JP6010505B2 - 画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法 - Google Patents
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Description
本発明は、画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法に関する。
従来の画像取得装置として、例えば特許文献1に記載の装置がある。この装置では、被検物からの光をハーフプリズムで分割し、CCDエリアイメージセンサ等の2次元撮像素子からなる光電変換素子で受光する。光電変換素子の制御回路は、受光面を2次元的に走査する2つの走査領域を任意に設定可能な走査領域設定部を有している。そして、走査領域設定部によって設定された2つの走査領域で受光した光の合焦ずれ信号に基づいて合焦制御を実行する。
上述した従来の装置では、ハーフプリズムを用いて被検物からの光を分割している。このため、光電変換素子での光量の確保が難しく、試料の焦点位置の検出精度が低下してしまうおそれがある。また、焦点位置の検出用の光の光量を増大させると、被検物の撮像用の光の光量が減少することとなり、撮像の際の光量の確保が困難となるおそれがある。
本発明は、上記課題の解決のためになされたものであり、撮像の際の光量を確保でき、かつ試料の焦点位置を精度良く検出できる画像取得装置及びそのフォーカス方法を提供することを目的とする。
上記課題の解決のため、本発明に係る画像取得装置は、試料が載置されるステージと、ステージを所定の速度で走査するステージ制御手段と、試料に向けて光を照射する光源と、試料の光像を画像取得用の第1の光路及び焦点制御用の第2の光路に分岐する光分岐手段を含む導光光学系と、第1の光路に分岐された第1の光像による第1の画像を取得する第1の撮像手段と、第2の光路に分岐された第2の光像による第2の画像を取得する第2の撮像手段と、第2の画像を解析し、その解析結果に基づいて第1の撮像手段による撮像の焦点位置を制御する焦点制御手段と、第2の光路に配置され、第2の撮像手段の撮像面の面内方向に沿って第2の光像に光路差を生じさせる光路差生成部材と、を備え、光路差生成部材は、第2の光路の光軸に直交する面に対して傾斜する第1の面及び第2の面を有し、第1の面と第2の面との間には、撮像面に到達する光を低減させる光低減部が設けられていることを特徴としている。
この画像取得装置では、光路差生成部材の配置により、焦点制御用の第2の光路での光の分岐を行わずに第2の光像の光路長差を形成できる。したがって、焦点位置の情報を得るために必要な第2の光路への光量が抑えられ、第1の撮像手段で撮像を行う際の光量を確保できる。また、この画像取得装置では、光路差生成部材が第1の面及び第2の面を有することで、試料の撮像視野を双方向に走査する双方向スキャンの実施が可能となる。第1の面と第2の面との境界付近では、第1の面及び第2の面で屈折した光の一部が第2の撮像手段の撮像面で重畳する場合がある。撮像面に光重畳領域が存在すると、焦点制御手段における第2の画像の解析精度が低下することが考えられる。これに対し、この画像取得装置では、第1の面と第2の面との間に、第2の撮像手段の撮像面に到達する光を低減させる光低減部が設けられている。この光低減部により、第2の撮像手段の撮像面における光重畳領域を狭めることが可能となり、試料の焦点位置の制御を精度良く実施できる。
また、光路差生成部材は、第1の面と第2の面との間に第2の光路の光軸に直交する第3の面を有し、光低減部は、第3の面に設けられていることが好ましい。この場合、第3の面によって光の屈折の発生を抑えることができる。また、第3の面に光低減部を設けることで、第2の撮像手段の撮像面における光重畳領域をより確実に狭めることが可能となる。
また、第1の面と第2の面とが隣接しており、光低減部は、第1の面と第2の面との境界部分を含むように設けられていることが好ましい。この場合、第1の面と第2の面との境界部分を含むように光低減部を設けることで、第2の撮像手段の撮像面における光の重畳領域をより確実に狭めることが可能となる。
また、光低減部は、第2の光路からの光を反射する光反射部であることが好ましい。この場合、光反射部によって第2の撮像手段の撮像面における光重畳領域をより確実に狭めることが可能となる。
また、光低減部は、第2の光路からの光を減光する光減光部であることが好ましい。この場合、光減光部によって第2の撮像手段の撮像面における光重畳領域をより確実に狭めることが可能となる。
また、光低減部は、第2の光路からの光を遮光する光遮光部であることが好ましい。この場合、光遮光部によって第2の撮像手段の撮像面における光重畳領域をより確実に狭めることが可能となる。
また、光低減部は、第2の光路からの光を吸光する光吸光部であることが好ましい。この場合、光吸光部によって第2の撮像手段の撮像面における光重畳領域をより確実に狭めることが可能となる。
また、光路差生成部材の第1の面及び第2の面で屈折した光が重畳する光重畳領域を避けるように、第2の撮像手段の撮像面に第1の撮像領域と第2の撮像領域とを設定する領域制御手段を更に備えたことが好ましい。これにより、第2の撮像手段の第1の撮像領域及び第2の撮像領域において、第1の撮像手段に入射する光像よりも前に焦点が合った光像(前ピン)と、後に焦点が合った光像(後ピン)とをそれぞれ撮像することができる。また、光低減部により、第2の撮像手段の撮像面における光の重畳領域を狭めることが可能となるので、第1の撮像領域及び第2の撮像領域を設定可能な設定領域を拡大できる。これにより、前ピンと後ピンとの間のフォーカス差を十分に広げることが可能となり、焦点位置の制御を精度良く実施できる。
