JP6288103B2 - コンベヤ装置 - Google Patents

Description

本発明は、コンベヤ装置に関する。

被搬送物を搬送する搬送装置として、コンベヤ装置が知られている。また、半導体製造装置、液晶製造装置で用いられるウェハ及びガラス基板などの被搬送物は、規格化された容器の一つであるＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）などに収容されて搬送されることがある。このような被搬送物を搬送する搬送装置では、搬送中の被搬送物の破損などを抑制するために、搬送中の振動やがたつきなどを少なくして、安定した状態で搬送することが求められている。

このように被搬送物を安定した状態で搬送するための工夫がされたコンベヤ装置が、例えば、特許文献１（特公平６−２５２７号公報）に開示されている。特許文献１には、駆動装置によって回転される駆動プーリによってベルトが一方向に走行するユニットコンベヤが搬送方向に沿って複数台配列されているコンベヤ装置が開示されている。そして、このコンベヤ装置では、ユニットコンベヤ間に補助コンベヤを設け、被搬送物を一時的に支持することにより隣接する搬送装置に受け渡している。

特公平６−２５２７号公報

近年、略矩形状の本体部の上をコンベヤ部が旋回して、被搬送物の進行方向を変えるための旋回コンベヤが搬送経路上に配置されたコンベヤ装置が導入されている。このようなコンベヤ装置において、旋回コンベヤに隣接する部分に安定的に被搬送物を受け渡すことが求められている。しかしながら、上記従来の補助コンベヤを、単に、旋回コンベヤと旋回コンベヤに隣接する部分との間に配置したとしても、旋回コンベヤの旋回部分における旋回領域の関係から、補助コンベヤを旋回コンベヤに近接させて配置することができない。このため、旋回コンベヤに隣接する部分に安定的に被搬送物を受け渡すことが困難となる。

そこで、本発明の目的は、旋回コンベヤに隣接する部分に安定的に被搬送物を受け渡すことができるコンベヤ装置を提供することにある。

本発明の一側面に係るコンベヤ装置は、被搬送物の底面を支持して被搬送物を搬送する第１支持搬送部を有する第１コンベヤ部と、第１コンベヤ部を支持すると共に第１コンベヤ部を旋回させて被搬送物の進行方向を変化させる旋回部と、第１コンベヤ部に隣接して設けられると共に、被搬送物の底面において搬送方向と交差する幅方向における両端部を支持して被搬送物を搬送する一対の第２支持搬送部を有する第２コンベヤ部と、を備えている。第２コンベヤ部における一対の第２支持搬送部と、第２コンベヤ部における一対の第２支持搬送部に駆動力を伝達する駆動伝達部とが、平面視において第１コンベヤ部の旋回半径の外側に設けられている。また、第２コンベヤ部における被搬送物の搬送領域と第１コンベヤ部の旋回領域とが平面視において互いに重なるように、第１コンベヤ部及び第２コンベヤ部が配置されている。

このコンベヤ装置によれば、第２コンベヤ部における一対の第２支持搬送部と、第２コンベヤ部における一対の第２支持搬送部に駆動力を伝達する駆動伝達部とが、平面視において第１コンベヤ部の旋回領域の外側に設けられているので、第１コンベヤ部の旋回を第２コンベヤ部が阻害することはない。また、第２コンベヤ部における第２支持搬送部は、被搬送物の搬送領域における全面を支持可能に設けられているのではなく、搬送領域の幅方向における両側部分のみを支持可能に設けられている。このため、平面視において第２支持搬送部に第１コンベヤ部の旋回領域が重なることを回避しつつ、第２コンベヤ部における被搬送物の搬送領域に第１コンベヤ部の旋回領域を重ねるように、第１コンベヤ部と第２コンベヤ部とを配置することができる。これにより、第１コンベヤ部から隣接する部分に被搬送物を送り出す際に、第２コンベヤ部の第２支持搬送部と第１コンベヤ部の第１支持搬送部とを近接させることができる。この結果、旋回コンベヤとしての第１コンベヤ部に隣接する部分に、旋回コンベヤではない第２コンベヤ部を介して被搬送物を送り出すことができるので、安定的に被搬送物を受け渡すことができる。

