JP6216582B2 - Sheet sticking device and sticking method - Google Patents

Sheet sticking device and sticking method Download PDF

Info

Publication number
JP6216582B2
JP6216582B2 JP2013190768A JP2013190768A JP6216582B2 JP 6216582 B2 JP6216582 B2 JP 6216582B2 JP 2013190768 A JP2013190768 A JP 2013190768A JP 2013190768 A JP2013190768 A JP 2013190768A JP 6216582 B2 JP6216582 B2 JP 6216582B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sheet
peeling
adherend
unnecessary
unnecessary sheet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013190768A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2015056611A (en
Inventor
利彰 毛受
利彰 毛受
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lintec Corp
Original Assignee
Lintec Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lintec Corp filed Critical Lintec Corp
Priority to JP2013190768A priority Critical patent/JP6216582B2/en
Publication of JP2015056611A publication Critical patent/JP2015056611A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6216582B2 publication Critical patent/JP6216582B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Dicing (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。   The present invention relates to a sheet sticking apparatus and a sticking method.

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、ウエハ（被着体）に粘着テープ（接着シート）を貼付する押圧ローラ（押圧部材）を有する貼付けユニット（押圧手段）と、接着シートを切り抜くテープ切断機構（切断手段）と、接着シートを挟み込む剥離ローラおよび送り出しローラ（複数の剥離部材）を有する剥離ユニット（剥離手段）とを備え、押圧手段で被着体に貼付した接着シートを切断手段が切り抜いた後、切り抜かれて残った不要テープ（不要シート）を複数の剥離部材が移動することで、剥離するように構成されている。 2. Description of the Related Art Conventionally, a sheet sticking apparatus for sticking an adhesive sheet to a semiconductor wafer (hereinafter sometimes simply referred to as “wafer”) in a semiconductor manufacturing process is known (see, for example, Patent Document 1).
The sheet sticking apparatus described in Patent Document 1 includes a sticking unit (pressing means) having a pressing roller (pressing member) for sticking an adhesive tape (adhesive sheet) to a wafer (adhered body), and a tape cutting mechanism for cutting out the adhesive sheet. (Cutting means) and a peeling unit (peeling means) having a peeling roller and a feeding roller (a plurality of peeling members) sandwiching the adhesive sheet, and the cutting means cut out the adhesive sheet affixed to the adherend by the pressing means Thereafter, the unnecessary tape (unnecessary sheet) that has been cut out and left is separated by moving a plurality of peeling members.

特開２００７−２２７５５２号公報JP 2007-227552 A

しかしながら、特許文献１に記載された従来のシート貼付装置では、押圧部材の他に複数の剥離部材が備えられているため、装置が大型化、複雑化するという不都合がある。   However, since the conventional sheet sticking device described in Patent Document 1 includes a plurality of peeling members in addition to the pressing member, there is an inconvenience that the device becomes large and complicated.

本発明の目的は、装置の大型化、複雑化を抑制可能なシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。   The objective of this invention is providing the sheet sticking apparatus and sticking method which can suppress the enlargement and complexity of an apparatus.

前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、被着面の反対側から被着体を支持可能な被着体支持面および当該被着体支持面の外側に設けられた不要シート支持面を有する支持手段と、前記被着体の被着面を臨む位置に接着シートを供給する供給手段と、前記被着面および不要シート支持面に前記接着シートを押圧して貼付する押圧部材を有する押圧手段と、前記接着シートを所定形状に切断し、前記被着面に貼付された貼付シートおよび前記不要シート支持面に貼付された不要シートに当該接着シートを区分する切断手段と、前記不要シートを前記不要シート支持面から剥離する剥離手段とを備え、前記剥離手段は、前記押圧部材との間に前記不要シートを通し、当該押圧部材と共動して前記不要シート支持面の一端側から他端側に移動することで、当該不要シート支持面から前記不要シートを剥離可能な剥離部材を備え、前記押圧部材は、前記剥離部材とは別々に前記不要シート支持面の一端と他端との間を移動可能に設けられ、当該押圧部材のみを移動させて前記接着シートを押圧する、という構成を採用している。 In order to achieve the above object, the sheet sticking device of the present invention includes an adherend support surface capable of supporting an adherend from the opposite side of the adherend surface and an unnecessary sheet provided outside the adherend support surface. Support means having a support surface, supply means for supplying an adhesive sheet to a position facing the adherend surface of the adherend, and a pressing member that presses and adheres the adhesive sheet to the adherend surface and the unnecessary sheet support surface Cutting means for cutting the adhesive sheet into a predetermined shape, and cutting the adhesive sheet into an adhesive sheet affixed to the adherend surface and an unnecessary sheet affixed to the unnecessary sheet support surface; A peeling means for peeling the unnecessary sheet from the unnecessary sheet supporting surface, and the peeling means passes the unnecessary sheet between the pressing member and cooperates with the pressing member to end one end of the unnecessary sheet supporting surface. From the other end By moving to, the provided an unnecessary sheet peelable peeling member said unnecessary sheet from the supporting surface, the pressing member, between the end and the other end of the release the unnecessary sheet supporting surface separately from the member It is provided so as to be movable , and adopts a configuration in which only the pressing member is moved to press the adhesive sheet .

