JP6237978B2 - 静電容量型センサ、音響センサ及びマイクロフォン - Google Patents
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Description
以下、図4−6を参照して本発明の実施形態1による音響センサの構造を説明する。図4は、本発明の実施形態1による音響センサ11の分解斜視図である。図5は、音響センサ11の断面図であって、併せてその一部を拡大して表している。図6Aは、バックプレート18を除いた音響センサ11の平面図であって、シリコン基板12(基板)の上方でダイアフラム13(振動電極板)と固定電極板19が重なった様子を表している。図6Bは、バックプレート18と固定電極板19を除いた音響センサ11の平面図であって、シリコン基板12の上面におけるダイアフラム13の配置を表している。
音響センサ11においては、音響振動がチャンバ15(フロントチャンバ)に入ると、薄膜である各ダイアフラム13a、13bが音響振動によって同じ位相で振動する。各ダイアフラム13a、13bが振動すると、各音響センシング部23a、23bの静電容量が変化する。この結果、第1音響センシング部23aにおいては、第1ダイアフラム13aが感知している音響振動(音圧の変化)が第1ダイアフラム13aと固定電極板19の間の静電容量の変化となり、電気的な信号として出力される。また、第2音響センシング部23bにおいては、第2ダイアフラム13bが感知している音響振動(音圧の変化)が第2ダイアフラム13bとシリコン基板12の導電層21の間の静電容量の変化となり、電気的な信号として出力される。また、異なる使用形態、すなわちチャンバ15をバックチャンバとする使用形態の場合には、音響振動がアコースティックホール24を通過して天蓋部14内のエアギャップ20に入り、薄膜である各ダイアフラム13a、13bを振動させる。
図8Aは、実施形態1の音響センサ11を内蔵したマイクロフォン41の一部破断した平面図であって、カバー43の上面を除去して内部を表している。図8Bは、当該マイクロフォン41の縦断面図である。
上記実施形態1では、ダイアフラム13はコーナー部に設けた脚片26をアンカー16で支持しているが、ダイアフラム13の支持構造は図14A、図14B及び図15に示すように種々の形態が考えられる。
また、シリコン基板12の表面の導電層21は、図16に示すように、シリコン基板12の上面で金属薄膜をパターニングすることにより形成された基板電極であってもよい。このような変形例では、金属薄膜のパターニング領域によって導電層21の面積が決まるので、導電層21の面積のばらつきが小さくなる。
図17は、本発明の実施形態2による音響センサ71の、バックプレートを除いた状態での概略平面図である。この実施形態では、第1ダイアフラム13aと、各辺の4つの第2ダイアフラム13bとがスリット17によって互いに完全に分離されている。そして、第1ダイアフラム13aは、第1ダイアフラム13aから引き出された引出配線27aにより、バックプレート上の電極パッド31aに接続されている。また、4つの第2ダイアフラム13bは、それぞれ引出配線27bが引き出されており、各引出配線27bは配線72によってバックプレート上の電極パッド31bに接続されている。
図18は、本発明の実施形態3による音響センサ74の、バックプレートを除いた状態での概略平面図である。この実施形態では、第1ダイアフラム13aと第2ダイアフラム13bとがスリット17によって互いに完全に分離されている。一方、各辺の第2ダイアフラム13bどうしはダイアフラム13のコーナー部分において機械的にも電気的にもつながっている。そして、第1ダイアフラム13aは、第1ダイアフラム13aから引き出された引出配線27aにより、バックプレート上の電極パッド31aに接続されている。また、第2ダイアフラム13bは、第2ダイアフラム13bから引き出された引出配線27bにより、バックプレート上の電極パッド31bに接続されている。
図19は、本発明の実施形態4による音響センサ76の、バックプレートを除いた状態での概略平面図である。この実施形態では、第1ダイアフラム13aと、各辺の4つの第2ダイアフラム13bとがスリット17によって互いに完全に分離されている。4つの第2ダイアフラム13bのうちのいずれか2つの第2ダイアフラム13ba、13bbは、一方の第2ダイアフラム13bbの面積が他方の第2ダイアフラム13baの面積よりも大きくなっている。しかして、第1ダイアフラム13aと固定電極板19の間の静電容量によって小音量(高感度)用の第1音響センシング部23a(第1センシング部)が構成されている。また、第2ダイアフラム13bbとシリコン基板12の上面の間の静電容量によって中音量(中感度)用の第2音響センシング部23c(第2センシング部)が構成され、第2ダイアフラム13baとシリコン基板12の上面の間の静電容量によって大音量(低感度)用の第2音響センシング部23b(第2センシング部)が構成されている。そして、第1ダイアフラム13aは、第1ダイアフラム13aから引き出された引出配線27aにより、バックプレート上の電極パッド31aに接続されている。第2ダイアフラム13bbは、引出配線27bbによってバックプレート上の電極パッド31bbに接続されている。第2ダイアフラム13baは、引出配線27baによってバックプレート上の電極パッド31baに接続されている。また、固定電極板19は、引出配線28によってバックプレート上の電極パッド32に接続され、シリコン基板12の上面(導電層21)は電極パッド33に接続されている。