また、一実施形態において、第１コンベヤ部は、被搬送物の底面において搬送方向と交差する幅方向における両端部を支持して被搬送物を搬送する一対の第１支持搬送部を有していてもよい。

また、一実施形態において、第１コンベヤ部は、第１コンベヤ部の下方に設けられた本体部に対して旋回し、第２コンベヤ部は、本体部に隣接して設けられる基部の上方に設けられると共に、平面視において本体部と重なるように配置されていてもよい。

このコンベヤ装置によれば、基部及び第２コンベヤ部を、コンベヤ装置又は第１コンベヤ部から独立した部材とすることができるので、コンベア装置としてのレイアウト変更やメンテナンスを容易に行うことができる。

また、一実施形態において、第２支持搬送部は、被搬送物の搬送面に略平行な被搬送物支持面を有していてもよい。

このコンベヤ装置によれば、第２支持搬送部と被搬送物との接触面積を確保することができるので、安定した被搬送物の搬送が可能となる。

本発明によれば、旋回コンベヤに隣接する部分に安定的に被搬送物を受け渡すことができる。

図１は、一実施形態に係るコンベヤ装置を備える搬送システムの構成図である。 図２は、図１に含まれる第１コンベヤ部を示す平面図である。 図３は、図２に示す第１コンベヤ部のIII−III線における断面図である。 図４は、図１に含まれる第２コンベヤ部を示す平面図である。 図５は、図４の示す第２コンベヤ部のV−V線における断面図である。

以下、図面を参照して一実施形態について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、必ずしも一致していない。

図１は、一実施形態に係るコンベヤ装置５０が用いられる搬送システム１の構成図である。搬送システム１は、階間搬送装置１０から搬送されてくるＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）（被搬送物）５を、天井走行車９１への受け渡し箇所である移載箇所Ｐ１〜Ｐ４の何れかにまで搬送するシステムである。図１に示すように、本実施形態の搬送システム１では、４箇所に移載箇所Ｐ１〜Ｐ４が設けられている。ＦＯＵＰ５は、例えば、半導体製造装置、液晶製造装置で用いられるウェハ及びガラス基板などを収容する容器であり、規格化された容器の一つである。

階間搬送装置１０は、互いに異なる階間を、図示しない移載装置によって搬送する。天井走行車９１は、移載箇所Ｐ１〜Ｐ４と、例えば図示しないロードポートとの間で、ＦＯＵＰ５を搬送する。天井走行車９１は、移載箇所Ｐ１〜Ｐ４とロードポートとの間を、ＦＯＵＰ５を吊り下げた状態で把持して搬送するＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）とすることができる。天井走行車９１は、クリーンルームの天井など、床面より高い位置に設けられる走行レール９３に沿って走行する。

以下、一実施形態に係るコンベヤ装置５０が用いられる搬送システム１について説明する。図１に示すように、搬送システム１は、階間搬送装置１０と、搬送コンベヤ２０と、回転コンベヤ３０と、コンベヤ装置５０と、を備えている。

搬送コンベヤ２０は、ＦＯＵＰ５の底部における幅方向の両端部を支持して搬送する一対のコンベヤ部２１を有している。ＦＯＵＰ５は、このコンベヤ部２１によって底面が支持されて搬送される。本実施形態の搬送コンベヤ２０は、例えば、図示しない制御装置によってそれぞれ独立した搬送制御がなされる。搬送コンベヤ２０は、階間搬送装置１０と回転コンベヤ３０との間、及び、回転コンベヤ３０とコンベヤ装置５０との間に配置されている。

回転コンベヤ３０は、ＦＯＵＰ５の搬送方向の向きを変える部分であり、図１に示すように、ＦＯＵＰ５の底部における幅方向の両端部を支持して搬送する一対のコンベヤ部３９と、一対のコンベヤ部３９を支持すると共に回転可能に設けられた回転機構３３と、回転機構３３を支持する本体部３１とを有している。例えば、回転コンベヤ３０は、図１に示す上方向から搬送されてきたＦＯＵＰ５を、図１に示す右方向に配置された搬送コンベヤ２０に向けて送り出す。