また、第2の撮像手段は、複数の画素列を有すると共にローリング読み出しが可能な二次元撮像素子を有し、ステージ制御手段によるステージの走査と同期して各画素列のローリング読み出しを行うことによって第2の画像を取得することが好ましい。この場合、各画素列からの画像データには、試料の同一部位のコントラスト情報を一度のローリング読み出しで取得できる。したがって、当該コントラスト情報に基づいて合焦点情報を迅速かつ精度良く算出できる。
また、本発明に係る画像取得装置のフォーカス方法は、試料が載置されるステージと、ステージを所定の速度で走査するステージ制御手段と、試料に向けて光を照射する光源と、試料の光像を画像取得用の第1の光路及び焦点制御用の第2の光路に分岐する光分岐手段を含む導光光学系と、第1の光路に分岐された第1の光像による第1の画像を取得する第1の撮像手段と、第2の光路に分岐された第2の光像による第2の画像を取得する第2の撮像手段と、第2の画像を解析し、その解析結果に基づいて第1の撮像手段による撮像の焦点位置を制御する焦点制御手段と、を備えた画像取得装置のフォーカス方法であって、第2の光路の光軸に直交する面に対して傾斜する第1の面及び第2の面を有し、第2の撮像手段の撮像面の面内方向に沿って第2の光像に光路差を生じさせる光路差生成部材を第2の光路に配置し、第1の面と第2の面との間に光低減部を設け、第2の撮像手段の撮像面に到達する光を低減させることを特徴としている。
この画像取得装置のフォーカス方法では、光路差生成部材の配置により、焦点制御用の第2の光路での光の分岐を行わずに第2の光像の光路長差を形成できる。したがって、焦点位置の情報を得るために必要な第2の光路への光量が抑えられ、第1の撮像手段で撮像を行う際の光量を確保できる。また、この画像取得装置のフォーカス方法では、光路差生成部材が第1の面及び第2の面を有することで、試料の撮像視野を双方向に走査する双方向スキャンの実施が可能となる。第1の面と第2の面との境界付近では、第1の面及び第2の面で屈折した光の一部が第2の撮像手段の撮像面で重畳する場合がある。撮像面に光重畳領域が存在すると、焦点制御手段における第2の画像の解析精度が低下することが考えられる。これに対し、この画像取得装置のフォーカス方法では、第1の面と第2の面との間に、第2の撮像手段の撮像面に到達する光を低減させる光低減部を設けている。この光低減部により、第2の撮像手段の撮像面における光重畳領域を狭めることが可能となり、試料の焦点位置の制御を精度良く実施できる。
本発明によれば、撮像の際の光量を確保でき、かつ試料の焦点位置を精度良く検出できる。
以下、図面を参照しながら、本発明に係る画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法の好適な実施形態について詳細に説明する。
図1は、本発明に係る画像取得装置を構成するマクロ画像取得装置の一実施形態を示す図である。また、図2は、本発明に係る画像取得装置を構成するミクロ画像取得装置の一実施形態を示す図である。図1及び図2に示すように、画像取得装置Mは、試料Sのマクロ画像を取得するマクロ画像取得装置M1と、試料Sのミクロ画像を取得するミクロ画像取得装置M2とによって構成されている。画像取得装置Mは、マクロ画像取得装置M1で取得したマクロ画像に対して例えばライン状の複数の分割領域40(図13参照)を設定し、各分割領域40をミクロ画像取得装置M2で高倍率に取得して合成することにより、デジタル画像であるバーチャルスライド画像を生成する装置である。
マクロ画像取得装置M1は、図1に示すように、試料Sが載置されるステージ1を備えている。ステージ1は、例えばステッピングモータ(パルスモータ)或いはピエゾアクチュエータなどのモータやアクチュエータによって水平方向に駆動するXYステージである。画像取得装置Mで観察する試料Sは、例えば細胞などの生体サンプルであり、スライドガラスに密封された状態でステージ1に載置される。このステージ1をXY面内で駆動させることにより、試料Sに対する撮像位置を移動させることができる。
ステージ1は、マクロ画像取得装置M1とミクロ画像取得装置M2との間を往復可能となっており、両装置間で試料Sを搬送する機能を有している。なお、マクロ画像取得においては、試料Sの全体画像を1度の撮像で取得してもよく、試料Sを複数の領域に分割して撮像してもよい。また、ステージ1は、マクロ画像取得装置M1及びミクロ画像取得装置M2の双方にそれぞれ設けておいてもよい。
ステージ1の底面側には、試料Sに向けて光を照射する光源2と、光源2からの光を試料Sに集光する集光レンズ3とが配置されている。光源2は、試料Sに向けて斜めに光を照射するように配置されていてもよい。また、ステージ1の上面側には、試料Sからの光像を導光する導光光学系4と、試料Sの光像を撮像する撮像装置5とが配置されている。導光光学系4は、試料Sからの光像を撮像装置5の撮像面に結像させる結像レンズ6を有している。また、撮像装置5は、例えば2次元画像を取得可能なエリアセンサである。撮像装置5は、導光光学系4を経て撮像面に入射した試料Sの光像の全体画像を取得し、後述のバーチャルスライド画像格納部39に格納する。
