加わる圧力のうちで、グラフの最も左上に位置しているものになる。

そして、圧力Ｐｉｎ１〜Ｎおよび圧力Ｐｏｕｔ１〜Ｎの関係は、上述のとおりであるため、吐出素子１５ａから吐出素子１５ｎまでの吐出素子１５に加わる圧力は、図９（ｂ）に示すように、グラフの右下から左上に向かうように分布する。この分布は、メニスカス保持領域に沿った分布になるため、吐出素子１５に加わる圧力の分布をメニスカス保持領域内に収めることができる。

以上より、従来の液体吐出ヘッド１０２の構成では、吐出素子１５に加わる圧力は、図９（ａ）のように、グラフの右上から左下に並ぶ。すなわち、吐出素子１５に加わる圧力は、メニスカス保持領域を横切るように並ぶため、吐出素子１５に加わる圧力をメニスカス保持領域に収めるのが難しくなる。これに対して、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２の構成では、吐出素子１５に加わる圧力は、図９（ｂ）のように、グラフの右下から左上に並ぶ。すなわち、吐出素子１５に加わる圧力は、メニスカス保持領域に沿って並ぶため、吐出素子１５に加わる圧力をメニスカス保持領域に収めることができる。

第１個別流路１２の流路抵抗Ｒ２が、第２個別流路１４の流路抵抗Ｒ３とほぼ等しい場合には、メニスカス保持領域は、グラフにおいて、圧力Ｐｉｎ＝０、圧力Ｐｏｕｔ＝０を含む、右下に４５度傾いた領域になる。第１個別流路１２の流路抵抗Ｒ２が、第２個別流路１４の流路抵抗Ｒ３の０．５〜２倍であることにより、メニスカス保持領域が、グラフにおいて右下に３０〜６０度傾いた領域になることにより、メニスカス保持領域と、吐出素子１５に加わる圧力の分布とが、同程度の傾斜を持つこととなる。それにより、吐出素子１５に加わる圧力の分布がメニスカス保持領域に収まる可能性を高めることができる。

また、第１開口２０ａと第２開口２４ａとが、第２方向Ｄ２に交互に設けられている。そのため、第１共通流路２０と第２共通流路２４とが第２方向Ｄ２に交互に配置されることとなる。その結果、１つの第１共通流路２０に２列の吐出孔列８ａを接続することができるとともに、１つの第２共通流路２４に２列の吐出孔列８ａを接続することができる。そのため、面積効率よく第１共通流路２０と第２共通流路２４とを配置することができる。

なお、各流路の流路抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、例えばＲ２≒Ｒ３＞＞Ｒ１≒Ｒ４の関係を例示することができる。このように、第１共通流路２０および第２共通流路２４の流路抵抗を、第１個別流路１２および第２個別流路１４の流路抵抗よりも小さくすることにより、圧力損失により生じる各圧力Ｐｉｎの圧力の差および各圧力Ｐｏｕｔの差を小さくすることができ、各吐出素子１５に加わる圧力の分布の範囲を小さくすることができる。

また、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とが直交していない例を示したがこれに限定されるものではない。第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２が直交していてもよい。その場合、第１方向Ｄ１と第３方向Ｄ３とが同一の方向になる。

＜第２の実施形態＞
図１０を用いて液体吐出ヘッド２０２について説明する。なお、同一の部材については同一の符号を付しており、説明を省略する。液体吐出ヘッド２０２は、第１流路部材２０４および第２流路部材２０６の構成が、液体吐出ヘッド２と異なっている。

第１流路部材２０４は、第１共通流路２２０と、第１開口２２０ａと、第２共通流路２２４と、第２開口２２４ａと、吐出素子１５と、第１個別流路１２と、第２個別流路１４とを有している。

第１開口２２０ａおよび第２開口２２４ａは、第２方向Ｄ２に複数設けられており、第２方向Ｄ２に交互に設けられている。そして、複数の第１開口２２０ａと複数の第２開口２２４ａとが、第１方向Ｄ１にずれて設けられている。