コンベヤ装置５０は、搬送コンベヤ２０と移載箇所Ｐ１〜Ｐ４との間でＦＯＵＰ５を搬送する装置である。図１に示すように、コンベヤ装置５０は、第１コンベヤ部５１と、旋回部６１と、第２コンベヤ部７１と、を主に備えている。以下、図２〜図４を参照しながら、コンベヤ装置５０について詳述する。

図２は、第１コンベヤ部５１を示す平面図である。図３は、図２に示す第１コンベヤ部５１におけるIII−III線における断面図である。図４は、第２コンベヤ部７１を示す平面図であり、第１コンベヤ部５１については、第２コンベヤ部７１との間でＦＯＵＰ５を受け渡す際の状態を示している。図５は、図４に示す第２コンベヤ部７１のV−V線における断面図であり、第１コンベヤ部５１については、第２コンベヤ部７１との間でＦＯＵＰ５を受け渡す際の状態を示している。

第１コンベヤ部５１は、図２及び図３に示すように、ＦＯＵＰ５の底部における幅方向の両端部を支持して搬送する一対の第１ベルト（第１支持搬送部）５３を有している。一対の第１ベルト５３は、輪状の無端ベルトであり、第１ベルト５３のそれぞれが２つのローラ５５，５５に巻き掛けられている。それぞれの第１ベルト５３は、少なくとも一方のローラ５５，５５が図示しない駆動部により駆動されることにより一方向に回転し、支持するＦＯＵＰ５を搬送する。

旋回部６１は、第１コンベヤ部５１を支持すると共に、第１コンベヤ部５１を旋回させてＦＯＵＰ５の進行方向を変化させる。旋回部６１は、図示しない駆動部により回転され、支持する第１コンベヤ部５１を旋回させる。旋回部６１は、本体部６３の上面に支持されている。言い換えれば、旋回部６１に支持される第１コンベヤ部５１は、本体部６３に対して旋回可能に設けられている。

第２コンベヤ部７１は、図５に示すように、第１コンベヤ部５１の本体部６３に隣接して設けられる基部８５の上方に設けられる。また、第２コンベヤ部７１は、図４に示すように、平面視において、本体部６３と重なるように設けられている。第２コンベヤ部７１は、図４及び図５に示すように、ＦＯＵＰ５の底面において搬送方向と交差する幅方向における両端部を支持してＦＯＵＰ５を搬送する一対の第２ベルト（第２支持搬送部）７３と、駆動ローラ７５と、従動ローラ７７と、搬送ローラ（第２支持搬送部）７９とを有している。

図４及び図５に示すように、一対の第２ベルト７３は、輪状の無端ベルトであり、第２ベルト７３のそれぞれが２つのローラ（駆動ローラ７５及び従動ローラ７７）に巻き掛けられている。駆動ローラ７５は、駆動軸（駆動伝達部）８３を介して駆動部８１により駆動される。第２ベルト７３は、ＦＯＵＰ５の搬送面に略平行な支持面（被搬送物支持面）７３Ａを有している。搬送ローラ７９は、駆動力が伝達されないフリーローラであり、ＦＯＵＰ５の搬送面の一部を形成する。

本実施形態では、第２コンベヤ部７１における一対の第２ベルト７３と、第２ベルト７３に駆動力を伝達する駆動軸８３とが、図４に示すように、平面視において、第１コンベヤ部５１の旋回領域Ａ１（図４に示す斜線ハッチング部）の外側、言い換えれば、旋回領域Ａ１と重ならない位置に設けられている。

また、本実施形態では、第２コンベヤ部７１におけるＦＯＵＰ５の搬送領域Ａ２（図４に示す着色部）と第１コンベヤ部５１の旋回領域Ａ１（図４に示す斜線ハッチング部）とが、図４に示すように、平面視において、互いに重なるように、第１コンベヤ部５１及び第２コンベヤ部７１が配置されている。

次に、ＦＯＵＰ５が階間搬送装置１０から移載箇所Ｐ２まで搬送される場合の、搬送システム１の動作を説明する。この場合のコンベヤ装置５０におけるＦＯＵＰ５は、以下の経路をたどる。すなわち、ＦＯＵＰ５は、図１に示すように、第１コンベヤ部５１Ａ→第２コンベヤ部７１Ａ→第１コンベヤ部５１Ｂ→第２コンベヤ部７１Ｂ→第１コンベヤ部５１Ｃの順番で搬送される。ここでは、階間搬送装置１０側を上流側、移載箇所Ｐ２側を下流側として説明を行う。