ミクロ画像取得装置M2は、図2に示すように、ステージ1の底面側にマクロ画像取得装置M1と同様の光源12及び集光レンズ13を有している。また、ステージ1の上面側には、試料Sからの光像を導光する導光光学系14が配置されている。光源12からの光を試料Sに照射させる光学系には、試料Sに励起光を照射するための励起光照射光学系や試料Sの暗視野画像を取得するための暗視野照明光学系を採用してもよい。
導光光学系4は、試料Sと対峙して配置された対物レンズ15と、対物レンズ15の後段に配置されたビームスプリッタ(光分岐手段)16とを有している。対物レンズ15には、ステージ1の載置面に直交するZ方向に対物レンズ15を駆動するステッピングモータ(パルスモータ)或いはピエゾアクチュエータなどのモータやアクチュエータが設けられている。これらの駆動手段によって対物レンズ15のZ方向の位置を変えることにより、試料Sの画像取得における撮像の焦点位置が調整可能になっている。なお、焦点位置の調整は、ステージ1のZ方向の位置を変えることで実施してもよく、対物レンズ15及びステージ1の双方のZ方向の位置を変えることによって実施してもよい。
ビームスプリッタ16は、試料Sの光像を画像取得用の第1の光路L1と焦点制御用の第2の光路L2とに分岐する部分である。このビームスプリッタ16は、光源12からの光軸に対しておよそ45度の角度で配置されており、図2において、ビームスプリッタ16を通過する光路が第1の光路L1となっており、ビームスプリッタ16で反射する光路が第2の光路となっている。
第1の光路L1には、ビームスプリッタ16を通過した試料Sの光像(第1の光像)を結像させる結像レンズ17と、結像レンズ17の結像位置に撮像面を配置した第1の撮像装置(第1の撮像手段)18とが配置されている。第1の撮像装置18は、試料Sの第1の光像による1次元画像(第1の画像)を取得可能な装置であり、例えばTDI(Time Delay Integration)駆動が可能な2次元イメージCCDセンサやラインセンサが用いられる。また、ステージ1を一定の速度で制御しながら、試料Sの画像を順次取得する方式であれば、第1の撮像装置18は、CMOSイメージセンサやCCDイメージセンサなどの2次元画像を取得可能な装置であってもよい。第1の撮像装置18で撮像された第1の画像は、レーンバッファなどの一時保存メモリに順次保存された後、圧縮されて後述の画像生成部38に出力される。
一方、第2の光路L2には、ビームスプリッタ16で反射した試料の光像(第2の光像)を縮小する視野調整レンズ19と、第2の撮像装置(第2の撮像手段)20とが配置されている。また、第2の撮像装置20の前段には、第2の光像に光路差を生じさせる光路差生成部材21が配置されている。視野調整レンズ19は、第2の光像が第1の光像と同程度の大きさで第2の撮像装置20に結像するように構成されていることが好ましい。
第2の撮像装置20は、試料Sの第2の光像による2次元画像(第2の画像)を取得可能な装置であり、例えばCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサやCCD(Charge Coupled Device)イメージセンサなどのエリアイメージセンサが用いられる。また、ラインセンサを用いてもよい。
第2の撮像装置20の撮像面20aは、第2の光路L2に直交するXZ面と略一致するように配置されている。この撮像面20aには、図3に示すように、第2の光像の一部画像を取得する第1の撮像領域22A及び第2の撮像領域22Bが設定されている。第1の撮像領域22A及び第2の撮像領域22Bは、試料Sの走査に伴う撮像面20a上での第2の光像の移動方向(走査方向:Z方向)に対して垂直となる向きに設定される。第1の撮像領域22Aと第2の撮像領域22Bとは、所定の間隔をもって設定されており、いずれも第2の光像の一部をライン状に取得する。これにより、第1の撮像装置18で取得される試料Sの第1の光像と同じ領域の光像を第2の光像として第1の撮像領域22A及び第2の撮像領域22Bで取得できる。なお、第1の撮像領域22Aと第2の撮像領域22Bとを別々のラインセンサを用いて設定してもよい。この場合、各ラインセンサを別々に制御することで、第1の撮像領域22A及び第2の撮像領域22Bの設定に要する時間を短縮させることができる。
光路差生成部材21は、撮像面20aの面内方向に沿って第2の光像に光路差を生じさせるガラス部材である。図4(a)に示す例では、光路差生成部材21は、断面三角形のプリズム状をなしており、撮像面20aのZ方向の中央部分に頂部24が略一致するように配置されている。したがって、撮像面20aに入射する第2の光像は、撮像面20aにおけるZ方向の中央部分で最も光路が長くなり、撮像面20aにおけるZ方向の両端部分に向かうほど光路が短くなる。また、光路差生成部材21は、第2の撮像装置20との対向面25が第2の撮像装置の撮像面20aと平行となるように配置されることが好ましい。これにより、第2の撮像装置20との対向面25での光の屈折を低減でき、第2の撮像装置20で受光する光量を確保することができる。
この光路差生成部材21の配置により、第2の撮像装置20では、第1の撮像領域22Aの位置と第2の撮像領域22Bの位置に基づいて、第1の撮像装置18に入射する第1の光像よりも前に焦点が合った光像(前ピン)と、後に焦点が合った光像(後ピン)とを取得できる。本実施形態では、例えば第1の撮像領域22Aが前ピンとなり、第2の撮像領域22Bが後ピンとなるように第1の撮像領域22Aの位置と第2の撮像領域22Bの位置とが設定される。前ピンと後ピンとの間のフォーカス差は、第1の撮像領域22Aに入射する第2の光像が通過する光路差生成部材21の厚さt1及び屈折率と、第2の撮像領域22Bに入射する第2の光像が通過する光路差生成部材21の厚さt2及び屈折率との差に依存する。
