JP6242185B2 - 補正情報生成方法および補正情報生成装置 - Google Patents
補正情報生成方法および補正情報生成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6242185B2 JP6242185B2 JP2013242291A JP2013242291A JP6242185B2 JP 6242185 B2 JP6242185 B2 JP 6242185B2 JP 2013242291 A JP2013242291 A JP 2013242291A JP 2013242291 A JP2013242291 A JP 2013242291A JP 6242185 B2 JP6242185 B2 JP 6242185B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- detector
- correction information
- information generation
- correction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims description 112
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 38
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 34
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000003705 background correction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001454 recorded image Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
- G01N2223/303—Accessories, mechanical or electrical features calibrating, standardising
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Pulmonology (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
Description
図1は、X線回折装置100および補正情報生成装置200の構成を示すブロック図である。図2は、X線回折装置100の構成を示す斜視図である。図1、図2に示すように、X線回折装置100は、X線源110、試料台120、検出器130、照射機構140および駆動機構150を備えている。
補正情報生成装置200は、得られた一様照射の画像データを記録し、記録された画像データを用いて補正情報を作成しておき、検出器130に対するX線検出感度の一様性補正を行なう。図1に示すように、補正情報生成装置200は、例えばサーバで構成され、制御部210、画像記録部220、補正情報生成部230、補正情報記憶部240および補正部250を備えている。
上記のような構成を用いて、検出器130に対してX線検出感度の一様性補正を行なうことができる。図3は、一様性補正方法を示すフローチャートである。図3に示すように、まず、検出器130に対して検出面を横断するビーム断面形状のX線の照射を開始する(ステップS1)。このようなX線として、上記の例のように回折X線を用いることが好ましい。これにより、効率よく短時間での一様性補正の作業が可能になる。用いられるのは必ずしも回折X線に限られず、ダイレクトビームをスリットで制限したものでもよい。
上記のようなX線回折装置100を用いて、仮想的な一様照射の実験を行ない、一様性補正を行なうための補正情報を生成できることを確認した。まず、デバイ環に対して検出器130を移動させつつ、撮影されたX線を記録した。撮影は、一様性補正されたチップモジュールを備えた検出器130を一定速度で移動することで行なった。このようにして、全506画像を撮影した。図4は、それぞれ130枚目から60枚毎にデバイ環を検出した画像を示す図である。図中の濃度の薄さが各ピクセルのカウント数を示している。枚数に応じてリングの位置がy軸上でシフトしていることが分かる。
110 X線源
120 試料台
130 検出器
140 照射機構
150 駆動機構
200 補正情報生成装置
210 制御部
220 画像記録部
230 補正情報生成部
240 補正情報記憶部
250 補正部
Claims (7)
- エネルギーを識別できる波長依存性のあるピクセル検出器に対して任意のエネルギーに対するX線検出感度の一様性補正を行なうための補正情報生成方法であって、
任意のエネルギーのX線源を用いて形成された検出面を横断するビーム断面形状の任意のエネルギー帯の入射X線に対して、総時間で前記検出面の全体が前記入射X線により照射され、かつ移動方向に並ぶ各ピクセルが均等に照射されるように検出器の相対位置を移動させるステップと、
前記検出器側で必要な所定エネルギー帯のみ検出するステップと、
前記入射X線の所定エネルギー帯について検出された強度値をもとにピクセルの感度を補正するための情報を生成するステップと、を含むことを特徴とする補正情報生成方法。 - 前記入射X線は、回折線であり、
前記入射X線に対する前記検出器の相対的な移動方向は、前記回折線の回折角方向であることを特徴とする請求項1記載の補正情報生成方法。 - 前記入射X線は、デバイ環であることを特徴とする請求項2記載の補正情報生成方法。
- 前記移動方向に並ぶ各ピクセル間で一様な積算強度を照射されているという仮定で、前記ピクセルの感度を補正するための情報を生成することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の補正情報生成方法。
- 前記検出された強度値を球面補正し、前記検出面の全体について一様な積算強度を照射されているという仮定で前記ピクセルの感度を補正するための情報を生成することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の補正情報生成方法。
- 前記ピクセルの感度を補正するための情報は、前記ピクセル各々の補正係数で構成されるテーブルであることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の補正情報生成方法。
- エネルギーを識別できる波長依存性のあるピクセル検出器に対して任意のエネルギーに対するX線検出感度の一様性補正を行なうための補正情報生成装置であって、
任意のエネルギーのX線源を用いて形成された検出面を横断するビーム断面形状の任意のエネルギー帯の入射X線に対して、総時間で前記検出面の全体が前記入射X線により照射され、かつ移動方向に並ぶ各ピクセルが均等に照射されるように検出器の相対位置を移動させることで、前記検出器側で必要な所定エネルギー帯のみ検出し、前記入射X線の所定エネルギー帯について検出された強度値をもとにピクセルの感度を補正するための情報を生成する補正情報生成部を備えることを特徴とする補正情報生成装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013242291A JP6242185B2 (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | 補正情報生成方法および補正情報生成装置 |
US14/523,226 US9341583B2 (en) | 2013-11-22 | 2014-10-24 | Correction information generation method and correction information generation apparatus |
