JP7106866B2 - Efem及びefemのガス置換方法 - Google Patents
Efem及びefemのガス置換方法 Download PDFInfo
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Description
装置開口を有するフレームと、
ウエハ搬送容器の蓋に着脱自在に係合し、前記蓋および前記装置開口を開閉するドアと、
前記ドアに接続する可動アーム部を有しており、前記ドアが前記装置開口を塞ぐ閉止位置と、前記ドアが前記装置開口を開放する開放位置との間で、前記可動アーム部を介して前記ドアを移動させるドア駆動部と、
前記ドアと前記可動アーム部との接続位置に設けられており、前記ドアの姿勢を調整するドア調整部と、を有する。
前記傾き調整機構は、前記ドアと前記可動アーム部との隙間の幅を調整可能なスペーサーと、前記スペーサーを貫通しており前記スペーサーを固定する傾き調整固定ネジと、を有してもよい。
前記中継プレートは、前記可動アームに対する前記ドアの相対位置移動をガイドするガイド部を有していてもよい。
いずれかの上述したロードポート装置を用いて、
前記ドア調整部を駆動して前記ドアの姿勢を調整する工程と、
前記閉止位置にある前記ドアと、前記ウエハ搬送容器の前記蓋とを係合させる工程と、
前記ドア駆動部によって前記ドアを前記開放位置に位置させ、前記ウエハ搬送容器の前記蓋を開放し、前記ウエハ搬送容器と前記装置開口とを連通させる工程と、
を行う。
図1および図2は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置10を表す部分断面図であり、図1は、ロードポート装置10において、ドア30が閉止位置P1にある状態を表しており、図2は、ドア30が開放位置P2にある状態を表している。ロードポート装置10は、たとえば半導体工場において、ウエハ搬送容器であるフープ70からウエハ74を取り出す際に、フープ70とミニエンバイロメント80とを接続するインターフェース装置として用いられ、内部にミニエンバイロメント80を形成するEFEM(イーフェム、Equipment Front End Module)の壁などに設置される。
15…載置台
20…フレーム
22…装置開口
30…ドア
30a…ドア内面
30b…ドア外面
30aa…ガイド溝
31…蓋係合部
32…重心位置
40…ドア駆動部
42…可動アーム部
46…上下移動機構
48…水平移動機構
50…ドア調整部
51…傾き調整機構
52、56…傾き調整ネジ
53…傾き調整固定ネジ
54…スペーサー
55…押さえネジ
61…位置調整機構
63…位置調整ネジ
63a…カム
63b…位置ネジ本体
66…中継プレート
66a…薄肉部
66aa…ネジ溝付き貫通孔
67…ガイド突起
68、69…固定ネジ
70…フープ
72…蓋
73…主開口
74…ウエハ
80…ミニエンバイロメント
82、83、84…連結ネジ
P1…閉止位置
P2…開放位置
C1…接続位置
G1…隙間
Claims (8)
- 装置開口を有するフレームと、
ウエハ搬送容器の蓋に着脱自在に係合し、前記蓋および前記装置開口を開閉するドアと、
前記ドアに接続する可動アーム部を有しており、前記ドアが前記装置開口を塞ぐ閉止位置と、前記ドアが前記装置開口を開放する開放位置との間で、前記可動アーム部を介して前記ドアを移動させるドア駆動部と、
前記ドアと前記可動アーム部との接続位置に設けられており、前記ドアの姿勢を調整するドア調整部と、を有し、
前記ドア調整部は、前記ドアの内面であるドア内面と前記可動アーム部に挟まれ、一方の端部は前記ドア内面に接触し、他方の端部と前記ドア内面との間には隙間が形成される中継プレートを有しており、
前記ドア調整部は、前記隙間の幅を調整することにより、前記ドアの傾きを調整する傾き調整機構を有するロードポート装置。 - 前記ドア調整部が設けられる前記接続位置は、前記ドア内面に配置されており、前記ドアの姿勢の調整は、作業者の操作により可能である請求項1に記載のロードポート装置。
- 前記ドア調整部が設けられる前記接続位置は、前記ドア内面のうち水平方向から見て前記ドアの重心位置と重なるように配置されている請求項2に記載のロードポート装置。
- 前記傾き調整機構は、前記閉止位置における前記ドアの傾きを調整する請求項1から請求項3までのいずれかに記載のロードポート装置。
- 前記傾き調整機構は、前記ドアと前記中継プレートとの隙間の幅を調整可能なスペーサーと、前記スペーサーを貫通しており前記スペーサーを固定する傾き調整固定ネジと、を有する請求項1から請求項4までのいずれかに記載のロードポート装置。
- 前記ドア調整部は、前記閉止位置における前記ドアの位置を調整する位置調整機構を有する請求項1から請求項5までのいずれかに記載のロードポート装置。
- 前記中継プレートは、前記可動アームに対する前記ドアの相対位置移動をガイドするガイド部を有する請求項1から請求項6までのいずれかに記載のロードポート装置。
- 請求項1から請求項7までのいずれかに記載のロードポート装置によるウエハ搬送容器の連結方法であって、
前記ドア調整部を駆動して前記ドアの姿勢を調整する工程と、
前記閉止位置にある前記ドアと、前記ウエハ搬送容器の前記蓋とを係合させる工程と、
前記ドア駆動部によって前記ドアを前記開放位置に位置させ、前記ウエハ搬送容器の前記蓋を開放し、前記ウエハ搬送容器と前記装置開口とを連通させる工程と、
を有するロードポート装置によるウエハ搬送容器の連結方法。
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JP2018002838A JP7106866B2 (ja) | 2018-01-11 | 2018-01-11 | Efem及びefemのガス置換方法 |
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JP2019121773A JP2019121773A (ja) | 2019-07-22 |
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JP2003133386A (ja) | 2001-10-22 | 2003-05-09 | Shinko Electric Co Ltd | 基板搬入出装置 |
JP2003303869A (ja) | 2002-04-05 | 2003-10-24 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 基板搬送装置における蓋部材開閉装置 |
JP2014236165A (ja) | 2013-06-04 | 2014-12-15 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート装置 |
JP2016164927A (ja) | 2015-03-06 | 2016-09-08 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ドア開閉装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6913243B1 (en) * | 2000-03-30 | 2005-07-05 | Lam Research Corporation | Unitary slot valve actuator with dual valves |
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2018
- 2018-01-11 JP JP2018002838A patent/JP7106866B2/ja active Active
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