JP6292688B2 - ダイヤモンド複合材料、及び放熱部材 - Google Patents
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Description
(準備工程)原料として、ダイヤモンドの粉末と、周期表4族の元素を含む硫化物、窒化物、水素化物、硼化物から選択される1種以上の4族化合物の粉末と、銀又は銀合金を含む金属材とを準備する工程。
(充填工程)前記ダイヤモンドの粉末と前記4族化合物の粉末と前記金属材とを成形型内に充填する工程。
(溶浸工程)前記成形型に充填した充填物を加熱して、前記ダイヤモンドと、溶融した前記銀又は銀合金とを複合する工程。
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
(緻密)
・上記のダイヤモンド複合材料は、酸素含有量が0.1質量%以下であり、酸素が少ない。そのため、ダイヤモンド粒子と周期表4族の元素を含む炭化物層との界面及びその近傍を含めた複合材料全体に亘って酸素が少ない、好ましくは存在せず、ダイヤモンド粒子の表面や上記炭化物層中にも酸化物がほとんど存在しないといえる。このような上記のダイヤモンド複合材料は、製造過程で、密度の低下の原因となる気孔の発生が十分に抑制され、ダイヤモンドの表面に炭化物層が健全に形成され易くなったと考えられる。その結果、ダイヤモンドと、周期表4族の元素を含む炭化物層とが密着している。
・上記炭化物層中に酸化物がほとんど存在しないことから、ダイヤモンド粒子の周囲に存在する周期表4族の元素が主として炭化物として存在するといえる。また、銀又は銀合金(以下、金属マトリクスと呼ぶことがある)中にも酸化物がほとんど存在しないといえる。このような上記のダイヤモンド複合材料は、製造過程で、周期表4族の元素を含む炭化物層と金属マトリクスを形成する溶融金属との濡れ性が十分に高められ、密度の低下の原因となる気孔の発生が十分に抑制されたと考えられる。その結果、周期表4族の元素を含む炭化物層と、金属マトリクスとが密着している。
・金属マトリクス中の気孔も十分に低減されている。
(熱伝導性)
・熱伝導率が1000W/m・K以上であるダイヤモンド粒子と、銅や銅合金よりも高い熱伝導率を有する傾向にある銀又は銀合金とを主成分とする。
・上述のようにダイヤモンド粒子の近傍を含めた複合材料全体に亘って酸素が少ない、好ましくは存在しない、即ち、熱伝導性に劣る酸化物が少ない、好ましくは存在しない。
・金属マトリクスによってダイヤモンド粒子同士が結合されると共に緻密であるため、ダイヤモンド粒子、炭化物、金属マトリクス間を繋ぐ熱伝導経路や、ダイヤモンド粒子の表面に形成される炭化物同士が連続的に繋がってなる熱伝導経路などを良好に構築できる。
(m1)このダイヤモンド複合材料の製造方法は、以下の準備工程と、充填工程と、溶浸工程とを備える。
(準備工程)原料として、ダイヤモンドの粉末と、周期表4族の元素を含む硫化物、窒化物、水素化物、硼化物から選択される1種以上の4族化合物の粉末と、銀又は銀合金を含む金属材とを準備する工程。
(充填工程)上記ダイヤモンドの粉末と上記4族化合物の粉末と上記金属材とを成形型内に充填する工程。
(溶浸工程)上記成形型に充填した充填物を加熱して、上記ダイヤモンドと、溶融した上記銀又は銀合金とを複合する工程。
更に上記の特定の元素は、還元作用を有するものがある。
ここでの還元作用とは、溶浸工程の昇温過程などにおいて、工業用ダイヤモンドや銀又は銀合金などの原料に含み得る酸素や酸化物、化学分解で生じた周期表4族の元素の周囲に存在し得る酸素や酸化物を還元して、気体(例えば水蒸気など)として除去可能な作用である。
上記の特定の元素が有する酸化抑制作用や還元作用によって、上記周期表4族の元素は勿論、ダイヤモンドや銀などが製造過程で酸化されることを効果的に抑制できる。
以上のことから、周期表4族の元素とダイヤモンドとが良好に反応でき、ダイヤモンドと溶融金属との濡れ性を高められる炭化物を健全に、かつ過不足なく十分に形成できる。特に、上記4族化合物の粉末を炭化物形成元素(周期表4族の元素)の供給源とすることで、周期表4族の元素の供給量の変動が少なく、又は実質的に生じず、安定して供給でき、炭化物層の厚さ変動が生じ難い。即ち、ダイヤモンド粒子の表面に、ダイヤモンド粒子の構成成分(炭素)と周期表4族の元素とが結合した炭化物層を均一的な厚さに一様に形成し易い。従って、上記のダイヤモンド複合材料の製造方法によれば、酸素含有量が少なく、緻密で、熱伝導性に優れる複合材料(代表的には、実施形態に係るダイヤモンド複合材料)を製造できる。
