JP5868709B2

JP5868709B2 - 静圧気体軸受装置

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Publication number: JP5868709B2
Application number: JP2012002338A
Authority: JP
Inventors: 琢哉平山
Original assignee: Oiles Corp
Current assignee: Oiles Corp
Priority date: 2012-01-10
Filing date: 2012-01-10
Publication date: 2016-02-24
Anticipated expiration: 2032-01-10
Also published as: JP2013142431A; CN104024668B; WO2013105412A1; CN104024668A; KR20140114861A

Description

本発明は、支持対象を非接触で支持する静圧気体軸受装置に関し、特に大型の支持対象を非接触で支持するのに好適な静圧気体軸受装置に関する。

特許文献１には、高精度な回転性能を有する静圧軸受パッド式回転装置が開示されている。この静圧軸受パッド式回転装置に用いられている静圧気体軸受装置は、支持対象である回転体が軸心回り方向に回転可能となるように、この回転体をラジアル方向から非接触で支持する複数の静圧気体軸受パッド（ラジアルパッド）と、これらの静圧気体軸受パッドを固定するためのブラケット（固定体）と、を備えている。ここで、ブラケットにはボールスタッド支持部材が取り付けられており、静圧気体軸受パッドは、このボールスタッド支持部材にねじ込まれたボールスタッドを介してブラケットに固定されている。

特開２０１０−１２４５６５号公報

特許文献１に記載の静圧気体軸受装置において、支持対象である回転体が大型化した場合、回転体の外周方向（ラジアル方向）あるいは軸方向（スラスト方向）に配置する静圧気体軸受パッドの数を増やす必要がある。しかしながら、特許文献１に記載の静圧気体軸受装置では、静圧気体軸受パッドの数が増えると、つぎのような問題が生じる。

すなわち、特許文献１に記載の静圧気体軸受装置においては、上述したように、ボールスタッドを介してブラケットに各静圧気体軸受パッドが固定されているので、ブラケットに対する静圧気体軸受パッドの取付角度が自動調節される。しかし、各静圧気体軸受パッドのラジアル方向の位置決めは、ボールスタッド支持部材へのボールスタッドのねじ込み具合を個別に微調整することにより行われる。支持対象である回転体が大型化すると、このような面倒な微調整作業の対象となる静圧気体軸受パッドの数が増加するため、支持対象である回転体の軸心合わせの作業負担が増加する。したがって、特許文献１に記載の静圧気体軸受装置は、複数配置された静圧気体軸受パッドの位置決めが非常に煩雑であり、大型の支持対象に適していない。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、支持対象の大きさによらず、支持対象の軸心合わせが容易な静圧気体軸受装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明の静圧気体軸受装置では、セグメント化された複数の静圧気体軸受を、これらの静圧気体軸受の支持面が支持対象の外周方向あるいは軸心方向に配列されるように、ハウジングの内周面に取り付けた。

例えば、本発明は、支持対象を非接触で支持する静圧気体軸受装置であって、
前記支持対象を非接触で支持する支持面を備え、給気口から供給される気体を前記支持面に導く通気路およびネジ穴が形成された複数の静圧気体軸受と、
前記複数の静圧気体軸受を保持するための内壁を有するハウジングと、
複数のボルトと、を有し、
前記複数の静圧気体軸受は、
前記支持対象の軸心を含む水平面に対して非対称に前記支持面が並ぶように前記支持対象の軸心を囲む方向に配列され、前記ハウジングの内壁に対する前記支持面の位置が固定されるように前記ハウジングの内壁に取り付けられ、
前記ハウジングには、当該ハウジングの内壁を貫通する複数のボルト穴が形成され、
前記複数のボルトは、それぞれ、
前記ハウジングのボルト穴を介して前記静圧気体軸受のネジ穴に螺合して当該静圧気体軸受を前記ハウジングに固定する。

本発明では、複数のセグメント化された静圧気体軸受を、支持対象の外周方向あるいは軸心方向に配列し、ハウジングの内周面に対する支持面の位置が固定されるようにハウジングの内周面に取り付けている。このため、これらの静圧気体軸受の支持面をまとめて機械加工で精度よく仕上げることができ、これにより、個々の静圧気体軸受ごとの面倒な微調整作業を行わなくても、これらの静圧気体軸受と支持対象との軸心合わせを容易に行うことが可能となる。これにより、支持対象の大きさによらず、支持対象の軸心合わせが容易な静圧気体軸受装置を提供することができる。