第２流路部材２０６は、内部に第１統合流路２２２と第２統合流路２２６とを有している。第２統合流路２２６は、複数の第１開口２２０ａ上に設けられており、第２方向Ｄ２に長く形成されている。第２統合流路２２６は、複数の第２開口２２４ａ上に設けられており、第２方向Ｄ２に長く形成されている。第１統合流路２２２および第２統合流路２２６は第２方向Ｄ２に並んで配置されている。

第１統合流路２２２は、第１開口２２０ａと接続された第１接続流路２２２ａを有している。第１接続流路２２２ａは、第１統合流路２２２から下方に向けて延びている。第２統合流路２２６は、第２開口２２４ａと接続された第２接続流路２２６ａを有している。第２接続流路２２６ａは、第２統合流路２２６から下方に向けて延びている。

このように、第１開口２２０ａと第２開口２２４ａとが第１方向Ｄ１にずれて配置されていることにより、第１統合流路２２２と第２統合流路２２６とを並べて配置することができる。それにより、第１接続流路２２２ａおよび第２接続流路２２６ａを下方に延ばすことにより、第１流路部材２０４と第２流路部材２０６とを容易に接続することができる。

また、第１統合流路２２２と第２統合流路２２６とが第１方向Ｄ１に隣り合うことにより、第１統合流路２２２を流れる液体と、第２統合流路２２６を流れる液体との間で熱交換させることができ、各吐出素子１５に均一な温度の液体を供給することができる。

また、図１０（ａ）に示すように、平面視において、第１開口２２０ａと、第１開口２２０ａに最も近くに配置された第１個別流路１２との距離Ｌａ（以下、「距離Ｌａ」と称する）が、第２開口２２４ａと、第２開口２２４ａに最も近くに配置された第２個別流路１４との距離Ｌｂ（以下、「距離Ｌｂ」と称する）と等しいことが好ましい。

距離Ｌａと距離Ｌｂとが等しいことにより、第１共通流路２２０と第２共通流路２２４との流路抵抗を近づけることができ、各吐出素子１５に生じる圧力分布の範囲を小さくすることができる。また、各吐出素子１５に加わる圧力Ｐｉｎと圧力Ｐｏｕｔとを絶対値が同じで正負が逆の値にコントロールするのが容易になり、各吐出素子１５に加わる圧力を０（ゼロ）に近づけ易くなる。

なお、本明細書において、距離Ｌａと距離Ｌｂとが等しいとは、実質的に等しいということを含むものであり、製造誤差範囲の±５％をも含む概念である。

＜第３の実施形態＞
図１１，１２を用いて液体吐出ヘッド３０２について説明する。なお、図１１（ａ）では、わかりやすくするために第２流路部材３０６の第１統合流路３２２および第２統合流路３２６と、圧電アクチュエータ基板３４０とを破線にて示している。

液体吐出ヘッド３０２は、第１流路部材３０４と、第２流路部材３０６と、圧電アクチュエータ基板３４０とを有している。第１流路部材３０４上に第２流路部材３０６と圧電アクチュエータ基板３４０とが設けられている。

第１流路部材３０４は、内部に各種流路が形成されており、複数の吐出ユニット３１９を有している。吐出ユニット３１９は、第１方向Ｄ１に並んで配置されている。吐出ユニット３１９は、第１吐出部３１７と、第２吐出部３１８とを有している。

第１吐出部３１７は、第１共通流路３２０と、第１開口３２０ａと、第２共通流路３２４と、第２開口３２４ａと、吐出素子１５と、第１個別流路（不図示）と、第２個別流路（不図示）とを有している。

第２吐出部３１８は、第１共通流路３２０と、第１開口３２０ａと、第２共通流路３２４と、第２開口３２４ａと、吐出素子１５と、第１個別流路（不図示）と、第２個別流路（不図示）とを有している。

