JP6300430B2 - 膜厚測定方法および膜厚測定装置 - Google Patents
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Description
(1)装置構成
図1は、本発明の実施の形態に係る塗膜の膜厚測定装置の概略構成を示すブロック図である。
(2)装置の動作
次に、本実施の形態に係る塗膜の膜厚測定装置の動作を、図1に示す膜厚測定装置の一例を用いて説明する。
(3)干渉光の測定から得られる情報
屈折率が不連続に変化する部分において光の反射が生じる。すなわち、サンプルからの反射光はサンプル中の屈折率の変化を反映する情報である。塗膜において屈折率変化の大きな要因となるのは「塗膜と塗膜との間の(層間の)屈折率差」、「光源波長λに対してλ/2に相当するサイズの塗膜含有物(主に顔料)、相分離構造」などである。
・ピークの数
干渉光強度のピーク、すなわち、最も強い干渉光を生じさせた場所は、屈折率の変化が最も大きい場所であり、塗膜の屈折率が変化する界面、および塗膜と周囲との界面を意味する。例えば、自然環境(空気中)に置かれるサンプルが、素材と、素材上のN層の複層塗膜とを備える場合、空気と複層塗膜の表層との屈折率の相違、および、素材と複層塗膜の最下層との屈折率の相違を考慮すると、複層塗膜を取り巻く屈折率が変化する界面の数はN+1である。すなわち、屈折率が変化する界面の数は、屈折率が異なる複層塗膜の層の数より1つ多くなる。これにより、界面に対応するピークの数から、複層塗膜が何層の塗膜から構成されているのかが分かる。
・ピーク間の距離
ピーク間の距離は、すなわち光学距離であり、膜の厚さおよび屈折率により決まる。従って、ピーク間の距離により各層の膜厚を求めることができる。後述する実施形態において詳細に説明するように、本発明では、測定の基準となる空気層を導入することにより、塗膜の硬化前後の屈折率を事前に測定すること無く、ピーク間の光学距離により、塗膜の膜厚を測定することが可能である。塗膜の硬化前後の両方において、ピーク間の光学距離から空気層の光学距離を求めることにより、塗膜の硬化前後の膜厚および屈折率の両方を測定することが可能である。
・ピークの高さおよびピークパターン
ピークの高さの比率から、それぞれの界面や層内の状態を知ることができ、ピークのパターンから、塗膜の内部構造を知ることができる。
(4)膜厚測定方法
次に、本実施の形態に係る膜厚測定装置を使用して得られた典型的な測定結果に基づいた、光硬化樹脂の膜厚測定方法を説明する。まず、ピーク間の距離から光硬化樹脂の相対的な光学距離を求める方法を説明する。次に、測定の基準となる空気層を導入することにより、光硬化樹脂の硬化前後の屈折率を事前に測定すること無く、膜厚を測定する方法を説明する。
ここで、λ0は入射光の中心波長であり、Δλは入射光のスペクトル幅である。lnは自然対数を意味する。
<1>空気層の光学距離の測定
石英ガラス板を準備し、その両端に2枚のガラス板を載せて支柱とした。さらにその上に石英ガラス板を重ねて配置し、厚さが均一な空気層を作製した。次に、図1に示す本発明の膜厚測定装置を用いて、この空気層の光学距離BDを測定した。
<2>WET膜の準備
次に、石英ガラス板の蓋を開け、最下層の石英ガラス上にUV硬化材料を塗布した後蓋を閉じ、上下が石英ガラス板で挟まれた、WET膜の層と空気層とを作製した。UV硬化材料としては、BASF社製のアルキルフェノン系光重合開始剤を含む塗料を準備した。具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート(TMPTA)に、DAROCUR(登録商標)1173を3質量%添加した塗料を準備して使用した。
<3>各層の光学距離の測定
次に、図1に示す本発明の膜厚測定装置を用いて、上方から測定光を入射し、各層の光学距離BC’,C’D’を測定した。
<4>WET膜の膜厚の算出
<1>で測定した空気層の光学距離BDと、<3>で測定した空気層の光学距離BC’とから、c’d=BD−BC’より、WET膜の膜厚(物理距離)c’d=139.4μmを得た。また、WET膜に関するこの物理距離と、<3>で測定しておいたWET膜の光学距離C’D’とから、C’D’/c’dより、WET膜の屈折率nW=1.432を得た。
<5>WET塗膜の硬化処理
次に、WET塗膜に硬化用の光を照射し、塗膜を硬化させた。塗膜の硬化には、硬化用の光源として200W水銀キセノンランプを備える(株)三永電機製作所製のSUPERCURE−203Sを使用した。硬化用光の照射条件は、サンプルと水銀キセノンランプとの間の距離を20mmとし、約180mWの照射出力で、硬化用光を10秒間照射した。
<6>各層の光学距離の測定およびCURE膜の膜厚の算出
