JP6291412B2 - 位置決めフレーム構造 - Google Patents

位置決めフレーム構造 Download PDF

Info

Publication number
JP6291412B2
JP6291412B2 JP2014263987A JP2014263987A JP6291412B2 JP 6291412 B2 JP6291412 B2 JP 6291412B2 JP 2014263987 A JP2014263987 A JP 2014263987A JP 2014263987 A JP2014263987 A JP 2014263987A JP 6291412 B2 JP6291412 B2 JP 6291412B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
positioning
carrier
frame structure
holder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014263987A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2015132601A (ja
JP2015132601A5 (ja
Inventor
ウー ティエンシュン
ウー ティエンシュン
ホワン チュヨンウエイ
ホワン チュヨンウエイ
シェイ シャオチー
シェイ シャオチー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sensata Technologies Changzhou Co Ltd
Original Assignee
Sensata Technologies Changzhou Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sensata Technologies Changzhou Co Ltd filed Critical Sensata Technologies Changzhou Co Ltd
Publication of JP2015132601A publication Critical patent/JP2015132601A/ja
Publication of JP2015132601A5 publication Critical patent/JP2015132601A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6291412B2 publication Critical patent/JP6291412B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/24Housings ; Casings for instruments
    • G01D11/245Housings for sensors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/30Supports specially adapted for an instrument; Supports specially adapted for a set of instruments
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P1/00Details of instruments
    • G01P1/02Housings
    • G01P1/026Housings for speed measuring devices, e.g. pulse generator
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • G01P3/48Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
    • G01P3/481Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
    • G01P3/488Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by variable reluctance detectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735Closed carriers
    • H01L21/67353Closed carriers specially adapted for a single substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