以下、図1を参照して、本発明の実施形態に係るダイヤモンド複合材料、放熱部材を詳細に説明し、図4〜図6を参照して、実施形態のダイヤモンド複合材料を製造できるダイヤモンド複合材料の製造方法を詳細に説明する。
実施形態に係るダイヤモンド複合材料1は、図1に示すようにダイヤモンド粒子2と、ダイヤモンド粒子2の表面を覆い、周期表4族の元素を含む炭化物層3とを備える複数の被覆ダイヤモンド粒子4と、被覆ダイヤモンド粒子4同士を結合する金属マトリクス5とを備える。複数の被覆ダイヤモンド粒子4がつくる隙間に金属マトリクス5が充填されて、ダイヤモンド粒子2の集合状態が金属マトリクス5によって維持される。複合材料1は、気孔が非常に少なく、隙間なく金属マトリクス5が充填された緻密な成形体である(図2のEPMAの反射電子像参照)。実施形態の複合材料1はその全体に亘って酸素含有量が低いことを特徴の一つとする。以下、構成要素ごとを詳細に説明する。
・・・ダイヤモンド
ダイヤモンド複合材料1は、複数のダイヤモンド粒子2を主要構成要素の一つとする。複合材料1中のダイヤモンド粒子2の含有量が多いほど、熱伝導性に優れて好ましい。例えば、熱伝導率が500W/m・K以上を満たす複合材料1とすることができる。一方、上記含有量が多過ぎず、金属マトリクス5をある程度含むことで、複合材料1の熱膨張係数が小さくなり過ぎることを防止できる。例えば、熱膨張係数が4×10−6/K以上9.5×10−6/K以下程度の複合材料1とすることができ、半導体素子やその周辺部品の熱膨張係数に近い。また、上記含有量が多過ぎなければ、製造時、ダイヤモンド粒子間につくられる隙間に溶融金属が十分に溶浸できる。その結果、炭化物層3の介在による緻密化、複合化を良好に行えて、より緻密な複合材料1とすることができる。熱伝導性や半導体素子などとの熱膨張係数の整合性、緻密化などを考慮すると、複合材料1中のダイヤモンド粒子2の含有量は、30体積%以上90体積%が好ましく、45体積%以上85体積%以下、50体積%以上80体積%以下がより好ましい。複合材料1中のダイヤモンド粒子2の含有量の測定方法は、後述する。
ダイヤモンド複合材料1中の各ダイヤモンド粒子2の表面は、周期表4族の元素を含む炭化物で覆われており、各被覆ダイヤモンド粒子4は、上記炭化物から形成される炭化物層3を備える。この炭化物層3は、ダイヤモンド粒子2及び金属マトリクス5の双方に密着している(図2のEPMAの反射電子像参照)。上述のように複合材料1は、酸素含有量が極めて少なく、酸化物がほとんど存在しないため、製造過程で、炭化物層3がダイヤモンド表面で健全に形成され易かったこと、及び炭化物層3が溶融金属(複合材料1中では主として金属マトリクス5になる)との濡れ性に優れたことで密着できたと考えられる。このような炭化物層3を備える複合材料1は、ダイヤモンド粒子2と、炭化物層3と、金属マトリクス5との三者が隙間なく密着して緻密である。
炭化物層3の形成方法は、本発明の趣旨を損なわない限りにおいて、種々の方法を利用できる。ダイヤモンド粒子2との密着性をより高めるという観点からは、炭化物層3は、ダイヤモンド粒子2の表面側領域の構成元素(炭素)と周期表4族の元素とが結合して形成された炭化物で構成されていることが好ましい。この場合、炭化物層3は、ダイヤモンド粒子2自体の成分を構成要素とすることから、ダイヤモンド粒子2との密着性により優れて、より緻密な複合材料1とすることができる。
ダイヤモンド複合材料1は、金属マトリクス5を主要構成要素の一つとする。金属マトリクス5の構成成分は、銀(いわゆる純銀)又は銀合金とする。金属マトリクス5が銀であれば、熱伝導率が427W/m・Kと高く、熱伝導性に優れる複合材料1とすることができる。銀合金は、Agを50質量%超と、添加元素とを含み、残部が不可避不純物からなる合金である。特に、Agを70質量%以上と、添加元素とを含み、残部が不可避不純物である銀合金は、高い熱伝導性を維持しつつ、液相点温度が低い傾向にあり、製造時、溶浸温度を低くしても良好に複合化できるため、製造性に優れる。銀合金の添加元素は、Cuなどが挙げられる。添加元素の合計含有量は、30質量%以下程度が挙げられる。