一方、本発明のシート貼付方法は、外側に不要シート支持面が設けられた被着体支持面で被着面の反対側から被着体を支持する工程と、前記被着体の被着面を臨む位置に接着シートを供給する工程と、剥離部材とは別々に前記不要シート支持面の一端と他端との間を移動可能に設けられた押圧部材のみを移動させて前記被着面および不要シート支持面に前記接着シートを押圧して貼付する工程と、前記接着シートを所定形状に切断し、前記被着面に貼付された貼付シートおよび前記不要シート支持面に貼付された不要シートに当該接着シートを区分する工程と、前記剥離部材と前記押圧部材との間に前記不要シートを通し、当該剥離部材および押圧部材を共動して前記不要シート支持面の一端側から他端側に移動させることで、当該不要シートを前記不要シート支持面から剥離する工程とを備えている、という構成を採用している。 On the other hand, the sheet sticking method of the present invention comprises a step of supporting an adherend from the opposite side of the adherend surface on an adherend support surface provided with an unnecessary sheet support surface on the outside, and an adherend surface of the adherend. Supplying the adhesive sheet to a position facing the surface, and separating the separation member from only the pressing member provided so as to be movable between one end and the other end of the unnecessary sheet supporting surface, A step of pressing and adhering the adhesive sheet to an unnecessary sheet supporting surface; cutting the adhesive sheet into a predetermined shape; and attaching an adhesive sheet affixed to the adherend surface and an unnecessary sheet affixed to the unnecessary sheet support surface a step of partitioning the adhesive sheet, the through unnecessary sheet between the pressing member and the peeling member, the peeling member and the pressing member cooperating to from one end to the other end of the unnecessary sheet supporting surface By moving the We employ a configuration that includes a step of peeling from the unnecessary sheet supporting surface.

以上のような本発明によれば、接着シートの貼付に用いる押圧部材と剥離部材との間に不要シートを通し、当該押圧部材および剥離部材を移動させることで不要シートを不要シート支持面から剥離できるので、剥離部材を複数設ける必要がなく、装置の大型化、複雑化を抑制できる。   According to the present invention as described above, the unnecessary sheet is passed between the pressing member and the peeling member used for attaching the adhesive sheet, and the unnecessary sheet is peeled from the unnecessary sheet supporting surface by moving the pressing member and the peeling member. Therefore, it is not necessary to provide a plurality of peeling members, and the size and complexity of the apparatus can be suppressed.

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。The side view of the sheet sticking apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 図１のシート貼付装置の動作説明図。Operation | movement explanatory drawing of the sheet sticking apparatus of FIG. 変形例に係るシート貼付装置の動作説明図。Operation | movement explanatory drawing of the sheet sticking apparatus which concerns on a modification.

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向であって紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In this specification, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other, the X axis and the Y axis are axes in a predetermined plane, and the Z axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. To do. Furthermore, in the present embodiment, when viewed from the near side of FIG. 1 parallel to the Y axis, when indicating the direction, “up” is the arrow direction of the Z axis, “down” is the opposite direction, “ “Left” is the X-axis arrow direction, “Right” is the opposite direction, “Front” is the Y-axis arrow direction, and this is the front direction orthogonal to the page, and “Rear” is the opposite direction.

図１において、シート貼付装置１は、被着面ＷＦ１の反対側から被着体としてのウエハＷＦを支持可能な被着体支持面２３Ａおよび当該被着体支持面２３Ａの外側に設けられた不要シート支持面２１Ａを有する支持手段２と、ウエハＷＦの被着面ＷＦ１を臨む位置に接着シートＡＳを供給する供給手段３と、被着面ＷＦ１および不要シート支持面２１Ａに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧部材としての押圧ローラ４２を有する押圧手段４と、ウエハＷＦを搬送する搬送手段５と、接着シートＡＳを所定形状に切断し、被着面ＷＦ１に貼付された貼付シートＴＳ（図２（Ｃ）参照）および不要シート支持面２１Ａに貼付された不要シートＵＳに当該接着シートＡＳを区分する切断手段６と、不要シートＵＳを不要シート支持面２１Ａから剥離する剥離手段７とを備えている。   In FIG. 1, the sheet sticking apparatus 1 is unnecessary provided on the outer side of the adherend support surface 23 </ b> A and the adherend support surface 23 </ b> A that can support the wafer WF as the adherend from the opposite side of the adherend surface WF <b> 1. The support means 2 having the sheet support surface 21A, the supply means 3 for supplying the adhesive sheet AS to the position facing the adherend surface WF1 of the wafer WF, and the adhesive sheet AS are pressed against the adherend surface WF1 and the unnecessary sheet support surface 21A. The pressing means 4 having the pressing roller 42 as a pressing member to be pasted, the transport means 5 for transporting the wafer WF, and the adhesive sheet AS cut into a predetermined shape and adhered to the adherend surface WF1 (see FIG. 2 (C)) and the cutting means 6 for dividing the adhesive sheet AS into the unnecessary sheet US affixed to the unnecessary sheet support surface 21A, and the unnecessary sheet US from the unnecessary sheet support surface 21A. And a peeling means 7 for releasing.