本発明は、位置決めフレーム構造に関し、詳細には、集積チップと位置決め磁石の間の正確なセンタリングおよびポジショニング(位置決め)のための位置決めフレーム構造に関する。
対象となるホイールの速度は、ホールセンサ、異方性リラクタンスセンサ、大きなリラクタンスセンサなどの磁気センサの非接触エンコーダを使用して検出できることがよく知られている。このようなセンサは、2線式ホール効果指向性出力速度センサ(Two-Wire Hall Effect Directional Output Speed Sensor、TOSS)、集積された指向性クラッチ入力速度センサ(Integrated Directional Clutch Input Speed Sensor、CISS)および無指向性入力速度センサ(Non-directional Input Speed Sensor、TISS)などの速度センサとして知られている。これらのセンサの機能、性能および設計は当技術分野においてよく知られている。速度センサは、自動車変速機の用途において利用される対象の回転速度を感知できる。
これらの速度センサは、対象が回転している間の、入力と出力の両方のエンコーダアプリケーションにおいて使用される。通常は、これらのセンサは、キャリア内に配置された磁石の上側に小さなパッケージの集積チップ(IC)を有する。作業工程の間、磁石上のICのセンタリングおよびポジショニング(位置決め)は、制御される必要がある。従来技術において、ICは概してキャリア上で組み立てられ、その結果、ICと磁石のセンタリグは、キャリア内の孔の内径を用いて制御され、ICのポジショニングは、キャリア上のリブによって制御される。この場合、センタリングを確実に実行できるように、磁石のサイズはICのサイズよりも小さくなければならず、また、ICは粘着剤によって固定されなければならず、これは製造コストの問題を生じさせる。
磁石のサイズがICのサイズよりも小さいので、上記の解決策は、より小型のICには適していない。ICが接着剤により固定される必要があるので、センタリングおよびポジショニングの作業は複雑である。それゆえ、位置決め磁石よりも小さなサイズのICを位置決めするのに適用でき、構造および作業を単純にし、かつコストを削減できる、位置決め構造が必要である。
それゆえ、本発明の目的は、集積チップと位置決め磁石の間の正確なセンタリングおよびポジショニングのための位置決めフレーム構造を提供することである。位置決めフレーム構造は、位置決め磁石よりもサイズの小さなICを位置決めするのに適用でき、従来技術における接着剤の必要性をなくすことができ、それゆえコストが削減される。
上記の目的は、ICをセンタリングおよびポジショニングするための位置決めフレーム構造によって達成される。この位置決めフレーム構造は、
その内部に規定された第1のチャンバを有するICキャリアと、
ICキャリアの第1のチャンバ内に配置されたIC位置決め磁石とを含み、
位置決めフレーム構造は、IC位置決め磁石上に配置されたICホルダをさらに含み、ICが当該ICホルダに保持され、これにより、IC位置決め磁石に対してICのセンタリングおよびポジショニングが提供される。
一実施形態では、ICホルダは、受け部を備えて形成され、ICは当該受け部内に保持される。
一実施形態では、受け部はICのサイズおよび形状に対応するサイズおよび形状とされ、この結果、ICは、受け部内に固定して配置できる。
一実施形態では、IC位置決め磁石は、ICキャリアの第1のチャンバのサイズに対応するサイズとされ、この結果、IC位置決め磁石は、第1のチャンバ内に固定して配置できる。
一実施形態では、IC位置決め磁石のサイズは、ICのサイズよりも大きい。
一実施形態では、ICキャリアはその中に規定された第2のチャンバも有し、第2のチャンバは第1のチャンバの上方に配置される。
一実施形態では、ICホルダは、ICキャリアの第2のチャンバ内部に配置される。
一実施形態では、ICキャリアの第2のチャンバは、ICホルダの第1のチャンバのサイズよりも大きなサイズとされる。
一実施形態では、ショルダー(肩部)が第1のチャンバと第2のチャンバの間に形成され、ICホルダは当該ショルダーに抗してICキャリアの第2のチャンバ内に配置される。
一実施形態では、ICホルダの外周は、ICキャリアの第2のチャンバのサイズに対応するサイズとされ、この結果、ICホルダは第2のチャンバ内に固定して配置できる。
上記の解決策により、本発明の位置決めフレーム構造は、キャリア上でのICおよび位置決め磁石のセンタリグおよびポジショニングを制御し、それゆえそれらを確実にするように使用できる。ICホルダの存在により、位置決め磁石はICよりも大きく製造することができる。この場合、本発明は、より小型のICの作業に使用でき、すなわち、ICは、より小型のパッケージ内で使用できる。さらに、大きなエアギャップが獲得されて、ICの後続の作業を容易にできる。
さらに、粘着剤を使用する作業なしで、本発明の技術的解決策は、先行技術におけるICの位置決め方法と比較して、作業コストを節約する。
本発明を、添付の図面を参照して、位置決めフレーム構造の実施形態を用いて詳細に説明する。
本発明による位置決めフレーム構造の縦方向の断面斜視図である。 本発明による位置決めフレーム構造の横方向の断面図である。
図面を参照して、本発明の位置決めフレーム構造を詳細に説明する。本発明の位置決めフレーム構造は、集積チップ(IC)のセンタリングおよびポジショニング、特に、大きなIC位置決め磁石上の小さなパッケージ内のICのセンタリングおよびポジショニングに使用される。