図20は、本発明の実施形態5による音響センサ81の、バックプレートを除いた状態での概略平面図である。この実施形態では、円形のダイアフラム13をスリット17によって外周側に位置する円弧状の第2ダイアフラム13bと、その内側に位置する円形状の第1ダイアフラム13aに分割している。また、バックチャンバの下面には、第1ダイアフラム13aと対向させるようにして固定電極板19が形成されている。
12 シリコン基板
13 ダイアフラム
13a 第1ダイアフラム
13b 第2ダイアフラム
15 チャンバ
16、82 アンカー
17 スリット
18 バックプレート
19 固定電極板
21 導電層
23a 第1音響センシング部
23b 第2音響センシング部
24 アコースティックホール
41 マイクロフォン
44 信号処理回路
45 音導入孔
59 位相反転用回路
Claims (13)
- 少なくとも上面で開口した空洞を有する基板と、
前記空洞の上面を覆うようにして前記基板の上方に形成された振動電極板と、
前記振動電極板を覆うようにして前記基板の上方に形成されたバックプレートと、
前記バックプレートに設けた固定電極板とを備えた静電容量型センサにおいて、
前記振動電極板は、前記空洞の上方に位置する領域と前記基板の上面の上方に位置する領域に分割されており、
前記振動電極板の前記空洞の上方に位置する領域と前記固定電極板によって第1センシング部が形成され、
前記基板の上面は導電化処理され、
前記振動電極板の前記基板の上面の上方に位置する領域と前記基板の上面によって第2センシング部が形成されていることを特徴とする静電容量型センサ。 - 前記振動電極板は、前記振動電極板に形成したスリットによって、前記第1センシング部を構成する領域と前記第2センシング部を構成する領域に分割されていることを特徴とする、請求項1に記載の静電容量型センサ。
- 前記固定電極板は、前記基板の上方から見て、前記振動電極板の前記第2センシング部を構成する領域と重なり合わない位置に形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の静電容量型センサ。
- 前記振動電極板は、前記空洞の上面開口の縁よりも前記空洞の内側へずれた位置で、前記第1センシング部を構成する領域と前記第2センシング部を構成する領域に分割されていることを特徴とする、請求項1に記載の静電容量型センサ。
- 前記基板の上面は、イオン注入によって導電化処理されていることを特徴とする、請求項1に記載の静電容量型センサ。
- 前記基板の上面は、前記振動電極板の前記第2センシング部を構成する領域と対向させて基板電極を形成することによって導電化処理されていることを特徴とする、請求項1に記載の静電容量型センサ。
- 前記振動電極板の、前記第1センシング部を構成する領域と前記第2センシング部を構成する領域とが、部分的に連続していることを特徴とする、請求項1に記載の静電容量型センサ。
- 前記振動電極板の前記第2センシング部を構成する領域は、基板の上面に設けられた固定部によって外周縁下面を支持されていることを特徴とする、請求項1に記載の静電容量型センサ。
- 前記振動電極板の前記第2センシング部を構成する領域の面積は、前記振動電極板の前記第1センシング部を構成する領域の面積よりも小さいことを特徴とする、請求項1に記載の静電容量型センサ。
- 前記振動電極板の前記第2センシング部を構成する領域は、比較的面積の大きな領域と比較的面積の小さな領域にさらに分割されていることを特徴とする、請求項1に記載の静電容量型センサ。
- 請求項1から10のうちいずれか1項に記載の静電容量型センサを利用した音響センサであって、
前記バックプレート及び前記固定電極板には、音響振動を通過させるための複数個の孔が形成され、
前記第1センシング部と前記第2センシングからそれぞれ感度の異なる信号を出力することを特徴とする音響センサ。 - 請求項11に記載の音響センサと、前記音響センサからの信号を増幅して外部に出力する回路部とを備えたマイクロフォン。
- 前記回路部は、前記第1センシング部の出力信号又は前記第2センシング部の出力信号のうちいずれか一方の出力信号の位相を反転させる位相反転用回路を備えていることを特徴とする、請求項12に記載のマイクロフォン。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019111607A (ja) * | 2017-12-22 | 2019-07-11 | 旭化成株式会社 | 中空構造素子及びその製造方法 |
JP2019164128A (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-26 | 旭化成株式会社 | 表面応力センサ及びその製造方法 |
US11573137B2 (en) | 2017-09-20 | 2023-02-07 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Surface stress sensor, hollow structural element, and method for manufacturing same |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9021887B2 (en) * | 2011-12-19 | 2015-05-05 | Infineon Technologies Ag | Micromechanical semiconductor sensing device |
