JP6282654B2 - 光学系構成および光学顕微鏡 - Google Patents
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Description
本発明による光学系構成および本発明による光学顕微鏡の好ましい実施形態は従属請求項の対象であり、以下の説明で、とりわけ図と関連させて解説する。
本発明の基礎となる思想は、光学顕微鏡のビーム経路に特定の格子を組み込むために、格子自体のまたはそれどころか格子を備えた光学系支持部の移動が必要ないことに見出すことができる。これについて、格子および光学系支持部の寸法および質量が比較的大きい故に、移動には時間がかかる。この問題は、この顕微鏡検査法のために必要な格子位相シフトを格子向きごとに調整するために、格子を高精度で位置決めしなければならないことにより一段と先鋭化する。本発明によれば、試料を照明する光線のビーム経路を、光学系支持部に取り付けられた光学アセンブリの1つへと選択可能に調節することにより、特定の向きの格子結像を選択するために格子を移動させなくてよい。光学アセンブリは、互いに対して様々な向きで配置された格子を含むことが好ましい。これにより機械的な移動は、もしあるとしても偏向機構でしか必要ない。偏向機構での移動は、ビーム経路内へのまたはビーム経路から外への格子の移動より決定的に小さく、これにより、偏向機構を用いて格子選択を非常に短い時間で行うことができる。
向きの異なる構造化された照明光を生成するため、格子を互いに対して異なる向き、つまり光軸の周りでの異なる回転角度で配置することができる。したがって様々な格子の格子線は互いに対して相対的に回転している。
− 構造化された照明光を生成するための格子の少なくとも1つのさらなるセット。格子のさらなるセットがそれぞれ、格子定数が同じで、とりわけ互いに対して異なる角度で配置された少なくとも3つの格子を有しており、その際、格子の様々なセットはその格子定数が異なっている。
− 偏向機構から来る光線を通過させるための窓。通過した光線を偏向機構に導くためのビーム案内手段が存在している。
本発明による光学系構成の好ましい1つの実施形態では、格子は、当たった光線を偏向ミラーへとはね返す反射型格子である。したがって戻ってくる光線も同じ偏向ミラーが偏向する。2回の偏向の故に、状況によっては偏向ミラーの僅かな位置決め誤差を補正することができる。
高速の格子選択を可能にするには、偏向ミラーと出口ミラーを同期させて調節する。これを特に効率よく実現し得るのは、出口ミラーおよび偏向ミラーを、一緒に回転または変位させるため、電子的制御手段により回転および/または変位される共通の保持具に固定している場合である。両方のミラーを備えた保持具のトルクを小さくするため、出口ミラーは偏向ミラーの裏面として形成されるのが好ましい。
加えて、偏向機構へと光線を導くために、合焦光学系またはコリメータが存在することができる。電子的制御手段は、合焦光学系を当たった光の伝播方向に変位するように、および/または合焦光学系の焦点距離を調節するように構成されるのが好ましい。これにより、光の焦点位置を軸方向に変位することを達成できる。その代わりに、偏向機構、光学系支持部、およびその間にあるすべての部材を一緒に、光が偏向機構に当たる方向に変位させることでも軸方向の変位を達成することができる。
図では、同じおよび同一作用のコンポーネントを一般的に同じ符号で表している。
図1は、本発明による光学顕微鏡110の1つの例示的実施形態を概略的に示している。光学顕微鏡110は、本質的なコンポーネントとして、照明光を発するための光源10、構造化された照明を生成するための本発明による光学系構成100、試料65が位置決めされ得る試料面60、および検出機構80を備えている。
偏光ビームスプリッタ20から試料65の方向にさらに導かれた光15は、さらなる光学的手段61〜64によって対物レンズ70に導かれ、この対物レンズは光15を照明光として試料面60へ合焦する。試料面には試料65を保持することができ、この試料が検出光を発する。この検出光は対物レンズ70を介してビームスプリッタ64に導かれ、このビームスプリッタ64は照明光を検出光からスペクトル的に分離する。検出光はさらなる光学的手段72および73を介し、検出機構80へと案内される。図示した例では、検出機構80は複数のカメラ81、82、83を備えており、これらのカメラへと、ダイクロイックビームスプリッタ74、75により検出光がその波長に応じて導かれる。
格子41〜55および返送ミラー56は、2次元配列で直接的に相並んで位置決めされている。したがって、2つの次元での偏向角度を少し変えることにより、これらの光学アセンブリ41〜55の各々を選択することができる。
11、12、13 レーザモジュール
