JP6219904B2 - 半導体ウェハを個片化するためのレーザファイバアレイ - Google Patents
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Description
11 ウェハプラットホーム
12 半導体チップ
14 切断線
14’ 長手方向中心軸
20、20’ レーザビームアレイ
24 光ファイバ
26 レンズアセンブリ
32 イメージコントローラ
40 固定具
42 溝
44 カバー
46、50 レーザ源
48 光ファイバ結合アセンブリ
49 ビームスプリッタ
51 ミラー
56 二色性ビームスプリッタ
58 レーザスポットのアレイ
60 レーザスポット
62 テスト用要素グループ(TEG)
C1〜C5 制御システムのコントローラ
D1、D2 軸
L1〜L5 レーザ
Claims (13)
- 基板を切断するための装置であって、該装置が、
第1及び第2のレーザと、
第1及び第2の光ファイバであって、それぞれが、入力端と、該入力端に対向する出力端と、を有し、前記第1及び第2の光ファイバの前記入力端が、前記第1及び第2のレーザにそれぞれ接続されている、第1及び第2の光ファイバと、
1つ以上のさらなるレーザ及び該1つ以上のさらなるレーザにそれぞれ接続された入力端を有する1つ以上の光ファイバであって、結合した複数の前記光ファイバからの出力が前記基板の切断線に沿ったレーザスポットの水平アレイを形成するように設けられた、前記1つ以上のさらなるレーザ及び前記1つ以上の光ファイバと、
前記第1及び第2のレーザのうちの一方のレーザの作動が他方のレーザから独立であるように、選択的に活性化するか又は非活性化するように前記レーザそれぞれを作動可能である制御システムと、
を備え、
前記第1及び第2の光ファイバの前記出力端、及び前記1つ以上のさらなる光ファイバの出力端は、前記基板に対して可動であるとともに、前記基板の切断のために第1のレーザビーム、第2のレーザビーム、及び1つ以上のさらなるレーザビームを前記基板上に同時に結像させるように構成されており、かつ前記装置が使用中に前記基板の端縁を越えて延在する前記水平アレイのレーザスポットを消すように動作可能であることを特徴とする、装置。 - 前記制御システムは、レーザの作動が互いに独立した状態で使用される作動パラメータを制御するための、レーザそれぞれに結合した別々のレーザコントローラを含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記第1及び第2のレーザから出力される前記レーザビームは、合流して、レンズアセンブリを介して前記基板上の異なる点に同時に焦点を結ぶことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記第1のレーザは、前記第2のレーザによって生成されたのとは異なる波長又は異なる周波数のレーザビームを生成することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記第1のレーザは赤外線レーザであり、前記第2のレーザは紫外線レーザであることを特徴とする請求項4に記載の装置。
- 前記基板上に前記レーザから生成されたレーザビームを結像させるための二波長の反射防止コーティングを有する対物レンズアセンブリをさらに備えることを特徴とする請求項4に記載の装置。
- 前記複数の光ファイバからの結合した出力が、前記基板上に直線的なレーザスポットのアレイを形成することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記第1のレーザは、前記第2のレーザと同じタイプのレーザを備えることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記第1及び第2のレーザは、DPSSq−スイッチレーザであることを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 前記第1及び/又は第2のレーザは、複数の分けられたレーザビームにさらに分割され、前記複数の分けられたレーザビームは、別々の光ファイバに結合させられることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 少なくともビームスプリッタとミラーとを備える光ファイバ結合アセンブリをさらに備え、前記別々の光ファイバのそれぞれが、前記複数の分けられたレーザビームのそれぞれを受け取るための前記光ファイバ結合アセンブリに取り付けられていることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記光ファイバの出力端が、前記光ファイバの出力端のそれぞれに対する相対的位置を固定するために固定される固定具をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記固定具は、略平面方向に配置された複数の溝と、前記光ファイバの前記出力端を前記溝の中に固定して、前記光ファイバのさらなる相対的な動きを防止するように構成されたカバーと、を含むことを特徴とする請求項12に記載の装置。
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IT201700041997A1 (it) * | 2017-04-14 | 2018-10-14 | Automotive Lighting Italia Spa | Attrezzatura di saldatura laser simultanea di un fanale automobilistico e metodo di saldatura laser simultanea di un fanale automobilistico |
US10707130B2 (en) * | 2018-03-05 | 2020-07-07 | The Chinese University Of Hong Kong | Systems and methods for dicing samples using a bessel beam matrix |
DE102020123789A1 (de) * | 2020-09-11 | 2022-03-17 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Verfahren zum Trennen eines Werkstücks |
DE102020123790A1 (de) * | 2020-09-11 | 2022-03-17 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Verfahren zum Trennen eines Werkstücks |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5693043A (en) * | 1985-03-22 | 1997-12-02 | Massachusetts Institute Of Technology | Catheter for laser angiosurgery |
US4694153A (en) * | 1985-10-29 | 1987-09-15 | California Institute Of Technology | Linear array optical edge sensor |
US5272309A (en) * | 1990-08-01 | 1993-12-21 | Microelectronics And Computer Technology Corporation | Bonding metal members with multiple laser beams |
JPH05104276A (ja) | 1991-10-16 | 1993-04-27 | Toshiba Corp | レーザ加工装置およびレーザによる加工方法 |
JPH06106377A (ja) | 1992-09-30 | 1994-04-19 | Matsushita Electric Works Ltd | レーザ加工用エネルギー分割装置 |
US5430816A (en) * | 1992-10-27 | 1995-07-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Multiple split-beam laser processing apparatus generating an array of focused beams |
DE19513354A1 (de) * | 1994-04-14 | 1995-12-14 | Zeiss Carl | Materialbearbeitungseinrichtung |
