JP6223841B2 - オゾン発生器 - Google Patents
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Description
0.5<V/f/L
を満足することを特徴とする。
0.5<V/f/L ……(1)
1<V/f/L ……(2)
50>V/f/L ……(3)
20>V/f/L ……(4)
それぞれ原料ガス12の流量が異なるサンプル1〜3について、上述したV/f/Lを変化させたときのオゾン濃度の変化を確認した。
サンプル1は、図1〜図3に示す構造において、電極対16のギャップ長Dgが0.30mmである。原料ガス12の流量は350L/minである。
サンプル2は、原料ガス12の流量が275L/minである点以外はサンプル1と同じである。
サンプル3は、原料ガス12の流量が145L/minである点以外はサンプル1と同じである。
サンプル1〜3の評価結果を図8に示す。図8において横軸のV/f/Lは対数目盛である。
サンプル11〜16について、絶対湿度を変化させた場合のオゾン発生効率の変化を確認した。オゾン発生効率は、一定の投入電力、一定のガス流量下における排出ガス中のオゾン濃度とした。
オゾン発生効率を確認するために、原料ガス12は、空気を使用した。ガス流量は350L/minであり、ガス圧力は0.10MPaとした。
サンプル11は、図1及び図2に示す構造において、電極対16のギャップ長Dgが0.60mmである。
サンプル12、13、14及び15は、電極対16のギャップ長Dgがそれぞれ0.45mm、0.30mm、0.15mm、0.05mmである点以外はサンプル11と同じである。
サンプル16は、電極対16のギャップ長Dgが1.00mmである点以外はサンプル11と同じである。
サンプル11〜16の評価結果を図9に示す。
16…電極対 18…交流電源
20…電極 20a…一方の電極
20b…他方の電極 22…放電空間
24…原料ガス通過面 26…放電空間ではない部分
30…中空部 32…誘電体
34…導体 Dg…ギャップ長
Claims (9)
- 2つの電極が所定のギャップ長を隔てて配置された1以上の電極対と、前記2つの電極間に交流電圧を印加する電源とを有し、
前記電極対の少なくとも前記2つの電極間に原料ガスを通過させ、前記2つの電極間に放電を発生させることで、オゾンを発生させるオゾン発生器において、
前記2つの電極で挟まれた空間が放電空間であり、
前記放電空間を通過する前記原料ガスの流速をV(m/s)、前記交流電圧の周波数をf(Hz)、前記放電空間のうち、前記原料ガスの流れの主方向に沿った長さをL(m)としたとき、
0.5<V/f/L
を満足することを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1記載のオゾン発生器において、
1<V/f/L
を満足することを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1又は2記載のオゾン発生器において、
50>V/f/L
を満足することを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1又は2記載のオゾン発生器において、
20>V/f/L
を満足することを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
前記ギャップ長は0.2mm以上0.5mm未満であることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
前記原料ガスが大気であることを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
前記電極は、中空部を有する筒状の誘電体と、該誘電体の前記中空部内に位置された導体とを有することを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
複数の前記電極対が並列もしくは直列又は並列及び直列に配置され、
前記原料ガスの流れの主方向を法線方向とする原料ガス通過面に、前記放電空間ではない部分が存在することを特徴とするオゾン発生器。 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載のオゾン発生器において、
前記放電空間を通過する原料ガスの流量が380L/min以下であることを特徴とするオゾン発生器。
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