第１吐出部３１７および第２吐出部３１８は、第１方向Ｄ１に並んで配置されており、第１吐出部３１７の第１開口３２０ａは、第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａに設けられ、第１吐出部３１７の第２開口３２４ａは、第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａに設けられている。第２吐出部３１８の第１開口３２０ａは、第１方向Ｄ１の他方側Ｄ１ｂに設けられ、第２吐出部３１８の第２開口３２４ａは、第１方向Ｄ１の他方側Ｄ１ｂに設けられている。

第２流路部材３０６は、本体３０６ａと、ダンパプレート３０６ｂと、蓋プレート３０６ｃとを有している。蓋プレート３０６ｃは、ダンパプレート３０６ｂ上に設けられている。ダンパプレート３０６ｂは、第１ダンパ室３３２ａがハーフエッチングにより形成されており、本体３０６ａ上に設けられている。それにより、第１ダンパ３３０ａが形成されている。

第２流路部材３０６は、複数の第１統合流路３２２と、複数の第２統合流路３２６とを有している。第１統合流路３２２および第２統合流路３２６は、第２方向Ｄ２に長く形成されている。第１統合流路３２２および第２統合流路３２６は並んで設けられており、一対の第１統合流路３２２および第２統合流路３２６は、第１方向Ｄ１に複数設けられている。

第１統合流路３２２は、第２統合流路３２６の幅よりも広い第１液室３２７を有しており、第１液室３２７が第１接続流路３２２ａにより第１開口３２０ａに接続されている。第２統合流路３２６は、第１液室３２７の下方に配置されている。第１液室３２７上には第１ダンパ室３３２ａが設けられており、第１液室３２７を構成する上面は薄く形成されており、第１液室３２７に対向した第１ダンパ３３０ａが設けられている。そのため、第１液室３２７および第１ダンパ３３０ａが、第１統合流路３２２に生じた圧力変動を緩和することができる。

液体吐出ヘッド３０２は、第１吐出部３１７および第２吐出部３１８を有しており、第１吐出部３１７および第２吐出部３１８は、第１方向Ｄ１に並んで配置されている。それにより、吐出素子１５の数を減らすことなく、第１吐出部３１７を構成する第１共通流路３２０および第２共通流路３２４と、第２吐出部３１８を構成する第１共通流路３２０および第２共通流路３２４との第１方向Ｄ１における長さを短くすることができる。その結果、各吐出素子１５における第１共通流路３２０および第２共通流路３２４による圧力損失を低下させることができ、吐出素子１５に加わる圧力の分布の範囲を小さくすることができる。

また、液体吐出ヘッド３０２は、吐出ユニット３１９を複数備えており、複数の吐出ユニット３１９が第１方向Ｄ１に並んで配置されている。それにより、吐出素子１５の数を減らすことなく、第１吐出部３１７を構成する第１共通流路３２０および第２共通流路３２４と、第２吐出部３１８を構成する第１共通流路３２０および第２共通流路３２４との第１方向Ｄ１における長さをさらに短くすることができる。その結果、吐出素子１５に加わる圧力の分布の範囲をさらに小さくすることができる。

また、液体吐出ヘッド３０２は、第１統合流路３２２が第１共通流路３２０に液体を供給し、第２統合流路３２６が第２共通流路３２４から液体を回収している。それにより、液体吐出ヘッド３０２が、液体を循環させることができ、液体吐出ヘッド３０２の内部で顔料等が沈降する可能性を低減することができる。

また、液体吐出ヘッド３０２は、第２統合流路３２６が第１統合流路３２２と吐出素子１５との間に配置されている。そのため、第２開口３２４ａと第２共通流路３２４の第１方向Ｄ１の他方側Ｄ１ｂの側面との距離を近づけることができる。その結果、第２共通流路３２４の流路抵抗が大きくなることを抑えることができる。