GB1419200.9A GB2521734B (en) | 2013-11-22 | 2014-10-29 | Correction information generation method and correction information generation apparatus |
DE102014223692.4A DE102014223692A1 (de) | 2013-11-22 | 2014-11-20 | Korrekturinformationserzeugungsverfahren und Korrekturinformationserzeugungsvorrichtung |
CN201410675937.9A CN104656120B (zh) | 2013-11-22 | 2014-11-21 | 校正信息生成方法以及校正信息生成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013242291A JP6242185B2 (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | 補正情報生成方法および補正情報生成装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015102397A JP2015102397A (ja) | 2015-06-04 |
JP2015102397A5 JP2015102397A5 (ja) | 2016-03-24 |
JP6242185B2 true JP6242185B2 (ja) | 2017-12-06 |
Family
ID=53045703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013242291A Active JP6242185B2 (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | 補正情報生成方法および補正情報生成装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9341583B2 (ja) |
JP (1) | JP6242185B2 (ja) |
CN (1) | CN104656120B (ja) |
DE (1) | DE102014223692A1 (ja) |
GB (1) | GB2521734B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10295484B2 (en) * | 2017-04-05 | 2019-05-21 | Bruker Axs, Inc. | Method and apparatus for extending angular coverage for a scanning two-dimensional X-ray detector |
JP6775777B2 (ja) * | 2017-08-29 | 2020-10-28 | 株式会社リガク | X線回折測定における測定結果の表示方法 |
JP6860463B2 (ja) * | 2017-10-03 | 2021-04-14 | 国立大学法人東海国立大学機構 | 繊維配向度の測定方法、繊維配向度測定装置、および繊維配向度測定装置の制御プログラム |
GB2585673B (en) | 2019-07-10 | 2022-05-04 | The Nottingham Trent Univ | A sample inspection system |
JP7300718B2 (ja) * | 2019-12-13 | 2023-06-30 | 株式会社リガク | 制御装置、システム、方法およびプログラム |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6431042A (en) * | 1987-07-27 | 1989-02-01 | Shimadzu Corp | X-ray deffraction method |
JPH01265146A (ja) * | 1988-04-16 | 1989-10-23 | Mc Sci:Kk | X線回折装置 |
JPH04138325A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Shimadzu Corp | アレイ検出器の感度補正装置 |
US6118846A (en) * | 1999-02-23 | 2000-09-12 | Direct Radiography Corp. | Bad pixel column processing in a radiation detection panel |
US6350985B1 (en) | 1999-04-26 | 2002-02-26 | Direct Radiography Corp. | Method for calculating gain correction factors in a digital imaging system |
JP2002098656A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-05 | Kawasaki Steel Corp | めっき層に含まれる金属相の付着量のオンライン測定方法および装置 |
JP2002250704A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-06 | Rigaku Corp | X線測定装置及びx線測定方法 |
US6995347B2 (en) * | 2002-09-25 | 2006-02-07 | Agfa-Gevaert N. V. | Shading correction method and apparatus |
JP4008328B2 (ja) * | 2002-09-30 | 2007-11-14 | 富士フイルム株式会社 | 放射線画像情報読取方法および装置 |
JP2004191789A (ja) * | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Foundation For Advancement Of International Science | 物質構造解析用画像情報収集装置 |
US7433507B2 (en) * | 2003-07-03 | 2008-10-07 | Ge Medical Systems Global Technology Co. | Imaging chain for digital tomosynthesis on a flat panel detector |
DE102004025121A1 (de) | 2004-05-21 | 2005-12-15 | Bruker Axs Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Röntgenanalysegeräts mit zweidimensionalem Array-Detektor und Röntgenanalysegerät zum Durchführen des Verfahrens |
US9609243B2 (en) * | 2007-05-25 | 2017-03-28 | Uti Limited Partnership | Systems and methods for providing low-noise readout of an optical sensor |
US8642978B2 (en) * | 2008-05-22 | 2014-02-04 | Vladimir Balakin | Charged particle cancer therapy dose distribution method and apparatus |