まず、階間搬送装置１０からＦＯＵＰ５を受け渡された搬送コンベヤ２０は、コンベヤ部２１に駆動を与え、下流方向にＦＯＵＰ５を搬送する。下流側の搬送コンベヤ２０は、上流側に隣接する搬送コンベヤ２０にまでＦＯＵＰ５が搬送されてくるとコンベヤ部２１に駆動を与える。下流側の回転コンベヤ３０は、ＦＯＵＰ５が搬送されてくる側にコンベヤ部３９を向けた状態で、ＦＯＵＰ５が搬送されてくるのを待つ。

上流側に隣接する搬送コンベヤ２０にまでＦＯＵＰ５が搬送されてくると、回転コンベヤ３０はコンベヤ部３９に駆動を与える。搬送コンベヤ２０からＦＯＵＰ５を受け渡された回転コンベヤ３０は、ＦＯＵＰ５をコンベヤ部３９の中央部まで搬送した後、コンベヤ部３９への駆動の提供を一時停止する。次に、回転コンベヤ３０は、回転機構３３に駆動を与え、コンベヤ部３９を反時計周りに回転させて、下流側に隣接する搬送コンベヤ２０にコンベヤ部３９を向けた状態とする。そして、再びコンベヤ部３９に駆動を与え、搬送コンベヤ２０に向けてＦＯＵＰ５を送り出す。

上流側に隣接する回転コンベヤ３０にまでＦＯＵＰ５が搬送されてくると、搬送コンベヤ２０はコンベヤ部２１に駆動を与える。回転コンベヤ３０からＦＯＵＰ５が受け渡された搬送コンベヤ２０は、下流側に隣接するコンベヤ装置５０に向けてＦＯＵＰ５を搬送する。

コンベヤ装置５０の第１コンベヤ部５１Ａは、旋回部６１Ａに駆動を与えて、ＦＯＵＰ５が搬送されてくる側に第１ベルト５３を向けた状態とし、ＦＯＵＰ５が搬送されてくるのを待つ。上流側に隣接する搬送コンベヤ２０にまでＦＯＵＰ５が搬送されてくると、第１コンベヤ部５１Ａは、第１ベルト５３に駆動を与える。搬送コンベヤ２０からＦＯＵＰ５を受け渡された第１コンベヤ部５１Ａは、下流側に隣接して配置された第２コンベヤ部７１ＡにまでＦＯＵＰ５を搬送する。

第２コンベヤ部７１Ａは、上流側に隣接する第１コンベヤ部５１ＡにまでＦＯＵＰ５が搬送されてくると、第２ベルト７３に駆動を与える。第１コンベヤ部５１ＡからＦＯＵＰ５を受け渡された第２コンベヤ部７１は、下流側に隣接して配置された第１コンベヤ部５１ＢにまでＦＯＵＰ５を搬送する。下流側の第１コンベヤ部５１Ｂは、旋回部６１Ｂに駆動を与えて、ＦＯＵＰ５が搬送されてくる側に第１ベルト５３を向けた状態とし、ＦＯＵＰ５が搬送されてくるのを待つ。

第１コンベヤ部５１Ｂは、上流側に隣接する第２コンベヤ部７１ＡにまでＦＯＵＰ５が搬送されてくると、第１ベルト５３に駆動を与える。第２コンベヤ部７１ＡからＦＯＵＰ５を受け渡された第１コンベヤ部５１Ｂは、ＦＯＵＰ５を第１ベルト５３の中央部まで搬送した後、第１ベルト５３への駆動の提供を一時停止する。次に、第１コンベヤ部５１Ｂは、旋回部６１Ｂに駆動を与え、第１ベルト５３を反時計周りに回転させて、下流側に隣接する第２コンベヤ部７１Ｂに第１ベルト５３を向けた状態とする。そして、再び第１ベルト５３に駆動を与え、第２コンベヤ部７１Ｂに向けてＦＯＵＰ５を送り出す。

