JP6209174B2 - Joining apparatus and joining method - Google Patents

Description

本発明は、接合体の端部を被接合体の端部に液相拡散接合によって接合する接合装置及び接合方法に関するものである。   The present invention relates to a bonding apparatus and a bonding method for bonding an end of a bonded body to an end of a bonded body by liquid phase diffusion bonding.

従来、火力発電用ボイラや産業用ボイラ等の炉壁を構成する蒸発管の損傷部分を補修する方法として、その損傷部分を切断し、切断した部分に新しい蒸発管（新管）を取り付けて、液相拡散接合によって接合する手法が提案されている（例えば特許文献１参照）。この接合手法では、蒸発管を加熱して熱膨張させることで、接合に必要な加圧力を発生させるとともに、新管の両端部を同時に接合することが可能である。   Conventionally, as a method of repairing the damaged part of the evaporator tube that constitutes the furnace wall of thermal power generation boilers, industrial boilers, etc., the damaged part is cut, and a new evaporator pipe (new pipe) is attached to the cut part, A technique of joining by liquid phase diffusion joining has been proposed (see, for example, Patent Document 1). In this joining technique, the evaporation pipe is heated and thermally expanded to generate a pressure necessary for joining and to join both ends of the new pipe at the same time.

特開２００６−２５５７２３号公報JP 2006-255723 A

しかしながら、熱膨張を利用した手法では、接合部分に加わる加圧力が必要以上に高まって、蒸発管に撓みや座屈が発生したり、接合部分において膨出が発生したりするおそれがある。これに対して、加圧力が過大とならないようにモニタリングし、加圧力が過大となった場合に蒸発管の加熱を停止させることが考えられる。しかし、蒸発管の加熱を停止させたとしても、蒸発管が熱膨張しなくなるまでには比較的長い時間が必要であり、応答性が悪いという課題がある。   However, in the method using thermal expansion, the pressure applied to the joint portion is increased more than necessary, and the evaporation tube may be bent or buckled, or the joint portion may bulge. On the other hand, it is considered that monitoring is performed so that the applied pressure does not become excessive, and heating of the evaporation pipe is stopped when the applied pressure becomes excessive. However, even if heating of the evaporator tube is stopped, it takes a relatively long time until the evaporator tube does not thermally expand, and there is a problem that the responsiveness is poor.

また、接合部分付近には蒸発管を熱膨張させるための加熱装置とは別に、アモルファス材を溶融させるための加熱装置が設けられる。すなわち、接合部分付近は、後者の加熱装置によっても加熱されるため、より熱膨張しやすく、加圧力がさらに大きくなりやすいという課題もある。さらに後者の加熱装置は、アモルファス材を融点以上に加熱する必要があるため、加圧力が大きいからといって加熱を停止させるわけにはいかず、加圧力の増大を抑制することが困難である。   In addition, a heating device for melting the amorphous material is provided in the vicinity of the joint portion, in addition to the heating device for thermally expanding the evaporation tube. That is, the vicinity of the joint portion is also heated by the latter heating device, so that there is a problem that the thermal expansion easily occurs and the applied pressure tends to be further increased. Furthermore, since the latter heating device needs to heat the amorphous material to the melting point or higher, heating cannot be stopped just because the applied pressure is large, and it is difficult to suppress an increase in the applied pressure.

本件は、このような課題に鑑み案出されたもので、液相拡散接合による接合装置及び接合方法に関し、熱膨張を速やかに抑制して、接合部分に過大な加圧力が加わることを防止することを目的の一つとする。なお、この目的に限らず、後述する発明を実施するための形態に示す各構成により導かれる作用効果であって、従来の技術によっては得られない作用効果を奏することも本件の他の目的として位置づけることができる。   The present case has been devised in view of such a problem, and relates to a bonding apparatus and a bonding method by liquid phase diffusion bonding, thereby quickly suppressing thermal expansion and preventing an excessive pressure from being applied to a bonded portion. One of the purposes. The present invention is not limited to this purpose, and is a function and effect derived from each configuration shown in the embodiments for carrying out the invention described later, and other effects of the present invention are to obtain a function and effect that cannot be obtained by conventional techniques. Can be positioned.

（１）ここで開示する接合装置は、接合体の端部と被接合体の端部との間にアモルファス材を挟んで液相拡散接合する接合装置である。この接合装置は、前記接合体を加熱する第一加熱体と、前記アモルファス材を加熱する第二加熱体と、を備える。さらに、前記接合装置は、内部を冷却媒体が流通することで前記接合体を冷却する冷却管と、前記接合体の前記端部と前記被接合体の前記端部との接合部分に加わる加圧力が第一所定値よりも高い場合に、前記冷却管に前記冷却媒体を流通させる制御装置と、を備える。   (1) The bonding apparatus disclosed here is a bonding apparatus that performs liquid phase diffusion bonding by sandwiching an amorphous material between an end of a bonded body and an end of a bonded body. The bonding apparatus includes a first heating body that heats the bonded body and a second heating body that heats the amorphous material. Furthermore, the joining device is a pressure applied to a joining portion between a cooling pipe that cools the joined body through a cooling medium flowing therein, and the end portion of the joined body and the end portion of the joined body. And a control device that causes the cooling medium to flow through the cooling pipe when the value is higher than a first predetermined value.

（２）前記制御装置は、前記加圧力が第二所定値よりも高い場合に前記第一加熱体による加熱を停止させることが好ましい。
（３）前記冷却管は、前記第二加熱体よりも前記第一加熱体に近接して配置されることが好ましい。
（４）前記制御装置は、前記加圧力が増大するほど前記冷却媒体による冷却量を増大させることが好ましい。 (2) It is preferable that the said control apparatus stops the heating by said 1st heating body, when the said applied pressure is higher than a 2nd predetermined value.
(3) It is preferable that the cooling pipe is disposed closer to the first heating body than the second heating body.
(4) It is preferable that the said control apparatus increases the cooling amount by the said cooling medium, so that the said applied pressure increases.

