JP6216686B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記制御器は、前記回転軸の傾きの角度が予め定められた範囲にない場合には、警報信号を発することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記自動調心転がり軸受は、前記研磨ヘッドと前記ラジアル転がり軸受との間に位置しており、前記傾き調整装置は、前記ラジアル転がり軸受に連結されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ラジアル転がり軸受は、自動調心転がり軸受から構成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ラジアル転がり軸受は、複数のアンギュラ玉軸受の組み合わせから構成されていることを特徴とする。
図1は、本発明の一実施形態に係る研磨装置を示す模式図である。図1に示すように、研磨装置は、研磨パッド1を支持する回転可能な研磨テーブル3と、基板の一例であるウェハWを保持し、ウェハWを研磨パッド1に押し付ける研磨ヘッド(基板保持器)5と、研磨パッド1上にスラリーなどの研磨液を供給する研磨液供給ノズル7とを備えている。研磨テーブル3の上面はテーブル面3aを構成し、このテーブル面3a上に研磨パッド1が貼り付けられている。研磨パッド1の上面は、ウェハWを研磨するための研磨面1aを構成する。
3 研磨テーブル
3a テーブル面
5 研磨ヘッド(基板保持器)
7 研磨液供給ノズル
10 回転軸
12,13 プーリ
16 ベルト
20 モータ
22 ヘッドアーム
31 自動調心転がり軸受
33 軸受ハウジング
41 ラジアル転がり軸受
43 軸受ハウジング
51 傾き調整装置
54 傾きセンサ(傾き検出器)
58 制御器
60,65 軸受ハウジング
W ウェハ
Claims (6)
- 研磨パッドを支持するための研磨テーブルと、
基板を前記研磨パッドに押し付ける研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッドに連結された回転軸と、
前記回転軸を傾動可能に支持する自動調心転がり軸受と、
前記回転軸のラジアル荷重を受けるラジアル転がり軸受と、
前記回転軸の傾きを検出する傾き検出器と、
前記回転軸の傾きを調整する傾き調整装置とを備えたことを特徴とする研磨装置。 - 前記傾き検出器によって検出された前記回転軸の傾きに基づいて前記傾き調整装置を操作する制御器をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記制御器は、前記回転軸の傾きの角度が予め定められた範囲にない場合には、警報信号を発することを特徴とする請求項2に記載の研磨装置。
- 前記自動調心転がり軸受は、前記研磨ヘッドと前記ラジアル転がり軸受との間に位置しており、
前記傾き調整装置は、前記ラジアル転がり軸受に連結されていることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記ラジアル転がり軸受は、自動調心転がり軸受から構成されていることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記ラジアル転がり軸受は、複数のアンギュラ玉軸受の組み合わせから構成されていることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
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