第１統合流路３２６は第１液室３２７を有しており、第１液室３２７に対向した第１ダンパ３３０ａが第２流路部材３０６に設けられている。それにより、第１統合流路３２２に生じた圧力変動を緩和することができる。特に、第１ダンパ３３０ａが、流量の多い第１統合流路３２６を構成する第１液室３２７に形成されていることから、効果的に液体吐出ヘッド３０２の圧力変動を緩和することができる。

また、第１開口３２０ａが、第２開口３２４ａよりも第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａに設けられている。それにより、第２流路部材３０６の上端部のスペースを有効に利用することができ、第１統合流路３２２に第１液室３２７を設けることができる。

また、平面視において、第２開口３２４ａと、第２開口３２４ａに最も近くに配置された第１個別流路（不図示）との距離が、第１開口３２０ａと、第１開口３２０ａに最も近くに配置された第２個別流路（不図示）との距離よりも短いことが好ましい。それにより、第２開口３２０ａと第２共通流路３２４の第１方向Ｄ１の他方側Ｄ１ｂの側面との距離を近づけることができる。その結果、第２共通流路３２４の流路抵抗が大きくなることを抑えることができる。

なお、第２統合流路３２６が第１統合流路３２２と吐出素子１５との間に配置されているとは、第２統合流路３２６の第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａの側面が、第１統合流路３２２の第１方向Ｄ１の一方側Ｄ１ａの側面と、吐出素子１５との間に位置することを意味している。

また、第１流路部材３０４は、吐出ユニット３１９を複数備えていなくてもよい。すなわち、第１吐出部３１７と第２吐出部３１８とを１つずつ備えていてもよい。その場合においても、各吐出素子１５における第１共通流路３２０および第２共通流路３２４による圧力損失を低下させることができ、吐出素子１５に加わる圧力の分布の範囲を小さくすることができる。

＜第４の実施形態＞
図１３を用いて、液体吐出ヘッド４０２について説明する。液体吐出ヘッド４０２は、第１統合流路４２２および第２統合流路４２６が、液体吐出ヘッド３０２と異なっている。

第２流路部材４０６は、本体４０６ａと、ダンパプレート４０６ｂと、蓋プレート４０６ｃとを有している。蓋プレート４０６ｃは、ダンパプレート４０６ｂ上に設けられている。ダンパプレート４０６ｂは、本体４０６ａ上に設けられている。それにより、第２ダンパ室４３２ａと第２ダンパ４３０ｂとが形成されている。

第２流路部材４０６は、複数の第１統合流路４２２と、複数の第２統合流路４２６とを有している。第２統合流路４２６は、第１統合流路４２２の幅よりも広い第２液室４２９を有しており、第２液室４２９が第２接続流路４２６ａにより第２開口４２４ａに接続されている。

第１統合流路４２２は、第２液室４２９の下方に配置されている。第２液室４２９を構成する上面は薄く形成されており、第２液室４２９に対向した第２ダンパ４３０ｂが設けられている。そのため、第２液室４２９および第２ダンパ４３０ｂが、第２統合流路４２６に生じた圧力変動を緩和することができる。

また、液体吐出ヘッド４０２は、第１統合流路４２２が第２統合流路４２６と吐出素子１５との間に配置されている。そのため、第１開口４２０ａと第１共通流路４２０の第１方向Ｄ１の他方側Ｄ１ｂの側面との距離を近づけることができる。その結果、第１共通流路４２０の流路抵抗が大きくなることを抑えることができる。

第２統合流路４２６は第２液室４２９を有しており、第２液室４２９に対向した第２ダンパ４３０ｂが第２流路部材４０６に設けられている。それにより、第２統合流路４２６に生じた圧力変動を緩和することができる。

以上、第１〜４の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。例えば、第１の実施形態である液体吐出ヘッド２を用いたプリンタ１を示したが、これに限定されるものではなく、他の実施形態に係る液体吐出ヘッド２をプリンタ１に用いてもよい。また、複数の実施形態を適宜組み合わせてもよい。