ダイヤモンド複合材料1は、その全体において酸素が少ないことを特徴の一つとする。具体的には、複合材料1の酸素含有量は、0.1質量%以下である。複合材料1全体の酸素含有量が0.1質量%以下であれば、ダイヤモンド粒子2の表面側近傍に酸化物、気孔などが十分に少なく、好ましくは実質的に存在しない。そのため、複合材料1は、酸化物などの介在に起因するダイヤモンド粒子2と金属マトリクス5との間の熱伝導性の低下を抑制でき、熱伝導性に優れる。また、酸化物が少なければ、周期表4族の元素が酸化物ではなく炭化物として存在しているといえ、炭化物層3の介在によって緻密な複合材料1とすることができる。上記酸素含有量は、少ないほど好ましく、0.095質量%以下、0.090質量%以下、0.080質量%以下がより好ましい。
ダイヤモンド複合材料1の一例として、図6に示すように複合材料1の表面の少なくとも一部を覆う金属層6を備える形態とすることができる(図6の被覆複合材料1Bは一例)。複合材料1と半導体素子などとを半田やロウ材などで接合する場合に、金属層6を備える被覆複合材料1Bとすると、金属層6と半田やろう材などの金属とが十分に濡れて、被覆複合材料1Bなどと半導体素子などとを強固に接合できて好ましい。
・・・熱特性
実施形態のダイヤモンド複合材料1や被覆複合材料1Bなどは、熱伝導性に優れる。例えば、上記の複合材料1などは、室温における熱伝導率が500W/m・K以上を満たす(被覆複合材料の場合には金属層6を含めた状態での熱伝導率)。熱伝導率が高いほど、熱伝導性に優れる複合材料1などになり、放熱部材の素材に好ましいことから、520W/m・K以上、550W/m・K以上、600W/m・K以上がより好ましい。
一例として、−60℃〜+250℃における冷熱サイクル耐性が95%以上である複合材料1などが挙げられる。このような複合材料1などは、冷熱サイクルを受けた場合にも熱伝導率の低下が5%以下と低いため、使用時に冷熱サイクルを受ける半導体素子の放熱部材に好適に利用できる。
又は、一例として、800℃に加熱した後における熱伝導率の劣化率が5%未満である複合材料1などが挙げられる。ここで、複合材料1などを半導体素子の放熱部材に利用する場合に、放熱部材とセラミックスなどからなる絶縁材などとを接合することがある。この接合に銀ロウ材といった高融点の接合材を用いることがある。この場合、放熱部材は、接合材によって加熱されることになるが、この加熱によって放熱部材の熱伝導率の低下が少ないことが望まれる。上記熱伝導率の劣化が5%未満である複合材料1などは、高温に曝された場合にも熱伝導率の低下が少なく、耐熱性に優れるといえる。この複合材料1などは、銀ロウなどの接合材が利用され得る半導体素子の放熱部材に好適に利用できる。
実施形態のダイヤモンド複合材料1や、被覆複合材料1Bなどにおける複合材料1の領域は、気孔が少なく緻密で相対密度が高い。被覆複合材料1Bの金属層6は気孔が実質的に存在せず緻密であることから、被覆複合材料1Bは、金属層6を含めた状態でも相対密度が高い。例えば、上記の複合材料1などは、相対密度が96.5%以上を満たす。相対密度が高いほど、緻密であり、気孔に起因する熱伝導性の低下が生じ難く、高い熱伝導性を有することから、96.7%以上、97.0%以上、97.5%以上がより好ましい。
実施形態のダイヤモンド複合材料1や被覆複合材料1Bなどの代表的な形状は、平板状が挙げられる。製造時に用いる成形型の形状や、切削加工などによって所望の平面形状、三次元形状の複合材料1などにすることができる。複合材料1などの大きさ(厚さ、幅、長さなど)は適宜選択できる。厚さが薄いと(例えば5mm以下、3mm以下、更に2.5mm以下)、軽量で薄型の複合材料1などとすることができる。
実施形態に係る放熱部材は、実施形態のダイヤモンド複合材料1や被覆複合材料1Bなどから構成されることで、複合材料1などの組成、組織、特性などを実質的に維持する。従って、実施形態の放熱部材は、酸素含有量が少なく(上述の酸素濃度の項参照)、緻密で(上述の相対密度の項参照)、熱伝導性に優れ(上述の熱特性の項参照)、半導体素子の放熱部材に好適に利用できる。