支持手段２は、不要シート支持面２１Ａから凹んだ凹部２２を有する外側テーブル２１と、凹部２２内に設けられ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な被着体支持面２３Ａを有する内側テーブル２３とを備えている。   The support means 2 includes an outer table 21 having a recess 22 recessed from the unnecessary sheet support surface 21A, and an adherend support that is provided in the recess 22 and can be adsorbed and held by a decompression means (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector And an inner table 23 having a surface 23A.

供給手段３は、基材シートＢＳの一方の面に接着剤ＡＤ層を有する帯状の接着シートＡＳを支持する支持ローラ３１と、接着シートＡＳを案内するガイドローラ３２と、駆動機器としての回動モータ３３Ａによって駆動される駆動ローラ３３との間に接着シートＡＳを挟み込むピンチローラ３４と、駆動機器としてのリニアモータ３５と、接着シートＡＳの切断により生じた不要シートＵＳを案内する複数のガイドローラ３６と、駆動機器としての回動モータ３７Ａによって駆動され、不要シートＵＳを回収する回収ローラ３７とを備えている。ローラ３１〜３４は、供給側フレーム３Ａに支持され、ローラ３６、３７は、回収側フレーム３Ｂに支持されている。   The supply means 3 includes a support roller 31 that supports a belt-like adhesive sheet AS having an adhesive AD layer on one surface of the base sheet BS, a guide roller 32 that guides the adhesive sheet AS, and a rotation as a driving device. A pinch roller 34 that sandwiches the adhesive sheet AS between the driving roller 33 driven by the motor 33A, a linear motor 35 as a driving device, and a plurality of guide rollers that guide the unnecessary sheet US generated by cutting the adhesive sheet AS. 36 and a collection roller 37 that is driven by a rotation motor 37A as a drive device and collects the unnecessary sheet US. The rollers 31 to 34 are supported by the supply side frame 3A, and the rollers 36 and 37 are supported by the collection side frame 3B.

押圧手段４は、リニアモータ３５のスライダ３５Ａに支持された駆動機器としてのリニアモータ４１と、リニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持され、駆動機器としての回動モータ４２Ａによって駆動される押圧ローラ４２とを備えている。   The pressing means 4 includes a linear motor 41 as a driving device supported by the slider 35A of the linear motor 35, and a pressing roller 42 supported by the slider 41A of the linear motor 41 and driven by a rotation motor 42A as the driving device. It has.

搬送手段５は、駆動機器としての多関節ロボット５１と、多関節ロボット５１の作業アーム５１Ａに着脱可能に設けられ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に連通可能な吸着ツール５２とを備えている。多関節ロボット５１は、その作業範囲内において作業アーム５１Ａに装着したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボットである。   The conveying means 5 includes an articulated robot 51 as a driving device and a suction tool 52 that is detachably provided on a work arm 51A of the articulated robot 51 and that can communicate with a decompression means (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector. I have. The multi-joint robot 51 is a so-called six-axis robot that can displace the one mounted on the work arm 51A within any work range at any position and any angle.

切断手段６は、多関節ロボット５１と、多関節ロボット５１の作業アーム５１Ａに着脱自在に設けられ、カッター刃６１を有するカッターツール６２とを備えている。   The cutting means 6 includes an articulated robot 51 and a cutter tool 62 having a cutter blade 61 that is detachably provided on a work arm 51 A of the articulated robot 51.

剥離手段７は、リニアモータ３５のスライダ３５Ｂに支持された駆動機器としてのリニアモータ７１と、リニアモータ７１のスライダ７１Ａにブラケット７２を介して支持されるとともに、押圧ローラ４２との間に不要シートＵＳを通し、当該押圧ローラ４２と共動して不要シート支持面２１Ａの一端側から他端側に移動することで、当該不要シート支持面２１Ａから不要シートＵＳを剥離可能な剥離部材としての剥離ローラ７３とを備えている。   The peeling means 7 is supported by a linear motor 71 as a driving device supported by the slider 35 </ b> B of the linear motor 35, and the slider 71 </ b> A of the linear motor 71 via a bracket 72, and between the pressing roller 42 and an unnecessary sheet. Peeling as a peeling member capable of peeling the unnecessary sheet US from the unnecessary sheet supporting surface 21A by moving from one end side of the unnecessary sheet supporting surface 21A to the other end side in cooperation with the pressing roller 42 through the US And a roller 73.

以上のシート貼付装置１において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、図２（Ａ）に示すように、押圧ローラ４２および剥離ローラ７３が左方に位置する初期状態において、作業者が接着シートＡＳを同図の実線で示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、供給手段３がリニアモータ３５を駆動し、押圧ローラ４２と剥離ローラ７３とで接着シートＡＳを押圧して挟み込み、シート貼付装置１がスタンバイ状態となる。次に、搬送手段５が多関節ロボット５１および図示しない減圧手段を駆動し、吸着ツール５２でウエハＷＦを吸着保持し、ウエハＷＦを被着体支持面２３Ａ上に載置すると、支持手段２が図示しない減圧手段を駆動し、当該ウエハＷＦを吸着保持する。このとき、被着面ＷＦ１と不要シート支持面２１Ａとが同一平面内に位置するようになっている。 In the sheet sticking apparatus 1 described above, a procedure for sticking the adhesive sheet AS to the wafer WF will be described.
First, as shown in FIG. 2A, in the initial state where the pressing roller 42 and the peeling roller 73 are located on the left side, the operator sets the adhesive sheet AS as shown by the solid line in FIG. When an operation start signal is input via an input unit such as an operation panel or a personal computer, the supply unit 3 drives the linear motor 35 and presses and sandwiches the adhesive sheet AS between the pressing roller 42 and the peeling roller 73. The sticking device 1 enters a standby state. Next, when the transfer means 5 drives the articulated robot 51 and a decompression means (not shown), the suction tool 52 sucks and holds the wafer WF, and the wafer WF is placed on the adherend support surface 23A, the support means 2 A decompression means (not shown) is driven to hold the wafer WF by suction. At this time, the adherend surface WF1 and the unnecessary sheet support surface 21A are positioned in the same plane.