また、光路差生成部材21は、図4(a)に示すように、第2の光路L2の光軸に直交する面(ここでは対向面25)に対して傾斜する第1の面26及び第2の面27を有している。第1の面26及び第2の面27は、頂部24について対称となるように対向面25に対していずれも30°程度傾斜している。第1の面26及び第2の面27により、第2の光路L2からの光は、第1の面26及び第2の面27で内向きに屈折して撮像面20aに入射する。なお、光路差生成部材21の対向面25における第2の光像の移動方向の長さは、第2の撮像装置20の撮像面20aにおける第2の光像の移動方向の長さよりも長くなっていることが好ましい。この場合、第1の面26の上端側、もしくは第2の面27の下端側で屈折した光を撮像面20aの端部に入射させることが可能となり、撮像面20aの端部に位置する画素列を有効に利用できる。
光路差生成部材21に第1の面26及び第2の面27を設けることにより、試料Sの撮像視野の双方向走査(図13(a)参照)に対応することが可能となる。双方向走査を行う場合、試料Sの走査に伴う撮像面20a上での第2の光像の移動方向に応じて、一方の走査の際には第1の面26に対応する撮像面20aの上半分領域に上側から順に第1の撮像領域22A及び第2の撮像領域22Bを設定し、他方の走査の際には、第2の面27に対応する撮像面20aの下半分領域に下側から順に第1の撮像領域22A及び第2の撮像領域22Bを設定すればよい(図4(b)参照)。
光路差生成部材21において、第1の面26と第2の面27との間には、第2の撮像装置20の撮像面20aに到達する光を低減させる光低減部28が設けられている。光低減部28は、頂部24を中心として第1の面26側と第2の面27側に等幅で張り出すように、頂部24に沿って第2の光像の移動方向(走査方向:Z方向)に対して垂直となる向きに延在している。
光低減部28は、第2の光路L2からの光を反射する光反射部とすることができる。光反射部とする場合には、例えばアルミ、金、銀、銅といった金属の箔を光路差生成部材21に貼り付けてもよく、これらの金属の膜を光路差生成部材21に蒸着してもよい。また、光低減部28は、第2の光路L2からの光を減光する光減光部或いは第2の光路L2からの光を遮光する光遮光部とすることもできる。光減光部及び光遮光部とする場合には、例えば黒色の塗料を光路差生成部材21に塗布してもよく、黒色のシール材を光路差生成部材21に貼り付けてもよい。また、上記の金属の膜の表面に黒色の塗料を塗布してもよい。光低減部28は、第2の光路L2からの光を吸光する光吸光部とすることもできる。光吸光部とする場合には、例えばルビーやサファイアといったコランダム等の光を吸光する吸光物質を光路差生成部材21の内部に形成すればよい。
光路差生成部材21に光低減部28を設けない場合、図5(a)に示すように、光路差生成部材21の頂部24付近に入射した第2の光路L2からの光は、第1の面26及び第2の面27での屈折によって撮像面20a上で重畳し、図5(b)に示すように、撮像面20aに光重畳領域29を形成する。光重畳領域29では、光路差の異なる光が撮像面20aに入射するため、第1の撮像領域22A及び第2の撮像領域22Bの設定に不向きな非設定領域R1となる。撮像面20aに対する非設定領域R1の幅が大きい場合、第1の撮像領域22A及び第2の撮像領域22Bを設定可能な設定領域R2の幅が相対的に狭くなる。設定領域R2の幅が狭くなると、例えば第1の撮像領域22Aと第2の撮像領域22Bとの間の間隔の設定幅が制限され、前ピンと後ピンとの間のフォーカス差の調整幅が制限されることが考えられる。
これに対し、本実施形態のように光路差生成部材21に光反射部としての光低減部28が設けられている場合、図6(a)に示すように、光路差生成部材21の頂部24付近に入射した第2の光路L2からの光は、光低減部28で反射される。このため、図6(b)に示すように、光路差生成部材21に光低減部28を設けない場合と比べて、撮像面20aに形成される光重畳領域29の幅を大幅に狭くすることが可能となる。したがって、第1の撮像領域22A及び第2の撮像領域22Bを設定可能な設定領域R2の幅が相対的に広がり、前ピンと後ピンとの間のフォーカス差の調整幅を十分に確保できる。
また、本実施形態のように光路差生成部材21に光減光部・光遮光部・光吸光部としての光低減部28が設けられている場合、図7(a)に示すように、光路差生成部材21の頂部24付近に入射した第2の光路L2からの光は、光低減部28で減光、遮光、或いは吸光される。この場合も、図7(b)に示すように、光路差生成部材21に光低減部28を設けない場合と比べて、撮像面20aに形成される光重畳領域29の幅、すなわち、非設定領域R1の幅を大幅に狭くすることが可能となる。したがって、第1の撮像領域22A及び第2の撮像領域22Bを設定可能な設定領域R2の幅が相対的に広がり、前ピンと後ピンとの間のフォーカス差の調整幅を十分に確保できる。
なお、光低減部28の幅は、光路差生成部材21の屈折率、対向面25に対する第1の面26及び第2の面27の傾斜角などによって適宜設定される。例えば第1の面26において光低減部28との境界部分で屈折した光と、第2の面27において光低減部28との境界部分で屈折した光とが、いずれも撮像面20aの中央部分(頂部24に対応する部分)に向かうように光低減部28の幅を設定することが好ましい。この場合、非設定領域R1の幅を最小化できる。