（５）ここで開示する接合方法は、接合体の端部と被接合体の端部とを、アモルファス材を用いた液相拡散接合により接合する方法である。この接合方法は、前記接合体の前記端部と前記被接合体の前記端部とを隙間をあけて保持するとともに前記隙間に前記アモルファス材を配置する保持工程と、前記保持工程後に、第一加熱体により前記接合体を加熱して、前記接合体の前記端部と前記被接合体の前記端部との接合部分に加圧力を発生させると共に、第二加熱体により前記アモルファス材を加熱して前記接合体と前記被接合体とを接合する接合工程と、を備える。また、前記接合工程において、前記加圧力が第一所定値よりも高い場合に冷却管の内部に冷却媒体を流通させて前記接合体を冷却する。   (5) The joining method disclosed here is a method in which the end of the joined body and the end of the joined body are joined by liquid phase diffusion joining using an amorphous material. In this bonding method, a holding step of holding the end portion of the bonded body and the end portion of the bonded body with a gap and disposing the amorphous material in the gap, and a first step after the holding step, The joined body is heated by a heating body to generate a pressure at a joining portion between the end of the joined body and the end of the joined body, and the amorphous material is heated by a second heating body. A joining step for joining the joined body and the joined body. In the joining step, when the applied pressure is higher than a first predetermined value, a cooling medium is circulated inside the cooling pipe to cool the joined body.

（６）前記接合工程において、前記加圧力が第二所定値よりも高い場合に前記第一加熱体による加熱を停止することが好ましい。
（７）前記接合工程において、前記加圧力が増大するほど前記冷却媒体による冷却量を増大することが好ましい。 (6) In the joining step, it is preferable that heating by the first heating body is stopped when the applied pressure is higher than a second predetermined value.
(7) In the joining step, it is preferable that the cooling amount by the cooling medium is increased as the applied pressure is increased.

開示の接合装置及び接合方法によれば、加圧力が第一所定値よりも高い場合に接合体を冷却するので、接合体の熱膨張を速やかに抑制することができる。これにより、接合部分に過大な加圧力が加わることを防止することができ、接合体及び被接合体の座屈の発生や、接合部分の膨出を防止することができる。   According to the disclosed joining apparatus and joining method, since the joined body is cooled when the applied pressure is higher than the first predetermined value, the thermal expansion of the joined body can be quickly suppressed. Thereby, it can prevent that an excessive pressurizing force is added to a junction part, generation | occurrence | production of the buckling of a joined body and a to-be-joined body, and the swelling of a junction part can be prevented.

実施形態に係る接合装置の構成を示す模式図である。It is a mimetic diagram showing the composition of the joining device concerning an embodiment. 図１の接合装置を用いた接合方法の手順を説明する図である。It is a figure explaining the procedure of the joining method using the joining apparatus of FIG. 図１の接合装置による制御内容を例示するフローチャートである。It is a flowchart which illustrates the control content by the joining apparatus of FIG.

図面を参照して、実施形態としての接合装置及び接合方法について説明する。以下に示す実施形態はあくまでも例示に過ぎず、以下の実施形態で明示しない種々の変形や技術の適用を排除する意図はない。本実施形態の各構成は、それらの趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができるとともに、必要に応じて取捨選択することができ、あるいは適宜組み合わせることが可能である。   With reference to the drawings, a bonding apparatus and a bonding method as embodiments will be described. The embodiment described below is merely an example, and there is no intention of excluding various modifications and technical applications that are not explicitly described in the following embodiment. Each configuration of the present embodiment can be implemented with various modifications without departing from the spirit of the present embodiment, and can be selected or combined as necessary.

［１．構成］
図１に、本実施形態の接合装置１０の構成を示す。本接合装置１０は、接合体の端部と被接合体の端部との間にアモルファス材を挟んで液相拡散接合する装置である。すなわち、接合体と被接合体の端部同士を密着させて加圧した状態で、アモルファス材を加熱して溶融させ、拡散を利用して接合する。なお、アモルファス材は、ホウ素（Ｂ）等の融点降下元素を含んだ低融点アモルファス金属であり、例えばシート状に形成されたものである。 [1. Constitution]
In FIG. 1, the structure of the joining apparatus 10 of this embodiment is shown. The main bonding apparatus 10 is an apparatus that performs liquid phase diffusion bonding with an amorphous material interposed between an end of a bonded body and an end of a bonded body. That is, the amorphous material is heated and melted in a state where the ends of the bonded body and the bonded body are in close contact with each other and pressed, and bonding is performed using diffusion. The amorphous material is a low melting point amorphous metal containing a melting point depressing element such as boron (B), and is formed in a sheet shape, for example.

接合装置１０は、例えば火力発電用ボイラや産業用ボイラ等の火炉壁を構成する蒸発管の補修工事に用いられる。ボイラの火炉壁は、蒸気が通過する複数の蒸発管が所定の間隔をあけて並設され、隣接する蒸発管の間にフィンが取り付けられて構成されている。これら複数の蒸発管の一部に損傷が発生した場合、損傷部分のある蒸発管については、その損傷部分を切除して、切除した部分に新しい蒸発管（新管）を接合するという補修工事が行われる。   The joining device 10 is used, for example, for repairing an evaporation pipe that constitutes a furnace wall such as a thermal power generation boiler or an industrial boiler. The boiler wall of the boiler is configured by arranging a plurality of evaporation pipes through which steam passes at a predetermined interval and attaching fins between adjacent evaporation pipes. When some of these multiple evaporation tubes are damaged, repair work is required to remove the damaged portion of the evaporation tube with a damaged portion and then join a new evaporation tube (new tube) to the removed portion. Done.

本実施形態では、図１に示すように、損傷部分の切除によって分断された既設管２Ａ，２Ｂ（被接合体）の各端部に、新管１（接合体）の両端部を接合する場合について説明する。既設管２Ａ，２Ｂは、一本の既設管２のうち損傷部分が取り除かれた残りの部分である。以下、既設管２Ａ，２Ｂを特に区別しない場合は、既設管２という。既設管２には、上記のように隣接する他の既設管との間にフィン（何れも図示略）が取り付けられているが、補修工事では、既設管２から損傷部分を切除するときに損傷部分の周囲のフィンも取り除く。これにより、既設管２の炉内側に対しても炉外から後述の接合用コイル１２Ａ，１２Ｂを設置するなどの作業を行うことが可能となる。また、補修工事では、新管１は、図示しないクランプ装置によって保持される。   In this embodiment, as shown in FIG. 1, when both ends of the new pipe 1 (joined body) are joined to the respective ends of the existing pipes 2 </ b> A and 2 </ b> B (joined body) divided by excision of the damaged portion. Will be described. Existing pipes 2A and 2B are the remaining parts from which the damaged part was removed among the existing pipes 2. Hereinafter, when the existing pipes 2A and 2B are not particularly distinguished, they are referred to as the existing pipe 2. As described above, the existing pipe 2 is provided with fins (all not shown) between adjacent existing pipes. However, in repair work, the existing pipe 2 is damaged when the damaged portion is excised. Also remove the fins around the part. Accordingly, it is possible to perform operations such as installing welding coils 12A and 12B, which will be described later, from the outside of the furnace inside the existing pipe 2. In the repair work, the new pipe 1 is held by a clamping device (not shown).