JP2010038722A (ja) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Rigaku Corp | X線回折装置およびx線回折方法 |
US8855265B2 (en) * | 2009-06-16 | 2014-10-07 | Koninklijke Philips N.V. | Correction method for differential phase contrast imaging |
US8687766B2 (en) * | 2010-07-13 | 2014-04-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Enhancing accuracy of fast high-resolution X-ray diffractometry |
JP5475737B2 (ja) * | 2011-10-04 | 2014-04-16 | 富士フイルム株式会社 | 放射線撮影装置及び画像処理方法 |
-
2013
- 2013-11-22 JP JP2013242291A patent/JP6242185B2/ja active Active
-
2014
- 2014-10-24 US US14/523,226 patent/US9341583B2/en active Active
- 2014-10-29 GB GB1419200.9A patent/GB2521734B/en not_active Expired - Fee Related
- 2014-11-20 DE DE102014223692.4A patent/DE102014223692A1/de active Pending
- 2014-11-21 CN CN201410675937.9A patent/CN104656120B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150146960A1 (en) | 2015-05-28 |
GB2521734B (en) | 2017-01-18 |
JP2015102397A (ja) | 2015-06-04 |
GB201419200D0 (en) | 2014-12-10 |
CN104656120A (zh) | 2015-05-27 |
CN104656120B (zh) | 2018-03-23 |
US9341583B2 (en) | 2016-05-17 |
GB2521734A (en) | 2015-07-01 |
DE102014223692A1 (de) | 2015-05-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6242185B2 (ja) | 補正情報生成方法および補正情報生成装置 | |
JP4840446B2 (ja) | 放射線撮像装置 | |
JP5695595B2 (ja) | X線測定装置 | |
US9291726B2 (en) | System and method for correction of geometric distortion of multi-camera flat panel X-ray detectors | |
JP2000321221A (ja) | Ctシステムで投影データを作成する方法およびシステム | |
JP5944254B2 (ja) | 放射線画像取得装置 | |
US10732302B2 (en) | Radiation grating detector and X-ray inspection apparatus | |
JP5537190B2 (ja) | シェーディング補正装置および方法並びにプログラム | |
JP2006184267A (ja) | X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム | |
JP2009097937A (ja) | 試料分析装置、試料分析方法および試料分析プログラム | |
JP2009156788A5 (ja) | X線検査装置 | |
JP2005536745A (ja) | 薄膜厚さのマッピングのための方法および装置 | |
JP2004037267A (ja) | コンピュータ断層撮影装置 | |
JP4909154B2 (ja) | 結晶粒の極点図測定方法およびその装置 | |
KR20180111428A (ko) | X선 검사 장치 | |
JP6783702B2 (ja) | X線断層撮影装置 | |
JP6763526B2 (ja) | 非破壊検査装置、及び、非破壊検査方法 | |
JP6671413B2 (ja) | 放射線画像取得装置 | |
JP4926734B2 (ja) | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム | |
JP6768622B2 (ja) | 検査方法および検査装置 | |
WO2024117099A1 (ja) | 検査装置 | |
JP4823125B2 (ja) | X線結晶方位測定装置及びx線結晶方位測定方法 | |
WO2013051647A1 (ja) | 放射線撮影装置及び画像処理方法 | |
JP6345720B2 (ja) | 放射線画像取得装置および放射線画像取得装置の調整方法 | |
JPH11128217A (ja) | X線撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160127 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161018 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170523 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170721 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171024 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6242185 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
SG99 | Written request for registration of restore |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316G99 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
SG99 | Written request for registration of restore |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316G99 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S803 | Written request for registration of cancellation of provisional registration |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316805 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S803 | Written request for registration of cancellation of provisional registration |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316805 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |