JP6288999B2 - 静圧気体軸受装置 - Google Patents
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Description
前記エアシャフト用挿入穴の内径よりも小さい外径を有し、当該エアシャフト用挿入穴に挿入されるエアシャフトと、
前記エアシャフト用挿入穴に前記エアシャフトが挿入された前記回転体を、前記スラスト方向において前記両端面側から非接触で挟み込む一対のスラストプレートと、を有し、
前記エアシャフトは、
ラジアル軸受隙間を介して前記回転体の前記エアシャフト用挿入穴の内周面と対面し、当該ラジアル軸受隙間に気体を噴出する外周面を有し、
前記一対のスラストプレートの各々は、
スラスト軸受隙間を介して前記回転体の前記端面と対面する一方の端面にスラスト軸受面を有し、
前記一対のスラストプレートの少なくとも一方は、
前記スラスト軸受面において前記ラジアル軸受隙間と前記スラスト方向に重なる環状領域に設けられた環状溝と、当該環状溝の溝底に設けられた吸気口と、当該吸気口に流入した気体を外部へ排出する排気口と、を備えた流路を有する。
Claims (6)
- 両端面をスラスト方向に貫通するエアシャフト用挿入穴が形成された回転体を非接触状態で支持する静圧気体軸受装置であって、
前記エアシャフト用挿入穴の内径よりも小さい外径を有し、当該エアシャフト用挿入穴に挿入されるエアシャフトと、
前記エアシャフト用挿入穴に前記エアシャフトが挿入された前記回転体を、前記スラスト方向において前記両端面側から非接触で挟み込む一対のスラストプレートと、を有し、
前記エアシャフトは、
ラジアル軸受隙間を介して前記回転体の前記エアシャフト用挿入穴の内周面と対面し、当該ラジアル軸受隙間に気体を噴出する外周面を有し、
前記一対のスラストプレートの各々は、
スラスト軸受隙間を介して前記回転体の前記端面と対面する一方の端面にスラスト軸受面を有し、
前記一対のスラストプレートの少なくとも一方は、
前記スラスト軸受面において前記ラジアル軸受隙間と前記スラスト方向に重なる環状領域に設けられた環状溝と、当該環状溝の溝底に設けられた吸気口と、当該吸気口に流入した気体を外部へ排出する排気口と、を備えた流路を有する
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。 - 請求項1に記載の静圧気体軸受装置であって、
前記流路は、前記吸気口から前記スラストプレートの他方の端面まで前記スラスト方向に貫通する貫通穴を具備している
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。 - 請求項1または2に記載の静圧気体軸受装置であって、
前記吸気口は、前記環状領域内に収まるように形成されている
ことを特徴する静圧気体軸受装置。 - 請求項1ないし3のいずれか一項に記載の静圧気体軸受装置であって、
前記流路の前記排気口に接続され、当該排気口から排出される気体の流量を調節する流量調節手段をさらに有する
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の静圧気体軸受装置であって、
前記エアシャフト用挿入穴の両端部にテーパーが形成された前記回転体をさらに有する
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。 - 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の静圧気体軸受装置であって、
前記一対のスラストプレートの一方は、
前記エアシャフトの一方の端部に一体的に形成されており、
前記エアシャフトは、
円柱状あるいは円筒状のバックメタルと、
前記バックメタルの外周面に形成された多孔質層と、を有する
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。
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