接合装置１０は、新管１を加熱する荷重用コイル１１と、新管１の両端部と既設管２Ａ，２Ｂの各端部との接合部分３Ａ，３Ｂを加熱する接合用コイル１２Ａ，１２Ｂと、新管１を冷却する冷却管１３Ａ，１３Ｂと、制御装置１９と、を備える。なお、接合部分３Ａ，３Ｂ、接合用コイル１２Ａ，１２Ｂ、冷却管１３Ａ，１３Ｂは、それぞれ位置のみが異なるものであり、特に区別しない場合は既設管２と同様にアルファベットを省略して説明する。   The joining device 10 includes a load coil 11 that heats the new tube 1, and joining coils 12 </ b> A and 12 </ b> B that heat joint portions 3 </ b> A and 3 </ b> B between both ends of the new tube 1 and the ends of the existing tubes 2 </ b> A and 2 </ b> B. The cooling pipes 13A and 13B for cooling the new pipe 1 and the control device 19 are provided. Note that the joining portions 3A and 3B, the joining coils 12A and 12B, and the cooling pipes 13A and 13B differ only in position, and unless otherwise distinguished, will be described with the alphabet omitted as in the existing pipe 2.

荷重用コイル１１（第一加熱体）は、新管１を加熱して熱膨張させ、新管１の両端部を既設管２の各端部に密着させて、接合部分３に加圧力Ｐを発生させるものである。図１に示すように、新管１は、既設管２の各端部との間に隙間を有した状態でクランプ装置により保持され、この隙間にアモルファス材４が配置される。荷重用コイル１１は、新管１を加熱して熱膨張させることでこの隙間をなくし、加圧力Ｐを発生させる。接合部分３は、新管１が熱膨張して既設管２の各端部と密着した場合の新管１と既設管２との接合箇所である。   The coil 11 for load (first heating body) heats the new pipe 1 to thermally expand it, brings both end portions of the new pipe 1 into close contact with the end portions of the existing pipe 2, and applies a pressure P to the joint portion 3. Is generated. As shown in FIG. 1, the new pipe 1 is held by a clamping device with a gap between each end of the existing pipe 2, and the amorphous material 4 is disposed in the gap. The load coil 11 eliminates this gap by heating and expanding the new tube 1 to generate a pressure P. The joint portion 3 is a joint portion between the new pipe 1 and the existing pipe 2 when the new pipe 1 is thermally expanded and is in close contact with each end of the existing pipe 2.

荷重用コイル１１は、例えば高周波加熱コイルであって、図示しない高周波電源から整合トランスを介して電力が供給されることにより新管１を高周波加熱する。荷重用コイル１１は、新管１を熱膨張させることができるように配置される。例えば、図１に示すように、新管１の軸方向中心付近において、新管１を包囲するように配置される。荷重用コイル１１の作動状態は、制御装置１９によって制御される。   The load coil 11 is a high frequency heating coil, for example, and heats the new tube 1 by high frequency when power is supplied from a high frequency power source (not shown) via a matching transformer. The coil 11 for load is arrange | positioned so that the new tube 1 can be thermally expanded. For example, as shown in FIG. 1, the new pipe 1 is disposed so as to surround the axial center of the new pipe 1. The operating state of the load coil 11 is controlled by the control device 19.

接合用コイル１２（第二加熱体）は、接合部分３を加熱することで接合部分３に配置されるアモルファス材４を溶融させるものである。接合用コイル１２は、例えば高周波加熱コイルであって、図示しない高周波電源から整合トランスを介して電力が供給されることにより接合部分３を高周波加熱する。接合用コイル１２は、接合部分３を加熱できる位置に配置される。例えば、図１に示すように、既設管２の端部及びアモルファス材４を包囲するように配置される。接合用コイル１２の作動状態は、制御装置１９によって制御される。   The joining coil 12 (second heating body) melts the amorphous material 4 disposed in the joining portion 3 by heating the joining portion 3. The bonding coil 12 is, for example, a high-frequency heating coil, and heats the bonding portion 3 by high-frequency heating when electric power is supplied from a high-frequency power source (not shown) via a matching transformer. The joining coil 12 is disposed at a position where the joining portion 3 can be heated. For example, as shown in FIG. 1, it arrange | positions so that the edge part of the existing pipe 2 and the amorphous material 4 may be surrounded. The operating state of the bonding coil 12 is controlled by the control device 19.

冷却管１３は、内部を冷却媒体が流通することで新管１を冷却するものであり、新管１の熱膨張を抑制するためのものである。冷却媒体は、例えば水道水や海水，不凍液等である。冷却管１３は、新管１を冷却できる位置に配置される。例えば、図１に示すように荷重用コイル１１を挟んで二箇所に配置される。なお、冷却管１３は、接合用コイル１２よりも荷重用コイル１１に近接して（言い換えると、接合用コイル１２から離隔して）配置されて、アモルファス材４の溶融に影響を与えないように設けられる。   The cooling pipe 13 cools the new pipe 1 by circulating a cooling medium therein, and suppresses the thermal expansion of the new pipe 1. The cooling medium is, for example, tap water, seawater, antifreeze or the like. The cooling pipe 13 is disposed at a position where the new pipe 1 can be cooled. For example, as shown in FIG. 1, it arrange | positions in two places on both sides of the coil 11 for a load. The cooling pipe 13 is arranged closer to the load coil 11 than the bonding coil 12 (in other words, separated from the bonding coil 12) so as not to affect the melting of the amorphous material 4. Provided.