硬化後のCURE膜に対して、図1に示す本発明の膜厚測定装置を用いて、上方から測定光を入射し、各層の光学距離BC’’,C’’D’’を測定した。測定した空気層の光学距離BC’’と、<1>で測定した空気層の光学距離とから、c’’d=BD−BC’’より、CURE膜の膜厚(物理距離)c’’d=119.2μmを得た。また、CURE膜に関するこの物理距離と、<6>で測定しておいたCURE膜の光学距離C’’D’’とから、C’’D’’/c’’dより、CURE膜の屈折率nC=1.487を得た。
<7>収縮量および収縮率の計算
<4>および<6>で算出した値c’d=139.4μm、c’’d=119.2μmから、c’d−c’’dより塗膜の収縮量=20.2μmを得た。また、(c’d−c’’d)/c’dより塗膜の収縮率=14.5%を得た。
2 ビームスプリッタ
3 集束レンズ
4 塗膜サンプル
5 位置可変機構付き交差ミラー
6 固定ミラー
7 受光センサ
8 増幅器
9 コンピュータ
10 石英ガラス
11 空気層
Claims (13)
- 所定の厚さを有する基準空気層内に載置された、顔料を含む塗膜に光源からの測定光を照射し、前記塗膜からの反射光を含む干渉光の強度を検出することにより、前記塗膜の膜厚を測定する方法であって、
光源からの測定光を、参照光と前記基準空気層への入射光とに分岐する分岐ステップと、
前記参照光の光学距離を調整して、前記基準空気層からの反射光と前記参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の第1の強度信号を検出する第1の検出ステップと、
検出した複数の前記第1の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記基準空気層の厚さに対応する光学距離を決定する第1の光学距離決定ステップと、
前記基準空気層内に前記塗膜を載置し、前記塗膜の前記測定光の照射側に隣接する第1の空気層を画定する塗膜載置ステップと、
前記参照光の光学距離を調整して、前記第1の空気層からの反射光と前記参照光とを干せしめ、該干渉による複数の第2の強度信号を検出する第2の検出ステップと、
検出した複数の前記第2の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記第1の空気層の厚さに対応する光学距離を決定する第2の光学距離決定ステップと、
前記基準空気層の光学距離と、前記第1の空気層の光学距離とから、前記塗膜の厚さを計算する第1の膜厚計算ステップとを含み、
前記塗膜が、紫外線硬化樹脂または電子線硬化樹脂であり、前記光源からの前記光が、波長1300nm〜2000nmの範囲内の近赤外光である、膜厚測定方法。 - 前記参照光の光学距離を調整して、前記塗膜からの反射光と前記参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の第3の強度信号を検出する第3の検出ステップと、
検出した複数の前記第3の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記塗膜の厚さに対応する光学距離を決定する第3の光学距離決定ステップと、
前記基準空気層の光学距離と、前記第1の空気層の光学距離と、前記塗膜の光学距離とから、前記塗膜の屈折率を計算する第1の屈折率計算ステップとをさらに含む、請求項1に記載の膜厚測定方法。 - 前記塗膜を硬化させ、硬化後の前記塗膜の前記測定光の照射側に隣接する第2の空気層を画定する硬化ステップと、
前記参照光の光学距離を調整して、前記第2の空気層からの反射光と前記参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の第4の強度信号を検出する第4の検出ステップと、
検出した複数の前記第4の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記第2の空気層の厚さに対応する光学距離を決定する第4の光学距離決定ステップと、
前記基準空気層の光学距離と、前記第2の空気層の光学距離とから、硬化後の前記塗膜の厚さを計算する第2の膜厚計算ステップとをさらに含む、請求項1または2に記載の膜厚測定方法。 - 前記参照光の光学距離を調整して、硬化後の前記塗膜からの反射光と前記参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の第5の強度信号を検出する第5の検出ステップと、
検出した複数の前記第5の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、硬化後の前記塗膜の厚さに対応する光学距離を決定する第5の光学距離決定ステップと、
前記基準空気層の光学距離と、前記第2の空気層の光学距離と、硬化後の前記塗膜の光学距離とから、硬化後の前記塗膜の屈折率を計算する第2の屈折率計算ステップとをさらに含む、請求項3に記載の膜厚測定方法。 - 前記基準空気層の光学距離と、前記第1の空気層の光学距離と、前記第2の空気層の光学距離とから、前記塗膜の硬化前後の収縮率を計算する硬化収縮率計算ステップをさらに含む、請求項3に記載の膜厚測定方法。
- 前記第1の検出ステップが、