14 光ファイバ
15 光線
20 ビームスプリッタ
21 偏向機構へ合焦するための合焦光学系
22 偏光子
23 偏光変更手段
30 偏向機構、偏向ミラー
35 光合焦手段
37 揺動プレートまたはくさび
39 中間像面
40 光学系支持部
41〜56 光学アセンブリ
41〜45 格子の第1のセット
46〜50 格子の第2のセット
51〜55 格子の第3のセット
56 返送ミラー
58 切替え可能な偏光変更手段
60 試料面
61 ミラー
62、63 レンズまたはレンズ群
64 励起光および検出光を分離するためのビームスプリッタ
65 試料
70 対物レンズ
72 光学素子
73 レンズまたはレンズ群
74、75 ダイクロイックビームスプリッタ
80 検出機構
81、82、83 カメラ
100 光学系構成
110 光学顕微鏡
Claims (21)
- 光学顕微鏡のビーム経路における位置決めのための光学系構成であって、
光学系支持部(40)と、
前記光学系支持部(40)に設けられ、複数の回折格子(41〜45)を有し、向きの異なる構造化された照明光を生成する光学アセンブリの第1のセット(41〜45)と、
光学アセンブリ(41〜45)の1つへと構造化されていない光線(15)を選択可能に偏向し、かつ該光学アセンブリ(41〜45)から来る構造化された光線(15)を観察すべき試料(65)の方向に偏向するように設けられた調節可能な偏向デバイス(30)と、を備え、
前記偏向デバイス(30)の同じミラーが、構造化されていない光線(15)を選択された回折格子に偏向し、且つ構造化された光線(15)を前記試料(65)に偏向する、光学系構成。 - 前記複数の回折格子(41〜45)が、同じ格子定数および様々な格子の向きを有する、請求項1に記載の光学系構成。
- 前記光学アセンブリの第1のセット(41〜45)が、当たった構造化された照明光から様々な向きの構造化された照明光を生成するために複数の画像領域ローテータを有する、請求項1または2に記載の光学系構成。
- 前記光学系支持部(40)に、追加的に、
構造化された照明光を生成する回折格子の少なくとも1つのさらなるセット(46〜50、51〜55)であって、回折格子のさらなるセット(46〜50、51〜55)がそれぞれ、格子定数が同じで、互いに対して異なる角度で配置された少なくとも3つの回折格子(46〜50、51〜55)を有しており、格子の様々なセットはその格子定数が異なっている、前記回折格子の少なくとも1つのさらなるセット(46〜50、51〜55)、
様々な向きの格子結像を生成する追加的な画像領域ローテータであって、前記偏向デバイス(30)の前のビーム経路に回折格子が設けられており、かつ該回折格子から来る光(15)が前記偏向デバイス(30)により選択可能に該画像領域ローテータの1つに導かれる、前記追加的な画像領域ローテータ、
広視野照明をもたらす返送ミラー(46)であって、前記偏向デバイス(30)から来る光線(15)が該返送ミラー(46)により、前記偏向デバイス(30)に戻るように導かれる、前記返送ミラー(46)、および
前記偏向デバイス(30)から来る前記光線(15)を通過させる窓であって、前記通過した光線(15)を前記偏向デバイス(30)に導くように、ビーム案内手段が設けられる、前記窓
の複数の光学アセンブリ(46〜56)のうちの少なくとも1つが設けられる、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光学系構成。 - 前記光学アセンブリ(41〜56)が前記光学系支持部(40)上で、2次元配列で相並んで位置決めされている、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光学系構成。
- 前記偏向デバイス(30)が偏向ミラー(30)を備え、
電子的制御手段が存在しており、該電子的制御手段は、所望の回折格子(41〜55)またはもう1つの光学アセンブリ(56)に前記光線(15)を導くために前記偏向ミラー(30)を回転することおよび前記偏向ミラー(30)を変位することのうちの少なくとも一方を実行するように構成されている、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光学系構成。 - 前記電子的制御手段が、回折格子(41〜55)ごとの位相シフトのため、前記光線(15)を前記偏向ミラー(30)により順々に様々な偏向角度で同じ回折格子(41〜55)に導くように構成されている、請求項6に記載の光学系構成。
- 前記光学アセンブリ(41〜55)が、当たった光線(15)を前記偏向デバイス(30)にはね返す反射型格子である、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の光学系構成。