また、加圧部として、加圧室１０を圧電アクチュエータの圧電変形によりを加圧する例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、加圧室１０ごとに発熱部を設け、発熱部の熱により加圧室１０の内部の液体を加熱し、液体の熱膨張により加圧する加圧部としてもよい。

また、第１統合流路２２に外部から液体を供給し、第２統合流路２６から液体を外部に回収する例を示したがこれに限定されるものではない。第２統合流路２６に外部から液体を供給し、第１統合流路２２から液体を外部に回収するようにしてもよい。さらに、循環構造を有する液体吐出ヘッド２を示したが、循環構造を有さなくてもよい。

１・・・カラーインクジェットプリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・第１流路部材
６・・・第２流路部材
８・・・吐出孔
１０・・・加圧室
１２・・・第１個別流路
１４・・・第２個別流路
１５・・・吐出素子
１７・・・第１吐出部
１８・・・第２吐出部
１９・・・吐出ユニット
２０・・・第１共通流路
２０ａ・・・第１開口
２２・・・第１統合流路
２４・・・第２共通流路
２４ａ・・・第２開口
２６・・・第２統合流路
４０・・・圧電アクチュエータ基板
４０ａ，４０ｂ・・・圧電セラミック層
４８・・・変位素子（加圧部）
５０・・・筐体
７６・・・制御部
Ｐ・・・印刷用紙
Ｄ１・・・第１方向
Ｄ１ａ・・・第１方向の一方側
Ｄ１ｂ・・・第１方向の他方側
Ｄ２・・・第２方向
Ｄ２ａ・・・第２方向の一方側
Ｄ２ｂ・・・第２方向の他方側
Ｄ３・・・第３方向
Ｄ３ａ・・・第３方向の一方側
Ｄ３ｂ・・・第３方向の他方側

Claims (20)