前記基準空気層の表層側の第1の界面から反射する第1の反射光と前記参照光との干渉による第1の干渉光の強度信号と、
前記基準空気層の底面側の第2の界面から反射する第2の反射光と前記参照光との干渉による第2の干渉光の強度信号とを検出するステップであり、
前記第1の光学距離決定ステップが、
前記第1の干渉光の強度信号が極大となるときの前記参照光の光学距離と、前記第2の干渉光の強度信号が極大となるときの前記参照光の光学距離との差分から、前記基準空気層の厚さに対応する前記光学距離を決定するステップである、請求項1に記載の膜厚測定方法。 - 前記光源が、LEDまたはSLDの何れかである、請求項1に記載の膜厚測定方法。
- 所定の厚さを有する基準空気層内に載置された、顔料を含む塗膜に光源からの測定光を照射し、前記塗膜からの反射光を含む干渉光の強度を検出することにより、前記塗膜の膜厚を測定する装置であって、
光源と、
前記光源からの測定光を、参照光と、前記基準空気層または前記塗膜への入射光とに分岐する分岐手段と、
前記参照光の光学距離を調整する参照光光学系と、
前記入射光を前記基準空気層または前記塗膜へ入射させ、さらに、前記基準空気層または前記塗膜からの反射光を取り出す反射光光学系と、
前記反射光光学系からの反射光と前記参照光光学系からの参照光とを干渉せしめる干渉段と、
前記干渉手段からの、前記反射光を含む干渉光を検出して前記干渉光の強度信号を出力する検出手段と、
前記強度信号を解析する解析手段とを備え、
前記塗膜が基準空気層内に載置されていない第1の状態の測定対象に対して、
前記検出手段が、前記基準空気層からの反射光と前記参照光との干渉による複数の第1の強度信号を検出して出力し、前記解析手段が、検出した複数の前記第1の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記基準空気層の厚さに対応する光学距離を決定し、
前記塗膜が基準空気層内に載置されている第2の状態の、前記塗膜の前記測定光の照射側に隣接する第1の空気層が画定されている測定対象に対して、
前記検出手段が、前記第1の空気層からの反射光と前記参照光との干渉による複数の第2の強度信号を検出して出力し、前記解析手段が、検出した複数の前記第2の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記第1の空気層の厚さに対応する光学距離を決定し、
前記検出手段が、前記基準空気層の光学距離と、前記第1の空気層の光学距離とから、前記塗膜の厚さを計算し、
前記塗膜が、紫外線硬化樹脂または電子線硬化樹脂であり、前記光源からの前記光が、波長1300nm〜2000nmの範囲内の近赤外光である、膜厚測定装置。 - 前記第2の状態の測定対象に対して、さらに、
前記検出手段が、前記塗膜からの反射光と前記参照光との干渉による複数の第3の強度信号を検出して出力し、前記解析手段が、検出した複数の前記第3の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記塗膜の厚さに対応する光学距離を決定し、
前記検出手段が、前記基準空気層の光学距離と、前記第1の空気層の光学距離と、前記塗膜の光学距離とから、前記塗膜の屈折率を計算する、請求項8に記載の膜厚測定装置。 - さらに、前記塗膜を硬化させる硬化手段をさらに備え、該硬化手段により前記塗膜が硬化された第3の状態の、硬化後の前記塗膜の前記測定光の照射側に隣接する第2の空気層が画定されている測定対象に対して、
前記検出手段が、前記第2の空気層からの反射光と前記参照光との干渉による複数の第4の強度信号を検出して出力し、前記解析手段が、検出した複数の前記第4の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記第2の空気層の厚さに対応する光学距離を決定し、
前記検出手段が、前記基準空気層の光学距離と、前記第2の空気層の光学距離とから、硬化後の前記塗膜の厚さを計算する、請求項8または9に記載の膜厚測定装置。 - 前記第3の状態の測定対象に対して、さらに、
前記検出手段が、硬化後の前記塗膜からの反射光と前記参照光との干渉による複数の第5の強度信号を検出して出力し、前記解析手段が、検出した複数の前記第5の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、硬化後の前記塗膜の厚さに対応する光学距離を決定し、
前記検出手段が、前記基準空気層の光学距離と、前記第2の空気層の光学距離と、硬化後の前記塗膜の光学距離とから、硬化後の前記塗膜の屈折率を計算する、請求項10に記載の膜厚測定装置。 - 前記検出手段が、前記基準空気層の光学距離と、前記第1の空気層の光学距離と、前記第2の空気層の光学距離とから、前記塗膜の硬化前後の収縮率を計算する、請求項10に記載の膜厚測定装置。
- 前記光源が、LEDまたはSLDの何れかである、請求項8に記載の膜厚測定装置。
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