図１（Ａ）は、本発明の一実施の形態に係る静圧気体軸受装置１の外観図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示す静圧気体軸受装置１の断面図である。図２（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、静圧気体軸受パッド２の正面図、右側面図、底面図であり、図２（Ｄ）は、図２（Ｃ）のＡ−Ａ断面図である。図３（Ａ）、（Ｂ）は、ハウジング３の正面図、右側面図であり、図３（Ｃ）、（Ｄ）は、図３（Ａ）のＢ−Ｂ断面図である。図４（Ａ）は、ブラケット４の正面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＣ−Ｃ断面図である。図５は、図１（Ａ）に示す静圧気体軸受装置１のＤ部拡大図である。

以下に、本発明の一実施の形態について、図面を参照して説明する。

図１（Ａ）は、本実施の形態に係る静圧気体軸受装置１の外観図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示す静圧気体軸受装置１の断面図である。

本実施の形態に係る静圧気体軸受装置１は、例えば大型の軸等といった、図示していない円柱状の支持対象を、セグメント化された複数の静圧気体軸受パッドにより非接触で支持する。図示するように、静圧気体軸受装置１は、支持対象を非接触で支持する支持面２０を有する複数の静圧気体軸受パッド２と、これらの静圧気体軸受パッド２を保持する円筒状のハウジング３と、ハウジング３を支持する一対のブラケット４と、ブラケット４毎に設けられ、ブラケット４に対するハウジング３の位置（上下方向（Ｚ方向）における高さ）を調節する支持位置調整機構５と、を備えている。

ここで、複数の静圧気体軸受パッド２は、それらの支持面２０がハウジング３の内周面３０において支持対象の外周面に沿って配置されるように、支持対象の外周方向αおよび軸方向βに配列されてハウジング３の内周面３０に取り付けられている。

なお、本実施の形態では、支持対象の外周方向αに３枚の静圧気体軸受パッド２を配列し、これを支持対象の軸方向βに２列設けているが（合計６枚の静圧気体軸受パッド２）、本発明はこれに限定されない。例えば、支持対象の大きさ、重量等に応じた枚数の静圧気体軸受パッド２を、支持対象の外周方向αおよび軸方向βの少なくとも一方向に配列すればよい。

図２（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、静圧気体軸受パッド２の正面図、右側面図、底面図であり、図２（Ｄ）は、図２（Ｃ）のＡ−Ａ断面図である。

静圧気体軸受パッド２の支持面２０は、支持対象の外周面と支持面２０との間に厚みの均一な気体層が形成されるように、支持対象の外径より僅かに大きな直径を有する円弧状に形成されている。図示するように、この静圧気体軸受パッド２は、円弧状のバックメタル２１と、バックメタル２１の内周面２３（支持面２０側の面）上に形成された多孔質焼結層２２と、を備えている。

バックメタル２１は、外周面２４（支持面２０と反対側の面）がハウジング３の内周面３０にならうように、ハウジング３の内径とほぼ同径の外径を有している。バックメタル２１の外周面２４には、静圧気体軸受パッド２をハウジング３に固定するための、図示していないボルトが締結されるネジ穴２５が形成されている。また、バックメタル２１の内周面２３には、例えば周方向に沿った溝２６Ａが１本以上形成されており、バックメタル２１の内部には、これらの溝２６Ａに圧縮気体を供給するための通気路２６が形成されている。そして、バックメタル２１の一方の側面２７（静圧気体軸受パッド２をハウジング３の内周面３０に組み付けた場合に、ハウジング３の開口から外側に向く面）には、図示していない圧縮気体供給用ポンプの給気管をこの通気路２６に連結するための給気口２８が形成されている。さらに、バックメタル２１の一方の側面２７には、静圧気体軸受パッド２の支持面２０に切削、研削等の機械加工を施す際に、図示していない固定用冶具に静圧気体軸受パッド２を固定するためボルト挿入用ボルト穴２９が形成されている。

圧縮気体供給用ポンプの給気が開始されると、圧縮気体供給用ポンプからの圧縮気体が、給気口２８に連結された給気管および通気路２６を介して多孔質焼結層２２裏側の溝２６Ａに供給される。これにより、圧縮気体供給用ポンプからの圧縮空気が、多孔質焼結層２２内の細孔を通過して、支持面２０として機能する多孔質焼結層２２の表面２０から吐出される。