冷却管１３には、冷却媒体を冷却管１３に供給するための送給管１４が接続される。送給管１４にはバルブ１５とポンプ１６とが介装される。本実施形態のバルブ１５は、送給管１４を流通する冷却媒体の流量を連続的又は多段階に調整可能な流量調整弁である。なお、バルブ１５が全閉と全開との二択式の単なる開閉弁であってもよい。ポンプ１６は、例えば電動式ポンプであって、冷却媒体に所定の圧力を付加して送給管１４へと圧送するものである。本実施形態のポンプ１６は、バルブ１５の開閉と同期して作動する。冷却媒体は、バルブ１５が開弁され、ポンプ１６によって圧送されることにより、送給管１４を通って冷却管１３へと供給される。バルブ１５及びポンプ１６の作動状態は、制御装置１９によって制御される。   A supply pipe 14 for supplying a cooling medium to the cooling pipe 13 is connected to the cooling pipe 13. A valve 15 and a pump 16 are interposed in the feed pipe 14. The valve 15 of the present embodiment is a flow rate adjustment valve that can adjust the flow rate of the cooling medium flowing through the supply pipe 14 continuously or in multiple stages. Note that the valve 15 may be a simple open / close valve of two choices of fully closed and fully open. The pump 16 is an electric pump, for example, and applies a predetermined pressure to the cooling medium and pumps it to the feed pipe 14. The pump 16 of this embodiment operates in synchronization with the opening and closing of the valve 15. The cooling medium is supplied to the cooling pipe 13 through the feeding pipe 14 by the valve 15 being opened and being pumped by the pump 16. The operating states of the valve 15 and the pump 16 are controlled by the control device 19.

新管１には、接合部分３に加わる加圧力Ｐを検出するためのひずみゲージ１７と、接合部分３の温度を検出する熱電対１８とが設けられる。ひずみゲージ１７及び熱電対１８で検出された各情報は、制御装置１９へ伝達される。   The new tube 1 is provided with a strain gauge 17 for detecting the pressure P applied to the joint portion 3 and a thermocouple 18 for detecting the temperature of the joint portion 3. Each information detected by the strain gauge 17 and the thermocouple 18 is transmitted to the control device 19.

制御装置１９は、ひずみゲージ１７で検出された加圧力Ｐに応じて、荷重用コイル１１による加熱量と冷却媒体による冷却量とを制御するとともに、熱電対１８で検出された温度情報に基づいて、接合用コイル１２による加熱量を制御するものである。制御装置１９は、各種演算処理を実行するＣＰＵ、その制御に必要なプログラムやデータの記憶されたＲＯＭ、ＣＰＵでの演算結果等が一時的に記憶されるＲＡＭ、外部との間で信号を入出力するための入出力ポート等を備えた電子制御装置である。   The control device 19 controls the heating amount by the load coil 11 and the cooling amount by the cooling medium according to the applied pressure P detected by the strain gauge 17 and based on the temperature information detected by the thermocouple 18. The amount of heating by the bonding coil 12 is controlled. The control device 19 is a CPU that executes various arithmetic processes, a ROM that stores programs and data necessary for the control, a RAM that temporarily stores calculation results in the CPU, and inputs signals to and from the outside. This is an electronic control device including an input / output port for outputting.

制御装置１９は、接合部分３に加わる加圧力Ｐが接合に必要な加圧力Ｐａ（以下、必要加圧力Ｐａという）よりも高くなるように（Ｐ＞Ｐａとなるように）、荷重用コイル１１を作動させる。一方で、制御装置１９は、加圧力Ｐが予め設定された所定の第一閾値Ｐ１（第一所定値）よりも高い場合（Ｐ＞Ｐ１のとき）には、冷却管１３に冷却媒体を流通させて新管１を冷却する。第一閾値Ｐ１は、必要加圧力Ｐａよりも高い値（Ｐ１＞Ｐａ）であって、新管１及び既設管２の座屈や接合部分３の膨出が発生するおそれのない加圧力であり、例えば実験やシミュレーション等に基づいて予め設定される。   The control device 19 adjusts the load coil 11 so that the applied pressure P applied to the joined portion 3 is higher than the applied pressure Pa required for joining (hereinafter referred to as the required applied pressure Pa) (P> Pa). Is activated. On the other hand, the control device 19 distributes the cooling medium to the cooling pipe 13 when the pressure P is higher than a predetermined first threshold value P1 (first predetermined value) (when P> P1). Then, the new tube 1 is cooled. The first threshold value P1 is a value higher than the required pressure Pa (P1> Pa) and is a pressure that does not cause the buckling of the new pipe 1 and the existing pipe 2 or the bulging of the joint portion 3. For example, it is set in advance based on experiments, simulations, or the like.

制御装置１９は、新管１を冷却することで加圧力Ｐが低下し、加圧力Ｐが予め設定された所定の第二閾値Ｐ２以下（Ｐ≦Ｐ２）となった場合には、バルブ１５を閉弁するとともにポンプ１６を停止させ、新管１の冷却を停止する。なお、第二閾値Ｐ２は、必要加圧力Ｐａよりも高く、第一閾値Ｐ１よりも低い値（Ｐａ＜Ｐ２＜Ｐ１）である。これにより、バルブ１５やポンプ１６に対する制御のハンチングを防止する。   The control device 19 cools the new pipe 1 so that the pressure P decreases, and when the pressure P falls below a predetermined second threshold value P2 (P ≦ P2), the valve 15 is turned off. The pump 16 is stopped while the valve is closed, and the cooling of the new pipe 1 is stopped. The second threshold P2 is a value higher than the required pressure Pa and lower than the first threshold P1 (Pa <P2 <P1). Thereby, hunting of control for the valve 15 and the pump 16 is prevented.