実施形態に係るダイヤモンド複合材料1や被覆複合材料1Bなどは、例えば、以下のダイヤモンド複合材料の製造方法によって製造することができる。この製造方法の概略を述べると、図4,図6に示すようにダイヤモンドの粉末20と、最終的に金属マトリクス5(図1)を形成する金属材(図4,図6では金属粉末50)とを含む原料を準備して(準備工程)、成形型100の容器110に充填し(充填工程)、充填物を加熱して金属材を溶融して、ダイヤモンドの粉末20に溶融金属52を溶浸する(溶浸工程)。この製造方法は、更に、原料に、周期表4族の元素と特定の元素とを含む4族化合物の粉末30を用いて、周期表4族の元素が炭化物を形成するまでの間の酸化を効果的に抑制し、溶浸工程では、昇温過程で4族化合物を化学分解させ、この化学分解で生じた周期表4族以外の特定の元素に還元作用などを発揮させて、ダイヤモンドの周囲に存在し得る酸素を低減、除去させながら、上記化学分解によって生じた周期表4族の元素とダイヤモンドとを反応させて炭化物を形成する。以下、工程ごとに説明する。
この工程では、原料として、ダイヤモンドの粉末20と、周期表4族の元素を含む4族化合物の粉末30と、銀又は銀合金を含む金属材とを準備する。
ダイヤモンドの粉末20の大きさ(平均粒径)、含有量(原料に占める体積割合)は、最終的に製造するダイヤモンド複合材料1A中のダイヤモンド粒子の大きさ(平均粒径)、含有量(複合材料1Aに占める体積割合)が所望の値(上述のダイヤモンドの項参照)となるように選択する。このダイヤモンド複合材料の製造方法では、ダイヤモンドの粉末20を構成する各粉末粒子の表面側領域が炭化物層3(図1)の形成に利用されるため、厳密に言うと、原料段階におけるダイヤモンドの大きさや含有量と、複合材料1A中のダイヤモンドの大きさや含有量とは異なる。しかし、炭化物層3は上述のように非常に薄いため、複合材料1A中のダイヤモンドの大きさ、含有量、形状などは、原料段階の大きさ、含有量、形状などを実質的に維持するといえる。原料のダイヤモンド粉末の平均粒径は、上述のように1μm以上300μm以下、更に1μm以上100μm以下、20μm以上60μm以下が好ましい。微粗混合とする場合には、粗粒の平均粒径は、微粒の平均粒径の2倍以上、更に3倍以上、4倍以上が好ましく、熱伝導性や加工性などを考慮すると、300μm以下、更に100μm以下、60μm以下が好ましい。微粒の平均粒径は、粗粒の平均粒径よりも小さければよいが、緻密化などを考慮すると、1μm以上、更に5μm以上、10μm以上が好ましい。
金属材の構成成分は、最終的に製造するダイヤモンド複合材料1A中の金属マトリクス5が所望の組成(上述の金属マトリクスの項参照)となるように選択する。
周期表4族の元素を含む4族化合物の粉末の構成成分は、最終的に製造するダイヤモンド複合材料1A中の炭化物層3が所望の周期表4族の元素(上述の炭化物層の項参照)を含むように選択する。具体的には、4族化合物の粉末30は、Ti,Zr及びHfから選択される1種以上の元素を含む硫化物、窒化物、水素化物、硼化物から選択される1種の化合物を含む。粉末30は、列挙した化合物を1種のみ含む形態の他、複数種の化合物を含むことができる。後者の場合、例えば、TiCを備える被覆ダイヤモンド粒子と、ZrCを備える被覆ダイヤモンド粒子とを含む複合材料、TiとZrとを含む複合炭化物層で覆われた被覆ダイヤモンド粒子を含む複合材料などを製造できる。水素化物のうちTiH2は、比較的容易に入手でき、保存などもし易く、取り扱い性に優れるため、利用し易い。
この工程では、ダイヤモンドの粉末20と4族化合物の粉末30と金属材とを成形型100の容器110内に充填する。充填形態は、例えば、三者を層状に充填して充填物を三層構造の積層体とする形態、三者が全て粉末の場合に全ての粉末を混合して充填した全混合粉末の充填物とする形態、三者のうち二者の粉末を混合した粉末と残り一者(粉末でなくてもよい)とを層状に充填して充填物を二層構造の積層体とする形態などが挙げられる。
この工程は、成形型100に充填した充填物(一例として積層体235)を加熱して、ダイヤモンドと、金属材を溶融した溶融金属52とを複合する。
・・金属層の形成
金属層6を備える被覆複合材料1Bなどを製造する場合、金属材を利用して、溶浸工程で複合化と同時に金属層6を形成する同時形成方法と、溶浸工程を経て作製した溶浸材の表面に金属層6を別途形成する別形成方法という二つの方法が利用できる。
