JP6268854B2 - スクリーン印刷用マスク、その製造方法及びはんだペースト印刷方法 - Google Patents
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Description
図1は本実施形態にかかるメタルマスク2及びそれを用いてペーストパターンが形成された基板4の断面図である。なお、図1においては要部の拡大図も合わせて示している。
(メタルマスクの製造方法)
次に、メタルマスク2の製造方法を、図3及び図4を参照して説明する。図3及び図4は、図1のメタルマスク2の製造方法を示す工程図で、図3は前半側の工程図、図4は後半側の工程図である。
(はんだ印刷方法)
次に、図5及び図6を参照して基板4へのはんだペースト印刷方法について説明する。なお、図5及び図6は、図1のメタルマスク2を用いてペーストパターン3を形成する際のはんだ印刷方法を示す図で、図5は前半側の図、図6は後半側の図である。
<付記1>
基板にはんだペーストを印刷する際に用いるスクリーン印刷用マスクであって、
前記スクリーン印刷用マスクの基部をなすベース部と、
該ベース部の全面にメッシュが固着されて形成された薄膜部と、
前記薄膜部における所定領域の前記メッシュを、当該メッシュ面の高さと概ね等しい高さまで他の部材により埋め込んで形成された厚膜部と、
前記薄膜部の前記ベース部に設けられた薄膜部側の複数の開口部、及び、前記厚膜部の前記ベース部、前記メッシュ、埋め込まれた前記他の部材を通して設けられた厚膜部側の複数の開口部と、
を備えることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
<付記2>
付記1に記載のスクリーン印刷用マスクであって、
前記開口の大きさ及び前記メッシュのメッシュ目の大きさが、前記はんだペーストに含有されるはんだ粉末の直径より大きいことを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
<付記3>
付記1又は2に記載のスクリーン印刷用マスクであって、
前記メッシュと前記ベース部とが、メッキにより固着されていることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
<付記4>
付記1乃至3のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用マスクであって、
前記スクリーン印刷用マスクは、メタルマスクであることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
<付記5>
付記1乃至4のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用マスクであって、
前記厚膜部に埋め込まれる前記他の部材はメッキであることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
<付記6>
基板にはんだペーストを印刷する際に用いるスクリーン印刷用マスクの製造方法であって、
予め狭ピッチ用開口が形成されたベース部にメッシュが載置されて、該メッシュと前記ベース部とを固着してメッシュ貼付板を作成するメッシュ貼付工程と、
前記メッシュ貼付板の所定領域を薄膜部として、該薄膜部の領域にレジストを形成するレジスト工程と、
前記レジストをマスクとして、前記メッシュを他の部材で埋める充填工程と、
前記レジストを剥離し、剥離された領域を薄膜部とする剥離工程と、
前記厚膜部に通常ピッチ用開口を形成する開口形成工程と、
を含むことを特徴とするスクリーン印刷用マスクの製造方法。
<付記7>
付記6に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法であって、
前記充填工程で埋める前記他の部材はメッキにより充填されることを特徴とするスクリーン印刷用マスクの製造方法。
<付記8>
付記6又は7に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法であって、
前記充填工程により埋め込まれた前記他の部材を、前記メッシュの解放面と同じ高さまで平滑化して厚膜部を形成する平滑化工程を含むことを特徴とするスクリーン印刷用マスクの製造方法。
<付記9>
付記8に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法であって、
前記平滑化工程は、機械的切削法、機械化学的平滑法、電気化学的平滑法、及び、これらを組合せた方法により平滑化することを特徴とするスクリーン印刷用マスクの製造方法。
<付記10>
付記6乃至9に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法であって、
前記レジスト工程においては、前記メッシュの搭載面と反対側の裏面にも前記レジストを塗布することを特徴とするスクリーン印刷用マスクの製造方法。
<付記11>
付記6乃至10のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法であって、
開口形成工程は、機械加工、レーザ加工、化学加工等により通常ピッチ用開口を形成することを特徴とするスクリーン印刷用マスクの製造方法。
<付記12>
付記6乃至11のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法であって、
前記狭ピッチ用開口又は前記通常ピッチ用開口の側壁に第二の他の部材を形成して、当該側壁を平滑化する側壁平滑化工程を含む、
ことを特徴とするスクリーン印刷用マスクの製造方法。
<付記13>
付記12に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法であって、