制御装置１９は、加圧力Ｐが第一閾値Ｐ１よりも高い場合に、加圧力Ｐが増大するほど冷却媒体による冷却量を増大させる。冷却媒体による冷却量は、冷却管１３内を流通する冷却媒体の流量とその温度とを調節することで制御可能である。例えば、制御装置１９は、バルブ１５又はポンプ１６を制御して冷却媒体の流量を増大させて冷却量を増大させてもよい。あるいは、極低温の冷却媒体を用いて冷却量を増大させてもよい。また、これらを組み合わせることで冷却量を増大させてもよい。また、送給管１４にクーラーを介装し、冷却媒体の温度を下げることで冷却量を増大させる構成としてもよい。   When the pressure P is higher than the first threshold value P1, the control device 19 increases the amount of cooling by the cooling medium as the pressure P increases. The amount of cooling by the cooling medium can be controlled by adjusting the flow rate of the cooling medium flowing through the cooling pipe 13 and its temperature. For example, the control device 19 may control the valve 15 or the pump 16 to increase the flow rate of the cooling medium to increase the cooling amount. Alternatively, the cooling amount may be increased using a cryogenic cooling medium. Moreover, you may increase the amount of cooling by combining these. Moreover, it is good also as a structure which increases a cooling amount by interposing a cooler in the supply pipe | tube 14 and lowering | hanging the temperature of a cooling medium.

本実施形態の制御装置１９は、加圧力Ｐが第一閾値Ｐ１（第二所定値）よりも高い場合に、荷重用コイル１１による加熱を停止させる。これにより、新管１の熱膨張を効果的に抑制して、加圧力Ｐの増大を防ぐ。また、加圧力Ｐが第一閾値Ｐ１を上回った後に第二閾値Ｐ２以下となった場合には、荷重用コイル１１による加熱を再開する。なお、荷重用コイル１１による加熱を停止又は再開するときの閾値が、冷却を開始又は停止するときの閾値（第一閾値Ｐ１，第二閾値Ｐ２）とそれぞれ異なる値に設定されていてもよい。すなわち、第一閾値Ｐ１，第二閾値Ｐ２とは別に、荷重用コイル１１による加熱を停止させる判定閾値（第二所定値）と、加熱を再開させる判定閾値とをそれぞれ設けておき、加圧力Ｐをこの判定閾値と比較して荷重用コイル１１による加熱量を制御する構成としてもよい。   The control device 19 of the present embodiment stops heating by the load coil 11 when the pressure P is higher than the first threshold value P1 (second predetermined value). Thereby, the thermal expansion of the new pipe 1 is effectively suppressed, and an increase in the applied pressure P is prevented. Further, when the applied pressure P becomes equal to or lower than the second threshold value P2 after exceeding the first threshold value P1, the heating by the load coil 11 is resumed. In addition, the threshold value at the time of stopping or restarting the heating by the load coil 11 may be set to a value different from the threshold value at the time of starting or stopping the cooling (first threshold value P1, second threshold value P2). That is, apart from the first threshold value P1 and the second threshold value P2, a determination threshold value (second predetermined value) for stopping heating by the load coil 11 and a determination threshold value for restarting heating are provided, respectively, and the pressure P It is good also as a structure which controls the amount of heating by the coil 11 for load by comparing with this determination threshold value.

制御装置１９は、新管１が既設管２Ａ，２Ｂの間に保持され、荷重用コイル１１の作動が開始された後、加圧力Ｐが必要加圧力Ｐａよりも高くなったら接合用コイル１２を作動させる。そして、熱電対１８で検出される温度が、アモルファス材４が溶融する所定の温度（以下、溶融温度という）に保持されるように、接合用コイル１２の加熱量を制御する。制御装置１９は、熱電対１８で検出された温度がアモルファス材４の溶融温度となった時点から所定時間が経過したら、接合が完了したと判断し、荷重用コイル１１及び接合用コイル１２の作動を停止させる。なお、接合が完了したと判断した時点で冷却媒体による冷却が行われていた場合の冷却を停止させるタイミングは、接合が完了したと判断した時点であってもよいし、この判断時点で加圧力Ｐが比較的高ければ、判断時点からある程度時間が経過した時点としてもよい。   After the new pipe 1 is held between the existing pipes 2A and 2B and the operation of the load coil 11 is started, the control device 19 turns the joining coil 12 on when the applied pressure P becomes higher than the required applied pressure Pa. Operate. Then, the heating amount of the bonding coil 12 is controlled so that the temperature detected by the thermocouple 18 is maintained at a predetermined temperature at which the amorphous material 4 is melted (hereinafter referred to as melting temperature). The control device 19 determines that the joining is completed when a predetermined time has elapsed from the time when the temperature detected by the thermocouple 18 becomes the melting temperature of the amorphous material 4, and operates the load coil 11 and the joining coil 12. Stop. Note that the timing for stopping the cooling when cooling by the cooling medium is performed at the time when it is determined that the joining is completed may be the time when it is determined that the joining is completed. If P is relatively high, it may be a time when a certain amount of time has elapsed since the determination time.

［２．作業工程，フローチャート］
次に、図２を参照して、上述の接合装置１０を用いて、新管１の両端部と既設管２Ａ，２Ｂの各端部とを液相拡散接合により接合する方法を説明する。本接合方法は、保持工程と接合工程とを備える。
まず、保持工程（ステップＳ１０）において、既設管２の損傷部分を切除することで分断された既設管２Ａ，２Ｂの間に、クランプ装置を使用して新管１を保持する。このとき、新管１の両端部と既設管２Ａ，２Ｂの各端部との間にアモルファス材４を配置する。 [2. Work process, flowchart]
Next, with reference to FIG. 2, a method of joining both ends of the new pipe 1 and the respective ends of the existing pipes 2 </ b> A and 2 </ b> B by liquid phase diffusion bonding using the above-described joining apparatus 10 will be described. The present bonding method includes a holding process and a bonding process.
First, in the holding step (step S10), the new pipe 1 is held between the existing pipes 2A and 2B divided by excising the damaged portion of the existing pipe 2 using a clamp device. At this time, the amorphous material 4 is disposed between the both ends of the new pipe 1 and the respective ends of the existing pipes 2A and 2B.

保持工程が終わったら、接合工程（ステップＳ２０）において、荷重用コイル１１により新管１を加熱して、接合部分３に加圧力Ｐを発生させて必要加圧力Ｐａよりも高くする（ステップＳ２１）。次いで、接合用コイル１２によりアモルファス材４を加熱して溶融させるとともに、加圧力Ｐに応じて荷重用コイル１１による加熱量と冷却媒体による冷却量とを制御する（ステップＳ２２）。   When the holding process is finished, in the joining process (step S20), the new tube 1 is heated by the load coil 11 to generate the pressure P at the joint portion 3 to be higher than the necessary pressure Pa (step S21). . Next, the amorphous material 4 is heated and melted by the bonding coil 12, and the heating amount by the load coil 11 and the cooling amount by the cooling medium are controlled according to the applied pressure P (step S22).