次に、押圧手段４が回動モータ４２Ａの回転を抑制し、押圧ローラ４２と剥離ローラ７３とで接着シートＡＳを押圧して挟み込んだ状態のまま、供給手段３が回動モータ３３Ａ、３７Ａおよびリニアモータ３５を駆動し、押圧ローラ４２よび剥離ローラ７３を図２（Ａ）中二点鎖線で示す位置まで移動させ、ウエハＷＦの被着面ＷＦ１を臨む位置に接着シートＡＳの未使用部分を供給する（繰り出す）。次に、押圧手段４および剥離手段７がリニアモータ４１、７１を駆動し、押圧ローラ４２および剥離ローラ７３を図２（Ｂ）中実線で示す位置まで下降させることで、押圧ローラ４２で接着シートＡＳを不要シート支持面２１Ａに押圧する（接着シートＡＳの未使用部分の繰り出しと、不要シート支持面２１Ａへの接着シートＡＳの押圧とを以下「繰出工程」という）。   Next, the pressing unit 4 suppresses the rotation of the rotation motor 42A, and the supply unit 3 maintains the rotation motors 33A, 37A and 37A while pressing the adhesive sheet AS between the pressing roller 42 and the peeling roller 73. The linear motor 35 is driven, the pressing roller 42 and the peeling roller 73 are moved to the position indicated by the two-dot chain line in FIG. 2A, and the unused portion of the adhesive sheet AS is placed at the position facing the adherend surface WF1 of the wafer WF. Supply (feed out). Next, the pressing means 4 and the peeling means 7 drive the linear motors 41 and 71, and the pressing roller 42 and the peeling roller 73 are lowered to the positions indicated by solid lines in FIG. The AS is pressed against the unnecessary sheet support surface 21A (hereinafter, feeding of unused portions of the adhesive sheet AS and pressing of the adhesive sheet AS against the unnecessary sheet support surface 21A are hereinafter referred to as “feeding step”).

その後、供給手段３および押圧手段４がリニアモータ３５および回動モータ４２Ａを駆動し、押圧ローラ４２を回転させながら図２（Ｂ）中二点鎖線で示す位置まで移動させる（以下「押圧工程」という）。その後、同様にして再び押圧ローラ４２を同図実線で示す位置に復帰させる（以下「戻り工程」という）。これにより、被着面ＷＦ１および不要シート支持面２１Ａ上に接着シートＡＳを押圧して貼付する。その後、切断手段６が多関節ロボット５１を駆動し、吸着ツール５２からカッターツール６２にツール交換を行い、ウエハＷＦの外縁に沿ってカッター刃６１を移動させることで、接着シートＡＳをウエハＷＦの外縁に沿って切断し、貼付シートＴＳと不要シートＵＳとに区分する（以下「切断工程」という）。   Thereafter, the supplying means 3 and the pressing means 4 drive the linear motor 35 and the rotating motor 42A, and move the pressing roller 42 to a position indicated by a two-dot chain line in FIG. 2B (hereinafter referred to as “pressing process”). Called). Thereafter, the pressure roller 42 is again returned to the position indicated by the solid line in the same manner (hereinafter referred to as “returning step”). Thereby, the adhesive sheet AS is pressed and pasted on the adherend surface WF1 and the unnecessary sheet support surface 21A. After that, the cutting means 6 drives the articulated robot 51, exchanges the tool from the suction tool 52 to the cutter tool 62, and moves the cutter blade 61 along the outer edge of the wafer WF, whereby the adhesive sheet AS is removed from the wafer WF. Cut along the outer edge and categorized into a stuck sheet TS and an unnecessary sheet US (hereinafter referred to as “cutting step”).