図３（Ａ）、（Ｂ）は、ハウジング３の正面図、右側面図であり、図３（Ｃ）、（Ｄ）は、図３（Ａ）のＢ−Ｂ断面図である。

図示するように、ハウジング３は、外径面両端側に小径部３３が形成された段付きの円筒形状を有している。具体的には、ハウジング３は、円筒状のハウジング本体３１と、ハウジング本体３１の両端面３２に一体的に形成され、ハウジング本体３１の外径よりも小径な円筒状の挿入部３３と、を備えている。各挿入部３３は、それぞれ、ブラケット４の後述する挿入穴４０に挿入される。

ハウジング本体３１の外周面３４には、ハウジング３の内周面３０の所定位置に配列された各静圧気体軸受パッド２のネジ穴２５と対応する位置に、ハウジング３の内周面３０まで貫通したボルト穴３５が形成されている。図示していないボルトを、これらのボルト穴３５に外周面３４側から挿入して、ハウジング３内の静圧気体軸受パッド２のネジ穴２５に螺合させることにより、ハウジング３の内周面３０の所定位置に静圧気体軸受パッド２が固定される。

また、ハウジング本体３１の両端面３２には、ハウジング３をブラケット４に固定するためのボルト３９（図１参照）と螺合するネジ穴３６が形成されている。また、ハウジング本体３１の外周面３４の、両端面３２近傍の上部位置には、支持位置調整機構５の後述する位置調整ボルト５０と螺合するネジ穴３７がＺ方向に形成されている。

一方、挿入部３３は、ハウジング本体３１と軸心が一致し、かつハウジング本体３１と同じ内径を有している。また、挿入部３３は、ハウジング本体３１の外径ｒ２より小さな外径ｒ１を有している。これらの挿入部３３は、ハウジング３の両側に設置された２個の後述するブラケット４の一方の側面４４にハウジング本体３１の両端面３２が接触するまで、これら２個のブラケット４の後述する挿入穴４０内に挿入される。

図４（Ａ）は、ブラケット４の正面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＣ−Ｃ断面図である。

図示するように、ブラケット４は、板状のブラケット本体４１と、ブラケット本体４１の下端部に一体に形成され、ブラケット本体４１の横倒しを防止する台座４２と、ブラケット本体４１の上端部に形成され、支持位置調整機構５を保持する保持部４３と、を備えている。

ブラケット本体４１には、ハウジング３の挿入部３３が挿入される挿入穴４０が、ブラケット本体４１の両側面４４、４５を貫くように形成されている。支持位置調整機構５によるブラケット４に対するハウジング３の位置調整を可能とするため、ブラケット４の挿入穴４０とハウジング３の挿入部３３とは所定の隙間を有しており、例えば、挿入穴４０とハウジング３の挿入部３３との嵌め合いは、挿入穴４０の内周面とハウジング３の挿入部３３の外周面との間にハウジング３の位置調整代分の隙間があく緩い隙間嵌めとなっている。つまり、ブラケット４の挿入穴４０に挿入部３３が挿入されたハウジング３は、ブラケット４の挿入穴４０の径方向にハウジング３の位置調整代分の距離の移動が可能である。ただし、ハウジング３の挿入部３３が挿入穴４０内に挿入された場合に、ハウジング本体３１の端面３２がブラケット本体４１の一方の側面４４と当接するように、挿入穴４０の穴径ｒ３は、ハウジング３のハウジング本体３１の外径ｒ２より小さく形成されている。

また、ブラケット本体４１の挿入穴４０の周囲（ブラケット本体４１および台座４２）には、この挿入穴４０に挿入部３３が挿入されるハウジング３のハウジング本体３１の端面３２のネジ穴３６に対応する位置にボルト穴４６が形成されている。ブラケット４の一方の側面４４側から挿入穴４０にハウジング３の挿入部３３を挿入した状態で、ボルト３９（図１参照）を、ブラケット本体４１の他方の側面４５側からボルト穴４６に挿入してハウジング３のネジ穴３６に螺合させることにより、ハウジング３がブラケット４に固定される。支持位置調整機構５によるブラケット４に対するハウジング３の位置調整を可能とするため、ボルト穴４６は、挿入されたボルト３９が、少なくともハウジング３の位置調整代分、Ｚ方向に移動可能な大きさに形成されている。