すなわち、ステップＳ２２では、熱電対１８で検出される温度が溶融温度に保持されるように接合用コイル１２を制御する。また、これと並行して、ひずみゲージ１７で検出される加圧力Ｐが第一閾値Ｐ１よりも高くなれば、冷却管１３に冷却媒体を流通させて新管１を冷却するとともに荷重用コイル１１による加熱を停止する。なお、加圧力Ｐが第一閾値Ｐ１を上回った後に第二閾値Ｐ２以下となれば、新管１の冷却を止めるとともに荷重用コイル１１による加熱を再開する。   That is, in step S22, the bonding coil 12 is controlled so that the temperature detected by the thermocouple 18 is maintained at the melting temperature. In parallel with this, if the pressure P detected by the strain gauge 17 becomes higher than the first threshold value P1, the cooling medium is circulated through the cooling pipe 13 to cool the new pipe 1 and the load coil 11 is used. Stop heating with. If the applied pressure P becomes equal to or lower than the second threshold value P2 after exceeding the first threshold value P1, the cooling of the new tube 1 is stopped and the heating by the load coil 11 is restarted.

接合工程について、図３を用いてさらに詳述する。図３は、制御装置１９において所定の演算周期で実施される制御フローの一例である。このフローチャートは、保持工程後に開始される。
図３に示すように、ステップＡ１では、ひずみゲージ１７及び熱電対１８でそれぞれ検出された値（センサ値）が取得される。続くステップＡ２では、加圧力Ｐが必要加圧力Ｐａよりも高いか否かが判定され、Ｐ＞ＰａであればステップＡ４へ進み、Ｐ≦ＰａであればステップＡ３へ進む。ステップＡ３では、荷重用コイル１１が作動して新管１が加熱され、このフローをリターンする。 The joining process will be further described in detail with reference to FIG. FIG. 3 is an example of a control flow executed in the control device 19 at a predetermined calculation cycle. This flowchart is started after the holding step.
As shown in FIG. 3, in step A1, values (sensor values) detected by the strain gauge 17 and the thermocouple 18 are acquired. In subsequent step A2, it is determined whether or not the applied pressure P is higher than the required applied pressure Pa. If P> Pa, the process proceeds to step A4, and if P ≦ Pa, the process proceeds to step A3. In step A3, the load coil 11 is actuated to heat the new tube 1, and the flow returns.

新管１が熱膨張してＰ＞Ｐａとなると、ステップＡ４において接合用コイル１２の制御が実施される。すなわち、熱電対１８で検出される温度が溶融温度に保持されるように接合用コイル１２の加熱量が制御される。続くステップＡ５では、加圧力Ｐが第一閾値Ｐ１よりも高いか否かが判定される。Ｐ≦Ｐ１のときはステップＡ６に進み、新管１が冷却されているか否かが判定され、冷却されていない場合はステップＡ１０へ進む。ステップＡ１０では、接合が完了したか否かが判定され、完了していなければこのフローをリターンする。   When the new tube 1 is thermally expanded and P> Pa, the control of the bonding coil 12 is performed in step A4. That is, the heating amount of the bonding coil 12 is controlled so that the temperature detected by the thermocouple 18 is maintained at the melting temperature. In subsequent step A5, it is determined whether or not the pressure P is higher than the first threshold value P1. When P ≦ P1, the process proceeds to Step A6, where it is determined whether or not the new pipe 1 is cooled, and when it is not cooled, the process proceeds to Step A10. In step A10, it is determined whether or not the joining is completed, and if not completed, this flow is returned.

接合が完了したと判定されるまでの間に、加圧力Ｐが第一閾値Ｐ１を上回った場合は、ステップＡ５からステップＡ７へ進み、新管１の加熱が止められるとともに新管１の冷却が実施される。これ以降の演算周期において、Ｐ≦Ｐ１となった場合は、ステップＡ５からステップＡ６へ進み、冷却が実施されているか否かが判定される。この場合は冷却が実施されているため、ステップＡ８へ進み、加圧力Ｐが第二閾値Ｐ２以下であるか否かが判定される。Ｐ＞Ｐ２のときはステップＡ１０へ進んで判定が行われる。一方、Ｐ≦Ｐ２のときはステップＡ９へ進み、荷重用コイル１１による加熱が再開されるとともに冷却が止められ、ステップＡ１０へ進む。
なお、ステップＡ１０において接合が完了したと判定された場合は、荷重用コイル１１及び接合用コイル１２が停止されるとともに、冷却媒体の流通が止められて、このフローを終了する。 If the pressure P exceeds the first threshold value P1 until it is determined that the joining is completed, the process proceeds from step A5 to step A7, where the heating of the new pipe 1 is stopped and the cooling of the new pipe 1 is stopped. To be implemented. In the subsequent calculation cycle, when P ≦ P1, the process proceeds from step A5 to step A6, and it is determined whether or not cooling is performed. In this case, since cooling is performed, the process proceeds to step A8, and it is determined whether or not the pressure P is equal to or less than the second threshold value P2. When P> P2, the routine proceeds to step A10 where determination is made. On the other hand, when P ≦ P2, the process proceeds to step A9, the heating by the load coil 11 is resumed and the cooling is stopped, and the process proceeds to step A10.
If it is determined in step A10 that the joining has been completed, the load coil 11 and the joining coil 12 are stopped, and the flow of the cooling medium is stopped, and this flow is finished.

［３．効果］
上述の接合装置１０及びこれを用いた接合方法によれば、加圧力Ｐが第一閾値Ｐ１よりも高い場合に新管１を冷却するので、単に荷重用コイル１１の加熱を停止させて熱膨張を抑制する場合と比較して、新管１の熱膨張を速やかに抑制することができる。つまり、上述の接合装置１０によれば、新管１の熱膨張が抑制されるまでの時間を短縮することができるため、応答性が非常に高い。これにより、接合部分３に過大な加圧力Ｐが加わることを防止することができ、新管１及び既設管２の座屈の発生や、接合部分３の膨出を防止することができる。 [3. effect]
According to the above-described joining apparatus 10 and the joining method using the same, the new tube 1 is cooled when the applied pressure P is higher than the first threshold value P1, so that the heating of the load coil 11 is simply stopped to cause thermal expansion. Compared with the case where it suppresses, the thermal expansion of the new tube 1 can be suppressed rapidly. That is, according to the above-described joining device 10, since the time until the thermal expansion of the new tube 1 is suppressed can be shortened, the responsiveness is very high. Thereby, it can prevent that the excessive pressurizing force P is added to the junction part 3, and generation | occurrence | production of buckling of the new pipe 1 and the existing pipe 2 and the swelling of the junction part 3 can be prevented.

