JP6259346B2 - オゾン発生器 - Google Patents
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Description
サンプル1〜5について、原料ガスの供給流量を変化させた場合のオゾン発生量の変化を確認した。各サンプルにおける電極20の材質は、誘電体28がアルミナ、導体30が銅である。
先ず、オゾン発生量を確認するために、原料ガス12は、空気(絶対湿度:30g/m3)を使用した。ガス圧力は0.10MPaとした。
サンプル1は、図1に示すオゾン発生器10の第1電極対列24A及び第2電極対列24Bの列数を増やして、筐体14の中空部11における原料ガス12の流れの主方向を法線方向とする断面36の面積をAa、断面36のうち、放電空間ではない部分37の面積をAbとしたとき、その面積比(Ab/Aa)を0%とした。すなわち、放電空間ではない部分37が存在しない構成とした。また、中空部11の中心線Lcに最も近接する電極対列24の中心位置Ldから中空部の中心線までの距離Daは1mmである。
サンプル2、3及び4は、図1に示すオゾン発生器10の第1電極対列24A及び第2電極対列24Bの列数を増やして、上述した面積比(Ab/Aa)をそれぞれ20%、40%及び60%とした。
サンプル5は、図1に示すオゾン発生器10と同様の構成とした。すなわち、1つの第1電極対列24Aと1つの第2電極対列24Bとし、上述した面積比(Ab/Aa)を80%とした。
サンプル1〜5の評価結果を図12に示す。
サンプル6〜9について、原料ガスの供給流量を変化させた場合のオゾン発生量の変化を確認した。オゾン発生量の確認方法は上述した第1実施例と同様である。
サンプル6及び7は、図1に示すオゾン発生器10において、中空部11の中心線Lcから各電極対列24の中心位置Ldまでの距離Daが2mm及び5mmである。なお、中空部11の中心線Lcから筐体14の内壁までの距離Dbから距離Daを差し引いた値は、サンプル6が96mm、サンプル7が90mmである。
サンプル8及び9は、図5に示す第1変形例に係るオゾン発生器10aにおいて、上述した距離Daが7.5mm及び10mmである。
サンプル6〜9の評価結果を図13に示す。
12…原料ガス 14…筐体
14a…一方の内壁 14b…他方の内壁
16…電極対 20…電極
20a…第1電極 20b…第2電極
22…放電空間 24…電極対列
24A…第1電極対列 24B…第2電極対列
26…中空部(誘電体) 28…誘電体
28a…放電面 30…導体
32…原料ガス通過面 37…放電空間でない部分
36…断面 38a…原料ガスが通過する領域
38b…原料ガスがほとんど通過しない領域
39…放電空間とみなす部分
Dg…ギャップ長
Claims (15)
- 中空部を有する筐体の前記中空部内に2つの電極が所定のギャップ長を隔てて配置された複数の電極対が配置され、
前記電極対の少なくとも前記2つの電極間に原料ガスを通過させ、前記2つの電極間に放電を発生させることで、オゾンを発生させるオゾン発生器において、
前記2つの電極で挟まれた空間が放電空間であり、
前記複数の電極対が並列もしくは直列又は並列及び直列に配置され、
前記中空部における前記原料ガスの流れの主方向を法線方向とする任意の断面に、前記放電空間ではない部分が存在し、
前記放電空間を含む前記電極対が、前記断面によってその一部が仮想的に切断される場合に、
前記断面の面積をAa、前記断面の面積Aaから前記放電空間を含む電極対を前記断面に投影させた部分の面積を除いた面積をAbとしたとき、面積比(Ab/Aa)が20%以上であることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1記載のオゾン発生器において、
前記複数の電極対が直列又は並列及び直列に配置されていることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1又は2記載のオゾン発生器において、
前記面積比(Ab/Aa)が80%以上であることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
前記複数の電極対の80%(個数)以上が前記中空部の中心線から5mm以上外側に配置されていることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
前記複数の電極対の全てが前記中空部の中心線から5mm以上外側に配置されていることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
前記複数の電極対の80%(個数)以上が前記中空部の中心線から10mm以上外側に配置されていることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
前記複数の電極対の全てが前記中空部の中心線から10mm以上外側に配置されていることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
前記2つの電極のうち、いずれか一方の電極が前記原料ガスの上流側に配置され、他方の電極が前記原料ガスの下流側に配置され、
前記一方の電極から前記他方の電極に向かう方向が前記原料ガスの供給方向に対して傾いていることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項8記載のオゾン発生器において、
前記一方の電極から前記他方の電極に向かう方向と、前記原料ガスの供給方向とのなす角の絶対値が80°以下であることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項8記載のオゾン発生器において、
前記一方の電極から前記他方の電極に向かう方向と、前記原料ガスの供給方向とのなす角の絶対値が60°以下であることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項8〜10のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
前記一方の電極から前記他方の電極に向かう方向と、前記原料ガスの供給方向とのなす角の絶対値が10°以上であることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項8〜11のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
前記一方の電極から前記他方の電極に向かう方向と、前記原料ガスの供給方向とのなす角の絶対値が30°以上であることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1〜12のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
前記原料ガスが絶対湿度0〜50g/m3の大気であることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1〜13のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
前記ギャップ長が0.1mm以上1.0mm未満であることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1〜14のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
各前記電極は、中空部を有する筒状の誘電体と、該誘電体の前記中空部内に位置された導体とを有することを特徴とするオゾン発生器。
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