JP6285375B2 - Double-head surface grinding machine - Google Patents

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Description

本発明は、両頭平面研削装置に関するものである。   The present invention relates to a double-sided surface grinding apparatus.

従来より、半導体ウェーハ等の薄板状ワークの両面を研削する両頭平面研削装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。   2. Description of the Related Art Conventionally, a double-sided surface grinding apparatus for grinding both surfaces of a thin plate workpiece such as a semiconductor wafer is known (see, for example, Patent Document 1).

この両頭平面研削装置は、ワークを挟み込むように配置されて流体の圧力によりワークを非接触支持する一対のワーク保持体と、ワーク保持体を摺動可能に支持する案内ロッドと、案内ロッドに沿ってワーク保持体を摺動させるスライド駆動機構とを備えている。そして、一対のワーク保持体によりワークを支持した状態で、ワークと研削砥石とを回転させることにより、ワーク両面の被研削面を研削している。   This double-head surface grinding apparatus is arranged so as to sandwich a workpiece and supports a workpiece in a non-contact manner by a fluid pressure, a guide rod that slidably supports the workpiece holder, and a guide rod And a slide drive mechanism for sliding the work holder. And in the state which supported the workpiece | work with a pair of workpiece holding body, the to-be-ground surface of a workpiece | work both surfaces is ground by rotating a workpiece | work and a grinding wheel.

特開２００５−２０５５２８号公報JP 2005-205528 A

ところで、近年、ウェーハ表面に形成するパターンの微細化が進み、露光装置の焦点深度が非常に浅くなってきたことに伴い、ウェーハ表面の平坦度についてもより高いレベルが要求されるようになっている。   By the way, in recent years, as the pattern formed on the wafer surface has been miniaturized and the depth of focus of the exposure apparatus has become very shallow, a higher level of flatness of the wafer surface has been required. Yes.

しかしながら、ワークの被研削面を研削砥石で研削する際には、研削中に生じる振動がワーク保持体に伝わることで、ワーク保持体が研削時位置からずれて動いてしまうおそれがある。そして、ワーク保持体が動いてしまうと、一対のワーク保持体間の距離が大きくなり、ワークの姿勢が不安定となってウェーハ表面の平坦度の要求を満たすことができなくなる。   However, when the surface to be ground of the workpiece is ground with a grinding wheel, vibration generated during grinding is transmitted to the workpiece holder, which may cause the workpiece holder to move away from the grinding position. When the workpiece holder moves, the distance between the pair of workpiece holders increases, the workpiece posture becomes unstable, and the wafer surface flatness requirement cannot be satisfied.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ワークの研削中に振動が生じた場合でも、ワーク保持体が研削時位置から動きにくくすることにある。   The present invention has been made in view of this point, and an object of the present invention is to make it difficult for the workpiece holder to move from the grinding position even when vibration occurs during grinding of the workpiece.

本発明は、薄板状のワークを挟み込むように配置されて該ワークを保持する第１及び第２ワーク保持体と、該第１及び第２ワーク保持体を摺動可能に支持する複数の案内ロッドと、該案内ロッドに沿って該第１及び第２ワーク保持体を摺動させる第１及び第２シリンダと、該第１及び第２ワーク保持体に保持された該ワークの両面の被研削面を研削する一対の研削砥石とを備えた両頭平面研削装置を対象とし、次のような解決手段を講じた。   The present invention provides a first and second workpiece holders that are arranged so as to sandwich a thin plate-like workpiece and hold the workpiece, and a plurality of guide rods that slidably support the first and second workpiece holders. And first and second cylinders for sliding the first and second workpiece holders along the guide rod, and surfaces to be ground on both sides of the workpiece held by the first and second workpiece holders The following solution was taken for a double-sided surface grinding machine provided with a pair of grinding wheels for grinding.

すなわち、第１の発明は、前記第１及び第２ワーク保持体で前記ワークを保持する研削時位置において、該第１及び第２ワーク保持体のうち少なくとも一方を、前記案内ロッドの軸方向に対して傾いた姿勢で位置決めする複数の位置決め部材を備えたことを特徴とするものである。   That is, according to the first aspect of the present invention, at the grinding position where the workpiece is held by the first and second workpiece holders, at least one of the first and second workpiece holders is placed in the axial direction of the guide rod. A plurality of positioning members for positioning in a tilted posture are provided.

第１の発明では、第１及び第２ワーク保持体は、複数の位置決め部材によって研削時位置に位置決めされる。このとき、第１及び第２ワーク保持体のうち少なくとも一方は、案内ロッドの軸方向に対して傾いた姿勢となっている。   In the first invention, the first and second workpiece holders are positioned at the grinding position by the plurality of positioning members. At this time, at least one of the first and second workpiece holders is inclined with respect to the axial direction of the guide rod.

このような構成とすれば、第１及び第２ワーク保持体が案内ロッドに対して拗れた状態となるので、ワークの研削中に振動が生じても、第１及び第２ワーク保持体が研削時位置から動きにくくなる。これにより、第１及び第２ワーク保持体でワークを安定して保持することができ、ワークの研削精度を高めることができる。   With such a configuration, the first and second workpiece holders are in a state of being twisted with respect to the guide rod. Therefore, even if vibration occurs during grinding of the workpiece, the first and second workpiece holders are It becomes difficult to move from the grinding position. Thereby, a workpiece | work can be stably hold | maintained with a 1st and 2nd workpiece holding body, and the grinding precision of a workpiece | work can be raised.

第２の発明は、第１の発明において、
前記第１及び第２ワーク保持体は、前記研削時位置において、前記案内ロッドの軸方向に対して傾いた姿勢で且つ互いに平行となるように位置決めされていることを特徴とするものである。 According to a second invention, in the first invention,
The first and second workpiece holders are positioned so as to be inclined with respect to the axial direction of the guide rod and parallel to each other at the grinding position.

第２の発明では、第１及び第２ワーク保持体は、研削時位置において、案内ロッドの軸方向に対して傾いた姿勢で且つ互いに平行となっている。これにより、第１及び第２ワーク保持体の間の距離を一定に維持して、ワークの姿勢を安定させることができる。   In the second invention, the first and second work holders are inclined with respect to the axial direction of the guide rod and are parallel to each other at the grinding position. Thereby, the distance between the first and second workpiece holders can be kept constant, and the posture of the workpiece can be stabilized.

第３の発明は、第１又は第２の発明において、
前記第１及び第２ワーク保持体を収容するケースを備え、
前記位置決め部材は、前記第１及び第２ワーク保持体にそれぞれ設けられた複数のストッパボルトと、前記ケースに設けられて該ストッパボルトの先端部が当接する複数のストッパブロックとを有し、
前記複数のストッパボルトのうち少なくとも１つの先端部は、残りの該ストッパボルトの先端部に対して、前記第１及び第２ワーク保持体の摺動方向にシフトして配設されていることを特徴とするものである。 According to a third invention, in the first or second invention,
A case for accommodating the first and second workpiece holders;
The positioning member has a plurality of stopper bolts respectively provided on the first and second work holders, and a plurality of stopper blocks provided on the case and abutting against the tip portions of the stopper bolts.
At least one tip of the plurality of stopper bolts is disposed so as to be shifted in the sliding direction of the first and second workpiece holders with respect to the tip of the remaining stopper bolts. It is a feature.