ここで図1および図2を参照する。図面はそれぞれ本発明による位置決めフレーム構造100の縦方向の断面斜視図および横方向の断面図である。図1および図2において、位置決めフレーム構造100は、一般にICキャリア101およびIC位置決め磁石102を含む。ICキャリア101は、その内部に規定された第1のチャンバ103を有する。例示した実施形態では、第1のチャンバ103の断面は、四角形の形状である。しかし、第1のチャンバ103が他の適切な形状とすることができることが理解されよう。
IC位置決め磁石102は、ICキャリア101の第1のチャンバ103内に配置される。好ましくは、IC位置決め磁石102は、ICキャリア101の第1のチャンバ103のサイズに対応するサイズとされ、この結果、IC位置決め磁石102は、第1のチャンバ103内に固定して配置することができ、それゆえ、IC位置決め磁石102とICキャリア101の間のセンタリングおよびポジショニングを制御でき、かつこれを確実にできる。
本発明による位置決めフレーム構造100は、IC位置決め磁石102上に配置されるICホルダ300を備える。実際には、IC200はICホルダ300内に保持され、この結果、IC位置決め磁石102に対するIC200のセンタリングおよびポジショニングは、ICホルダ300によって得ることができる。
ICホルダ300により、IC位置決め磁石102のサイズが、チップパッケージの分野におけるいくつかの特別な要求に見合うように、IC200のサイズよりも大きくすることができる点に留意すべきである。さらに、ICホルダ300により、IC200のサイズは非常に小さいものとすることができ、この結果、ICが小さなパッケージ内にある場合にICのセンタリングおよびポジショニングを得ることができないという従来技術における欠点が克服される。
1つの好ましい実施形態では、ICホルダ300は受け部301を備え、IC200は受け部301内に保持することができる。好ましくは、受け部301は、IC200のサイズおよび形状に対応するサイズおよび形状とされ、この結果、IC200は受け部301内に固定して、かつ移動可能に配置できる。
ICキャリア101は、第2のチャンバ104をさらに備える。例示した実施形態では、第2のチャンバ104は、第1のチャンバ103の上方に配置される。第2のチャンバ104を有する実施形態では、ICホルダ300は、ICキャリア101の第2のチャンバ内に配置できる。
ICキャリア101の第2のチャンバ104のサイズは、ICキャリア101の第1のチャンバ103のサイズよりも大きく、これよりも小さく、またはこれと同等のものとすることができる。例示した好ましい実施形態では、第2のチャンバ104のサイズは、第1のチャンバ103のサイズよりも大きい。この場合、一実施形態では、ショルダー105が、第1のチャンバ103と第2のチャンバ104の間に形成できる。ショルダー105を有する場合、ICホルダ300はショルダー105に当接できる。
好ましい実施形態では、ICホルダ300の外周は、ICキャリア101の第2のチャンバ104のサイズに対応するサイズとされ、この結果、ICホルダ300は第2のチャンバ104内に固定して、かつ移動可能に配置され得る。IC200とIC位置決め磁石102の間のセンタリングおよびポジショニングは、ICキャリア101と、IC位置決め磁石102と、ICホルダ300との間の構造上の関係によって確実にすることができる。
ICホルダ300および第2のチャンバ104は、好ましい形状とすることができる。例えば、例示した実施形態において、第2のチャンバは対称の六角形の断面を有し、ICホルダ300は、第2のチャンバ104の断面に一般に適合するように、対応する対称の六角形の断面を有する。例示した実施形態では、ICホルダ300の複数の側部(一部の側部または全ての側部とすることができる)は、第2のチャンバ104の対応する内側の側部に当接し、この結果、ICホルダ300は、第2のチャンバ104に対して適所に固定することができる。
ICホルダ300および第2のチャンバ104が、IC200とIC位置決め磁石102の間のセンタリングおよびポジショニングを確実にすることができる限り、任意のその他の適切な形状とすることができることが、当業者に明らかである。
さらに、IC200がICホルダの受け部301内に固定されることをさらに強化するために、追加の固定手段を設けてもよく、例えば、IC200は、スナップフィットを用いて受け部301内に固定することができる。
上記の解決策を用いることにより、本発明の位置決めフレーム構造は、キャリア上でのICおよび位置決め磁石のセンタリングおよびポジショニングを制御し、それゆえこれを確実にするのに使用できる。ICホルダの存在により、位置決め磁石は、ICよりも大きいものとして製造できる。この場合、本発明は、より小さなICの作業に使用でき、すなわち、このICは、小型のパッケージ内で使用できる。さらに、大きなエアギャップが獲得されて、ICの後続の作業を容易にすることができる。
さらに、粘着剤を使用する作業なしで、本発明の技術的な解決策は、従来技術におけるIC位置決め方法と比較して、作業コストを節約する。
本発明を、上記の好ましい実施形態によって詳細に説明したが、本発明が上記の実施形態に限定されないことが当業者には明らかである。本発明の精神および範囲から逸脱することなく、様々な修正、変更および置換をすることができ、それらはすべて、本発明の範囲内に含まれる。