ここで、下流側に隣接する第２コンベヤ部７１Ｂの第２ベルト７３、搬送ローラ７９及び駆動軸８３は、図４に示すように、第１コンベヤ部５１の搬送領域Ａ２の外側に配置されているので、第１ベルト５３が反時計周りに回転する際の回転を阻害することはない。更に、第１コンベヤ部５１Ｂにおいて、下流側に隣接する第２コンベヤ部７１Ｂに第１ベルト５３を向けた状態としたときは、図４に示すように、第１ベルト５３を、第２コンベヤ部７１Ｂの第２ベルト７３及び搬送ローラ７９に近接させることができる。したがって、第２コンベヤ部７１Ｂに向けて安定的にＦＯＵＰ５を送り出すことができる。

第２コンベヤ部７１Ｂは、上流側に隣接する第１コンベヤ部５１ＢにまでＦＯＵＰ５が搬送されてくると、第２ベルト７３に駆動を与える。第１コンベヤ部５１ＢからＦＯＵＰ５を受け渡された第２コンベヤ部７１Ｂは、下流側に隣接して配置された第１コンベヤ部５１ＣにまでＦＯＵＰ５を搬送する。下流側の第１コンベヤ部５１Ｃは、旋回部６１Ｃに駆動を与えて、ＦＯＵＰ５が搬送されてくる側に第１ベルト５３を向けた状態とし、ＦＯＵＰ５が搬送されてくるのを待つ。

第１コンベヤ部５１Ｃは、上流側に隣接する第２コンベヤ部７１ＢにまでＦＯＵＰ５が搬送されてくると、第１ベルト５３に駆動を与える。第２コンベヤ部７１ＢからＦＯＵＰ５を受け渡された第１コンベヤ部５１Ｃは、ＦＯＵＰ５を第１ベルト５３の中央部、すなわち移載箇所Ｐ２まで搬送した後、第１ベルト５３への駆動の提供を一時停止する。移載箇所Ｐ２に停止されたＦＯＵＰ５は、天井走行車９１により把持されて所定のロードポートへと搬送される。

以上で説明した、上記実施形態のコンベヤ装置５０によれば、図４に示すように、第２コンベヤ部７１における一対の第２ベルト７３及び搬送ローラ７９と、第２ベルト７３に駆動力を伝達するための駆動軸８３とが、平面視において第１コンベヤ部５１の旋回領域Ａ１（図４に示す斜線ハッチング部）の外側に設けられているので、第１コンベヤ部５１の旋回を第２コンベヤ部７１が阻害することはない。また、第２コンベヤ部７１における第２ベルト７３は、ＦＯＵＰ５の搬送領域Ａ２（図４に示す着色部）における全面を支持可能に設けられているのではなく、搬送領域Ａ２の幅方向における両側部分のみを支持可能に設けられている。このため、平面視において第２ベルト７３及び搬送ローラ７９に第１コンベヤ部５１の旋回領域Ａ１が重なることを回避しつつ、第２コンベヤ部７１におけるＦＯＵＰ５の搬送領域Ａ２に第１コンベヤ部５１の旋回領域Ａ１を重ねるように、第１コンベヤ部５１と第２コンベヤ部７１とを配置することができる。これにより、第１コンベヤ部５１から隣接する部分にＦＯＵＰ５を送り出す際に、第２コンベヤ部７１の第２ベルト７３及び搬送ローラ７９と第１コンベヤ部５１の第１ベルト５３とを近接させることができる。この結果、旋回コンベヤとしての第１コンベヤ部５１に隣接する部分に、旋回コンベヤではない第２コンベヤ部７１を介してＦＯＵＰ５を送り出すことができるので、安定的にＦＯＵＰ５を受け渡すことができる。

また、上記実施形態の第１コンベヤ部５１は、図５に示すように、第１コンベヤ部５１の下方に設けられた本体部６３に対して旋回し、第２コンベヤ部７１は、本体部６３に隣接して設けられる基部８５の上方に設けられると共に、平面視において本体部６３と重なるように配置されている。このため、基部及び第２コンベヤ部７１を、コンベヤ装置５０又は第１コンベヤ部５１から独立した部材とすることができるので、コンベア装置としてのレイアウト変更やメンテナンスを容易に行うことができる。