US6037564A (en) * | 1998-03-31 | 2000-03-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for scanning a beam and an apparatus therefor |
JP2000317661A (ja) | 1999-05-07 | 2000-11-21 | Hitachi Engineering & Services Co Ltd | レーザビームによる切断方法および装置並びに原子炉廃炉を解体するときの黒鉛ブロックの切断方法 |
JP2000323381A (ja) | 1999-05-07 | 2000-11-24 | Nikon Corp | 露光方法及び装置 |
US6562698B2 (en) | 1999-06-08 | 2003-05-13 | Kulicke & Soffa Investments, Inc. | Dual laser cutting of wafers |
JP2001196665A (ja) | 2000-01-13 | 2001-07-19 | Hamamatsu Kagaku Gijutsu Kenkyu Shinkokai | 二波長レーザ加工光学装置およびレーザ加工方法 |
US6605799B2 (en) * | 2000-05-25 | 2003-08-12 | Westar Photonics | Modulation of laser energy with a predefined pattern |
US7009710B2 (en) | 2001-08-20 | 2006-03-07 | Agilent Technologies, Inc. | Direct combination of fiber optic light beams |
US6960813B2 (en) * | 2002-06-10 | 2005-11-01 | New Wave Research | Method and apparatus for cutting devices from substrates |
US6580054B1 (en) * | 2002-06-10 | 2003-06-17 | New Wave Research | Scribing sapphire substrates with a solid state UV laser |
JP3974480B2 (ja) * | 2002-08-27 | 2007-09-12 | 沖電気工業株式会社 | 光学部材の実装方法および光モジュール |
CA2531122A1 (en) * | 2003-07-03 | 2005-02-10 | Pd-Ld, Inc. | Use of volume bragg gratings for the conditioning of laser emission characteristics |
JP2005079497A (ja) | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Toshiba Corp | レーザ加工方法と加工装置および表示装置の製造方法と表示装置 |
US8383982B2 (en) * | 2004-06-18 | 2013-02-26 | Electro Scientific Industries, Inc. | Methods and systems for semiconductor structure processing using multiple laser beam spots |
US7425471B2 (en) * | 2004-06-18 | 2008-09-16 | Electro Scientific Industries, Inc. | Semiconductor structure processing using multiple laser beam spots spaced on-axis with cross-axis offset |
KR101257029B1 (ko) | 2004-06-18 | 2013-04-22 | 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드 | 다중 레이저 빔 스폿을 이용하는 반도체 구조 가공 |
KR100562423B1 (ko) | 2004-09-08 | 2006-03-23 | 주식회사 이오테크닉스 | 웨이퍼 절단용 레이저 시스템 및 이를 이용한 웨이퍼 절단방법 |
JP2006108459A (ja) | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | シリコンウエーハのレーザー加工方法およびレーザー加工装置 |
JP2006136904A (ja) | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Nissan Motor Co Ltd | レーザ溶接装置およびレーザ溶接方法 |
JP2006263771A (ja) | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
US7611966B2 (en) | 2005-05-05 | 2009-11-03 | Intel Corporation | Dual pulsed beam laser micromachining method |
JP5043316B2 (ja) | 2005-07-29 | 2012-10-10 | ミヤチテクノス株式会社 | レーザ加工モニタリング装置 |
TW200711238A (en) | 2005-09-09 | 2007-03-16 | Univ Nat Chiao Tung | Adjustable optical fiber amplifier and laser using discrete fundamental-mode cutoff |
JP2009508689A (ja) | 2005-09-19 | 2009-03-05 | リモ パテントフェルヴァルトゥング ゲーエムベーハー ウント コー.カーゲー | レーザビームによってヒトの毛髪を剃るための装置 |
EP2260967B1 (en) | 2005-10-31 | 2013-10-02 | Advanced Laser Separation International (ALSI) B.V. | Arrangement for forming one or more separated scores in a surface of a substrate |
US7940465B2 (en) * | 2006-08-01 | 2011-05-10 | Oclaro (New Jersey), Inc. | Collimator array |
US20080070378A1 (en) * | 2006-09-19 | 2008-03-20 | Jong-Souk Yeo | Dual laser separation of bonded wafers |
CN102217056A (zh) * | 2008-11-19 | 2011-10-12 | 应用材料股份有限公司 | 激光-划线工具架构 |
JP5280919B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2013-09-04 | 富士フイルム株式会社 | 露光装置および製版装置 |
US9211681B2 (en) * | 2009-04-14 | 2015-12-15 | Ofs Fitel, Llc | Fiber Based Laser Combiners |
WO2011017572A2 (en) * | 2009-08-06 | 2011-02-10 | Applied Materials, Inc. | Laser modules and processes for thin film solar panel laser scribing |
JP5657874B2 (ja) | 2009-09-25 | 2015-01-21 | 株式会社日立情報通信エンジニアリング | レーザ照射装置、レーザ照射方法、アモルファスシリコン膜を改質する方法、シリコン結晶化装置、シリコン結晶化方法 |
CA2804132A1 (en) * | 2010-01-27 | 2011-08-04 | Reis Group Holding Gmbh & Co. Kg | Arrangement and method for detecting radiation |
US20110287607A1 (en) * | 2010-04-02 | 2011-11-24 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method and apparatus for improved wafer singulation |
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