第３の発明では、複数のストッパボルトが第１及び第２ワーク保持体に設けられ、複数のストッパブロックがケースに設けられる。そして、少なくとも１つのストッパボルトの先端部は、残りのストッパボルトの先端部に対して摺動方向にシフトして配設される。これにより、ストッパボルトがストッパブロックに当接したときに、ストッパボルトの先端部をシフトさせていた分だけ、第１及び第２ワーク保持体を傾けることができる。   In the third invention, a plurality of stopper bolts are provided on the first and second work holders, and a plurality of stopper blocks are provided on the case. And the front-end | tip part of at least 1 stopper bolt is shifted and arrange | positioned with respect to the front-end | tip part of the remaining stopper bolt in the sliding direction. As a result, when the stopper bolt comes into contact with the stopper block, the first and second workpiece holders can be inclined by an amount corresponding to the shift of the tip of the stopper bolt.

第４の発明は、第１又は第２の発明において、
前記第１及び第２ワーク保持体を収容するケースを備え、
前記位置決め部材は、前記第１及び第２ワーク保持体にそれぞれ設けられた複数のストッパボルトと、前記ケースに設けられて該ストッパボルトの先端部が当接する複数のストッパブロックとを有し、
前記複数のストッパブロックのうち少なくとも１つの当接面は、残りの該ストッパブロックの当接面に対して、前記第１及び第２ワーク保持体の摺動方向にシフトして配設されていることを特徴とするものである。 4th invention is 1st or 2nd invention,
A case for accommodating the first and second workpiece holders;
The positioning member has a plurality of stopper bolts respectively provided on the first and second work holders, and a plurality of stopper blocks provided on the case and abutting against the tip portions of the stopper bolts.
At least one abutment surface of the plurality of stopper blocks is arranged to be shifted in the sliding direction of the first and second workpiece holders with respect to the abutment surfaces of the remaining stopper blocks. It is characterized by this.

第４の発明では、複数のストッパボルトが第１及び第２ワーク保持体に設けられ、複数のストッパブロックがケースに設けられる。そして、少なくとも１つのストッパブロックの当接面は、残りのストッパブロックの当接面に対して摺動方向にシフトして配設される。これにより、ストッパボルトがストッパブロックに当接したときに、ストッパブロックの当接面をシフトさせていた分だけ、第１及び第２ワーク保持体を傾けることができる。   In the fourth invention, a plurality of stopper bolts are provided on the first and second work holders, and a plurality of stopper blocks are provided on the case. The abutting surface of at least one stopper block is arranged to be shifted in the sliding direction with respect to the abutting surfaces of the remaining stopper blocks. As a result, when the stopper bolt comes into contact with the stopper block, the first and second work holders can be tilted by the amount that the contact surface of the stopper block is shifted.

第５の発明は、第１乃至第４の発明のうち何れか１つにおいて、
前記第１及び第２シリンダのうち少なくとも一方を揺動可能に支持して、前記第１及び第２ワーク保持体の摺動方向に対してシリンダロッドが傾いた姿勢で進退することを許容する芯ズレ吸収機構を備えたことを特徴とするものである。 According to a fifth invention, in any one of the first to fourth inventions,
A core that supports at least one of the first and second cylinders so as to be swingable and allows the cylinder rod to move forward and backward in a tilted posture with respect to the sliding direction of the first and second work holders. The present invention is characterized in that a deviation absorbing mechanism is provided.

第５の発明では、第１及び第２シリンダのうち少なくとも一方は、芯ズレ吸収機構によって揺動可能に支持される。芯ズレ吸収機構は、例えば、球面軸受によって構成される。これにより、第１及び第２ワーク保持体が研削時位置において傾いた姿勢となった場合でも、その傾きを芯ズレ吸収機構によって吸収することができるので、シリンダロッドをスムーズに進退させることができる。   In the fifth invention, at least one of the first and second cylinders is swingably supported by the misalignment absorbing mechanism. The misalignment absorbing mechanism is constituted by, for example, a spherical bearing. Accordingly, even when the first and second workpiece holders are inclined at the grinding position, the inclination can be absorbed by the misalignment absorbing mechanism, so that the cylinder rod can be smoothly advanced and retracted. .

本発明によれば、第１及び第２ワーク保持体が案内ロッドに対して拗れた状態となるので、ワークの研削中に振動が生じても、第１及び第２ワーク保持体が研削時位置から動きにくくなる。これにより、第１及び第２ワーク保持体でワークを安定して保持することができ、ワークの研削精度を高めることができる。   According to the present invention, since the first and second workpiece holders are in a state of being bent with respect to the guide rod, even if vibration occurs during grinding of the workpiece, the first and second workpiece holders are in grinding. It becomes difficult to move from the position. Thereby, a workpiece | work can be stably hold | maintained with a 1st and 2nd workpiece holding body, and the grinding precision of a workpiece | work can be raised.

本実施形態１に係る両頭平面研削装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the double-head surface grinding apparatus which concerns on this Embodiment 1. FIG. ワーク保持体がワーク着脱時位置にあるときの正面断面図である。It is front sectional drawing when a workpiece holding body exists in the position at the time of workpiece | work attachment / detachment. 両頭平面研削装置の構成を示す正面断面図である。It is front sectional drawing which shows the structure of a double-head surface grinding apparatus. 両頭平面研削装置を右方向から見たときの側面断面図である。It is side surface sectional drawing when a double-head surface grinding apparatus is seen from the right direction. 第１及び第２ワーク保持体を互いに離間させた状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which separated the 1st and 2nd workpiece holding body mutually. 第１及び第２ワーク保持体を研削時位置に位置決めした状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which positioned the 1st and 2nd workpiece holding body in the position at the time of grinding. シリンダロッドが揺動した状態を一部拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which partially enlarges and shows the state which the cylinder rod rock | fluctuated. 本実施形態２に係る第１及び第２ワーク保持体を研削時位置に位置決めした状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which positioned the 1st and 2nd workpiece holding body which concerns on this Embodiment 2 in the position at the time of grinding.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。各図には、上下や前後左右の方向を矢印で示してある。特に言及しない限り、上下等の方向についてはこれら矢印で示す方向に従って説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted that the following description of the preferred embodiment is merely illustrative in nature and is not intended to limit the present invention, its application, or its use. In each figure, the up / down and front / rear / left / right directions are indicated by arrows. Unless stated otherwise, the vertical direction will be described according to the directions indicated by these arrows.

《実施形態１》
図１〜図４に示すように、両頭平面研削装置１は、半導体ウェーハ等の薄板円板状のワークＷを保持して回転駆動するワークドライブ装置２と、ワークドライブ装置２により保持及び回転されるワークＷの両面を研削砥石３により研削する砥石装置４とを備えている。ワークドライブ装置２及び砥石装置４は、水平なベッド５上に着脱自在に固定されている。 Embodiment 1
As shown in FIGS. 1 to 4, the double-sided surface grinding apparatus 1 is held and rotated by a work drive apparatus 2 that holds and rotates a thin disk-shaped work W such as a semiconductor wafer, and a work drive apparatus 2. And a grindstone device 4 that grinds both surfaces of the workpiece W with the grinding grindstone 3. The work drive device 2 and the grindstone device 4 are detachably fixed on a horizontal bed 5.