Claims (14)

  1. 集積回路(IC)のセンタリングおよびポジショニングのための位置決めフレーム構造であって、
    規定された第1のチャンバおよび第2のチャンバを有するICキャリアであって、当該第2のチャンバが第1のチャンバ上に全体的に配置される、前記ICキャリアと、
    前記ICキャリアの前記第1のチャンバ内に配置されるIC位置決め磁石と、
    前記ICキャリアの第2のチャンバ内に配置され、かつ前記ICキャリアの第1のチャンバ内の前記IC位置決め磁石の上方に配置されたICホルダを含み、前記ICホルダは、ICを保持するように構成され、これにより、前記IC位置決め磁石に対するICのセンタリングおよびポジショニングを提供する、位置決めフレーム構造。
  2. 前記ICホルダには受け部が形成され、前記受け部はICを保持するように構成される、請求項1に記載の位置決めフレーム構造。
  3. 前記受け部は、前記ICのサイズおよび形状に対応するサイズおよび形状とされ、その結果、前記ICは前記受け部内に固定して配置され得る、請求項2に記載の位置決めフレーム構造。
  4. 前記IC位置決め磁石は、前記ICキャリアの第1のチャンバのサイズに対応するサイズとされ、この結果、前記IC位置決め磁石は、前記第1のチャンバ内に固定して配置され得る、請求項1に記載の位置決めフレーム構造。
  5. 前記IC位置決め磁石のサイズは、前記ICのサイズよりも大きい、請求項1に記載の位置決めフレーム構造。
  6. 前記ICキャリアの前記第2のチャンバは、前記ICキャリアの前記第1のチャンバのサイズよりも大きいサイズである、請求項に記載の位置決めフレーム構造。
  7. ショルダー(肩部)が、前記第1のチャンバと前記第2のチャンバの間に形成され、前記ICホルダが、当該ショルダーに抗して前記ICキャリアの前記第2のチャンバ内に配置される、請求項に記載の位置決めフレーム構造。
  8. 前記ICホルダは、前記ICキャリアの前記第2のチャンバのサイズに対応するサイズの外周を有し、その結果、前記ICホルダが、前記第2のチャンバ内に固定して配置され得る、請求項1ないし7いずれか1つに記載の位置決めフレーム構造。
  9. 前記ICキャリアの第2のチャンバは、前記ICキャリアの第1のチャンバのサイズよりも小さいサイズである、請求項1に記載の位置決めフレーム構造。
  10. 前記ICキャリアの第2のチャンバは、前記ICキャリアの第1のチャンバのサイズと等しいサイズである、請求項1に記載の位置決めフレーム構造。
  11. 前記第2のチャンバは、対称の六角形の断面を有し、前記ICホルダは、前記第2のチャンバの断面に一致するように構成された対応する対称の六角形の断面を有する、請求項1に記載の位置決めフレーム構造。
  12. 前記受け部は、ICの形状とサイズに対応するような形状とサイズであり、その結果、ICは、形状適合により前記受け部内にしっかりと配置され得る、請求項3に記載の位置決めフレーム構造。
  13. 集積回路(IC)のセンタリングおよびポジショニングのためのフレーム構造を位置決めする方法であって、
    規定された第1のチャンバおよび第2のチャンバを有するICキャリアを提供し、IC位置決め磁石が前記第1のチャンバ内に配置され、ICホルダが前記第2のチャンバ内に配置されかつ前記第1のチャンバ内のIC位置決め磁石上に配置され、前記第2のチャンバが前記第1のチャンバ上に全体的に配置されており、
    前記ICホルダによって、ICを保持し、これにより、前記IC位置決め磁石に対するICのセンタリングおよびポジショニングを提供する、方法。
  14. 前記ICホルダには受け部が形成され、前記ICの保持は、前記ICホルダの前記受け部によりICを保持することを含む、請求項13に記載の方法。
JP2014263987A 2013-12-31 2014-12-26 位置決めフレーム構造 Active JP6291412B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310752418.3A CN104749390B (zh) 2013-12-31 2013-12-31 定位框架结构
CN201310752418.3 2013-12-31

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2015132601A JP2015132601A (ja) 2015-07-23
JP2015132601A5 JP2015132601A5 (ja) 2018-02-08
JP6291412B2 true JP6291412B2 (ja) 2018-03-14

Family

ID=52423542

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014263987A Active JP6291412B2 (ja) 2013-12-31 2014-12-26 位置決めフレーム構造

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9564351B2 (ja)
EP (1) EP2896966B1 (ja)
JP (1) JP6291412B2 (ja)
KR (1) KR20150079466A (ja)
CN (1) CN104749390B (ja)