図8は、画像取得装置の機能的な構成要素を示すブロック図である。同図に示すように、画像取得装置Mは、CPU、メモリ、通信インタフェイス、ハードディスクといった格納部、キーボードなどの操作部31、モニタ32等を備えたコンピュータシステムを備えている。また、画像取得装置Mは、制御部33の機能的な構成要素として、焦点制御部34と、領域制御部35と、対物レンズ制御部36と、ステージ制御部37と、画像生成部38と、バーチャルスライド画像格納部39とを備えている。
焦点制御部34は、第2の撮像装置20で取得した第2の画像を解析し、その解析結果に基づいて第1の撮像装置18による撮像の焦点位置を制御する部分である。より具体的には、焦点制御部34は、まず、第2の撮像装置20において、第1の撮像領域22Aで取得した画像のコントラスト値と、第2の撮像領域22Bで取得した画像のコントラスト値との差分を求める。
ここで、図9に示すように、試料Sの表面に対して対物レンズ15の焦点位置が合っている場合、第1の撮像領域22Aで取得した前ピンの画像コントラスト値と第2の撮像領域22Bで取得した後ピンの画像コントラスト値とが略一致し、これらの差分値はほぼゼロとなる。一方、図10に示すように、試料Sの表面までの距離が対物レンズ15の焦点距離よりも長い場合、第1の撮像領域22Aで取得した前ピンの画像コントラスト値よりも第2の撮像領域22Bで取得した後ピンの画像コントラスト値の方が大きくなり、これらの差分値はプラスとなる。この場合、焦点制御部34は、対物レンズ制御部36に対し、対物レンズ15を試料Sに近づける向きに駆動する旨の指示情報を出力する。
また、図11に示すように、試料Sの表面までの距離が対物レンズ15の焦点距離よりも短い場合、第1の撮像領域22Aで取得した前ピンの画像コントラスト値よりも第2の撮像領域22Bで取得した後ピンの画像コントラスト値の方が小さくなり、これらの差分値はマイナスとなる。この場合、焦点制御部34は、対物レンズ制御部36に対し、対物レンズ15を試料Sに遠ざける向きに駆動する旨の指示情報を出力する。
領域制御部35は、第2の撮像装置20の撮像面20aにおける第1の撮像領域22Aの位置及び第2の撮像領域22Bの位置を制御する部分である。領域制御部35は、操作部31からの操作に基づき、撮像面20aに形成される光重畳領域29を避けるように、まず第1の撮像領域22Aを設定し、第1の撮像領域22Aでの撮像が行われた後、第1の撮像領域22Aの設定を解除する。次に、第1の撮像領域22AからZ方向(走査方向)に所定の間隔をもって第2の撮像領域22Bを設定し、第2の撮像領域22Bでの撮像が行われた後、第2の撮像領域22Bの設定を解除する。
第1の撮像領域22Aでの撮像から第2の撮像領域22Bでの撮像までの待ち時間は、例えば第1の撮像領域22Aと第2の撮像領域22Bとの間の間隔と、ステージ1の走査速度に基づいて設定される。また、第1の撮像領域22Aと第2の撮像領域22Bとの間の間隔は、光路差生成部材21によって生じる光路長差に基づいて設定される。ただし、この間隔は、実際には試料Sのスライド上の距離に対応しており、最終的には間隔を第2の撮像領域22Bの画素数に変換する必要がある。
また、領域制御部35は、操作部31からの操作に基づき、第1の撮像領域22Aの位置と第2の撮像領域22Bの位置の少なくとも一方を撮像面20aの面内の走査方向(ここではZ方向)に沿って変更することができる。この場合、第1の撮像領域22Aの位置及び第2の撮像領域22Bの位置のいずれか一方のみを変更してもよく、第1の撮像領域22Aの位置及び第2の撮像領域22Bの位置の双方を変更してもよい。また、第1の撮像領域22Aと第2の撮像領域22Bとの間の間隔を維持したまま、第1の撮像領域22Aの位置及び第2の撮像領域22Bの位置の双方を変更してもよい。
第1の撮像領域22Aの位置と第2の撮像領域22Bの位置を変更することにより、第1の撮像領域22Aに入射する第2の光像が通過する光路差生成部材21の厚さt1と、第2の撮像領域22Bに入射する第2の光像が通過する光路差生成部材21の厚さt2とを変化させることができる。これにより、前ピン及び後ピンの間隔が変わり、コントラスト値の差分を求める際の分解能を調整できる。
対物レンズ制御部36は、対物レンズ15の駆動を制御する部分である。対物レンズ制御部36は、焦点制御部34から出力される指示情報を受け取ると、指示情報の内容に従って、対物レンズ15をZ方向に駆動させる。これにより、試料Sに対する対物レンズ15の焦点位置が調整される。
なお、対物レンズ制御部36は、焦点制御部34による焦点位置の解析中は対物レンズ15の駆動は行わず、また、次の焦点位置の解析が開始されるまで、対物レンズ15をZ方向に沿って一方向にのみ駆動させる。図12は、ステージの走査時間に対する対物レンズと試料の表面との距離の関係を示す図である。同図に示すように、試料Sの走査中は、焦点位置の解析期間Aと、解析結果に基づく対物レンズ駆動期間Bとが交互に生じることとなる。このように、焦点位置の解析中に対物レンズ15と試料Sとの位置関係を変化させないことで、焦点位置の解析精度を担保できる。
ステージ制御部37は、ステージ1の駆動を制御する部分である。より具体的には、ステージ制御部37は、操作部31からの操作に基づき、試料Sが載置されたステージ1を所定の速度で走査させる。このステージ1の走査により、第1の撮像装置18及び第2の撮像装置20での試料Sの撮像視野が相対的に順次移動する。
