JP6213795B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
基板の下面に振動板を配置するステップと、
前記振動板の表面に圧電アクチュエータを配置するステップと、
前記圧電アクチュエータの腐食を防ぐために、前記圧電アクチュエータの表面に保護フィルムを配置し、前記保護フィルムと前記振動板との協働により前記圧電アクチュエータを密封するステップと、
前記基板における前記圧電アクチュエータに対応する位置に凹溝を形成し、前記基板及び前記振動板に液供給孔を形成するために前記基板及び前記振動板に対してエッチングを行うステップと、
前記凹溝及び前記液供給孔を形成した後に、前記振動板の下面に圧力キャビティ及びノズル孔を形成し、前記圧力キャビティが前記振動板における圧電アクチュエータが位置する箇所を被覆するようにし、前記圧力キャビティと前記ノズル孔及び前記液供給孔とを連通させるステップとを含む。
にレジスト層をさらに配置する必要がなく、レジスト層を除去する工程を省くことができ、従って、工程が簡素化される。また、レジスト層を除去する工程を省くことで、ノズル板層及びノズル孔が製造過程において損傷しにくく、インクジェットヘッドの歩留まりが向上する。
図1に示すように、本発明の実施形態1に係るインクジェットヘッドの製造方法は、具体的には、以下のステップを含む。
供給孔206は、インクが流れ込むために用いられる。
図11に示すように、本発明の実施形態2に係るインクジェットヘッドは、振動板202、圧力キャビティ207、基板201及びふた板211を備えている。振動板202の表面には、圧電アクチュエータ203が配置されている。圧電アクチュエータ203の表面には、保護フィルム204が配置されている。保護フィルム204は、振動板202と協働して圧電アクチュエータ203を密封し、圧電アクチュエータ203の腐食を防ぐために用いられる。圧力キャビティ207は、振動板202の下面に配置され、振動板202における圧電アクチュエータ203が位置する箇所を被覆している。圧力キャビティ207の下面には、圧力キャビティ207と連通するノズル孔208が形成されている。基板201は、振動板202の上面に位置している。基板201において圧電アクチュエータ203に対応する位置には、凹溝205が形成されている。基板201及び振動板202には、圧力キャビティ207と連通する液供給孔206が設けられている。ふた板211は、基板201の上面に配置されている。ふた板211には、液供給孔206と連通する開口が設けられている。
とが可能であり、振動の効果がさらに向上する。
202 振動板
203 圧電アクチュエータ
204 保護フィルム
205 凹溝
206 液供給孔
207 圧力キャビティ
208 ノズル孔
209 圧力キャビティ層
210 ノズル板層
211 ふた板
301 第1マスク
302 第2マスク
Claims (7)
- 基板の下面に振動板を配置するステップと、
前記振動板の表面に圧電アクチュエータを配置するステップと、
前記圧電アクチュエータの腐食を防ぐために、前記圧電アクチュエータの表面に保護フィルムを配置し、前記保護フィルムと前記振動板との協働により前記圧電アクチュエータを密封するステップと、
前記基板における前記圧電アクチュエータに対応する位置に凹溝を形成し、前記基板及び前記振動板に液供給孔を形成するために前記基板及び前記振動板に対してエッチングを行うステップと、
前記凹溝及び前記液供給孔を形成した後に、前記振動板の下面に圧力キャビティ及びノズル孔を形成し、前記圧力キャビティが前記振動板における圧電アクチュエータが位置する箇所を被覆するようにし、前記圧力キャビティと前記ノズル孔及び液供給孔とを連通させるステップとを含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記振動板の表面に前記圧電アクチュエータを配置するステップは、前記振動板の下面に前記圧電アクチュエータを配置するステップを含むことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記保護フィルムに、窒化ケイ素又は酸化ケイ素材料を採用することを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記振動板に、窒化ケイ素材料を採用することを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記振動板の下面に圧力キャビティ及びノズル孔を形成し、前記圧力キャビティが前記振動板における前記圧電アクチュエータが位置する箇所を被覆するようにし、前記圧力キャビティと前記ノズル孔及び液供給孔とを連通させるステップは、
前記振動板の下面に圧力キャビティ層を形成するステップと、
前記圧力キャビティ層の周囲の側壁を固化させるため、第1マスクを介して露光するステップと、
前記圧力キャビティ層の下面にノズル板層を配置するステップと、
前記ノズル板層における前記ノズル孔の位置以外の部分を固化させるため、第2マスクを介して露光するステップと、
現像し、前記圧力キャビティ層に前記圧力キャビティを形成し且つ前記ノズル板層に前記ノズル孔を形成し、前記圧力キャビティと前記ノズル孔及び前記液供給孔とを連通させるステップとを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記圧力キャビティ層及び前記ノズル板層に、SU8フォトレジストを採用することを特徴とする請求項5に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記振動板の下面に前記圧力キャビティ及び前記ノズル孔を形成した後、前記基板の上面に開口が設けられたふた板を配置し、前記開口と前記液供給孔とを連通させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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