JP2009156788A5 - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Claims (6)

1. 対象物の検査対象領域を透過したＸ線を複数の検出面で受光することにより、前記検査対象領域の像の再構成処理を実行するためのＸ線検査装置であって、
   前記複数の検出面で撮像するための複数のＸ線検出器と、
   各前記Ｘ線検出器を所定の１軸方向に沿って移動させる検出器駆動手段と、
   前記検査対象領域を透過したＸ線が、それぞれ複数の撮像位置に移動した前記複数のＸ線検出器に入射するように対応させてＸ線を出力するＸ線出力手段と、
   前記Ｘ線検査装置の動作の制御を行う制御手段とを備え、
   前記制御手段は、
   各前記Ｘ線検出器の露光タイミングと、前記検出器駆動手段とを制御する画像取得制御手段と、
   前記Ｘ線出力手段を制御するためのＸ線出力制御手段と、
   複数の前記検出面で検出した、前記検査対象領域を透過したＸ線の強度分布のデータに基づき、前記検査対象領域の像データを再構成する画像再構成処理手段とを含む、Ｘ線検査装置。
2. 前記検出器駆動手段は、前記複数のＸ線検出器を所定の平面内で平行に移動させる、請求項１記載のＸ線検査装置。
3. 前記Ｘ線出力制御手段は、
   前記複数の検出面について、前記Ｘ線が前記検査対象領域を透過して各前記検出面に対して入射するように前記Ｘ線の放射の起点位置の各々を設定する起点設定手段を含み、
   前記Ｘ線出力手段は、各前記起点位置にＸ線源のＸ線焦点位置を移動させて、前記Ｘ線を発生させる、請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
4. 前記Ｘ線出力手段は、前記撮像位置に配置されている複数のＸ線検出器のうち同時に露光状態となっている複数のＸ線検出器に対して、それぞれ対応する複数のＸ線焦点位置からＸ線を発生させ、
   前記Ｘ線出力手段からのＸ線が、前記同時に露光状態となっているＸ線検出器のそれぞれに対して、対応するＸ線焦点位置から前記検査対象領域を透過して各前記検出面に対して入射するＸ線は透過する一方、対応しないＸ線焦点位置からのＸ線は遮蔽する遮蔽部材とをさらに備える、請求項１記載のＸ線検査装置。
5. 前記Ｘ線出力手段は、Ｘ線源の連続面であるターゲット面上に照射する電子ビームを偏向させることで前記Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させ、
   前記Ｘ線出力制御手段は、
   前記同時に露光状態となっているＸ線検出器のそれぞれに対して、前記Ｘ線が時分割で入射するように、前記Ｘ線出力手段を制御する、請求項１に記載のＸ線検査装置。
6. 前記画像再構成処理手段は、反復的手法により前記検査対象領域の画像データを再構成する、請求項２に記載のＸ線検査装置。