ステージ1の走査方向としては、図13(a)に示すように、一つの分割領域40の走査が終了した後、ステージ1を走査方向と直交する方向に移動させて次の分割領域40を反対方向に走査する双方向走査が採用される。また、図13(b)に示すように、一つの分割領域40の走査が終了する度にステージ1の位置を走査開始位置まで戻してから次の分割領域40を同一方向に走査する一方向走査を採用してもよい。この場合、撮像面20aのうち、第1の面26に対応する設定領域R2及び第2の面27に対応する設定領域R2のいずれか一方のみに第1の撮像領域22A及び第2の撮像領域22Bを設定すればよい。
また、画像取得の間のステージ1の走査速度は一定であるが、実際には走査の開始直後にステージ1の振動等の影響によって走査速度が不安定な期間が存在する。このため、図14に示すように、分割領域40よりも長い走査幅を設定し、ステージ1が加速する加速期間C、ステージ1の走査速度が安定化するまでの安定化期間D、及びステージ1が減速する減速期間Fのそれぞれが、分割領域40よりも外側を走査しているときに生じるようにすることが好ましい。これにより、ステージ1の走査速度が一定となる一定速度期間Eに合わせて画像取得を行うことが可能となる。なお、安定化期間D中に撮像を開始し、画像取得後に安定化期間D中に取得したデータ部分を削除するようにしてもよい。このような手法は、データの空読みが必要な撮像装置を用いる場合に好適である。
画像生成部38は、取得した画像を合成してバーチャルスライド画像を生成する部分である。画像生成部38は、第1の撮像装置18から出力される第1の画像、すなわち、各分割領域40の画像を順次受け取り、これらを合成して試料Sの全体の画像を合成する。そして、この合成画像に基づいてこれよりも低い解像度の画像を作成し、高解像度の画像と低解像度の画像とを関連付けてバーチャルスライド画像格納部39に格納する。バーチャルスライド画像格納部39では、マクロ画像取得装置M1で取得した画像も更に関連付けてもよい。バーチャルスライド画像は、1枚の画像として格納してもよく、複数に分割された画像として格納してもよい。
続いて、上述した画像取得装置Mの動作について説明する。
図15は、画像取得装置Mの動作を示すフローチャートである。同図に示すように、画像取得装置Mでは、まず、マクロ画像取得装置M1による試料Sのマクロ画像の取得がなされる(ステップS01)。取得したマクロ画像は、例えば所定の閾値を用いて二値化された後、モニタ32に表示され、所定のプログラムを用いた自動設定又は操作者による手動設定により、マクロ画像の中からミクロ画像を取得する範囲が設定される(ステップS02)。
図15は、画像取得装置Mの動作を示すフローチャートである。同図に示すように、画像取得装置Mでは、まず、マクロ画像取得装置M1による試料Sのマクロ画像の取得がなされる(ステップS01)。取得したマクロ画像は、例えば所定の閾値を用いて二値化された後、モニタ32に表示され、所定のプログラムを用いた自動設定又は操作者による手動設定により、マクロ画像の中からミクロ画像を取得する範囲が設定される(ステップS02)。
次に、試料Sがミクロ画像取得装置M2側に移送され、焦点取得条件の設定がなされる(ステップS03)。ここでは、上述したように、ステージ1の走査速度と、第1の撮像領域22Aと第2の撮像領域22Bとの間の間隔とに基づいて、第2の撮像領域22Bでの撮像が開始されるまでの待ち時間を設定する。
焦点取得条件を設定した後、ステージ1の走査を開始し、ミクロ画像取得装置M2による試料Sの各分割領域40ごとのミクロ画像の取得がなされる(ステップS04)。第1の撮像装置18でのミクロ画像の取得の際、第2の撮像装置20では第1の撮像領域22A及び第2の撮像領域22Bによって前ピンのコントラスト値と後ピンのコントラスト値の差分に基づいて試料Sに対する対物レンズ15のずれ方向が解析され、対物レンズ15の位置の調整がリアルタイムで実行される。全ての分割領域40についてミクロ画像の取得が完了した後、取得したミクロ画像が合成され、バーチャルスライド画像が生成される(ステップS05)。
以上説明したように、画像取得装置Mでは、光路差生成部材21の配置により、焦点制御用の第2の光路L2での光の分岐を行わずに第2の光像の光路長差を形成できる。したがって、焦点位置の情報を得るために必要な第2の光路L2への光量が抑えられ、第1の撮像装置18で撮像を行う際の光量を確保できる。また、この画像取得装置Mでは、光路差生成部材21が第1の面26及び第2の面27を有することで、試料Sの撮像視野を双方向に走査する双方向スキャンの実施が可能となる。
第1の面26と第2の面27との境界付近では、第1の面26及び第2の面27で屈折した光の一部が第2の撮像装置20の撮像面20aで重畳する場合がある。撮像面20aに光重畳領域29が存在すると、焦点制御部34における第2の画像の解析精度が低下することが考えられる。これに対し、この画像取得装置Mでは、第1の面26と第2の面27との間に、第2の撮像装置20の撮像面20aに到達する光を低減させる光低減部28が設けられている。この光低減部28により、第2の撮像装置20の撮像面20aにおける光重畳領域29を狭めることが可能となり、設定領域R2において前ピンと後ピンとの間のフォーカス差の調節自由度を十分に確保できる。したがって、試料Sの焦点位置の制御を精度良く実施できる。
上記実施形態では、光低減部28を金属の箔などで形成して光反射部としているが、例えば図16(a)に示す光低減部48のように、第1の面26と第2の面27とがなす頂部近傍をフレネルレンズ形状に形成して光反射部としてもよい。フレネルレンズ形状とは、通常のレンズを同心円状の領域に分割して厚みを減らしたレンズ形状であり、鋸歯状の断面形状となっている。このような光低減部48によっても、図16(b)に示すように、第2の撮像装置20の撮像面20aにおける光重畳領域29を狭めることが可能となり、試料Sの焦点位置の制御を精度良く実施できる。
