JP6260116B2 - ロードポート装置 - Google Patents
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Description
2…装置本体
3…蓋保持手段
4…案内手段(溝状レール)
5…駆動手段
5A…ボールねじ機構
9…フープ
34…第1位置規制部(上側ローラ)
35…第2位置規制部(下側ローラ)
51…ねじ軸
52…ナット
55…モータ
92…蓋
93…開口
G1…第1案内部
G2…第2案内部
X…第1方向
Z…第2方向
Claims (6)
- 被処理体を収容可能な収納容器を装置本体上に支持し、収納容器の蓋を移動させることで収納容器の開口を開放又は閉止するロードポート装置において、
前記蓋を保持すべく互いに離れた位置に第1位置規制部および第2位置規制部を設定された蓋保持手段と、
装置本体に設けられて前記第1位置規制部および第2位置規制部を案内する案内手段と、
前記第2位置規制部に対して当該第2位置規制部が案内される方向に駆動力を与える駆動手段と、を備え、
前記駆動手段により前記第2位置規制部に駆動力を与えることにより、この駆動力が第1位置規制部に伝わって、第1位置規制部および第2位置規制部がともに案内手段に案内されつつ、前記蓋保持手段が移動することで、前記収納容器の開口を開放する位置と閉止する位置との間で前記蓋の移動を行わせ得るように構成し、
前記蓋の前記開放する位置と前記閉止する位置との間の移動は、前記第1位置規制部よりも下側に位置する前記第2位置規制部を中心とした回転運動によることを特徴とするロードポート装置。 - 前記案内手段が、前記第1位置規制部を第1方向に沿って案内する第1案内部、及び、前記第1位置規制部及び第2位置規制部を前記第1方向とは異なる第2方向に沿って案内する第2案内部を備えるように構成したことを特徴とする請求項1記載のロードポート装置。
- 前記第2方向を略鉛直方向に設定するとともに、前記第1位置規制部及び第2位置規制部を前記収納容器の蓋よりも下方に配するようにしたことを特徴とする請求項2記載のロードポート装置。
- 前記駆動手段が、ねじ軸及びナットを含むボールねじ機構と、前記ねじ軸を回転させる回転手段とを備えることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のロードポート装置。
- 前記蓋の前記回転運動により、前記開口は上部側から開放されることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のロードポート装置。
- 前記第1位置規制部及び第2位置規制部が、蓋保持手段に回転自在に設けられたローラとして構成され、
前記案内手段が、前記ローラを内部で保持する溝状レールであることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のロードポート装置。
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