ワークドライブ装置２は、ワークＷの両面を研削する際にワークＷを保持して回転駆動するもので、ワークＷをその周縁部及び両面側から保持するワーク保持機構６と、ワーク保持機構６で保持されたワークＷを回転駆動するワーク回転機構７と、ワーク保持機構６を収容してワーク保持機構６を移動可能に支持する内部ケース８と、ワーク保持機構６を内部ケース８に対してスライド移動させるスライド駆動機構９と、内部ケース８を支持するとともにその外側を覆う外部ケース１０とを備えている。   The work drive device 2 holds and rotates the workpiece W when grinding both surfaces of the workpiece W. The workpiece drive device 2 includes a workpiece holding mechanism 6 that holds the workpiece W from the peripheral edge and both sides, and a workpiece holding mechanism 6. A workpiece rotating mechanism 7 that rotationally drives the held workpiece W, an inner case 8 that houses the workpiece holding mechanism 6 and supports the workpiece holding mechanism 6 movably, and slides the workpiece holding mechanism 6 with respect to the inner case 8. A slide drive mechanism 9 to be moved and an outer case 10 that supports the inner case 8 and covers the outside thereof are provided.

内部ケース８は、上方及び下方が開口した略矩形の箱状に形成されており、外部ケース１０内の上部側に配置されている。外部ケース１０は、上方が開口した略矩形の箱状に形成され、その底面がベッド５の上面に固定されている。外部ケース１０の前側及び後側には、内部ケース８の前側及び後側を支持する前側支持部１３及び後側支持部１４が設けられている。   The inner case 8 is formed in a substantially rectangular box shape whose upper and lower sides are opened, and is disposed on the upper side in the outer case 10. The outer case 10 is formed in a substantially rectangular box shape having an upper opening, and the bottom surface thereof is fixed to the upper surface of the bed 5. A front side support portion 13 and a rear side support portion 14 that support the front side and the rear side of the inner case 8 are provided on the front side and the rear side of the outer case 10.

前側支持部１３は、内部ケース８をその前側で揺動可能に支持するもので、外部ケース１０の左右の側壁板の前側上部にそれぞれ設けられた一対の支持ロッド１６と、内部ケース８の前側左右に設けられて支持ロッド１６が摺動可能に挿通された支持ブラケット１７とを備えている。これにより、内部ケース８は、その前側の支持ブラケット１７を介して支持ロッド１６により揺動可能に支持されている。   The front support portion 13 supports the inner case 8 so as to be swingable on the front side thereof, and includes a pair of support rods 16 provided on the front upper portions of the left and right side wall plates of the outer case 10 and the front side of the inner case 8. The support bracket 17 is provided on the left and right sides, and the support rod 16 is slidably inserted therethrough. Thereby, the inner case 8 is supported by the support rod 16 through the support bracket 17 on the front side so as to be swingable.

後側支持部１４は、内部ケース８をその後側で高さ位置調整可能に支持するためのもので、カム２１と、カム軸２２を介してカム２１を回転駆動するカムモータ２３と、内部ケース８の後側に設けられたカムフォロア２４とを備えている。   The rear support portion 14 is for supporting the inner case 8 so that the height of the inner case 8 can be adjusted on the rear side. The cam 21, the cam motor 23 that rotates the cam 21 via the cam shaft 22, and the inner case 8. And a cam follower 24 provided on the rear side.

ここで、カムモータ２３を作動させると、カム軸２２を介してカム２１が回転し、カム２１に摺接しているカムフォロア２４の位置が上下する。すなわち、内部ケース８は、その後側のカムフォロア２４を介してカム２１により高さ位置調整可能に支持されている。   Here, when the cam motor 23 is operated, the cam 21 rotates via the cam shaft 22, and the position of the cam follower 24 that is in sliding contact with the cam 21 moves up and down. That is, the inner case 8 is supported by the cam 21 via the cam follower 24 on the rear side so that the height position can be adjusted.

外部ケース１０内の下部には、研削砥石３のドレッシングを行うドレッシング装置２５が配置されている。ドレッシング装置２５は、例えば、ベッド５に着脱自在に固定されている。   A dressing device 25 for dressing the grinding wheel 3 is disposed at the lower part in the outer case 10. For example, the dressing device 25 is detachably fixed to the bed 5.

ワーク保持機構６は、互いに対向するように配置され且つ内部ケース８により左右方向に移動可能に支持される第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０により構成されている。   The work holding mechanism 6 includes a first work holding body 30 and a second work holding body 40 that are arranged so as to face each other and are supported by the inner case 8 so as to be movable in the left-right direction.

第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０は、それぞれ、前後方向の鉛直面に平行に配置された第１支持プレート３１及び第２支持プレート４１と、第１支持プレート３１及び第２支持プレート４１の対向面側にそれぞれ設けられた第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２とを備えている。   The first work holding body 30 and the second work holding body 40 are respectively provided with a first support plate 31 and a second support plate 41 arranged in parallel to a vertical plane in the front-rear direction, and a first support plate 31 and a second support. A first support pad 32 and a second support pad 42 provided on the opposing surface side of the plate 41 are provided.

なお、図４では、第１支持プレート３１及び第１サポートパッド３２の側面のみを図示しているが、第１支持プレート３１及び第２支持プレート４１、第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２は、基本的に略同じ構成であるため、第２支持プレート４１及び第２サポートパッド４２の側面については図示を省略する。   In FIG. 4, only the side surfaces of the first support plate 31 and the first support pad 32 are illustrated, but the first support plate 31 and the second support plate 41, the first support pad 32 and the second support pad 42 are illustrated. Since the configuration is basically the same, the side surfaces of the second support plate 41 and the second support pad 42 are not shown.

第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２は、水等の流体の圧力によりワークＷを両面側から非接触支持するためのもので、略円板状に形成されている。第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２の対向面側には、流体を吐出する流体供給孔６５が複数形成されている。   The first support pad 32 and the second support pad 42 are for non-contact support of the workpiece W from both sides by the pressure of a fluid such as water, and are formed in a substantially disc shape. A plurality of fluid supply holes 65 for discharging fluid are formed on the opposing surface side of the first support pad 32 and the second support pad 42.

第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２の下部側には、その外縁側から第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２の中心位置を若干越えた位置まで研削砥石３に対応する円弧状の砥石用切り欠き部６６が形成されている。   On the lower side of the first support pad 32 and the second support pad 42, an arc shape corresponding to the grinding wheel 3 from the outer edge side to a position slightly beyond the center position of the first support pad 32 and the second support pad 42. A grindstone notch 66 is formed.

第１支持プレート３１及び第２支持プレート４１は、上下方向寸法が第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２と略等しく、前後方向寸法が第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２よりも大きい略矩形状に形成されており、その対向面側の略中央位置に、第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２が着脱可能に固定されている。第１支持プレート３１及び第２支持プレート４１には、第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２側の砥石用切り欠き部６６に対応する切り欠き部６７が形成されている。   The first support plate 31 and the second support plate 41 have substantially the same vertical dimension as the first support pad 32 and the second support pad 42, and the front and rear dimension is larger than the first support pad 32 and the second support pad 42. The first support pad 32 and the second support pad 42 are detachably fixed at a substantially central position on the opposite surface side. The first support plate 31 and the second support plate 41 are formed with a notch 67 corresponding to the grindstone notch 66 on the first support pad 32 and the second support pad 42 side.

第１ワーク保持体３０の第１支持プレート３１には、第２ワーク保持体４０との対向面側であって第１サポートパッド３２の周辺部に、４個の支持ローラ６１が、第１サポートパッド３２の外周に沿って略等ピッチで配置されており、これら４個の支持ローラ６１により、ワークＷを保持するワーク保持キャリア６０が回転自在に支持されている。   Four support rollers 61 are provided on the first support plate 31 of the first work holding body 30 on the side facing the second work holding body 40 and on the periphery of the first support pad 32. Arranged at substantially equal pitches along the outer periphery of the pad 32, a work holding carrier 60 holding the work W is rotatably supported by these four support rollers 61.