また、上記実施形態では、第2の光路L2の光軸に直交する面に対して傾斜する第1の面26及び第2の面27を有する光路差生成部材21を用いているが、図17(a)に示すように、第1の面56と第2の面57との間に第2の光路L2の光軸に直交する(対向面55と平行な)第3の面59を有し、断面台形のプリズム状をなす光路差生成部材51を用いてもよい。この光路差生成部材51では、例えば第3の面59の全面にわたって光低減部58が設けられている。このような光低減部58によっても、図17(b)に示すように、第2の撮像装置20の撮像面20aにおける光重畳領域29を狭めることが可能となり、試料Sの焦点位置の制御を精度良く実施できる。なお、図17の例では、光低減部58は、光反射部として図示されているが、光減光部、光遮光部、光吸光部であってもよい。
さらに、図18(a)に示すように、第1の面66を有する断面三角のプリズム状をなす第1部材62と、第2の面67を有する断面三角のプリズム状をなす第2部材63とを組み合わせてなる光路差生成部材61を用いてもよい。この光路差生成部材61では、第1部材62と第2部材63とを隣接配置したときに形成される凹部65の内壁の全面にわたって光低減部68が設けられている。このような光低減部68によっても、図18(b)に示すように、第2の撮像装置20の撮像面20aにおける光重畳領域29を狭めることが可能となり、試料Sの焦点位置の制御を精度良く実施できる。
凹部65の内壁に光低減部68を形成する代わりに、図19(a)に示すように、凹部65内に断面三角のプリズム状をなす光低減部70を配置してもよい。この場合、光低減部70の底面が第3の面69に相当し、第3の面69に光低減部70が設けられることとなる。このような光低減部70によっても、図19(b)に示すように、第2の撮像装置20の撮像面20aにおける光重畳領域29を狭めることが可能となり、試料Sの焦点位置の制御を精度良く実施できる。なお、図18の例では、光低減部68は、光反射部として図示されているが、光減光部、光遮光部、光吸光部であってもよい。同様に、図19の例では、光低減部70は、光吸光部として図示されているが、光反射部、光減光部、光吸光部であってもよい。
また、複数の画素列を有すると共にローリング読み出しが可能な二次元撮像素子を用いて第2の撮像装置20を構成し、ステージ制御部37によるステージ1の走査と同期して各画素列のローリング読み出しを行うことによって第2の画像を取得するようにしてもよい。ローリング読み出しが可能な二次元撮像素子としては、例えばCMOSイメージセンサを用いることができる。
この場合、撮像面20aには、図20(a)に示すように、読み出し方向に垂直な方向に複数の画素が配列されてなる画素列81が読み出し方向に複数配列されている。撮像素子6では、図20(b)に示すように、駆動クロックの駆動周期に基づいて、リセット信号、読み出し開始信号、及び読み出し終了信号が出力されることで、画素列81毎に露光及び読み出しが制御される。一の画素列81の露光期間は、リセット信号に伴う電荷の排出から読み出し開始信号に伴う電荷の読み出しまでの期間である。また、一の画素列81の読み出し期間は、読み出し開始信号に伴う電荷の読み出し開始から読み出し終了信号に伴う電荷の読み出し終了までの期間である。なお、次の画素列に対する読み出し開始信号を読み出し終了信号として用いることもできる。
ローリング読み出しでは、画素列81毎に出力する読み出し開始信号が所定の時間差で順次出力される。ローリング読み出しにおける読み出し速度は、各画素列81を読み出すための読み出し開始信号の時間間隔によって制御される。読み出し開始信号の時間間隔を短くすると読み出し速度は早くなり、読み出し開始信号の時間間隔を長くすると読み出し速度は遅くなる。隣接する画素列81,81間での読み出し間隔の調整は、例えば駆動クロックの周波数の調整、読み出し期間中の遅延期間の設定、読み出し開始信号を規定するクロック数の変更といった手法によって実施できる。
ローリング読み出しとステージ制御部37によるステージ1の走査とを同期させることにより、各画素列81には、試料Sの同一部位からの光像が入射する。この光像には、第2の光路L2に配置された光路差生成部材21等によって光路長差が生じる。このため、対物レンズ制御部36によって対物レンズ15を駆動させなくても、各画素列81からの画像データには、試料Sの同一部位において対物レンズ15の焦点位置が変更されたときのコントラスト情報がそれぞれ含まれることとなる。したがって、各画素列81のうちから2つの画素列81を前ピン及び後ピンとして選択することにより、前ピンのコントラスト値と後ピンのコントラスト値の差分に基づいて試料Sに対する対物レンズ15のずれ方向を解析できる。
また、前ピン及び後ピンの選択をせずに各画素列81に含まれるコントラスト値の分布に基づいて合焦点情報を求めることもできる。図21に示す例では、第1列目の画素列81から第n列目の画素列81までの画像データのコントラスト値が示されており、第i列目の画素列81における画像データのコントラスト値がピーク値となっている。この場合、焦点制御部34は、第i列目の画素列81に入射した光の光路長に基づいて、試料Sに対する対物レンズ15の合焦点情報を算出する。
