JP6309498B2 - 静電容量検出式圧力スイッチ及び圧力センサ - Google Patents
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Description
また、前記電極接触部の付け根付近には、薄肉部が形成されており、前記可動電極とスポット溶接される形状に形成されるものとしてもよい。
また、前記電極接触部の付け根付近には、薄肉部が形成されており、前記可動電極とレーザー溶接される形状に形成されるものとしてもよい。
また、前記電極接触部の先端には、先端に水平面から90度折れ曲がった突起形状が形成され、前記電極接触部は、前記可動電極とコネクタ嵌合される形状に形成されるものとしてもよい。
また、前記電極接触部は、前記ダイヤフラムの外周に板ばねが設けられた皿ばね形状に形成され、前記可動電極と前記皿ばねの弾性力により接続されるものとしてもよい。
まず、従来技術による静電容量検出式の圧力スイッチについて説明する。
図1は、一般的な円板形状のダイヤフラム111を使用した従来技術による静電容量検出式圧力スイッチ100の構成を示す図である。
図2において、静電容量検出回路200は、発振回路210と、発振状態検出回路220と、出力回路230とを備える。可動電極121及び固定電極122は、静電容量検出回路200の発振回路210の一部となるコンデンサとして接続される。発振回路210は、例えばRC回路等で構成され、静電容量の変動により発振周波数が変動する。従って、ダイヤフラム111が変位し、静電容量が変動すると、発振回路210の発振周波数が変動することになる。次に、ダイヤフラム111の変位に従い、発振周波数が変動すると、発振の開始あるいは停止が引き起こされる。発振回路210からの出力が発振状態検出回路220に入力され、上述の発振の開始あるいは停止が検出される。検出された検出信号は、出力回路230に入力され、増幅された後、外部に出力される。なお、静電容量検出回路200は、例示であって、ダイヤフラム111の変位を静電容量の変位として検出できればよい。
図9において、静電容量検出式圧力スイッチ900は、主に、図1に示す一般的な円板形状のダイヤフラム111の代わりに、図8に示す皿ばね形状のダイヤフラム800を備えることを特徴とする。図1に示す従来技術による圧力スイッチ100と同じ構成要素には、同じ符号を付し、説明を省略する。
110、910 ダイヤフラムアセンブリ
111、300、400、500、600、700、800 ダイヤフラム
112 Oリング
113 隔膜
120、920 静電容量検出部
121、321、421、521、621、621A、721、821、921 可動電極
122 固定電極
123 絶縁被膜
124 静電容量検出IC
125 リード線
130、930 固定部
131、931 支持部材
132、932 カバー
133 固定ネジ
134 ワッシャー
200 静電容量検出回路
210 発振回路
220 発振状態検出回路
230 出力回路
301、401、501、601、701、801 電極接触部
Claims (6)
- 管路から供給される作動媒体の圧力の変動に応じて変位し、前記管路からの前記作動媒体の圧力が設定値未満である場合には、下側に膨らんだ形状をなし、前記管路からの前記作動媒体の圧力が設定値以上になると、前記作動媒体の圧力により下側に膨らんだ形状から上側に膨らんだ形状に可逆的に反転する、スナップアクションを行うダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムに電気的に接続される可動電極と、
前記ダイヤフラムの前記管路に対向する大気圧側に設けられる固定電極と、
前記固定電極と前記ダイヤフラムとの絶縁を確保する絶縁被膜と
を備え、
前記作動媒体の圧力の変動により前記ダイヤフラムが変位し、当該変位を前記可動電極に接続された前記ダイヤフラムと前記固定電極との間の静電容量の変動として検出し、当該静電容量の変動に基づき前記作動媒体の圧力を検出するように構成された静電容量検出式圧力スイッチにおいて、
前記ダイヤフラムの外周の一部に外側に向って伸びる少なくとも1つの突起部である、前記可動電極を接続するための電極接触部が形成されたことを特徴とする静電容量検出式圧力スイッチ。 - 前記電極接触部は、中央部に貫通孔が設けられており、一方側には、少なくとも1箇所の面取りが設けられており、前記可動電極とカシメ加工される形状に形成されることを特徴とする請求項1に記載の静電容量検出式圧力スイッチ。
- 前記電極接触部の付け根付近には、薄肉部が形成されており、前記可動電極とスポット溶接される形状に形成されることを特徴とする請求項1に記載の静電容量検出式圧力スイッチ。
- 前記電極接触部の付け根付近には、薄肉部が形成されており、前記可動電極とレーザー溶接される形状に形成されることを特徴とする請求項1に記載の静電容量検出式圧力スイッチ。
- 前記電極接触部の先端には、先端に水平面から90度折れ曲がった突起形状が形成され、前記電極接触部は、前記可動電極とコネクタ嵌合される形状に形成されることを特徴とする請求項1に記載の静電容量検出式圧力スイッチ。
- 前記電極接触部は、前記ダイヤフラムの外周に板ばねが設けられた皿ばね形状に形成され、前記可動電極と前記皿ばねの弾性力により接続されることを特徴とする請求項1に記載の静電容量検出式圧力スイッチ。
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