ワーク保持キャリア６０は、ワークＷを遊嵌可能なリング状に形成されており、内周側の一部に半径方向内側に向けて形成された図示しない突起部とワークＷ側のノッチとが噛み合っている。これにより、ワーク保持キャリア６０が周方向に回転するのに連動して、ワークＷが回転するようになっている。   The work holding carrier 60 is formed in a ring shape into which the work W can be loosely fitted, and a not-shown projecting part formed on a part on the inner peripheral side toward the inside in the radial direction meshes with a notch on the work W side. ing. Accordingly, the workpiece W is rotated in conjunction with the rotation of the workpiece holding carrier 60 in the circumferential direction.

ワーク回転機構７は、先端にワーク駆動ギア（図示省略）が取り付けられたワーク回転軸２６を回転させるワーク回転モータ２７を備えている。ワーク回転モータ２７の回転駆動力は、ワーク回転軸２６を介してワーク保持キャリア６０に伝達され、ワーク保持キャリア６０が回転するとともにワークＷも回転する。   The work rotation mechanism 7 includes a work rotation motor 27 that rotates a work rotation shaft 26 having a work drive gear (not shown) attached to the tip. The rotational driving force of the work rotation motor 27 is transmitted to the work holding carrier 60 via the work rotation shaft 26, and the work W is rotated as the work holding carrier 60 rotates.

第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０は、内部ケース８側に左右方向に延びる複数本、例えば４本の案内ロッド５１により左右方向に摺動自在に支持されている。すなわち、内部ケース８側には、前後上下各１本、計４本の案内ロッド５１が架設されている。   The first work holding body 30 and the second work holding body 40 are slidably supported in the left-right direction by a plurality of, for example, four guide rods 51 extending in the left-right direction on the inner case 8 side. That is, a total of four guide rods 51 are installed on the inner case 8 side, one in each of the front and rear and upper and lower sides.

第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０には、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０上で且つ第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２の左右両側の位置に、案内ロッド５１に対応する４個の貫通孔５２が設けられている。第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０は、内部ケース８側の案内ロッド５１に対して貫通孔５２をブッシュ５３を介して摺動自在に嵌合されることにより、左右方向に摺動可能に支持されている。   The first work holding body 30 and the second work holding body 40 are provided on the first work holding body 30 and the second work holding body 40 and on the left and right sides of the first support pad 32 and the second support pad 42. Four through holes 52 corresponding to the guide rods 51 are provided. The first work holding body 30 and the second work holding body 40 are slidable in the left-right direction by fitting the through hole 52 slidably through the bush 53 with respect to the guide rod 51 on the inner case 8 side. It is supported movably.

ここで、ブッシュ５３は、ワークＷの研削時に案内ロッド５１が撓まないように、ダブルブッシュを用いるのが好ましい。ただし、全てのブッシュ５３をダブルブッシュにすると、装置の全長が大きくなってしまうため、本実施形態では、第１ワーク保持体３０側で上側前部及び下側後部の案内ロッド５１を支持するブッシュ５３と、第２ワーク保持体４０側で下側前部及び上側後部の案内ロッド５１を支持するブッシュ５３とについて、ダブルブッシュを用いることにしている。   Here, the bush 53 is preferably a double bush so that the guide rod 51 does not bend when the workpiece W is ground. However, if all the bushes 53 are double bushes, the overall length of the apparatus becomes large. In the present embodiment, the bushes that support the upper front and lower rear guide rods 51 on the first work holder 30 side. A double bush is used for 53 and the bush 53 that supports the lower front and upper rear guide rods 51 on the second work holder 40 side.

第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０は、上下の案内ロッド５１の間で且つワークＷを挟んで第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０の左右両側に配置されたスライド駆動機構９により、案内ロッド５１に沿ってスライド駆動されるようになっている。   The first work holding body 30 and the second work holding body 40 are slides arranged on the left and right sides of the first work holding body 30 and the second work holding body 40 with the work W interposed between the upper and lower guide rods 51. The drive mechanism 9 is slidably driven along the guide rod 51.

スライド駆動機構９は、第１ワーク保持体３０を摺動させる第１シリンダ３５と、第２ワーク保持体４０を摺動させる第２シリンダ４５とを備えている。第１シリンダ３５及び第２シリンダ４５は、例えば、空気圧式のシリンダで構成されている。   The slide drive mechanism 9 includes a first cylinder 35 that slides the first work holder 30 and a second cylinder 45 that slides the second work holder 40. The first cylinder 35 and the second cylinder 45 are constituted by, for example, pneumatic cylinders.

第１シリンダ３５は、第１シリンダ本体３６と、第１シリンダ本体３６から進退する第１シリンダロッド３７とを有する。第１シリンダ本体３６の右端部は、内部ケース８の左側壁に取り付けられている。第１シリンダ本体３６の左端部は、外部ケース１０を貫通して外部ケース１０の左外方に突出している。   The first cylinder 35 includes a first cylinder body 36 and a first cylinder rod 37 that advances and retreats from the first cylinder body 36. The right end portion of the first cylinder body 36 is attached to the left side wall of the inner case 8. The left end portion of the first cylinder body 36 penetrates the outer case 10 and protrudes to the left outside of the outer case 10.

第１シリンダロッド３７の先端部は、内部ケース８を貫通して、球面軸受５５を介して第１ワーク保持体３０の第１支持プレート３１に揺動可能に取り付けられている。なお、球面軸受５５の構成については後述する。   The tip of the first cylinder rod 37 penetrates the inner case 8 and is swingably attached to the first support plate 31 of the first work holder 30 via the spherical bearing 55. The configuration of the spherical bearing 55 will be described later.

第２シリンダ４５は、第２シリンダ本体４６と、第２シリンダ本体４６から進退する第２シリンダロッド４７とを有する。第２シリンダ本体４６の左端部は、第２ワーク保持体４０の第２支持プレート４１に取り付けられている。第２シリンダ本体４６の右端部は、内部ケース８及び外部ケース１０を貫通して外部ケース１０の右外方に突出している。第２シリンダロッド４７の先端部は、球面軸受５５を介して第１ワーク保持体３０の第１支持プレート３１に揺動可能に取り付けられている。なお、球面軸受５５の構成については後述する。   The second cylinder 45 has a second cylinder body 46 and a second cylinder rod 47 that advances and retreats from the second cylinder body 46. The left end portion of the second cylinder body 46 is attached to the second support plate 41 of the second work holder 40. A right end portion of the second cylinder body 46 penetrates the inner case 8 and the outer case 10 and protrudes to the right outside of the outer case 10. The tip of the second cylinder rod 47 is swingably attached to the first support plate 31 of the first work holder 30 via a spherical bearing 55. The configuration of the spherical bearing 55 will be described later.

スライド駆動機構９により、ワークＷの研削時には、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が、内部ケース８内の左右方向の略中央位置において第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２が互いに近接する「研削時位置」（図１参照）に保持される。   When the workpiece W is ground by the slide drive mechanism 9, the first workpiece holding body 30 and the second workpiece holding body 40 are arranged at the substantially center position in the left-right direction in the inner case 8. Are held at “grinding positions” (see FIG. 1) close to each other.