次に、搬送手段５が多関節ロボット５１を駆動し、カッターツール６２から吸着ツール５２にツール交換を行った後、図示しない減圧手段を駆動し、貼付シートＴＳが貼付されたウエハＷＦを吸着ツール５２で吸着保持し、別工程の装置に搬送する（以下「排出工程」という）。次いで、供給手段３および押圧手段４がリニアモータ３５および回動モータ４２Ａを駆動し、押圧ローラ４２と剥離ローラ７３とで不要シートＵＳを押圧して挟み込んだ状態のまま、押圧ローラ４２および剥離ローラ７３を回転させながら、図２（Ｃ）に示す位置に移動させ、不要シートＵＳを不要シート支持面２１Ａから剥離する（以下「剥離工程」という）。その後、押圧手段４および剥離手段７がリニアモータ４１、７１を駆動し、押圧ローラ４２および剥離ローラ７３を上昇させて図２（Ａ）中実線で示す初期状態に復帰させ（以下「復帰工程」という）、以降上述と同様の動作が繰り返される。   Next, after the transfer means 5 drives the articulated robot 51 and exchanges the tool from the cutter tool 62 to the suction tool 52, the decompression means (not shown) is driven, and the wafer WF to which the sticking sheet TS is stuck is taken into the suction tool. Adsorbed and held at 52 and transported to an apparatus in another process (hereinafter referred to as “discharge process”). Next, the supply means 3 and the pressing means 4 drive the linear motor 35 and the rotation motor 42A, and the pressing roller 42 and the peeling roller remain pressed and sandwiched between the pressing roller 42 and the peeling roller 73. While rotating 73, it is moved to the position shown in FIG. 2C, and the unnecessary sheet US is peeled off from the unnecessary sheet support surface 21A (hereinafter referred to as “peeling step”). Thereafter, the pressing unit 4 and the peeling unit 7 drive the linear motors 41 and 71 to raise the pressing roller 42 and the peeling roller 73 to return to the initial state shown by the solid line in FIG. 2A (hereinafter referred to as “returning step”). Thereafter, the same operation as described above is repeated.

以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳの貼付に用いる押圧ローラ４２と剥離ローラ７３との間に不要シートＵＳを挟み込み、当該押圧ローラ４２および剥離ローラ７３を移動させることで不要シートＵＳを不要シート支持面２１Ａから剥離できるので、剥離ローラ７３を複数設ける必要がなく、装置の大型化、複雑化を抑制できる。   According to the embodiment as described above, the unnecessary sheet US is sandwiched between the pressing roller 42 and the peeling roller 73 used for attaching the adhesive sheet AS, and the unnecessary sheet US is moved by moving the pressing roller 42 and the peeling roller 73. Can be peeled off from the unnecessary sheet support surface 21A, it is not necessary to provide a plurality of peeling rollers 73, and the apparatus can be prevented from becoming large and complicated.

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。   As described above, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this. That is, the invention has been illustrated and described with particular reference to certain specific embodiments, but without departing from the spirit and scope of the invention, Various modifications can be made by those skilled in the art in terms of material, quantity, and other detailed configurations. In addition, the description limited to the shape, material, etc. disclosed above is an example for easy understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member which remove | excluded the limitation of one part or all of such is included in this invention.

例えば、駆動機器としての回動モータによって剥離ローラ７３が駆動されるようにしてもよく、この場合、押圧ローラ４２を駆動する回動モータ４２Ａは設けてもよいし、設けなくてもよい。剥離ローラ７３を駆動する回動モータを設ける場合、接着シートＡＳの未使用部分の繰り出しを行う際に、剥離手段７が当該回動モータを駆動させなければよい。   For example, the peeling roller 73 may be driven by a rotating motor as a driving device. In this case, the rotating motor 42A for driving the pressing roller 42 may or may not be provided. In the case where a rotation motor for driving the peeling roller 73 is provided, the peeling means 7 does not have to drive the rotation motor when the unused portion of the adhesive sheet AS is fed out.