さらに、新管１は、その両端部付近が接合用コイル１２による加熱の影響も受けるため、熱膨張しやすく、加圧力Ｐが大きくなりやすいという課題があった。これに対して、上述の接合装置１０を用いれば、冷却管１３に冷却媒体を流通させることで、新管１の熱膨張を素早く抑制することができるため、接合用コイル１２の加熱を停止させる必要もなく、アモルファス材４の温度を溶融温度に保持しやすくすることができる。したがって、新管１の接合を速やかに完了することができる。   Further, the new pipe 1 has a problem that the vicinity of both ends thereof is also affected by the heating by the bonding coil 12, so that it tends to thermally expand and the pressure P tends to increase. On the other hand, since the thermal expansion of the new pipe 1 can be quickly suppressed by circulating the cooling medium through the cooling pipe 13 when the above-described joining apparatus 10 is used, heating of the joining coil 12 is stopped. It is not necessary, and the temperature of the amorphous material 4 can be easily maintained at the melting temperature. Therefore, the joining of the new tube 1 can be completed promptly.

また、上述の接合装置１０及びこれを用いた接合方法では、加圧力Ｐが第一閾値Ｐ１よりも高い場合に荷重用コイル１１による加熱を停止させるので、新管１の熱膨張をより速やかに抑制することができる。これにより、加圧力Ｐの増大を防止することができ、加圧力Ｐを一定に保つことができる。   Moreover, in the above-mentioned joining apparatus 10 and the joining method using this, since the heating by the coil 11 for a load is stopped when the applied pressure P is higher than the 1st threshold value P1, the thermal expansion of the new tube 1 is made quicker. Can be suppressed. Thereby, increase of the applied pressure P can be prevented and the applied pressure P can be kept constant.

また、上述の接合装置１０及びこれを用いた接合方法では、加圧力Ｐが増大するほど冷却媒体による冷却量を増大させるため、新管１の熱膨張をより速く抑制することができる。すなわち、応答性をさらに高めることができ、接合部分３に過大な加圧力Ｐが加わることをより防止することができる。   Moreover, in the above-mentioned joining apparatus 10 and the joining method using the same, the amount of cooling by the cooling medium is increased as the pressure P is increased, so that the thermal expansion of the new pipe 1 can be suppressed more quickly. That is, the responsiveness can be further increased, and an excessive pressure P can be prevented from being applied to the joint portion 3.

上述の接合装置１０では、冷却管１３が接合用コイル１２よりも荷重用コイル１１に近接して配置される。言い換えると、冷却管１３が接合用コイル１２から離隔して配置されるため、冷却媒体の影響が接合用コイル１２による加熱に及ぶことを防止することができる。これにより、アモルファス材４の温度を一定に保持しやすくすることができる。   In the above-described joining device 10, the cooling pipe 13 is arranged closer to the load coil 11 than the joining coil 12. In other words, since the cooling pipe 13 is arranged separately from the bonding coil 12, the influence of the cooling medium can be prevented from reaching the heating by the bonding coil 12. Thereby, it is possible to easily keep the temperature of the amorphous material 4 constant.

［４．その他］
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することが可能である。
上述の実施形態では、制御装置１９が、ひずみゲージ１７で検出された加圧力Ｐに応じて、荷重用コイル１１による加熱量と冷却媒体による冷却量とを制御する構成を例示したが、加圧力Ｐに加えて熱電対１８で検出された温度情報を用いて加熱量と冷却量とを制御してもよい。例えば、加圧力Ｐが第一閾値Ｐ１よりも高くなった場合に冷却を開始することで、熱電対１８で検出された温度が溶融温度よりも低くなったら、接合用コイル１２の加熱量を増大させる代わりに、或いは、接合用コイル１２の加熱量の増大と併用して、冷却媒体による冷却量を抑制してもよい。このように加圧力Ｐと温度とに応じて、新管１に対する加熱量と冷却量とを制御する構成とすることで、接合環境をより適切なものとすることができる。 [4. Others]
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
In the above-described embodiment, the control device 19 exemplifies the configuration in which the heating amount by the load coil 11 and the cooling amount by the cooling medium are controlled according to the pressing force P detected by the strain gauge 17. The amount of heating and the amount of cooling may be controlled using temperature information detected by the thermocouple 18 in addition to P. For example, if the pressure detected by the thermocouple 18 is lower than the melting temperature by starting cooling when the applied pressure P is higher than the first threshold value P1, the heating amount of the bonding coil 12 is increased. Alternatively, or in combination with an increase in the heating amount of the bonding coil 12, the cooling amount by the cooling medium may be suppressed. In this way, by adopting a configuration in which the heating amount and the cooling amount for the new tube 1 are controlled according to the pressure P and the temperature, the joining environment can be made more appropriate.

上述の実施形態では、加圧力Ｐが第一閾値Ｐ１よりも高い場合に、加圧力Ｐが増大するほど冷却量を増大させているが、冷却量は加圧力Ｐにかかわらず一定であってもよい。また、第二閾値Ｐ２を省略してもよい。
また、上述の実施形態では、新管１を冷却する場合には荷重用コイル１１による加熱を停止させているが、荷重用コイル１１による加熱を止めずに、加圧力Ｐに応じて冷却量のみを制御してもよい。 In the above-described embodiment, when the applied pressure P is higher than the first threshold value P1, the cooling amount is increased as the applied pressure P is increased, but the cooling amount is constant regardless of the applied pressure P. Good. Further, the second threshold value P2 may be omitted.
Further, in the above-described embodiment, when the new tube 1 is cooled, the heating by the load coil 11 is stopped, but the heating by the load coil 11 is not stopped, and only the cooling amount according to the applied pressure P is stopped. May be controlled.