第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０には、「研削時位置」において、案内ロッド５１や第２シリンダロッド４７が露出しないように覆う筒状のカバー５４が設けられている。具体的に、上側前部及び下側後部の案内ロッド５１を覆うためのカバー５４は、第２支持プレート４１の対向面側に設けられている。第２シリンダロッド４７を覆うためのカバー５４は、第２支持プレート４１の対向面側に設けられている。下側前部及び上側後部の案内ロッド５１を覆うためのカバー５４は、第１支持プレート３１の対向面側に設けられている。   The first work holding body 30 and the second work holding body 40 are provided with a cylindrical cover 54 that covers the guide rod 51 and the second cylinder rod 47 so as not to be exposed at the “grinding position”. Specifically, the cover 54 for covering the upper front part and the lower rear guide rod 51 is provided on the opposite surface side of the second support plate 41. A cover 54 for covering the second cylinder rod 47 is provided on the facing surface side of the second support plate 41. A cover 54 for covering the lower front and upper rear guide rods 51 is provided on the opposing surface side of the first support plate 31.

ワークＷの着脱時には、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が「研削時位置」にある状態から、第２シリンダ４５側のみが第２シリンダロッド４７を突出させる方向に作動され、第２ワーク保持体４０が第１ワーク保持体３０から所定距離だけ離間した「ワーク着脱時位置」（図２参照）に保持される。   When the workpiece W is attached / detached, the first workpiece holder 30 and the second workpiece holder 40 are operated in the direction in which the second cylinder rod 47 projects from the state where the first workpiece holder 30 and the second workpiece holder 40 are in the “grinding position”, The second workpiece holder 40 is held at a “work attachment / detachment position” (see FIG. 2) that is separated from the first workpiece holder 30 by a predetermined distance.

また、ドレッシング装置２５により研削砥石３のドレッシングを行う際には、例えば、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が「研削時位置」にある状態から、第２シリンダ４５側が第２シリンダロッド４７を突出させる方向（左方向）に作動され、さらに、第１シリンダ３５側が第１シリンダロッド３７を引き込む方向（左方向）に作動され、これによって第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が互いに離間する方向に移動し、「ドレッシング作業時位置」（図３参照）に保持される。   When dressing the grinding wheel 3 by the dressing device 25, for example, the second cylinder 45 side is second from the state where the first workpiece holder 30 and the second workpiece holder 40 are in the “grinding position”. The cylinder rod 47 is operated in a protruding direction (left direction), and further, the first cylinder 35 side is operated in a direction (left direction) in which the first cylinder rod 37 is retracted, whereby the first work holding body 30 and the second work piece are operated. The holding body 40 moves in a direction away from each other, and is held at the “positioning time position” (see FIG. 3).

ところで、「研削時位置」において、流体の圧力によってワークＷを非接触支持するために、第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２の間の距離が非常に重要となる。そこで、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０を「研削時位置」に正確に位置決めするために、複数の位置決め部材７０を設けるようにしている。   By the way, in the “grinding position”, the distance between the first support pad 32 and the second support pad 42 is very important in order to support the workpiece W in a non-contact manner by the pressure of the fluid. Therefore, a plurality of positioning members 70 are provided in order to accurately position the first workpiece holder 30 and the second workpiece holder 40 at the “grinding position”.

図５にも示すように、位置決め部材７０は、ストッパボルト６２と、ストッパブロック６３とを有する。ストッパボルト６２は、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０の４つの角部にそれぞれ配設され、ボルト保持部６４によって保持されている。ストッパボルト６２は、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０の摺動方向に沿って先端部を進退させることで、ボルト保持部６４からの突出量を調整可能となっている。   As shown in FIG. 5, the positioning member 70 includes a stopper bolt 62 and a stopper block 63. The stopper bolts 62 are respectively disposed at four corners of the first work holding body 30 and the second work holding body 40, and are held by bolt holding parts 64. The stopper bolt 62 can adjust the amount of protrusion from the bolt holding portion 64 by advancing and retracting the tip portion along the sliding direction of the first work holding body 30 and the second work holding body 40.

ストッパブロック６３は、内部ケース８側に設けられている。前側のストッパブロック６３と後側のストッパブロック６３とは、前後方向に一列に並ぶように配置されている。これにより、ストッパブロック６３におけるストッパボルト６２の先端部との当接面は、前後方向に延びる同一平面上に位置している。   The stopper block 63 is provided on the inner case 8 side. The front stopper block 63 and the rear stopper block 63 are arranged in a line in the front-rear direction. Thereby, the contact surface with the front-end | tip part of the stopper bolt 62 in the stopper block 63 is located on the same plane extended in the front-back direction.

ここで、第１ワーク保持体３０では、後側のストッパボルト６２の先端部が、前側のストッパボルト６２の先端部よりも所定のシフト量だけ突出している。一方、第２ワーク保持体４０では、前側のストッパボルト６２の先端部が、後側のストッパボルト６２の先端部よりも所定のシフト量だけ突出している。   Here, in the first work holder 30, the front end portion of the rear stopper bolt 62 protrudes from the front end portion of the front stopper bolt 62 by a predetermined shift amount. On the other hand, in the second workpiece holder 40, the front end portion of the front stopper bolt 62 protrudes from the front end portion of the rear stopper bolt 62 by a predetermined shift amount.

なお、図５では、前側及び後側に配設されたストッパボルト６２の先端部が互いにシフトして配設されていることを分かりやすく説明するために、ストッパボルト６２の突出量を強調して図示している。実際には、前後のストッパボルト６２のシフト量をｘ［ｍｍ］、前後のストッパボルト６２の中心間距離をＤ［ｍｍ］としたときに、下記の（１）式を満たすように設定されている。   In FIG. 5, the protrusion amount of the stopper bolt 62 is emphasized in order to easily understand that the front ends of the stopper bolts 62 arranged on the front side and the rear side are arranged shifted from each other. It is shown. Actually, when the shift amount of the front and rear stopper bolts 62 is x [mm] and the distance between the centers of the front and rear stopper bolts 62 is D [mm], the following equation (1) is satisfied. Yes.

０＜ｘ／Ｄ＜０．００１ ・・・（１）   0 <x / D <0.001 (1)

具体的に、ストッパボルト６２の中心間距離Ｄが１００ｍｍの場合には、シフト量ｘは、０〜０．１ｍｍ（０〜１００μｍ）となる。より好ましくは、シフト量ｘを、０．０２〜０．０７ｍｍ（２０〜７０μｍ）に設定するのがよい。   Specifically, when the center distance D of the stopper bolt 62 is 100 mm, the shift amount x is 0 to 0.1 mm (0 to 100 μm). More preferably, the shift amount x is set to 0.02 to 0.07 mm (20 to 70 μm).

例えば、ワークＷとして３００ｍｍウェーハを研削できる研削装置の場合、ストッパボルト６２の中心間距離Ｄは４００ｍｍ程度である。この場合には、シフト量ｘを、０．０８〜０．２８ｍｍ（８０〜２８０μｍ）に設定するのがよい。   For example, in the case of a grinding apparatus capable of grinding a 300 mm wafer as the workpiece W, the distance D between the centers of the stopper bolts 62 is about 400 mm. In this case, the shift amount x is preferably set to 0.08 to 0.28 mm (80 to 280 μm).