台座４２は、ブラケット本体４１の横倒しを防止するため、ブラケット本体４１の下端部においてブラケット本体４１の少なくとも片側の側面から張り出し、ブラケット本体４１の板厚よりも幅広の底面４９を形成している。本実施の形態においては、台座４２は、ブラケット本体４１の、ハウジング３とは反対側の他方の側面４５から張り出した形状に形成されている。

保持部４３は、ブラケット本体４１の上端部においてブラケット本体４１の他方の側面４５から張り出しており、その上面４３Ａに、支持位置調整機構５を保持するための凹部４７が形成されている。図示していないが、この凹部４７の底面４８には、支持位置調整機構５を固定するための固定ボルトが締結されるネジ穴が形成されている。そして、後述するように、ハウジング３の挿入部３３をブラケット本体４１の挿入穴４０に挿入した場合に、凹部４７の底面４８は、ハウジング本体３１の外周面３４よりも高い位置に位置付けられる（図５参照）。

図５は、図１（Ａ）に示す静圧気体軸受装置１のＤ部拡大図である。

図示するように、支持位置調整機構５は、位置調整ボルト５０と、図示していない固定ボルトでブラケット４の保持部４３の凹部４７に固定されたプレート５１と、を備えている。

図示していないが、プレート５１には、ブラケット４の保持部４３の凹部４７の底面４８のネジ穴に対応する位置にボルト穴が形成されている。固定ボルトを、このボルト穴に挿入してブラケット４の保持部４３の凹部４７の底面４８のネジ穴に締結することにより、プレート５１はブラケット４の保持部４３に固定される。また、プレート５１には、ブラケット４の挿入穴４０に挿入部３３が挿入されたハウジング３のハウジング本体３１に形成されているネジ穴３７と対応する位置に、位置調整ボルト５０挿入用のボルト穴５２が形成されている。

上述したように、ハウジング３の挿入部３３をブラケット４の挿入穴４０に挿入した場合、ブラケット４の挿入穴４０とハウジング３の挿入部３３とがゆるい隙間嵌めとなっているため、挿入部３３の外周面と挿入穴４０の内周面との間に少なくともハウジング３の位置調整代分の隙間ｄ１が形成される。また、ブラケット４の保持部４３に形成されている凹部４７の底面４８がハウジング本体３１の外周面３４よりも高い位置にくるように形成されているため、プレート５１の下面５３とハウジング本体３１の外周面３４との間にも、少なくともハウジング３の位置調整代分の隙間ｄ２が形成される。このため、位置調整ボルト５０を、プレート５１のボルト穴５２に挿入してハウジング３のネジ穴３７に螺合させ、その締め込み量を調整することより、ハウジング３が、プレート５１側に引き寄せられ、または、プレート５１から引き離されるため、ブラケット４に対するハウジング３の位置を調整することができる。

つぎに、上記構成の静圧気体軸受装置１の組立て方法を説明する。

まず、ハウジング３内に静圧気体軸受パッド２を位置付け、ボルトを、ハウジング３のボルト穴３５に挿入し、ハウジング３内に位置付けた静圧気体軸受パッド２のネジ穴２５に螺合させることにより、ハウジング３の内周面３０の所定位置に静圧気体軸受パッド２を固定する。このとき、静圧期待軸受パッド２は、ボルト穴２９が形成されているバックメタル２１の一方の側面２７がハウジング３の挿入部３３の端面にそろうように配置されている（図１参照）。すべての静圧気体軸受パッド２に対して同様な作業を行うことにより、所望数の支持面２０を、支持対象の外周方向αおよび軸方向βに、所望のパターンで配列する。

つぎに、静圧気体軸受パッド２の側面（バックメタル２１の一方の側面２７）に形成されているボルト穴２９を用いて、ハウジング３の内周面３０に固定された複数の静圧気体軸受パッド２に、図示していない固定用冶具をボルトで固定する。それから、図１（Ａ）に示すように、ハウジング３の内周面３０に固定された複数の静圧気体軸受パッド２の支持面２０を、まとめて機械加工（研削加工、切削加工等）する。これにより、複数の静圧気体軸受パッド２の支持面２０が、同一の円周上の円弧面となるように、精度よく仕上げられる。