また、上記実施形態の第２コンベヤ部７１は、ＦＯＵＰ５の搬送面に略平行な支持面７３Ａを有しているので、第２コンベヤ部７１とＦＯＵＰ５との接触面積を確保することができ、安定したＦＯＵＰ５の搬送が可能となる。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記実施形態のコンベヤ装置５０では、第２コンベヤ部７１の第２支持部が第２ベルト７３及び搬送ローラ７９から構成される例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図４に示す平面視において、搬送ローラ７９がＦＯＵＰ５を搬送する部分を第２ベルト７３によって搬送する構成としてもよい。

上記実施形態のコンベヤ装置５０では、第１コンベヤ部５１として、一対の第１ベルト５３が設けられた例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば、ＦＯＵＰ（被搬送物）５の底面全体を支持可能な１枚のベルトが設けられてもよい。

上記実施形態のコンベヤ装置５０では、図１に示す上下方向に３つの第１コンベヤ部５１及び旋回部６１、２つの第２コンベヤ部７１が配置され、これらの組合せが左右方向に２列配置され、さらにこれらの組合せ間に第２コンベヤ部７１が配置されている例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。コンベヤ装置５０は、少なくとも１つの第１コンベヤ部５１と、その第１コンベヤ部５１を旋回させる旋回部６１と、第１コンベヤ部に隣接して配置される少なくとも１つの第２コンベヤ部７１を備える構成であればよい。

１…搬送システム、５…ＦＯＵＰ（被搬送物）、１０…階間搬送装置、２０…搬送コンベヤ、２１…コンベヤ部、３０…回転コンベヤ、３１…本体部、３３…回転機構、３９…コンベヤ部、５０…コンベヤ装置、５１…第１コンベヤ部、５３…第１ベルト（第１支持搬送部）、５５…ローラ、６１…旋回部、６３…本体部、７１…第２コンベヤ部、７３…第２ベルト（第２支持搬送部）、７３Ａ…支持面（被搬送物支持面）、７５…駆動ローラ、７７…従動ローラ、７９…搬送ローラ（第２支持搬送部）、８１…駆動部、８３…駆動軸（駆動伝達部）、８５…基部、９１…天井走行車、９３…走行レール、Ａ１…旋回領域、Ａ２…搬送領域、Ｐ１〜Ｐ４…移載箇所。

Claims (4)

1. 被搬送物の底面を支持して前記被搬送物を搬送する第１支持搬送部を有する一対の第１コンベヤ部と、
   前記一対の第１コンベヤ部のそれぞれを支持すると共に前記一対の第１コンベヤ部のそれぞれを旋回させて前記被搬送物の進行方向を変化させる旋回部と、
   前記被搬送物の搬送方向において前記一対の第１コンベヤ部によって挟まれていると共に、前記被搬送物の底面において搬送方向と交差する幅方向における両端部を支持して前記被搬送物を搬送する一対の第２支持搬送部を有する第２コンベヤ部と、を備え、
   前記第２コンベヤ部における前記一対の第２支持搬送部と、前記第２コンベヤ部における前記一対の第２支持搬送部に駆動力を伝達する駆動軸とが、前記一対の第１コンベヤ部の間かつ平面視において前記一対の第１コンベヤ部の旋回領域の間に設けられ、
   平面視において、前記一対の第１コンベヤ部の旋回領域が、前記搬送方向の両方から前記第２コンベヤ部における前記被搬送物の搬送領域に入り込むように、前記第１コンベヤ部及び前記第２コンベヤ部が配置されており、
   前記一対の第１コンベヤ部の間では、前記一対の第２支持搬送部のみが前記被搬送物を支持する、コンベヤ装置。
2. 前記第１コンベヤ部は、前記被搬送物の底面において搬送方向と交差する幅方向における両端部を支持して前記被搬送物を搬送する一対の前記第１支持搬送部を有している、請求項１に記載のコンベヤ装置。
3. 前記第１コンベヤ部は、前記第１コンベヤ部の下方に設けられた本体部に対して旋回可能に設けられ、
   前記第２コンベヤ部は、前記本体部に隣接して設けられる基部の上方に設けられると共に、平面視において前記本体部と重なるように設けられる、請求項１又は２に記載のコンベヤ装置。
4. 前記第２支持搬送部は、前記被搬送物の搬送面に略平行な被搬送物支持面を有している、請求項１〜３の何れか一項に記載のコンベヤ装置。