そして、図６に示すように、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０のストッパボルト６２が、内部ケース８側のストッパブロック６３に当接すると、ストッパボルト６２の先端部をシフトさせていた分だけ、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が案内ロッド５１の軸方向に対して傾いた姿勢で「研削時位置」に位置決めされる。   As shown in FIG. 6, when the stopper bolts 62 of the first work holding body 30 and the second work holding body 40 come into contact with the stopper block 63 on the inner case 8 side, the leading end of the stopper bolt 62 is shifted. The first workpiece holding body 30 and the second workpiece holding body 40 are positioned at the “grinding position” in a posture inclined with respect to the axial direction of the guide rod 51 by the amount corresponding thereto.

このような構成とすれば、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が案内ロッド５１に対して拗れた状態となるので、ワークＷの研削中に振動が生じても、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が研削時位置から動きにくくなる。これにより、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０でワークＷを安定して保持することができ、ワークＷの研削精度を高めることができる。   With such a configuration, the first work holding body 30 and the second work holding body 40 are in a state of being swung with respect to the guide rod 51, so even if vibration occurs during grinding of the work W, The workpiece holder 30 and the second workpiece holder 40 are difficult to move from the grinding position. Thereby, the workpiece | work W can be stably hold | maintained with the 1st workpiece holding body 30 and the 2nd workpiece holding body 40, and the grinding precision of the workpiece | work W can be improved.

また、「研削時位置」においては、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が互いに平行となるように傾いているので、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０の間の距離を一定に維持して、ワークＷの姿勢を安定させることができる。   Further, in the “grinding position”, the first work holding body 30 and the second work holding body 40 are inclined so as to be parallel to each other, and therefore between the first work holding body 30 and the second work holding body 40. Is maintained constant, and the posture of the workpiece W can be stabilized.

また、本実施形態では、第２シリンダ４５の第２シリンダロッド４７が第１ワーク保持体３０に取り付けられ、第２シリンダ本体４６が第２ワーク保持体４０に取り付けられている。つまり、第２シリンダ４５は、内部ケース８には直接取り付けられていない。そのため、「研削時位置」において、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０のストッパボルト６２がストッパブロック６３に当接したときの衝撃力は、内部ケース８側ではなく、ストッパボルト６２を介して第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０の間で伝達されることとなる。   In the present embodiment, the second cylinder rod 47 of the second cylinder 45 is attached to the first work holder 30, and the second cylinder body 46 is attached to the second work holder 40. That is, the second cylinder 45 is not directly attached to the inner case 8. Therefore, the impact force when the stopper bolts 62 of the first work holding body 30 and the second work holding body 40 abut on the stopper block 63 at the “grinding position” is not on the inner case 8 side, but on the stopper bolt 62. Between the first work holding body 30 and the second work holding body 40.

これにより、内部ケース８側に振動、撓み、歪み、変形等が生じるのを抑えることができる。その結果、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０の間の距離を安定させて、ワークＷを高精度に研削することが可能となる。   Thereby, it can suppress that a vibration, bending, distortion, a deformation | transformation, etc. arise in the inner case 8 side. As a result, the distance between the first workpiece holding body 30 and the second workpiece holding body 40 can be stabilized and the workpiece W can be ground with high accuracy.

ところで、「研削時位置」において、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が傾いた姿勢となっているため、第１シリンダロッド３７及び第２シリンダロッド４７をスムーズに進退させることができないおそれがある。   Incidentally, since the first work holding body 30 and the second work holding body 40 are inclined at the “grinding position”, the first cylinder rod 37 and the second cylinder rod 47 can be smoothly advanced and retracted. It may not be possible.

そこで、本実施形態では、第１シリンダロッド３７及び第２シリンダロッド４７が傾いた姿勢で進退することを許容するために、芯ズレ吸収機構としての球面軸受５５を設けるようにしている。   Therefore, in the present embodiment, in order to allow the first cylinder rod 37 and the second cylinder rod 47 to advance and retreat in an inclined posture, a spherical bearing 55 serving as a misalignment absorbing mechanism is provided.

具体的に、図７にも示すように、球面軸受５５は、球体の左右両側が平坦となるように加工された形状とされ、左右方向に貫通する孔が形成されている。第１シリンダロッド３７の先端部には、締結ボルト５８によって球面軸受５５が締結固定されている。また、第２シリンダロッド４７の先端部にも同様に、締結ボルト５８によって球面軸受５５が締結固定されている。   Specifically, as shown in FIG. 7, the spherical bearing 55 has a shape that is processed so that the left and right sides of the sphere are flat, and has a hole penetrating in the left-right direction. A spherical bearing 55 is fastened and fixed to the tip of the first cylinder rod 37 by a fastening bolt 58. Similarly, the spherical bearing 55 is fastened and fixed to the tip of the second cylinder rod 47 by a fastening bolt 58.

第１支持プレート３１の左側面及び右側面には、軸受ブロック５６がそれぞれ埋め込まれている。軸受ブロック５６は、球面軸受５５の湾曲凸面に対応した湾曲凹面を有し、球面軸受５５を摺動可能に支持している。左側の軸受ブロック５６の左方には、挟持板５７が配設されている。右側の軸受ブロック５６の右方にも同様に、挟持板５７が配設されている。左右の挟持板５７は、第１支持プレート３１を左右方向に貫通する締結ボルト５８によって共締めされることで、左右の軸受ブロック５６及び第１支持プレート３１を挟持している。   Bearing blocks 56 are embedded in the left side surface and the right side surface of the first support plate 31, respectively. The bearing block 56 has a curved concave surface corresponding to the curved convex surface of the spherical bearing 55, and supports the spherical bearing 55 so as to be slidable. A clamping plate 57 is disposed on the left side of the left bearing block 56. Similarly, a clamping plate 57 is disposed on the right side of the right bearing block 56. The left and right clamping plates 57 clamp the left and right bearing blocks 56 and the first support plate 31 by being fastened together by fastening bolts 58 that penetrate the first support plate 31 in the left-right direction.

このように、第１シリンダロッド３７及び第２シリンダロッド４７の先端部を、球面軸受５５を介して第１ワーク保持体３０の第１支持プレート３１に揺動可能に取り付けることで、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が「研削時位置」において傾いた姿勢となった場合でも、その傾きを球面軸受５５によって吸収することができる。これにより、第１シリンダロッド３７及び第２シリンダロッド４７をスムーズに進退させることができる。   In this manner, the tip portions of the first cylinder rod 37 and the second cylinder rod 47 are swingably attached to the first support plate 31 of the first workpiece holding body 30 via the spherical bearing 55, so that the first workpiece Even when the holding body 30 and the second work holding body 40 are inclined at the “grinding position”, the inclination can be absorbed by the spherical bearing 55. Thereby, the 1st cylinder rod 37 and the 2nd cylinder rod 47 can be advanced and retracted smoothly.

砥石装置４は、カップ型の研削砥石３と、研削砥石３を回転駆動する駆動モータ（図示省略）とを備え、ワークドライブ装置２の左右両側にそれぞれ１台ずつ配置されている。砥石装置４の研削砥石３は、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０の切り欠き部６７及び第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２の砥石用切り欠き部６６を介して、ワーク保持キャリア６０で保持されたワークＷの両面側に対向するように配置されている。   The grindstone device 4 includes a cup-type grinding grindstone 3 and a drive motor (not shown) that rotationally drives the grinding grindstone 3, and one is disposed on each of the left and right sides of the work drive device 2. The grinding wheel 3 of the grinding wheel device 4 is provided with a notch portion 67 of the first work holder 30 and the second work holder 40 and a notch portion 66 for the grindstone of the first support pad 32 and the second support pad 42. It arrange | positions so that the both surfaces side of the workpiece | work W hold | maintained with the workpiece | work holding carrier 60 may be opposed.