また、回動モータ４２Ａおよび剥離ローラ７３を駆動する回動モータを設けなくてもよく、この場合、接着シートＡＳの未使用部分の繰り出しを行う際に、押圧ローラ４２よび剥離ローラ７３を右方向に移動させながらまたは、移動させる前または、移動させた後、回動モータ３３Ａ、３７Ａを駆動すればよい。
さらに、剥離工程において、押圧ローラ４２と剥離ローラ７３とで不要シートＵＳを押圧することなく、例えば、所定の間隔をあけ、または、所定の間隔をあけることなく移動させ、不要シートＵＳを不要シート支持面２１Ａから剥離するようにしてもよい。
また、剥離工程において、押圧ローラ４２は、不要シートＵＳを不要シート支持面２１Ａに押圧しながら移動させたり、不要シートＵＳを不要シート支持面２１Ａに押圧することなく、例えば、所定の間隔をあけ、または、所定の間隔をあけることなく移動させたりして不要シートＵＳを不要シート支持面２１Ａから剥離するようにしてもよい。
さらに、剥離工程において、図３（Ａ）に示す状態の後、押圧手段４および剥離手段７がリニアモータ４１および７１を駆動し、押圧ローラ４２および剥離ローラ７３を所定間隔上昇させる。次いで、供給手段３および押圧手段４がリニアモータ３５、回動モータ３７Ａ、４２Ａを駆動し、回収ローラ３７から所定長さの不要シートＵＳを繰り出すとともに、押圧ローラ４２を時計回転方向に回転させつつ、当該押圧ローラ４２と剥離ローラ７３とを所定距離左方移動させて鈍角剥離部ＵＳ１を形成する。その後、供給手段３および押圧手段４がリニアモータ３５および回動モータ４２Ａを駆動し、押圧ローラ４２を反時計回転方向に回転させつつ、押圧ローラ４２および剥離ローラ７３を左方へ移動させることで、鈍角剥離部ＵＳ１を維持した状態で、押圧ローラ４２および剥離ローラ７３を図３（Ｃ）に示す位置に移動させ、不要シートＵＳを不要シート支持面２１Ａから剥離するように構成してもよい。このような鈍角剥離は、不要シートＵＳが切断しやすい性質のものであるときに有利であり、前記実施形態のようなローラ剥離と、このような鈍角剥離とを接着シートＡＳ（不要シートＵＳ）の材質や、切断工程後の不要シートＵＳの前後方向の幅等を考慮して選択可能に設けてもよいし、１の剥離工程中に、ローラ剥離と鈍角剥離とを交互に行ってもよい。 Further, it is not necessary to provide a rotation motor for driving the rotation motor 42A and the peeling roller 73. In this case, when the unused portion of the adhesive sheet AS is fed out, the pressing roller 42 and the separation roller 73 are moved in the right direction. It is only necessary to drive the rotation motors 33A and 37A while being moved to, before or after being moved.
Further, in the peeling process, the unnecessary sheet US is moved by a predetermined interval or without a predetermined interval without pressing the unnecessary sheet US with the pressing roller 42 and the peeling roller 73, and the unnecessary sheet US is moved without the predetermined interval. You may make it peel from 21 A of support surfaces.
In the peeling step, the pressing roller 42 moves, for example, a predetermined interval without pressing the unnecessary sheet US against the unnecessary sheet support surface 21A or pressing the unnecessary sheet US against the unnecessary sheet support surface 21A. Alternatively, the unnecessary sheet US may be peeled off the unnecessary sheet support surface 21A by moving without leaving a predetermined interval.
Further, in the peeling step, after the state shown in FIG. 3A, the pressing means 4 and the peeling means 7 drive the linear motors 41 and 71 to raise the pressing roller 42 and the peeling roller 73 by a predetermined interval. Next, the supply unit 3 and the pressing unit 4 drive the linear motor 35 and the rotation motors 37A and 42A to feed out the unnecessary sheet US having a predetermined length from the collection roller 37, while rotating the pressing roller 42 in the clockwise direction. Then, the pressure roller 42 and the peeling roller 73 are moved to the left by a predetermined distance to form the obtuse angle peeling portion US1. Thereafter, the supply means 3 and the pressing means 4 drive the linear motor 35 and the rotation motor 42A, and move the pressing roller 42 and the peeling roller 73 to the left while rotating the pressing roller 42 counterclockwise. In the state where the obtuse angle peeling portion US1 is maintained, the pressing roller 42 and the peeling roller 73 may be moved to the positions shown in FIG. 3C to peel off the unnecessary sheet US from the unnecessary sheet support surface 21A. . Such obtuse angle peeling is advantageous when the unnecessary sheet US is easy to cut, and the roller peeling as in the above embodiment and such obtuse angle peeling are combined with the adhesive sheet AS (unnecessary sheet US). In consideration of the material, the width in the front-rear direction of the unnecessary sheet US after the cutting process, etc., it may be provided so as to be selectable, or roller peeling and obtuse angle peeling may be alternately performed during one peeling process. .

また、繰出工程から復帰工程に至るまでの工程を下記のように設定してもよい。すなわち、押圧工程→戻り工程→切断工程→剥離工程→排出工程。また、押圧工程→切断工程→排出工程→戻り工程→剥離工程。また、押圧工程→切断工程→戻り工程→排出工程→剥離工程。また、押圧工程→切断工程→戻り工程→剥離工程→排出工程。   Further, the process from the feeding process to the returning process may be set as follows. That is, pressing process → return process → cutting process → peeling process → discharge process. Also, pressing process → cutting process → discharge process → return process → peeling process. Also, pressing process → cutting process → returning process → discharge process → peeling process. Also, pressing process → cutting process → returning process → peeling process → discharge process.

さらに、押圧手段４は、押圧ローラ４２が被着面ＷＦ１の中央付近から一端縁に移動した後、再度被着面ＷＦ１の中央付近から他端縁に移動して接着シートＡＳを被着面ＷＦ１に貼付してもよい。
また、押圧手段は、１の押圧ローラが被着面ＷＦ１の中央付近から一端縁に移動し、他の押圧ローラが被着面ＷＦ１の中央付近から他端縁に移動して接着シートＡＳを被着面ＷＦ１に貼付してもよい。この場合、剥離手段は、１の押圧ローラおよび他の押圧ローラの少なくとも一方と共動して前記被着面ＷＦ１の一端から他端または、他端から一端に向かって移動することで、不要シートＵＳを不要シート支持面２１Ａから剥離可能な剥離ローラを備えればよい。
さらに、押圧ローラ４２にかえて、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよい。
また、剥離手段７は、剥離ローラ７３にかえて、ブレード材、丸棒、ローラ等による剥離部材を採用してもよい。
接着シートＡＳは、枚葉のものでもよい。 Furthermore, after the pressing roller 42 moves from the vicinity of the center of the adherend surface WF1 to one end edge, the pressing means 4 moves again from the vicinity of the center of the adherend surface WF1 to the other end edge to attach the adhesive sheet AS to the adherend surface WF1. It may be affixed to.
The pressing means moves one pressing roller from the vicinity of the center of the adherend surface WF1 to one end edge, and the other pressing roller moves from the vicinity of the center of the adherend surface WF1 to the other end edge to cover the adhesive sheet AS. You may affix on the landing surface WF1. In this case, the peeling means moves together with at least one of the one pressing roller and the other pressing roller and moves from one end to the other end of the adherend surface WF1 or from the other end toward the one end, thereby eliminating the unnecessary sheet. What is necessary is just to provide the peeling roller which can peel US from the unnecessary sheet | seat support surface 21A.
Further, instead of the pressing roller 42, a pressing member made of a blade material, rubber, resin, sponge or the like may be employed.
Further, the peeling means 7 may employ a peeling member made of a blade material, a round bar, a roller or the like instead of the peeling roller 73.
The adhesive sheet AS may be a sheet.