US20150296307A1 (en) * | 2014-04-10 | 2015-10-15 | Knowles Electronics, Llc. | Dual diaphragm and dual back plate acoustic apparatus |
TWI541490B (zh) * | 2014-06-20 | 2016-07-11 | 國立清華大學 | 高動態範圍感測裝置及其感測方法 |
KR101601120B1 (ko) * | 2014-10-17 | 2016-03-08 | 현대자동차주식회사 | 마이크로폰 및 그 제조 방법 |
CN204408625U (zh) * | 2015-01-21 | 2015-06-17 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | Mems麦克风 |
CN107211222B (zh) * | 2015-01-26 | 2020-03-24 | 思睿逻辑国际半导体有限公司 | Mems换能器 |
JP6701825B2 (ja) * | 2016-03-10 | 2020-05-27 | オムロン株式会社 | 静電容量型トランスデューサ及び音響センサ |
KR101724506B1 (ko) * | 2016-05-11 | 2017-04-07 | 현대자동차 주식회사 | 고감도 마이크로폰 |
WO2018002567A1 (en) * | 2016-06-30 | 2018-01-04 | Cirrus Logic International Semiconductor Limited | Mems device and process |
TWI694965B (zh) * | 2016-06-30 | 2020-06-01 | 英國商席瑞斯邏輯國際半導體有限公司 | Mems裝置與製程 |
JP6809008B2 (ja) * | 2016-07-08 | 2021-01-06 | オムロン株式会社 | Mems構造及び、mems構造を有する静電容量型センサ、圧電型センサ、音響センサ |
JP7143056B2 (ja) * | 2016-12-08 | 2022-09-28 | Mmiセミコンダクター株式会社 | 静電容量型トランスデューサシステム、静電容量型トランスデューサ及び、音響センサ |
US20210345054A1 (en) * | 2016-12-29 | 2021-11-04 | Gmems Tech Shenzhen Limited | Process of fabricating capacitive microphone comprising movable composite conductor and stationary single conductor |
US11765533B2 (en) * | 2016-12-29 | 2023-09-19 | Gmems Tech Shenzhen Limited | Capacitive microphone with two signal outputs that are additive inverse of each other |
US20210337333A1 (en) * | 2016-12-29 | 2021-10-28 | Gmems Tech Shenzhen Limited | Process of fabricating capacitive microphone comprising moveable single conductor and stationary composite conductor |
US10798508B2 (en) * | 2016-12-29 | 2020-10-06 | Gmems Tech Shenzhen Limited | Process of fabricating lateral mode capacitive microphone |
US11765534B2 (en) * | 2016-12-29 | 2023-09-19 | Gmems Tech Shenzhen Limited | Capacitive microphone with two signal outputs that are additive inverse of each other |
US20210314718A1 (en) * | 2016-12-29 | 2021-10-07 | Gmems Tech Shenzhen Limited | Process of fabricating lateral mode capacitive microphone including a capacitor plate with sandwich structure |
US11601763B2 (en) * | 2016-12-29 | 2023-03-07 | Gmems Tech Shenzhen Limited | Lateral mode capacitive microphone including a capacitor plate with sandwich structure for ultra high performance |
CN206533541U (zh) * | 2017-01-25 | 2017-09-29 | 歌尔股份有限公司 | 一种mems麦克风 |
KR102212575B1 (ko) * | 2017-02-02 | 2021-02-04 | 현대자동차 주식회사 | 마이크로폰 및 그 제조 방법 |
CN107484051B (zh) * | 2017-09-29 | 2021-04-09 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | Mems麦克风 |