1. 液体を吐出する複数の吐出素子と、
   前記吐出素子ごとに設けられた複数の第１個別流路と、
   前記吐出素子ごとに設けられた複数の第２個別流路と、
   第１方向の一方側から他方側に延び、複数の前記第１個別流路に共通して連通した第１共通流路と、
   前記第１共通流路と外部とを連通する第１開口と、
   前記第１方向の前記一方側から前記他方側に延び、複数の前記第２個別流路に共通して連通した第２共通流路と、
   前記第２共通流路と外部とを連通する第２開口と、を備え、
   前記第１開口は、前記第１共通流路の前記第１方向の前記一方側に設けられており、
   前記第２開口は、前記第２共通流路の前記第１方向の前記一方側に設けられており、
   前記第１個別流路の流路抵抗が、前記第２個別流路の流路抵抗の０．５〜２倍であることを特徴とする流路部材。
2. 前記第１開口を有する前記第１共通流路と前記第２開口を有する前記第２共通流路とが複数設けられており、
   複数の前記第１開口と複数の前記第２開口とが、前記第１方向に交差する第２方向に交互に設けられている、請求項１に記載の流路部材。
3. 複数の前記第１開口と複数の前記第２開口とが、前記第１方向にずれて配置されている、請求項２に記載の流路部材。
4. 液体を吐出する複数の吐出素子と、
   前記吐出素子ごとに設けられた複数の第１個別流路と、
   前記吐出素子ごとに設けられた複数の第２個別流路と、
   第１方向の一方側から他方側に延び、複数の前記第１個別流路に共通して連通した第１共通流路と、
   前記第１共通流路と外部とを連通する第１開口と、
   前記第１方向の前記一方側から前記他方側に延び、複数の前記第２個別流路に共通して連通した第２共通流路と、
   前記第２共通流路と外部とを連通する第２開口と、を備え、
   前記第１開口は、前記第１共通流路の前記第１方向の前記一方側に設けられており、
   前記第２開口は、前記第２共通流路の前記第１方向の前記一方側に設けられており、
   前記第１開口を有する前記第１共通流路と前記第２開口を有する前記第２共通流路とが複数設けられており、
   複数の前記第１開口と複数の前記第２開口とが、前記第１方向に交差する第２方向に交互に設けられており、
   複数の前記第１開口と複数の前記第２開口とが、前記第１方向にずれて配置されていることを特徴とする流路部材。
5. 前記第１開口が、前記第２開口よりも前記第１方向の前記一方側に配置されている、請求項３または４に記載の流路部材。
6. 平面視において、前記第１開口と当該第１開口の最も近くに配置された前記第１個別流路との距離が、前記第２開口と当該第２開口の最も近くに配置された前記第２個別流路との距離と等しい、請求項１〜５のいずれか一項に記載の流路部材。
7. 液体を吐出する複数の吐出素子と、
   前記吐出素子ごとに設けられた複数の第１個別流路と、
   前記吐出素子ごとに設けられた複数の第２個別流路と、
   第１方向の一方側から他方側に延び、複数の前記第１個別流路に共通して連通した第１共通流路と、
   前記第１共通流路と外部とを連通する第１開口と、
   前記第１方向の前記一方側から前記他方側に延び、複数の前記第２個別流路に共通して連通した第２共通流路と、
   前記第２共通流路と外部とを連通する第２開口と、を備え、
   前記第１開口は、前記第１共通流路の前記第１方向の前記一方側に設けられており、
   前記第２開口は、前記第２共通流路の前記第１方向の前記一方側に設けられており、
   平面視において、前記第１開口と当該第１開口の最も近くに配置された前記第１個別流路との距離が、前記第２開口と当該第２開口の最も近くに配置された前記第２個別流路との距離と等しいことを特徴とする流路部材。
8. 平面視において、前記第２開口と当該第２開口の最も近くに配置された前記第１個別流路との距離が、前記第１開口と当該第１開口の最も近くに配置された前記第２個別流路との距離よりも短い、請求項１〜５のいずれか一項に記載の流路部材。
9. 液体を吐出する複数の吐出素子と、
   前記吐出素子ごとに設けられた複数の第１個別流路と、
   前記吐出素子ごとに設けられた複数の第２個別流路と、
   第１方向の一方側から他方側に延び、複数の前記第１個別流路に共通して連通した第１共通流路と、
   前記第１共通流路と外部とを連通する第１開口と、
   前記第１方向の前記一方側から前記他方側に延び、複数の前記第２個別流路に共通して連通した第２共通流路と、
   前記第２共通流路と外部とを連通する第２開口と、を備え、
   前記第１開口は、前記第１共通流路の前記第１方向の前記一方側に設けられており、
   前記第２開口は、前記第２共通流路の前記第１方向の前記一方側に設けられており、
   平面視において、前記第２開口と当該第２開口の最も近くに配置された前記第１個別流路との距離が、前記第１開口と当該第１開口の最も近くに配置された前記第２個別流路との距離よりも短いことを特徴とする流路部材。
10. 複数の前記吐出素子、複数の前記第１個別流路、複数の前記第２個別流路、前記第１共
    通流路、前記第１開口、前記第２共通流路、および前記第２開口を備える第１吐出部と、
    複数の前記吐出素子、複数の前記第１個別流路、複数の前記第２個別流路、前記第１共通流路、前記第１開口、前記第２共通流路、および前記第２開口を備える第２吐出部と、を備え、