さらに、切断手段６は、接着シートＡＳを切断可能な任意の構成を採用でき、例えば、レーザカッターや水圧や風圧で切断可能なもの等で構成してもよいし、回転して切断するロータリカッター等の他のカッター刃を採用してもよい。また、切断手段６は、搬送手段５とは別体の独立した構成としてもよい。   Furthermore, the cutting means 6 can adopt any configuration capable of cutting the adhesive sheet AS, and may be constituted by, for example, a laser cutter, a device that can be cut by water pressure or wind pressure, or a rotary cutter that rotates and cuts. Other cutter blades may be used. Further, the cutting means 6 may have a separate and independent configuration from the conveying means 5.

また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品等も対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。   Further, the material, type, shape and the like of the adhesive sheet AS and the adherend in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS is not limited to adhesive forms such as pressure-sensitive adhesiveness and heat-sensitive adhesiveness. When a heat-sensitive adhesive is used, an appropriate heating means for heating the adhesive sheet AS. May be provided. Such an adhesive sheet AS is, for example, a single layer having only an adhesive layer, an intermediate layer between the base sheet and the adhesive layer, a cover layer on the upper surface of the base sheet, etc. Three or more layers, or a so-called double-sided adhesive sheet that can peel the base sheet from the adhesive layer may be used. The double-sided adhesive sheet comprises a single-layer or multi-layer intermediate layer. It may be a single layer or a multilayer having no intermediate layer. Examples of the adherend include, for example, foods, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, circuit board, information recording substrates such as optical disks, glass plates, steel plates, ceramics, wood plates or resin plates, Arbitrary forms of members, articles, etc. can also be targeted. In addition, the adhesive sheet AS is replaced with a functional and intended reading, for example, any information label, decorative label, protective sheet, dicing tape, die attach film, die bonding tape, recording layer forming resin sheet, etc. Arbitrary sheets, films, tapes and the like can be attached to any adherend as described above.

さらに、本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、被着面の反対側から被着体を支持可能な被着体支持面および前記被着体支持面の外側に設けられた不要シート支持面を有するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。 Furthermore, the means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions, or steps described for the means and steps, and moreover, the configuration of the simple embodiment shown in the above embodiment. It is not limited at all to a thing or a process. For example, if the support means has an adherend support surface capable of supporting an adherend from the opposite side of the adherend surface and an unnecessary sheet support surface provided outside the adherend support surface, an application is made. There is no limitation as long as it is within the technical scope in light of the original technical common sense (explanation of other means and processes is omitted).
Further, the drive device in the embodiment includes an electric device such as a rotation motor, a linear motion motor, a linear motor, a single axis robot, an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder. In addition to these, a combination of them directly or indirectly may be employed (some of them overlap with those exemplified in the embodiment).

１…シート貼付装置
２…支持手段
３…供給手段
４…押圧手段
６…切断手段
７…剥離手段
２１Ａ…不要シート支持面
２３Ａ…被着体支持面
４２…押圧ローラ（押圧部材）
７３…剥離ローラ（剥離部材）
ＡＳ…接着シート
ＴＳ…貼付シート
ＵＳ…不要シート
ＷＦ…ウエハ（被着体）
ＷＦ１…被着面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Sheet sticking apparatus 2 ... Supporting means 3 ... Supply means 4 ... Pressing means 6 ... Cutting means 7 ... Peeling means 21A ... Unnecessary sheet supporting surface 23A ... Adhering body supporting surface 42 ... Pressing roller (pressing member)
73 ... peeling roller (peeling member)
AS ... Adhesive sheet TS ... Adhesive sheet US ... Unnecessary sheet WF ... Wafer (Substrate)
WF1 ... deposition surface

Claims (2)