その他、このダイヤモンド複合材料の製造方法は、金属層6を備えていない複合材料1Aの表面、又は金属層6を備える被覆複合材料1Bなどの表面に研磨を施す研削工程を備えることができる。
ダイヤモンドの粉末と、金属材と、適宜、周期表4族の元素を含む粉末とを用いて、ダイヤモンド複合材料を作製し、熱特性、相対密度、酸素量を調べた。
ダイヤモンドの粉末の粒径を異ならせて、種々のダイヤモンド複合材料を製造し、熱特性、相対密度、酸素量を調べた。
ダイヤモンドの粉末及び金属粉末の配合比を異ならせて、種々のダイヤモンド複合材料を作製し、熱特性、相対密度、酸素量を調べた。
種々の方法で金属層を有する被覆複合材料を作製し、熱特性、相対密度、酸素量、表面粗さを調べた。相対密度は、金属層を含めて求めた。
試験例1〜試験例3で作製した試料について、高温に加熱した後の熱特性の劣化状態を調べた。
評価は、劣化率={[(加熱前の熱伝導率)−(加熱後の熱伝導率)]/(加熱前の熱伝導率)}×100を求めることで行った。ここでは、上述の条件で加熱を1回行った場合(熱処理1回目)と、上述の条件で加熱を2回行った場合(熱処理2回目)について、加熱後の熱伝導率(W/m・K)と劣化率(%)とを測定した。その結果を表9に示す。
2,21 ダイヤモンド粒子 3 炭化物層
4 被覆ダイヤモンド粒子 5 金属マトリクス 6 金属層
20 ダイヤモンドの粉末 30 4族化合物の粉末 23 混合粉末
50 金属粉末
235 積層体 2355 両側金属積層体
52 溶融金属 54 複合溶融金属
100 成形型 110 容器 120 蓋
300 4族化合物 301 周期表4族の元素
302 4族化合物の構成元素のうち、周期表4族の元素以外の元素
600 酸素 640 ガス状の化合物
Claims (10)
- ダイヤモンド粒子と、前記ダイヤモンド粒子の表面を覆い、周期表4族の元素を含む炭化物層とを備える被覆ダイヤモンド粒子と、
前記被覆ダイヤモンド粒子同士を結合する銀又は銀合金とを備え、
酸素含有量が0.1質量%以下であるダイヤモンド複合材料。 - 相対密度が96.5%以上である請求項1に記載のダイヤモンド複合材料。
- 前記ダイヤモンド粒子の平均粒径が1μm以上300μm以下である請求項1又は請求項2に記載のダイヤモンド複合材料。
- 前記ダイヤモンド粒子の含有量が30体積%以上90体積%以下である請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のダイヤモンド複合材料。
- 室温における熱伝導率が500W/m・K以上である請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のダイヤモンド複合材料。
- 30℃〜150℃における平均の熱膨張係数が3×10−6/K以上13×10−6/K以下である請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のダイヤモンド複合材料。
- −60℃〜+250℃における冷熱サイクル耐性が95%以上である請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載のダイヤモンド複合材料。
- 800℃に加熱した後における熱伝導率の劣化率が5%未満である請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載のダイヤモンド複合材料。
- 前記ダイヤモンド複合材料の表面の少なくとも一部を覆う金属層を更に備え、前記金属層の厚さが1μm以上300μm以下である請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載のダイヤモンド複合材料。
- 請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載のダイヤモンド複合材料から構成される放熱部材。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014178434 | 2014-09-02 | ||
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