JP7067891B2 (ja) * | 2017-10-18 | 2022-05-16 | Mmiセミコンダクター株式会社 | トランスデューサ |
CN108234727B (zh) * | 2017-11-29 | 2020-04-10 | 维沃移动通信有限公司 | 一种降噪方法、移动终端及计算机可读存储介质 |
CN109086024B (zh) * | 2018-07-09 | 2021-09-14 | Oppo广东移动通信有限公司 | 屏幕发声方法、装置、电子装置及存储介质 |
CN109052309A (zh) * | 2018-07-25 | 2018-12-21 | 七色堇电子科技(上海)有限公司 | 一种半导体器件及其制备方法和包含其的电子装置 |
US10771891B2 (en) * | 2018-08-19 | 2020-09-08 | xMEMS Labs, Inc. | Method for manufacturing air pulse generating element |
JP2020036214A (ja) * | 2018-08-30 | 2020-03-05 | Tdk株式会社 | Memsマイクロフォン |
JP7196798B2 (ja) * | 2019-08-09 | 2022-12-27 | 株式会社Soken | 超音波センサ |
TWI762305B (zh) * | 2020-09-08 | 2022-04-21 | 阿比特電子科技股份有限公司 | 微機電系統聲學感測器、微機電系統封裝結構及其製造方法 |
KR20230158478A (ko) * | 2021-03-23 | 2023-11-20 | 니신보 마이크로 디바이즈 인크. | Mems 소자 및 그 제조 방법 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007024909A1 (en) | 2005-08-23 | 2007-03-01 | Analog Devices, Inc. | Multi-microphone system |
ATE471635T1 (de) * | 2006-03-30 | 2010-07-15 | Sonion Mems As | Akustischer einchip-mems-wandler und herstellungsverfahren |
US20080205668A1 (en) | 2007-02-26 | 2008-08-28 | Yamaha Corporation | Sensitive silicon microphone with wide dynamic range |
CN101355828B (zh) * | 2007-07-27 | 2012-05-02 | 苏州敏芯微电子技术有限公司 | 基于soi硅片的集成电路与电容式微硅麦克风的单片集成方法及芯片 |
CN101540945A (zh) * | 2008-03-18 | 2009-09-23 | 松下电器产业株式会社 | 传声器及其制造方法 |
US8223981B2 (en) * | 2008-05-23 | 2012-07-17 | Analog Devices, Inc. | Wide dynamic range microphone |
US8233637B2 (en) * | 2009-01-20 | 2012-07-31 | Nokia Corporation | Multi-membrane microphone for high-amplitude audio capture |
JP5083369B2 (ja) * | 2010-04-28 | 2012-11-28 | オムロン株式会社 | 音響センサ及びその製造方法 |
JP5872163B2 (ja) | 2011-01-07 | 2016-03-01 | オムロン株式会社 | 音響トランスデューサ、および該音響トランスデューサを利用したマイクロフォン |
US20120288130A1 (en) | 2011-05-11 | 2012-11-15 | Infineon Technologies Ag | Microphone Arrangement |
CN202488705U (zh) * | 2012-01-20 | 2012-10-10 | 缪建民 | 一种采用共晶键合与soi硅片的mems硅麦克风 |
-
2013
- 2013-03-13 JP JP2013050709A patent/JP6237978B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11573137B2 (en) | 2017-09-20 | 2023-02-07 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Surface stress sensor, hollow structural element, and method for manufacturing same |
JP2019111607A (ja) * | 2017-12-22 | 2019-07-11 | 旭化成株式会社 | 中空構造素子及びその製造方法 |
JP2019164128A (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-26 | 旭化成株式会社 | 表面応力センサ及びその製造方法 |
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