被着面の反対側から被着体を支持可能な被着体支持面および当該被着体支持面の外側に設けられた不要シート支持面を有する支持手段と、
前記被着体の被着面を臨む位置に接着シートを供給する供給手段と、
前記被着面および不要シート支持面に前記接着シートを押圧して貼付する押圧部材を有する押圧手段と、
前記接着シートを所定形状に切断し、前記被着面に貼付された貼付シートおよび前記不要シート支持面に貼付された不要シートに当該接着シートを区分する切断手段と、
前記不要シートを前記不要シート支持面から剥離する剥離手段とを備え、
前記剥離手段は、前記押圧部材との間に前記不要シートを通し、当該押圧部材と共動して前記不要シート支持面の一端側から他端側に移動することで、当該不要シート支持面から前記不要シートを剥離可能な剥離部材を備え、
前記押圧部材は、前記剥離部材とは別々に前記不要シート支持面の一端と他端との間を移動可能に設けられ、当該押圧部材のみを移動させて前記接着シートを押圧することを特徴とするシート貼付装置。 A support means having an adherend support surface capable of supporting an adherend from the opposite side of the adherend surface and an unnecessary sheet support surface provided outside the adherend support surface;
Supply means for supplying an adhesive sheet to a position facing the adherend surface of the adherend;
A pressing means having a pressing member that presses and adheres the adhesive sheet to the adherend surface and the unnecessary sheet supporting surface;
Cutting means for cutting the adhesive sheet into a predetermined shape, and dividing the adhesive sheet into an adhesive sheet affixed to the adherend surface and an unnecessary sheet affixed to the unnecessary sheet support surface;
Peeling means for peeling the unnecessary sheet from the unnecessary sheet support surface,
The peeling means passes the unnecessary sheet between the pressing member and moves from one end side to the other end side of the unnecessary sheet supporting surface in cooperation with the pressing member. A peeling member capable of peeling the unnecessary sheet is provided ,
The pressing member is provided movably between one end and the other end of the unnecessary sheet supporting surface separately from the peeling member, and moves the pressing member only to press the adhesive sheet. Sheet sticking device. 外側に不要シート支持面が設けられた被着体支持面で被着面の反対側から被着体を支持する工程と、
前記被着体の被着面を臨む位置に接着シートを供給する工程と、
剥離部材とは別々に前記不要シート支持面の一端と他端との間を移動可能に設けられた押圧部材のみを移動させて前記被着面および不要シート支持面に前記接着シートを押圧して貼付する工程と、
前記接着シートを所定形状に切断し、前記被着面に貼付された貼付シートおよび前記不要シート支持面に貼付された不要シートに当該接着シートを区分する工程と、
前記剥離部材と前記押圧部材との間に前記不要シートを通し、当該剥離部材および押圧部材を共動して前記不要シート支持面の一端側から他端側に移動させることで、当該不要シートを前記不要シート支持面から剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。 A step of supporting the adherend from the opposite side of the adherend surface on the adherend support surface provided with an unnecessary sheet support surface on the outside;
Supplying an adhesive sheet to a position facing the adherend surface of the adherend;
Separately from the peeling member, only the pressing member provided to be movable between one end and the other end of the unnecessary sheet supporting surface is moved to press the adhesive sheet against the adherend surface and the unnecessary sheet supporting surface. A process of applying,
Cutting the adhesive sheet into a predetermined shape, and dividing the adhesive sheet into an adhesive sheet affixed to the adherend surface and an unnecessary sheet affixed to the unnecessary sheet support surface;
The through unnecessary sheet between the pressing member and the peeling member, by moving to cooperate with the peeling member and the pressing member from one end of the unnecessary sheet supporting surface on the other end, the unnecessary sheet And a step of peeling from the unnecessary sheet support surface.
JP2013190768A 2013-09-13 2013-09-13 Sheet sticking device and sticking method Active JP6216582B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013190768A JP6216582B2 (en) 2013-09-13 2013-09-13 Sheet sticking device and sticking method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013190768A JP6216582B2 (en) 2013-09-13 2013-09-13 Sheet sticking device and sticking method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015056611A JP2015056611A (en) 2015-03-23
JP6216582B2 true JP6216582B2 (en) 2017-10-18

Family

ID=52820760

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013190768A Active JP6216582B2 (en) 2013-09-13 2013-09-13 Sheet sticking device and sticking method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6216582B2 (en)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4441450B2 (en) * 2005-07-07 2010-03-31 リンテック株式会社 Sheet sticking device and sticking method
JP4803751B2 (en) * 2007-08-09 2011-10-26 株式会社タカトリ Wafer protective tape peeling device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015056611A (en) 2015-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6473359B2 (en) Sheet peeling device
JP6216584B2 (en) Sheet sticking device and sticking method
JP2014229636A (en) Sheet sticking device and sheet sticking method
JP2021048378A (en) Sheet sticking apparatus and sheet sticking method
JP6100600B2 (en) Sheet sticking device and sticking method
JP6216583B2 (en) Sheet sticking device and sticking method
JP6216582B2 (en) Sheet sticking device and sticking method
JP6438796B2 (en) Sheet peeling apparatus and peeling method
JP6216606B2 (en) Sheet pasting device
JP6438795B2 (en) Sheet peeling apparatus and peeling method
JP6078352B2 (en) Sheet sticking device and sheet sticking method
JP6177622B2 (en) Sheet sticking device and sheet sticking method
JP6431794B2 (en) Sheet peeling apparatus and peeling method
JP3212700U (en) Sheet pasting device
JP6069005B2 (en) Sheet sticking device and sticking method
JP6226660B2 (en) Sheet feeding apparatus and feeding method
JP6211827B2 (en) Sheet pasting device and pasting preparation method
JP2015012138A (en) Sheet sticking device and sticking method
JP6145330B2 (en) Sheet sticking device and sticking method
JP6420172B2 (en) Sheet feeding apparatus and feeding method
JP3210844U (en) Sheet feeding device
JP2017216343A (en) Sheet adhesion apparatus and adhesion method
JP2017073427A (en) Processing device
JP6397780B2 (en) Transfer apparatus and transfer method
JP6082188B2 (en) Plate-shaped member processing apparatus and processing method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160721

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170529

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170606

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170802

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170912

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170925

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6216582

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250