JP6285957B2 - 特にマスクアライナーにおいて用いられるチャック - Google Patents
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Description
Claims (16)
- 第1の平面基板(200)を、第2の平面基板(300)に対して平行に位置合わせするチャック(100)であって、該チャック(100)は、
(a)前記第1の平面基板を配置する上面(101')を有する上板(101)と、
(b)下板(102)と、
(c)前記上板(101)の前記上面(101')と前記第2の平面基板(300)の表面(301)との間の距離を測定するように構成される少なくとも1つの距離測定センサー(103)であって、ここで該少なくとも1つの距離測定センサー(103)は、該チャックに取り付けられる、と、
(d)前記上板(101)及び前記下板(102)と接触する少なくとも3つのリニアアクチュエーター(104)と、
を備える、チャック。 - 請求項1に記載のチャック(100)であって、前記少なくとも3つのリニアアクチュエーター(104)は該チャック(100)の周縁領域に設けられる、請求項1に記載のチャック。
- 請求項1又は2に記載のチャック(100)であって、少なくとも3つのリニアアクチュエーター(104)は、前記上板(101)を、該チャック(100)の前記下板(102)の上面に対して垂直な方向に動かすように構成され、及び/又は、前記少なくとも3つのリニアアクチュエーター(104)は、前記上板(101)を前記下板(102)に対して傾けるように構成される、請求項1又は2に記載のチャック。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載のチャック(100)であって、前記上板(101)及び前記下板(102)に接続する少なくとも3つのばね受(105)を更に備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載のチャック。
- 請求項4に記載のチャック(100)であって、前記少なくとも3つのばね受(105)は、前記少なくとも3つのリニアアクチュエーター(104)に予圧をかけるように構成される、請求項4に記載のチャック。
- 請求項4又は5に記載のチャック(100)であって、前記少なくとも3つのばね受(105)は、前記少なくとも3つのリニアアクチュエーター(104)に隣接して、該チャック(100)の中央に向かって径方向に、又は径方向外方にオフセットされて配置される、請求項4又は5に記載のチャック。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載のチャック(100)であって、前記少なくとも1つの距離測定センサー(103)は、静電容量センサー、光学センサー、例えばレーザーセンサー若しくは赤外線センサー、超音波センサー、磁気誘導センサー、又は空気圧式センサーによる群から選択される、請求項1〜6のいずれか1項に記載のチャック。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載のチャック(100)であって、前記少なくとも3つのリニアアクチュエーター(104)は、圧電リニアアクチュエーター及び/又はボールねじ及び/又はローラーねじである、請求項1〜7のいずれか1項に記載のチャック。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載のチャック(100)であって、該チャック(100)の中央又は該中央の近くに、少なくとも1つのロードピン(107)を更に備える、請求項1〜8のいずれか1項に記載のチャック。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載のチャック(100)であって、前記第1の平面基板(200)の厚み、前記第1の平面基板(200)の歪み、前記第2の平面基板(300)の歪み、及び/又は前記上板(101)の歪みのうちの少なくとも1つを測定するように構成される少なくとも1つの厚みセンサーを更に備え、該少なくとも1つのセンサーは、空気圧式センサー、静電容量センサー、光学センサー、レーザーセンサー若しくは赤外線センサー、超音波センサー、又は磁気誘導センサーによる群から選択される、請求項1〜9のいずれか1項に記載のチャック。
- チャック(100)の上板(101)上の第1の平面基板(200)と、第2の平面基板(300)との間の隙間を、請求項1〜10のいずれか1項に記載のチャックによって設定する方法であって、該方法は、
(a)前記第1の平面基板(200)の厚みを少なくとも1つの点において測定するステップと、
(b)前記第2の平面基板(300)の表面(301)と前記上板(101)の上面(101')との間の距離を、前記チャック(100)の少なくとも1つの距離測定センサー(103)によって測定するステップと、
(c)前記第1の平面基板(200)の上面(201)又は前記チャック(100)と、前記第2の平面基板(300)の前記表面(301)との間の傾斜を、前記チャック(100)の少なくとも3つのリニアアクチュエーター(104)を前記チャック(100)の少なくとも3つのばね受(105)と組み合わせて用いることによって調整するステップと、
を含む、方法。 - 更なるステップ、すなわち、
(d)前記第1の平面基板(200)の前記上面(201)と前記第2の平面基板(300)の前記表面(301)との間の距離を、前記チャック(100)の前記少なくとも3つのリニアアクチュエーター(104)によって所定値に調整するステップであって、特に、
(d1)前記傾斜を変更せずに前記隙間を調整することと、
(d2)前記隙間を変更せずに前記傾斜を調整することと、
(d3)前記隙間調整の前又は後に傾斜調整を行うことと、
(d4)傾斜調整と隙間調整とを同時に行うことと、
(d5)厚み測定を伴うか又は伴わずに手段(d1)〜(d4)を行うことと、
(d6)前記第2の基板(300)の前記第1の基板(200)に面する前記表面(301)と、前記第1の基板(200)の前記第2の基板(300)に面する前記表面(201)又は前記チャック(100)の前記上板(101)の前記上面(101')のいずれかとの間の傾斜調整を行うことと、
(d7)前記傾斜の所定値を伴うか又は伴わずに手段(d1)〜(d6)を行うことと、
のうちの少なくとも1つ又は複数の手段としての、ステップを更に含む、請求項11に記載の方法。 - (e)ステップ(c)の前に、前記第1の平面基板(200)の前記上面(201)と前記第2の平面基板(300)の前記表面(301)との間の距離の変動を計算するステップを含み、
前記変動の前記計算は、前記第1の平面基板(200)の前記厚み測定に基づき、
ステップ(c)は、前記第1の平面基板(200)の前記上面(201)と前記第2の平面基板(300)の前記表面(301)との間の前記距離の前記変動に基づいて実行される、請求項11又は12に記載の方法。 - ステップ(a)は、
(a1)前記第1の平面基板(200)の前記上面(201)と前記第2の平面基板(300)の前記表面(301)との間の第1の距離を、少なくとも1つの点において測定することと、
(a2)前記上板(101)の前記上面(101')と前記第2の平面基板(300)の前記表面(301)との間の第2の距離を、少なくとも1つの点において測定することと、
(a3)前記第1の距離を前記第2の距離から引くことと、
によって実行される、請求項11〜13のいずれか1項に記載の方法。 - (f)前記第1の平面基板(200)、前記第2の平面基板(300)、及び前記上面(101')のうちの少なくとも1つの歪みを測定するステップを更に備え、
ステップ(c)は、前記第1の平面基板、前記第2の平面基板、及び前記上面(101')のうちの少なくとも1つの歪みの変動に基づいて実行される、請求項11〜14のいずれか1項に記載の方法。 - (g)前記第1の平面基板(200)の前記上面(201)と前記第2の平面基板(300)の前記表面(301)との間の前記距離を、前記第1の基板(200)を前記第2の基板(300)に対して、前記第1の基板(200)の前記表面(201)に対して垂直な方向に動かす大まかな調整手段を用いて、所定値に調整するステップを更に含む、請求項11〜15のいずれか1項に記載の方法。
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