JP6240229B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
成し、互いに逆方向にのみ同期回転する。
0は、ポンプロータ312,412同士を接触することなしに、ポンプロータ312,412を同期反転させることができる。
112,212 永久磁石
120,220 固定子ヨーク
122 電機子
124 電機子鉄芯
126 巻線
130 モータフレーム
200 駆動モータ部
300,400 ポンプロータ部
310,410 ポンプ主軸
312,412 ポンプロータ
380,480 ギヤ
500 ポンプ室
600 モータ室
1000 真空ポンプ
G1,G2 クリアランス
S1,S2 クリアランス
Claims (8)
- 対向して配置された一対の軸と、
前記一対の軸に設けられた一対のポンプロータと、
前記一対の軸に設けられ、磁石の異磁極を対向させて直接磁気カップリングを形成する一対のモータロータと、
前記一対の軸に設けられ、前記一対のポンプロータの同期をとるための一対のギヤと、
を備え、
前記一対のギヤは、相互に非接触となるように前記一対のギヤの歯間のクリアランスが設定されており、
前記一対のギヤの歯間のクリアランスは、前記一対のポンプロータ間のクリアランスより小さく設定される、
真空ポンプ。 - 請求項1の真空ポンプにおいて、
前記一対のモータロータの外周に配置された電機子をさらに備え、
前記電機子は、前記一対のモータロータの外周に所定の間隙を保って楕円状に配置される、
真空ポンプ。 - 請求項1又は2の真空ポンプにおいて、
前記一対のギヤは、潤滑剤が充填されていない空間に配置される、
真空ポンプ。 - 請求項3の真空ポンプにおいて、
前記一対のギヤは、前記一対のポンプロータが配置されるポンプ室内に配置される、
真空ポンプ。 - 請求項3の真空ポンプにおいて、
前記一対のギヤは、前記一対のモータロータが配置されるモータ室内に配置される、
真空ポンプ。 - 請求項1〜5のいずれか1項の真空ポンプにおいて、
前記一対のギヤの少なくとも一方は、自己潤滑性のある材料で形成される、
真空ポンプ。 - 請求項1〜5のいずれか1項の真空ポンプにおいて、
前記一対のギヤの少なくとも一方は、樹脂で形成される、
真空ポンプ。 - 請求項1〜5のいずれか1項の真空ポンプにおいて、
前記一対のギヤの少なくとも一方は、表面に潤滑剤がコーティングされている、
真空ポンプ。
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