Family Cites Families (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2965235A (en) * 1958-03-07 1960-12-20 Daline Gordon Perforated display panel with magnetic attachment means
DE8711744U1 (de) * 1987-08-29 1988-12-29 Heidelberger Druckmaschinen Ag, 6900 Heidelberg Haltevorrichtung für einen Hohlwellen-Inkrementalgeber
KR960000342B1 (ko) * 1989-03-14 1996-01-05 미쯔비시 덴끼 가부시끼가이샤 홀 효과형 센서 장치
JPH0344588A (ja) * 1989-07-12 1991-02-26 Tdk Corp 移動物体検出センサ
US5007290A (en) * 1989-10-31 1991-04-16 New Sd, Inc Method and apparatus for producing preload of an accelerometer assembly
US5115194A (en) * 1990-09-27 1992-05-19 Kearney-National Inc. Hall effect position sensor with flux limiter and magnetic dispersion means
US5255795A (en) * 1991-12-05 1993-10-26 Vlsi Technology, Inc. Test fixture
JPH07101163B2 (ja) * 1992-10-14 1995-11-01 カーニー−ナショナル・インコーポレーテッド 磁束制限器及び磁気分散手段を備えるホール効果位置センサ
US7876188B2 (en) * 2006-11-06 2011-01-25 Tang System Green technologies: the killer application of EMI-free on-chip inductor
US5414355A (en) * 1994-03-03 1995-05-09 Honeywell Inc. Magnet carrier disposed within an outer housing
JPH08139429A (ja) * 1994-11-07 1996-05-31 Sumitomo Electric Ind Ltd 電子回路装置
US5500589A (en) * 1995-01-18 1996-03-19 Honeywell Inc. Method for calibrating a sensor by moving a magnet while monitoring an output signal from a magnetically sensitive component
US5581179A (en) * 1995-05-31 1996-12-03 Allegro Microsystems, Inc. Hall-effect ferrous-article-proximity sensor assembly
JPH09133743A (ja) * 1995-11-08 1997-05-20 Murata Mfg Co Ltd 磁気センサ
US6355885B1 (en) * 1996-05-02 2002-03-12 William J. Rintz Sub frame assembly for light switch assembly
DE69816755T2 (de) * 1997-05-29 2004-06-03 Ams International Ag Magnetischer drehgeber
US6291990B1 (en) * 1997-09-29 2001-09-18 Hitachi, Ltd. Revolution sensor
JPH11153452A (ja) * 1997-11-20 1999-06-08 Hitachi Ltd 回転検出装置
US6346811B1 (en) * 1997-10-20 2002-02-12 Wolff Controls Corp. Methods for mounting a sensor and signal conditioner to form sensing apparatus having enhanced sensing capabilities and reduced size
US5868251A (en) * 1997-11-06 1999-02-09 Lin; Wan-Chang Disk-shaped storage case for screwdriver tips
US6018130A (en) * 1998-05-20 2000-01-25 Breed Automotive Technology, Inc. Roll-over sensor with pendulum mounted magnet
WO2003003407A1 (en) * 2001-06-28 2003-01-09 Greene, Tweed Of Delaware, Inc. Self contained sensing apparatus and system
US6707293B2 (en) * 2001-11-15 2004-03-16 Honeywell International Inc. 360-degree rotary position sensor having a magnetoresistive sensor and a hall sensor
JP4179083B2 (ja) * 2003-07-08 2008-11-12 株式会社デンソー 回転検出装置
US7462317B2 (en) * 2004-11-10 2008-12-09 Enpirion, Inc. Method of manufacturing an encapsulated package for a magnetic device
DE102005047414B4 (de) * 2005-02-21 2012-01-05 Infineon Technologies Ag Magnetoresistives Sensormodul und Verfahren zum Herstellen desselben
US7425824B2 (en) * 2005-05-20 2008-09-16 Honeywell International Inc. Magnetoresistive sensor
JP4232771B2 (ja) * 2005-09-30 2009-03-04 株式会社デンソー 回転検出装置
US8701272B2 (en) * 2005-10-05 2014-04-22 Enpirion, Inc. Method of forming a power module with a magnetic device having a conductive clip
FR2902872B1 (fr) * 2006-06-27 2008-11-14 Arvinmeritor Light Vehicle Sys Dispositif de mesure de champ magnetique.
US20080013298A1 (en) * 2006-07-14 2008-01-17 Nirmal Sharma Methods and apparatus for passive attachment of components for integrated circuits
JP2008216043A (ja) * 2007-03-05 2008-09-18 Honda Lock Mfg Co Ltd 回転センサ
US7570047B2 (en) * 2007-06-18 2009-08-04 Key Safety Systems, Inc. Hall effect based angular position sensor
US7710110B2 (en) * 2007-07-07 2010-05-04 Honeywell International Inc. Rotary sensor with rotary sensing element and rotatable hollow magnet
US7920042B2 (en) * 2007-09-10 2011-04-05 Enpirion, Inc. Micromagnetic device and method of forming the same
US9518815B2 (en) * 2008-08-06 2016-12-13 Haas Automation, Inc. Rotary position encoder for rotatable shafts
DE102009006529A1 (de) * 2009-01-28 2010-08-26 Continental Automotive Gmbh Positionssensor
CN201681086U (zh) * 2010-05-11 2010-12-22 杭州南科汽车传感器有限公司 主动式轮速传感器
US9201123B2 (en) * 2011-11-04 2015-12-01 Infineon Technologies Ag Magnetic sensor device and a method for fabricating the same
CN103094778A (zh) * 2011-11-04 2013-05-08 深圳富泰宏精密工业有限公司 便携式电子装置及其芯片卡装取装置
US8727326B2 (en) * 2012-03-21 2014-05-20 Cheng Uei Precision Industry Co., Ltd. Assembly jig
US8779635B2 (en) * 2012-04-10 2014-07-15 Kla-Tencor Corporation Arrangement of reticle positioning device for actinic inspection of EUV reticles
DE102013219018A1 (de) * 2012-12-20 2014-06-26 Continental Teves Ag & Co. Ohg Winkelsensors
DE102012224424A1 (de) * 2012-12-27 2014-07-17 Robert Bosch Gmbh Sensorsystem und Abdeckvorrichtung für ein Sensorsystem
US20140254835A1 (en) * 2013-03-05 2014-09-11 Analog Devices, Inc. Packaged Microphone System with a Permanent Magnet
CN105722737B (zh) * 2013-09-10 2019-04-12 Ksr智财控股公司 集成的制动控制传感器
CN203772882U (zh) * 2013-12-31 2014-08-13 森萨塔科技(常州)有限公司 定位框架结构