なお、砥石装置４は、研削砥石３を軸方向（左右方向）に移動可能に構成されており、ワークＷの着脱時には、研削砥石３を、「研削位置」から所定の「待機位置」まで移動させるようになっている。   The grindstone device 4 is configured to move the grinding grindstone 3 in the axial direction (left-right direction). When the workpiece W is attached or detached, the grindstone 3 is moved from the “grinding position” to a predetermined “standby position”. It is supposed to let you.

以上のような構成を有する両頭平面研削装置１において、ワークＷの研削を行う際には、研削砥石３を「待機位置」に、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０を「ワーク着脱時位置」にそれぞれ保持した状態で、ワークＷが、図示しないローダにより、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０間を経てワーク保持キャリア６０に装着される（図２参照）。   In the double-head surface grinding apparatus 1 having the above-described configuration, when grinding the workpiece W, the grinding wheel 3 is set to the “standby position”, and the first workpiece holder 30 and the second workpiece holder 40 are set to “workpieces”. The workpiece W is mounted on the workpiece holding carrier 60 through the space between the first workpiece holding body 30 and the second workpiece holding body 40 by a loader (not shown) while being held at the “detaching position” (see FIG. 2).

ワークＷがワーク保持キャリア６０に装着されると、第２シリンダ４５が第２シリンダロッド４７を引き込む方向に作動されて第２ワーク保持体４０が第１ワーク保持体３０に向かって移動し、第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２がワークＷの両面側に近接する「ワーク研削時位置」に保持される。そして、第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２側の流体供給孔６５から空気や水等の流体が吐出され、ワークＷは、研削砥石３による研削位置よりも外側の領域において、その両面側からこの流体の圧力を受けることにより非接触状態で保持される。   When the workpiece W is mounted on the workpiece holding carrier 60, the second cylinder 45 is operated in the direction in which the second cylinder rod 47 is retracted, and the second workpiece holding body 40 moves toward the first workpiece holding body 30, The first support pad 32 and the second support pad 42 are held at the “work grinding position” close to both sides of the work W. Then, a fluid such as air or water is discharged from the fluid supply holes 65 on the first support pad 32 and the second support pad 42 side, and the workpiece W is on both sides of the region outside the grinding position by the grinding wheel 3. Is kept in a non-contact state by receiving the pressure of the fluid.

この状態で、ワーク回転モータ２７の駆動によりワーク保持キャリア６０が回転を開始し、それによってワークＷも回転を開始し、また左右の研削砥石３も回転を開始する。ワークＷが回転を開始すると、左右の研削砥石３が回転を開始するとともに、「待機位置」から徐々にワークＷの被研削面に接近し、やがて左右の研削砥石３によりワークＷが研削位置において両側から挟まれた状態となり、ワークＷの研削が始まる。   In this state, the workpiece holding carrier 60 starts to rotate by driving the workpiece rotation motor 27, whereby the workpiece W also starts to rotate, and the left and right grinding wheels 3 also start to rotate. When the workpiece W starts to rotate, the left and right grinding wheels 3 start to rotate, gradually approach the surface to be ground of the workpiece W from the “standby position”, and eventually the workpiece W is moved to the grinding position by the left and right grinding wheels 3. The workpiece W is sandwiched from both sides and grinding of the workpiece W starts.

ワークＷの研削が終了すると、研削砥石３が「研削位置」から「待機位置」まで移動され、第２ワーク保持体４０が「研削時位置」から「ワーク着脱時位置」まで移動され、図示しないローダにより研削後のワークＷがワーク保持キャリア６０から取り出され、搬出される。   When grinding of the workpiece W is completed, the grinding wheel 3 is moved from the “grinding position” to the “standby position”, and the second workpiece holder 40 is moved from the “grinding position” to the “work attachment / detachment position”. The workpiece W after grinding is taken out from the workpiece holding carrier 60 by the loader and carried out.

《実施形態２》
以下、前記実施形態１と同じ部分については同じ符号を付し、相違点についてのみ説明する。図８に示すように、位置決め部材７０は、ストッパボルト６２と、ストッパブロック６３とを有する。ストッパボルト６２は、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０の４つの角部にそれぞれ配設され、ボルト保持部６４によって保持されている。ストッパボルト６２は、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０の摺動方向に沿って先端部を進退させることで、ボルト保持部６４からの突出量を調整可能となっている。 << Embodiment 2 >>
Hereinafter, the same portions as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and only differences will be described. As shown in FIG. 8, the positioning member 70 includes a stopper bolt 62 and a stopper block 63. The stopper bolts 62 are respectively disposed at four corners of the first work holding body 30 and the second work holding body 40, and are held by bolt holding parts 64. The stopper bolt 62 can adjust the amount of protrusion from the bolt holding portion 64 by advancing and retracting the tip portion along the sliding direction of the first work holding body 30 and the second work holding body 40.

そして、第１ワーク保持体３０では、前側及び後側のストッパボルト６２の先端部が、前後方向に延びる同一平面上に位置するように調整されている。また、第２ワーク保持体４０においても同様に、前側及び後側のストッパボルト６２の先端部が、前後方向に延びる同一平面上に位置するように調整されている。   And in the 1st workpiece holding body 30, it has adjusted so that the front-end | tip part of the front side and the rear side stopper bolt 62 may be located on the same plane extended in the front-back direction. Similarly, in the second work holding body 40, the front ends of the front and rear stopper bolts 62 are adjusted so as to be positioned on the same plane extending in the front-rear direction.

ストッパブロック６３は、内部ケース８側に設けられている。ここで、前側のストッパブロック６３は、後側のストッパブロック６３に対して、所定のシフト量だけ右方向にシフトして配設されている。その結果、前側のストッパブロック６３の左右の当接面は、後側のストッパブロック６３の左右の当接面に対して、所定のシフト量だけ右方向にシフトして配設されている。   The stopper block 63 is provided on the inner case 8 side. Here, the front stopper block 63 is arranged to be shifted to the right by a predetermined shift amount with respect to the rear stopper block 63. As a result, the left and right contact surfaces of the front stopper block 63 are shifted to the right by a predetermined shift amount with respect to the left and right contact surfaces of the rear stopper block 63.

なお、ストッパブロック６３のシフト量ｘ［ｍｍ］と、前後のストッパボルト６２の中心間距離Ｄ［ｍｍ］との関係は、前記実施形態１と同様であるため、説明を省略する。   The relationship between the shift amount x [mm] of the stopper block 63 and the center distance D [mm] between the front and rear stopper bolts 62 is the same as that in the first embodiment, and the description thereof is omitted.

そして、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０のストッパボルト６２が、内部ケース８側のストッパブロック６３に当接すると、ストッパブロック６３の当接面をシフトさせていた分だけ、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が案内ロッド５１の軸方向に対して傾いた姿勢で「研削時位置」に位置決めされる。   When the stopper bolts 62 of the first work holding body 30 and the second work holding body 40 come into contact with the stopper block 63 on the inner case 8 side, the contact surface of the stopper block 63 is shifted by the amount corresponding to the shift. The first work holding body 30 and the second work holding body 40 are positioned at the “grinding position” in a posture inclined with respect to the axial direction of the guide rod 51.

《その他の実施形態》
前記実施形態については、以下のような構成としてもよい。 << Other Embodiments >>
About the said embodiment, it is good also as following structures.