つぎに、ハウジング３の両側の挿入部３３を、一対のブラケット４の挿入穴４０に一方の側面４４側からそれぞれ挿入する。これにより、ハウジング３を、対向して配置される一対のブラケット４に支持させる。それから、位置調整ボルト５０を、それぞれのブラケット４に固定されたプレート５１のボルト穴５２に挿入し、ハウジング３のハウジング本体３１の外周面３４に形成されたネジ穴３７と螺合させる。位置調整ボルト５０の締め込み量を調節することにより、ハウジング３の挿入穴３０内で複数の静圧気体軸受３により非接触支持される支持対象の軸心Ｏが水平となるように、各ブラケット４に対するハウジング３の位置（高さ）を調整する。

そして、ハウジング３の位置調整が終了したならば、ボルトを、ブラケット４の挿入穴４０の周囲に形成されたボルト穴４６に挿入してハウジング３のネジ穴３６に螺合させることにより、ハウジング３をブラケット４に固定する。以上により、上記構成の静圧気体軸受装置１が完成する。

以上、本発明の実施の形態を説明した。

本実施の形態では、複数の静圧気体軸受パッド２を、これらの静圧気体軸受パッド２の支持面２０が支持対象の外周方向αあるいは軸方向βに配列されるように、ハウジング３の内周面３０に取り付け、これらの静圧気体軸受パッド２の支持面２０を、まとめて機械加工する。これにより、複数の静圧気体軸受パッド２の支持面２０を、それらの支持面２０が同一の円周上の円弧面となるように精度よく仕上げることができるため、支持対象の軸心合わせのための煩雑な微調整作業を行わなくても、これらの静圧気体軸受パッド２の軸心Ｏと支持対象の軸心とを容易に一致させることが可能となる。これにより、支持対象の大きさによらず、支持対象の軸心合わせが容易な静圧気体軸受装置１を提供することができる。

また、本実施の形態では、同時加工により、複数の静圧気体軸受パッド２の支持面２０を、円柱状の支持対象の外周面より僅かに大きな直径を有する円弧状に精度よく成形することができる。このため、例えば、ハウジング３の内径が高精度に仕上げられていなくても、支持対象の外周面と静圧気体軸受パッド２の支持面２０との間に均一な厚さの気体層を形成することが可能となり、これにより、支持対象を非接触で安定的に支持することができる。

また、本実施の形態では、ブラケット４の挿入穴４０とハウジング３の挿入部３３との嵌め合いを緩い隙間嵌めにするとともに、ハウジング３のネジ穴３７に対応するブラケット４のボルト穴４６の内径を、少なくともハウジング３の位置調整代分、ボルト３９の呼び径よりも大きく形成している。そして、ブラケット４に固定されたプレート５１のボルト穴５２を介してハウジング３のネジ穴３７と螺合する位置調整ボルト５０の締り具合を調節することにより、ブラケット４に対するハウジング３の位置を調整する。このように、本実施の形態によれば、個々の静圧気体軸受パッド２の位置を変更しなくても、支持対象を保持するハウジング３の両端の位置を、位置調整ボルト５０の締り具合の調節という簡単な操作で調整することにより、支持対象の傾斜等を調整することができる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内において様々な変形が可能である。

例えば、上記実施の形態では、軸心Ｏを含む水平面に対して非対称に支持面２０が並ぶように、支持対象の外周方向αに静圧気体軸受パッド２を複数配置している。具体的には、ハウジング３の内周面３０一回りにおいて、軸心Ｏを含む水平面よりも上側に一枚、下側に二枚の静圧気体軸受パッド２を配置している。このような配置により、上側に配置された一枚の静圧気体軸受パッド２の支持面２０から吐出される圧縮気体の圧力および支持対象の自重と、下側に配置された二枚の静圧気体軸受パッド２の支持面２０から吐出される圧縮気体の圧力とをバランスさせている。しかし、本発明はこれに限定されない。例えば、支持対象の軸心Ｏが垂直になるように支持対象を支持する場合には、軸心Ｏ周りにほぼ等角度ピッチで支持面２０が並ぶように、支持対象の外周面に沿って静圧気体軸受パッド２を複数配置してもよい。

また、上記実施の形態では、円柱状の支持対象の外周面に合わせて、静圧気体軸受パッド２の支持面２０を円弧状に形成しているが、本発明はこれに限定されない。支持面２０は、この支持面２０と非接触で対面する支持対象の部位と同形状に形成されたものであればよい。