- 前記偏向デバイス(30)が偏向ミラーおよび出口ミラーを備え、
前記光学顕微鏡の光源(10)から来る光線(15)を該偏向ミラーにより前記光学系支持部(40)に偏向可能であり、
前記光学アセンブリ(41〜55)が、該偏向ミラーから来る光線(15)を該出口ミラーの方向へと通過させる透過型格子であり、
前記光学系支持部(40)から来る光線(15)を該出口ミラーにより前記試料(65)の方向に偏向可能であり、
電子的制御手段が存在しており、該電子的制御手段は、該出口ミラーを該偏向ミラーと一緒に回転させることおよび該出口ミラーを該偏向ミラーと一緒に変位させることのうちの少なくとも一方を実行するように構成されている、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の光学系構成。 - 前記出口ミラーおよび前記偏向ミラーが、一緒に回転または変位するために、前記電子的制御手段により回転および変位のうちの少なくとも一方を実行される共通の保持具に固定されている、請求項9に記載の光学系構成。
- ビームスプリッタ(60)が、前記光学顕微鏡の光源(10)から来る光線(15)を前記偏向デバイス(30)の方向に導くように、および前記偏向デバイス(30)から来る光線(15)を前記観察すべき試料(65)の方向に導くように設けられる、請求項1乃至10のいずれか1項に記載の光学系構成。
- 前記ビームスプリッタ(60)が偏光ビームスプリッタ(60)である、請求項11に記載の光学系構成。
- 偏光に影響を及ぼす手段(22)が、前記光線(15)の特定の偏光方向を調整するように、前記偏光ビームスプリッタ(20)の前のビーム経路に設けられ、
該偏光に影響を及ぼす手段(22)が、前記光線(15)を前記偏光ビームスプリッタ(20)から前記偏向デバイス(30)に導くか、または前記偏向デバイス(30)に当てることなく前記試料(65)の方向に導くかどうかを選択するように切替え可能である、請求項12に記載の光学系構成。 - 前記光学系支持部(40)に取り付けられた前記回折格子(41〜55)およびその他の光学アセンブリ(56)が交換可能に保持されること、および前記光学系支持部(40)を交換可能に保持するように光学系支持部保持具が配置されることのうちの少なくとも一方である、請求項1乃至13のいずれか1項に記載の光学系構成。
- 光合焦手段(35)が、前記偏向デバイス(30)の様々な偏向角度に対し、前記それぞれの光線(5)を、前記光学系支持部(40)の前記対応する回折格子(41〜55)またはもう1つの光学アセンブリ(56)に同じ角度で導くように、前記偏向デバイス(30)と前記光学系支持部(40)の間に設けられる、請求項1乃至14のいずれか1項に記載の光学系構成。
- 前記回折格子(41〜55)の1つによって生成される構造化された照明の位相シフトのため、前記回折格子(41〜55)を移動させるように調節要素が設けられる、請求項1乃至15のいずれか1項に記載の光学系構成。
- 合焦光学系(21)が、前記偏向デバイス(30)へと前記光線(15)を導くように設けられ、
前記偏向デバイス(30)および該合焦光学系(21)が、前記光学顕微鏡の瞳面での前記光線(15)の焦点位置を横方向に変位するように、前記当たった光線(15)の伝播方向に一緒に変位可能である、請求項1乃至16のいずれか1項に記載の光学系構成。 - 光屈折手段(37)が、前記偏向デバイス(30)と前記光学系支持部(40)の間に設けられ、
電子的制御手段が存在しており、前記回折格子(41〜55)の1つによってもたらされた構造化された照明を変化させるために、該光屈折手段(37)をモータにより移動させるように該電子的制御手段が構成されている、請求項1乃至17のいずれか1項に記載の光学系構成。 - 調査すべき試料(65)が位置決めされ得る試料面(60)と、該試料面(60)の方向に光線(15)を発する少なくとも1つの光源(10)とを備えた光学顕微鏡であって、
該光源(10)と該試料面(60)の間のビーム経路に、請求項1乃至18のいずれか1項に記載の光学系構成が設けられる、光学顕微鏡。 - 前記光学アセンブリ(41〜56)を備えた前記光学系支持部(40)が、前記光学顕微鏡の中間像面(39)に設けられる、請求項19に記載の光学顕微鏡。
- 試料領域の結像を記録するように少なくとも1つのカメラ(81)が設けられ、
前記試料面と該カメラ(81)の間にスキャンミラーが設けられ、
電子的制御手段が、該スキャンミラーにより、同じ試料領域を順々に該カメラ(81)の様々な領域に結像するように構成されている、請求項19または20に記載の光学顕微鏡。
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