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015132601A (ja) 2015-07-23
EP2896966A1 (en) 2015-07-22
EP2896966B1 (en) 2021-06-23
KR20150079466A (ko) 2015-07-08
US9564351B2 (en) 2017-02-07
US20150187623A1 (en) 2015-07-02
CN104749390A (zh) 2015-07-01
CN104749390B (zh) 2020-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10928221B2 (en) Magnetic sensor arrangement and magnetic sensing method
WO2013183266A3 (en) Semiconductor device and sensing system
WO2016074176A1 (en) Flexible system-in-package solutions for wearable devices
EP3954972A4 (en) MAGNETOR-RESISTIVE INERTIAL SENSOR CHIP
WO2013003784A3 (en) Process for a sealed mems device with a portion exposed to the environment
KR101978027B1 (ko) 집적 회로 조립체용 성형 복합 인클로저
EP4283676A3 (en) Precision resistor for non-planar semiconductor device architecture
FR3047560B1 (fr) Procede de fabrication d’un capteur de couple comprenant une etape d’encapsulation du circuit electronique du capteur.
WO2009057927A3 (en) Package for semiconductor device and packaging method thereof
JP2016125927A5 (ja) 電子デバイス、電子機器、移動体、及び電子デバイスの製造方法
EP2952886A8 (en) Method for manufacturing a gas sensor package
EP2889952A3 (en) Semiconductor package and semiconductor module
JP2016523367A (ja) 車両の車輪回転数を検出するためのセンサ装置及びセンサ設備、車両用の車輪回転数検出システム、当該車輪回転数検出システムを有する車両、並びにこのようなセンサ装置を製造して使用するための方法
WO2015036287A3 (de) Verfahren zum herstellen eines bauelementes
EP3428600A4 (en) ADHESIVE FOR SEMI-SENSOR CHIP MOUNTING AND SEMICONDUCTOR SENSOR
WO2017160496A8 (en) Assembly using a magnetic field sensor for detecting a rotation and a linear movement of an object
WO2015088658A3 (en) Integrated wire bonder and 3d measurement system with defect rejection
JP6291412B2 (ja) 位置決めフレーム構造
EP3897082A4 (en) METHOD OF MANUFACTURING HOUSING SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT INSTALLATION
WO2016005609A3 (de) Kundenspezifischer sensor hergestellt durch dreifach-molden
JP2017015425A5 (ja)
JP2011107104A5 (ja)
JP6349506B2 (ja) ハルバッハ配列及び磁性リングによるdq比を用いた円筒リニアモータの位置検出装置及び方法
JP2016186580A5 (ja)
JP2010141179A (ja) 半導体吸着用コレット

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160108

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20171219

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20171219

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20171219

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20180109

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180130

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180209

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6291412

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250