このように、ローリング読み出しが可能な二次元撮像素子を用いて第2の撮像装置20を構成する場合、光路差生成部材21等を第2の光路L2に配置することで、対物レンズ15の合焦点情報の算出の際の対物レンズ15の駆動が不要となる。したがって、上記実施形態の作用効果に加え、焦点制御中の振動等の発生を抑えることができる。
上述した実施形態では、バーチャルスライド画像を生成する装置を例示したが、本発明に係る画像取得装置は、ステージ等によって試料を所定の速度で走査しながら画像を取得する装置であれば、種々の装置に適用することができる。
1…ステージ、12…光源、14…導光光学系、15…対物レンズ、16…ビームスプリッタ(光分岐手段)、18…第1の撮像装置(第1の撮像手段)、20…第2の撮像装置(第2の撮像手段)、20a…撮像面、21,51,61…光路差生成部材、22A…第1の撮像領域、22B…第2の撮像領域、26,56,66…第1の面、27,57,67…第2の面、28,48,58,68,70…光低減部、29…光重畳領域、34…焦点制御部(焦点制御手段)、35…領域制御部(領域制御手段)、36…対物レンズ制御部(対物レンズ制御手段)、59,69…第3の面、81…画素列、L1…第1の光路、L2…第2の光路、M…画像取得装置、M1…マクロ画像取得装置、M2…ミクロ画像取得装置、S…試料。
Claims (10)
- 試料が載置されるステージと、
前記ステージを所定の速度で走査するステージ制御手段と、
前記試料に向けて光を照射する光源と、
前記試料の光像を画像取得用の第1の光路及び焦点制御用の第2の光路に分岐する光分岐手段を含む導光光学系と、
前記第1の光路に分岐された第1の光像による第1の画像を取得する第1の撮像手段と、
前記第2の光路に分岐された第2の光像による第2の画像を取得する第2の撮像手段と、
前記第2の画像を解析し、その解析結果に基づいて前記第1の撮像手段による撮像の焦点位置を制御する焦点制御手段と、
前記第2の光路に配置され、前記第2の撮像手段の撮像面の面内方向に沿って前記第2の光像に光路差を生じさせる光路差生成部材と、を備え、
前記光路差生成部材は、前記第2の光路の光軸に直交する面に対して傾斜する第1の面及び第2の面を有し、
前記第1の面と前記第2の面との間には、前記撮像面に到達する光を低減させる光低減部が設けられていることを特徴とする画像取得装置。 - 前記光路差生成部材は、前記第1の面と前記第2の面との間に前記第2の光路の光軸に直交する第3の面を有し、前記光低減部は、前記第3の面に設けられていることを特徴とする請求項1記載の画像取得装置。
- 前記第1の面と前記第2の面とが隣接しており、前記光低減部は、前記第1の面と前記第2の面との境界部分を含むように設けられていることを特徴とする請求項1記載の画像取得装置。
- 前記光低減部は、前記第2の光路からの光を反射する光反射部であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の画像取得装置。
- 前記光低減部は、前記第2の光路からの光を減光する光減光部であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の画像取得装置。
- 前記光低減部は、前記第2の光路からの光を遮光する光遮光部であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の画像取得装置。
- 前記光低減部は、前記第2の光路からの光を吸光する光吸光部であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の画像取得装置。
- 前記光路差生成部材の前記第1の面及び前記第2の面で屈折した光が重畳する光重畳領域を避けるように、前記第2の撮像手段の撮像面に第1の撮像領域と第2の撮像領域とを設定する領域制御手段を更に備えたことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項記載の画像取得装置。
- 前記第2の撮像手段は、複数の画素列を有すると共にローリング読み出しが可能な二次元撮像素子を有し、前記ステージ制御手段による前記ステージの走査と同期して各画素列のローリング読み出しを行うことによって前記第2の画像を取得することを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項記載の画像取得装置。
- 試料が載置されるステージと、
前記ステージを所定の速度で走査するステージ制御手段と、
前記試料に向けて光を照射する光源と、
前記試料の光像を画像取得用の第1の光路及び焦点制御用の第2の光路に分岐する光分岐手段を含む導光光学系と、
前記第1の光路に分岐された第1の光像による第1の画像を取得する第1の撮像手段と、
前記第2の光路に分岐された第2の光像による第2の画像を取得する第2の撮像手段と、
前記第2の画像を解析し、その解析結果に基づいて前記第1の撮像手段による撮像の焦点位置を制御する焦点制御手段と、を備えた画像取得装置のフォーカス方法であって、
前記第2の光路の光軸に直交する面に対して傾斜する第1の面及び第2の面を有し、前記第2の撮像手段の撮像面の面内方向に沿って前記第2の光像に光路差を生じさせる光路差生成部材を前記第2の光路に配置し、
前記第1の面と前記第2の面との間に光低減部を設け、前記第2の撮像手段の撮像面に到達する光を低減させることを特徴とする画像取得装置のフォーカス方法。
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