    前記第１吐出部および前記第２吐出部は、前記第１方向に並んで配置されており、
    前記第１吐出部の前記第１開口は、前記第１方向の前記一方側に設けられ、前記第１吐出部の前記第２開口は、前記第１方向の前記一方側に設けられており、
    前記第２吐出部の前記第１開口は、前記第１方向の前記他方側に設けられ、前記第２吐出部の前記第２開口は、前記第１方向の前記他方側に設けられている、請求項１〜９のいずれか一項に記載の流路部材。
11. 液体を吐出する複数の吐出素子と、
    前記吐出素子ごとに設けられた複数の第１個別流路と、
    前記吐出素子ごとに設けられた複数の第２個別流路と、
    第１方向の一方側から他方側に延び、複数の前記第１個別流路に共通して連通した第１共通流路と、
    前記第１共通流路と外部とを連通する第１開口と、
    前記第１方向の前記一方側から前記他方側に延び、複数の前記第２個別流路に共通して連通した第２共通流路と、
    前記第２共通流路と外部とを連通する第２開口と、を備え、
    前記第１開口は、前記第１共通流路の前記第１方向の前記一方側に設けられており、
    前記第２開口は、前記第２共通流路の前記第１方向の前記一方側に設けられており、
    複数の前記吐出素子、複数の前記第１個別流路、複数の前記第２個別流路、前記第１共通流路、前記第１開口、前記第２共通流路、および前記第２開口を備える第１吐出部と、
    複数の前記吐出素子、複数の前記第１個別流路、複数の前記第２個別流路、前記第１共通流路、前記第１開口、前記第２共通流路、および前記第２開口を備える第２吐出部と、が有り、
    前記第１吐出部および前記第２吐出部は、前記第１方向に並んで配置されており、
    前記第１吐出部の前記第１開口は、前記第１方向の前記一方側に設けられ、前記第１吐出部の前記第２開口は、前記第１方向の前記一方側に設けられており、
    前記第２吐出部の前記第１開口は、前記第１方向の前記他方側に設けられ、前記第２吐出部の前記第２開口は、前記第１方向の前記他方側に設けられていることを特徴とする流路部材。
12. 前記第１吐出部および前記第２吐出部を備える吐出ユニットを複数備え、
    複数の前記吐出ユニットが前記第１方向に並んで配置されている、請求項１１に記載の流路部材。
13. 請求項１〜１２のいずれか一項に記載の流路部材と、
    前記流路部材上に配置されており、前記吐出素子を加圧する加圧部と、を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。
14. 前記流路部材上に配置されたリザーバをさらに備え、
    前記リザーバは、前記第１共通流路に液体を供給する第３共通流路と、前記第２共通流路から液体を回収する第４共通流路とを有する、請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
15. 液体を吐出する複数の吐出素子と、
    前記吐出素子ごとに設けられた複数の第１個別流路と、
    前記吐出素子ごとに設けられた複数の第２個別流路と、
    第１方向の一方側から他方側に延び、複数の前記第１個別流路に共通して連通した第１
    共通流路と、
    前記第１共通流路と外部とを連通する第１開口と、
    前記第１方向の前記一方側から前記他方側に延び、複数の前記第２個別流路に共通して連通した第２共通流路と、
    前記第２共通流路と外部とを連通する第２開口と、を備えている流路部材、
    該流路部材上に配置されており、前記吐出素子を加圧する加圧部、
    および、前記流路部材上に配置されたリザーバ、を備え、
    前記第１開口は、前記第１共通流路の前記第１方向の前記一方側に設けられており、
    前記第２開口は、前記第２共通流路の前記第１方向の前記一方側に設けられており、
    前記リザーバは、前記第１共通流路に液体を供給する第３共通流路と、前記第２共通流路から液体を回収する第４共通流路とを有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
16. 平面視において、前記第４共通流路が、前記第３共通流路と前記吐出素子との間に配置されている、請求項１４または１５に記載の液体吐出ヘッド。
17. 前記第３共通流路が、前記第４共通流路の幅よりも広い第１液室を有し、
    前記第１液室に対向して第１ダンパが形成されている、請求項１６に記載の液体吐出ヘッド。
18. 平面視において、前記第３共通流路が、前記第４共通流路と前記吐出素子との間に配置されている、請求項１４または１５に記載の液体吐出ヘッド。
19. 前記第４共通流路が、前記第３共通流路の幅よりも広い第２液室を有し、
    前記第２液室に対向して第２ダンパが形成されている、請求項１８に記載の液体吐出ヘッド。
20. 請求項１３〜１９のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
    記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、
    前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備えていることを特徴とする記録装置。

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