また、上記の実施の形態では、ブラケット４の保持部４３に固定されたプレート５１、および、このプレート５１のボルト穴５２を介してハウジング３のネジ穴３７と螺合する位置調整ボルト５０により支持位置調整機構５を構成している。しかし、支持位置調整機構５は、ブラケット４に対するハウジング３の位置を調整できるものであれば、どのような構造のものでもよい。

また、上記の実施の形態では、支持位置調整機構５をブラケット４の上部に取り付けているが、支持位置調整機構を更にハウジング３の外周面に対面するブラケット４の側面にも取り付けてもよい。

また、上記の実施の形態では、ハウジング形状を円筒状としたが、これに限らず、複数のセグメント化された静圧気体軸受を保持し、不要な気体の漏れ等を生じさせないような形状であれば、他の形状であってもかまわない。

また、上記実施の形態では、静圧気体軸受パッド２として、支持面２０が多孔質焼結層で形成されたタイプのものを用いているが、本発明はこれに限定されない。自成絞り、オリフィス絞り、表面絞り等による圧縮気体吐出口が支持面２０に形成されたタイプの静圧気体軸受パッドを利用してもよい。

また、上記実施の形態では、ハウジング３を円筒状としているが、ハウジング３は筒状であればよい。また、上記実施の形態では、一対のブラケット４によりハウジング３の両端部を支持しているが、ハウジング３は、少なくとも一つのブラケット４により支持されていればよい。

１：静圧気体軸受装置、２：静圧気体軸受パッド、３：ハウジング、４：ブラケット、５：支持位置調整機構、２０：支持面、２１：バックメタル、２２：多孔質焼結層、２３：バックメタルの内周面、２４：バックメタルの外周面、２５：バックメタルのネジ穴、２６：バックメタルの通気路、２６Ａ：バックメタルの溝、２７：バックメタルの側面、２８：バックメタルの給気口、２９：バックメタルのボルト穴、３０：ハウジングの内周面、３１：ハウジング本体、３２：ハウジング本体の端面、３３：挿入部、３４：ハウジング本体の外周面、３５：ハウジング本体のボルト穴、３６、３７：ハウジング本体のネジ穴、３９：ボルト、４０：ブラケットの挿入穴、４１：ブラケット本体、４２：台座、４３：保持部、４３Ａ：保持部の上面、４４、４５：ブラケット本体の側面、４６：ブラケット４のボルト穴、４７：保持部の凹部、４８：凹部の底面、４９：ブラケット４の底面、５０：位置調整ボルト、５１：プレート、５２：プレートのボルト穴、５３：プレートの下面

Claims

支持対象を非接触で支持する静圧気体軸受装置であって、
前記支持対象を非接触で支持する支持面を備え、給気口から供給される気体を前記支持面に導く通気路およびネジ穴が形成された複数の静圧気体軸受と、
前記複数の静圧気体軸受を保持するための内壁を有するハウジングと、
複数のボルトと、を有し、
前記複数の静圧気体軸受は、
前記支持対象の軸心を含む水平面に対して非対称に前記支持面が並ぶように前記支持対象の軸心を囲む方向に配列され、前記ハウジングの内壁に対する前記支持面の位置が固定されるように前記ハウジングの内壁に取り付けられ、
前記ハウジングには、当該ハウジングの内壁を貫通する複数のボルト穴が形成され、
前記複数のボルトは、それぞれ、
前記ハウジングのボルト穴を介して前記静圧気体軸受のネジ穴に螺合して当該静圧気体軸受を前記ハウジングに固定する
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。
請求項１に記載の静圧気体軸受装置であって、
前記支持面は、
当該支持面と対面する前記支持対象の部位に沿った形状に加工されている
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。
請求項２に記載の静圧気体軸受装置であって、
前記支持対象は、円柱状であり、
前記支持面は、円弧状に加工されている
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の静圧気体軸受装置であって、
前記ハウジングを支持する少なくとも一つのブラケットをさらに有し、
前記ブラケットは、
前記ブラケットに対する前記ハウジングの位置を調節する支持位置調整機構を備えている
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。
請求項４に記載の静圧気体軸受装置であって、
前記ブラケットは、前記ハウジングが所定隙間をもって挿入される貫通穴を備え、
前記ハウジングには、前記ブラケットの前記貫通穴の径方向にネジ穴が形成され、
前記支持位置調整機構は、
前記ハウジングに形成された前記ネジ穴と螺合し、前記ブラケットに対して前記貫通穴の径方向に前記所定の隙間分前記ハウジングを移動させるボルトを備える
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。