本実施形態では、研削砥石３を左右方向に対向させて配置した両頭平面研削装置の例を示したが、その他の両頭平面研削装置、例えば研削砥石３を上下方向に対向させるように構成したもの等にも同様に適用可能である。   In the present embodiment, an example of a double-head surface grinding device in which the grinding wheel 3 is disposed so as to face in the left-right direction has been shown, but other double-head surface grinding devices, for example, those configured to face the grinding wheel 3 vertically. The same applies to the above.

また、本実施形態では、各図に前後左右の方向を矢印で示し、これら矢印で示す方向に従って装置構成を説明するようにしたが、工場内に設置される両頭平面研削装置１の実際の前後左右の方向は、各図に矢印で示す方向とは逆向きであってもよい。   Further, in the present embodiment, the front, rear, left and right directions are indicated by arrows in each drawing, and the apparatus configuration is described according to the directions indicated by these arrows, but the actual front and rear of the double-head surface grinding apparatus 1 installed in the factory The left and right directions may be opposite to the directions indicated by the arrows in each drawing.

また、本実施形態では、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０を、「研削時位置」において案内ロッド５１の軸方向に対して傾いた姿勢で位置決めするようにしたが、例えば、第２ワーク保持体４０のみを傾けるようにしても構わない。   In the present embodiment, the first work holding body 30 and the second work holding body 40 are positioned in a posture inclined with respect to the axial direction of the guide rod 51 at the “grinding position”. Only the second workpiece holder 40 may be tilted.

また、本実施形態では、ストッパボルト６２及びストッパブロック６３を４つ設けているが、少なくとも３つ設けておけばよい。   In this embodiment, four stopper bolts 62 and four stopper blocks 63 are provided, but at least three stopper bolts may be provided.

以上説明したように、本発明は、ワークの研削中に振動が生じた場合でも、ワーク保持体が研削時位置から動きにくくすることができるという実用性の高い効果が得られることから、きわめて有用で産業上の利用可能性は高い。   As described above, the present invention is extremely useful because it provides a highly practical effect that the workpiece holder can be made difficult to move from the grinding position even when vibration occurs during grinding of the workpiece. And industrial applicability is high.

１ 両頭平面研削装置
３ 研削砥石
８ 内部ケース
３０ 第１ワーク保持体
３５ 第１シリンダ
３７ 第１シリンダロッド
４０ 第２ワーク保持体
４５ 第２シリンダ
４７ 第２シリンダロッド
５１ 案内ロッド
５５ 球面軸受（芯ズレ吸収機構）
６２ ストッパボルト
６３ ストッパブロック
７０ 位置決め部材
Ｗ ワーク DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Double-headed surface grinding apparatus 3 Grinding wheel 8 Inner case 30 1st workpiece holding body 35 1st cylinder 37 1st cylinder rod 40 2nd workpiece holding body 45 2nd cylinder 47 2nd cylinder rod 51 Guide rod 55 Spherical bearing (core misalignment) Absorption mechanism)
62 Stopper bolt 63 Stopper block 70 Positioning member W Workpiece

Claims (5)

薄板状のワークを挟み込むように配置されて該ワークを保持する第１及び第２ワーク保持体と、該第１及び第２ワーク保持体を摺動可能に支持する複数の案内ロッドと、該案内ロッドに沿って該第１及び第２ワーク保持体を摺動させる第１及び第２シリンダと、該第１及び第２ワーク保持体に保持された該ワークの両面の被研削面を研削する一対の研削砥石とを備えた両頭平面研削装置であって、
前記第１及び第２ワーク保持体で前記ワークを保持する研削時位置において、該第１及び第２ワーク保持体のうち少なくとも一方を、前記案内ロッドの軸方向に対して傾いた姿勢で位置決めする複数の位置決め部材を備えたことを特徴とする両頭平面研削装置。 First and second workpiece holders that are arranged so as to sandwich a thin plate-like workpiece and hold the workpiece, a plurality of guide rods that slidably support the first and second workpiece holders, and the guide A pair of first and second cylinders for sliding the first and second workpiece holders along the rod and grinding surfaces to be ground on both sides of the workpiece held by the first and second workpiece holders. A double-sided surface grinding apparatus comprising a grinding wheel of
At the grinding position where the workpiece is held by the first and second workpiece holders, at least one of the first and second workpiece holders is positioned in a posture inclined with respect to the axial direction of the guide rod. A double-head surface grinding apparatus comprising a plurality of positioning members. 請求項１において、
前記第１及び第２ワーク保持体は、前記研削時位置において、前記案内ロッドの軸方向に対して傾いた姿勢で且つ互いに平行となるように位置決めされていることを特徴とする両頭平面研削装置。 In claim 1,
The double-head surface grinding apparatus, wherein the first and second workpiece holders are positioned so as to be parallel to each other in a posture inclined with respect to the axial direction of the guide rod at the grinding position. . 請求項１又は２において、
前記第１及び第２ワーク保持体を収容するケースを備え、
前記位置決め部材は、前記第１及び第２ワーク保持体にそれぞれ設けられた複数のストッパボルトと、前記ケースに設けられて該ストッパボルトの先端部が当接する複数のストッパブロックとを有し、
前記複数のストッパボルトのうち少なくとも１つの先端部は、残りの該ストッパボルトの先端部に対して、前記第１及び第２ワーク保持体の摺動方向にシフトして配設されていることを特徴とする両頭平面研削装置。 In claim 1 or 2,
A case for accommodating the first and second workpiece holders;
The positioning member has a plurality of stopper bolts respectively provided on the first and second work holders, and a plurality of stopper blocks provided on the case and abutting against the tip portions of the stopper bolts.
At least one tip of the plurality of stopper bolts is disposed so as to be shifted in the sliding direction of the first and second workpiece holders with respect to the tip of the remaining stopper bolts. A double-sided surface grinding machine. 請求項１又は２において、
前記第１及び第２ワーク保持体を収容するケースを備え、
前記位置決め部材は、前記第１及び第２ワーク保持体にそれぞれ設けられた複数のストッパボルトと、前記ケースに設けられて該ストッパボルトの先端部が当接する複数のストッパブロックとを有し、
前記複数のストッパブロックのうち少なくとも１つの当接面は、残りの該ストッパブロックの当接面に対して、前記第１及び第２ワーク保持体の摺動方向にシフトして配設されていることを特徴とする両頭平面研削装置。 In claim 1 or 2,
A case for accommodating the first and second workpiece holders;
The positioning member has a plurality of stopper bolts respectively provided on the first and second work holders, and a plurality of stopper blocks provided on the case and abutting against the tip portions of the stopper bolts.
At least one abutment surface of the plurality of stopper blocks is arranged to be shifted in the sliding direction of the first and second workpiece holders with respect to the abutment surfaces of the remaining stopper blocks. A double-head surface grinding apparatus characterized by the above. 請求項１乃至４のうち何れか１つにおいて、
前記第１及び第２シリンダのうち少なくとも一方を揺動可能に支持して、前記第１及び第２ワーク保持体の摺動方向に対してシリンダロッドが傾いた姿勢で進退することを許容する芯ズレ吸収機構を備えたことを特徴とする両頭平面研削装置。 In any one of claims 1 to 4,
A core that supports at least one of the first and second cylinders so as to be swingable and allows the cylinder rod to move forward and backward in a tilted posture with respect to the sliding direction of the first and second work holders. A double-head surface grinding apparatus comprising a displacement absorbing mechanism.
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