前記側壁平滑化工程で埋める前記第二の他の部材はメッキにより充填されることを特徴とするスクリーン印刷用マスクの製造方法。
<付記14>
付記6乃至13のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法であって、
前記スクリーン印刷用マスクは、メタルマスクであることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
<付記15>
はんだペースト印刷方法であって、
配線パターンが設けられた基板と、付記1乃至4のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用マスクとを位置合わせする手順と、
前記スクリーン印刷用マスクを前記基板に接触させた状態でスキージを摺動させ、はんだペーストを狭ピッチ用開口及び通常ピッチ用開口に充填する充填手順と、
前記基板から前記スクリーン印刷用マスクを引き離す手順と、を含み、
前記スクリーン印刷用マスクを最初に用いる際には、前記充填手順は、前記狭ピッチ用開口に対応したメッシュに前記はんだペーストを充填する手順を含むことを特徴とするはんだペーストの印刷方法。
3(3a,3b) ペーストパターン
4 基板
4a 配線パターン
4b 基材
6 メッシュ
7 ベース部
8 メッキレジスト
9 メッキ部
10 開口部
10a 通常ピッチ用開口
10b 狭ピッチ用開口
11 メッシュ貼付板
15 スキージ
16 はんだペースト
Claims (10)
- 基板にはんだペーストを印刷する際に用いるスクリーン印刷用マスクであって、
前記スクリーン印刷用マスクの基部をなすベース部と、
該ベース部の全面にメッシュが固着されて形成された薄膜部と、
前記薄膜部における所定領域の前記メッシュを、当該メッシュ面の高さと概ね等しい高さまで他の部材により埋め込んで形成された厚膜部と、
前記薄膜部の前記ベース部に設けられた薄膜部側の複数の開口部、及び、前記厚膜部の前記ベース部、前記メッシュ、埋め込まれた前記他の部材を通して設けられた厚膜部側の複数の開口部と、
を備えることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。 - 請求項1に記載のスクリーン印刷用マスクであって、
前記開口の大きさ及び前記メッシュのメッシュ目の大きさが、前記はんだペーストに含有されるはんだ粉末の直径より大きいことを特徴とするスクリーン印刷用マスク。 - 請求項1又は2に記載のスクリーン印刷用マスクであって、
前記メッシュと前記ベース部とが、メッキにより固着されていることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用マスクであって、
前記スクリーン印刷用マスクは、メタルマスクであることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。 - 基板にはんだペーストを印刷する際に用いるスクリーン印刷用マスクの製造方法であって、
予め狭ピッチ用開口が形成されたベース部にメッシュが載置されて、該メッシュと前記ベース部とを固着してメッシュ貼付板を作成するメッシュ貼付工程と、
前記メッシュ貼付板の所定領域にレジストを形成するレジスト工程と、
前記レジストをマスクとして、当該メッシュ面の高さと概ね等しい高さまで前記メッシュを他の部材により埋め込んで、厚膜部を形成する充填工程と、
前記レジストを剥離し、剥離された領域を薄膜部とする剥離工程と、
前記厚膜部に通常ピッチ用開口を形成する開口形成工程と、
を含むことを特徴とするスクリーン印刷用マスクの製造方法。 - 請求項5に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法であって、
前記充填工程により埋め込まれた前記他の部材を、前記メッシュの解放面と同じ高さまで平滑化して厚膜部を形成する平滑化工程を含むことを特徴とするスクリーン印刷用マスクの製造方法。 - 請求項5又は6に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法であって、
前記レジスト工程においては、前記メッシュ貼付板の前記メッシュ側の面の前記所定領域にレジストを形成すると共に、前記メッシュ貼付板の前記メッシュ側の面の反対側の面上にレジストを形成することを特徴とするスクリーン印刷用マスクの製造方法。
- 請求項5乃至7のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法であって、
前記狭ピッチ用開口又は前記通常ピッチ用開口の側壁に第二の他の部材を形成して、当該側壁を平滑化する側壁平滑化工程を含む、
ことを特徴とするスクリーン印刷用マスクの製造方法。 - 請求項5乃至8のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法であって、
前記スクリーン印刷用マスクは、メタルマスクであることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。 - はんだペースト印刷方法であって、
配線パターンが設けられた基板と、請求項1乃至4のいずれか1項に記載のスクリーン印刷用マスクとを位置合わせする手順と、
前記スクリーン印刷用マスクを前記基板に接触させた状態でスキージを摺動させ、はんだペーストを狭ピッチ用開口及び通常ピッチ用開口に充填する充填手順と、
前記基板から前記スクリーン印刷用マスクを引き離す手順と、を含み、
前記スクリーン印刷用マスクを最初に用いる際には、前記充填手順は、前記狭ピッチ用開口に対応したメッシュに前記はんだペーストを充填する手順を含むことを特徴とするはんだペーストの印刷方法。
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