上述した接合装置１０の構成は一例であって、上述のものに限られない。例えば、荷重用コイル１１が、新管１の軸方向中心付近から何れか一方の端部寄りに配置されていてもよいし、新管１を包囲せずに配置されていてもよい。あるいは、荷重用コイル１１が新管１に対して複数箇所に配置されていてもよい。なお、荷重用コイル１１は、新管１の両端部を除いた部分に配置されることが好ましい。   The structure of the joining apparatus 10 mentioned above is an example, Comprising: It is not restricted to the above-mentioned thing. For example, the load coil 11 may be arranged near one of the ends from the vicinity of the center of the new pipe 1 in the axial direction, or may be arranged without surrounding the new pipe 1. Or the coil 11 for load may be arrange | positioned with respect to the new pipe 1 in multiple places. In addition, it is preferable that the coil 11 for load is arrange | positioned in the part except the both ends of the new tube 1. FIG.

また、接合用コイル１２は、少なくともアモルファス材４を加熱して溶融させるように設けられていればよく、上述した構成や配置に限られない。
同様に、冷却管１３も、新管１を冷却できるように設けられていればよい。例えば、冷却管１３が新管１の軸方向に沿って三箇所以上に配置されていてもよいし、新管１を包囲するように設けられていなくてもよい。 Moreover, the joining coil 12 should just be provided so that the amorphous material 4 may be heated and fuse | melted at least, and is not restricted to the structure and arrangement | positioning mentioned above.
Similarly, the cooling pipe 13 should just be provided so that the new pipe 1 can be cooled. For example, the cooling pipes 13 may be arranged at three or more locations along the axial direction of the new pipe 1 or may not be provided so as to surround the new pipe 1.

また、冷却管１３に冷却媒体を供給する送給管１４に、バルブ１５及びポンプ１６の何れか一方のみが介装され、他方が省略されていてもよい。例えば、バルブ１５のみが介装される場合、水道管から冷却管１３へ水道水を供給してもよいし（水道圧を利用して供給してもよく）、重力を利用して冷却管１３へ冷却媒体を供給してもよい。また、送給管１４に、バルブ１５及びポンプ１６の両方が介装される場合において、接合行程中はポンプ１６を常時作動させておき、加圧力Ｐが第一閾値Ｐ１よりも高くなったときにバルブ１５を開弁させるようにしてもよい。これにより、ポンプ１６の起動時間を省略できる分、速やかに冷却媒体を冷却管１３へ供給できるようになる。   Further, only one of the valve 15 and the pump 16 may be interposed in the supply pipe 14 that supplies the cooling medium to the cooling pipe 13 and the other may be omitted. For example, when only the valve 15 is interposed, tap water may be supplied from the water pipe to the cooling pipe 13 (may be supplied using water pressure), or the cooling pipe 13 using gravity. A cooling medium may be supplied. Further, when both the valve 15 and the pump 16 are interposed in the feed pipe 14, the pump 16 is always operated during the joining process, and the applied pressure P becomes higher than the first threshold value P1. Alternatively, the valve 15 may be opened. As a result, the cooling medium can be quickly supplied to the cooling pipe 13 as much as the startup time of the pump 16 can be omitted.

上述の接合装置１０及び接合方法は、ボイラの火炉壁を構成する蒸発管以外の管材を接合体や被接合体として液相拡散接合によって接合する場合にも適用可能である。また、管材以外の部材を接合体や被接合体として液相拡散接合によって接合する場合にも適用可能である。さらには、接合体の両端部をそれぞれ被接合体の端部と接合する場合のみならず、接合体の一方の端部だけを被接合体の端部と接合する場合にも適用可能である。   The above-described joining apparatus 10 and joining method can also be applied to the case where a pipe material other than the evaporation pipe constituting the furnace wall of the boiler is joined by liquid phase diffusion joining as a joined body or a joined body. Moreover, it is applicable also when joining members other than a pipe material as a joined body or a to-be-joined body by liquid phase diffusion joining. Furthermore, the present invention is applicable not only when both ends of the joined body are joined to the end of the joined body, but also when only one end of the joined body is joined to the end of the joined body.

１ 新管（接合体）
２，２Ａ，２Ｂ 既設管（被接合体）
３，３Ａ，３Ｂ 接合部分
４ アモルファス材
１０ 接合装置
１１ 荷重用コイル（第一加熱体）
１２，１２Ａ，１２Ｂ 接合用コイル（第二加熱体）
１３，１３Ａ，１３Ｂ 冷却管
１４ 送給管
１５ バルブ
１６ ポンプ
１７ ひずみゲージ
１８ 熱電対
１９ 制御装置
Ｐ 加圧力
Ｐａ 必要加圧力
Ｐ１ 第一閾値（第一所定値，第二所定値）
Ｐ２ 第二閾値 1 New pipe (joint)
2,2A, 2B Existing pipe (joint)
3, 3A, 3B Joining portion 4 Amorphous material 10 Joining device 11 Coil for load (first heating body)
12, 12A, 12B Coil for joining (second heating body)
13, 13A, 13B Cooling pipe 14 Feed pipe 15 Valve 16 Pump 17 Strain gauge 18 Thermocouple 19 Controller P Pressurizing pressure Pa Required pressurizing pressure P1 First threshold (first predetermined value, second predetermined value)
P2 Second threshold

Claims (7)

接合体の端部と被接合体の端部との間にアモルファス材を挟んで液相拡散接合する接合装置であって、
前記接合体を加熱する第一加熱体と、
前記アモルファス材を加熱する第二加熱体と、
内部を冷却媒体が流通することで前記接合体を冷却する冷却管と、
前記接合体の前記端部と前記被接合体の前記端部との接合部分に加わる加圧力が第一所定値よりも高い場合に、前記冷却管に前記冷却媒体を流通させる制御装置と、を備える
ことを特徴とする、接合装置。 A bonding apparatus that performs liquid phase diffusion bonding by sandwiching an amorphous material between an end of a bonded body and an end of a bonded body,
A first heating body for heating the joined body;
A second heating body for heating the amorphous material;
A cooling pipe for cooling the joined body by circulating a cooling medium therein;
A control device that causes the cooling medium to flow through the cooling pipe when a pressing force applied to a joining portion between the end of the joined body and the end of the joined body is higher than a first predetermined value; A joining apparatus, comprising: 前記制御装置は、前記加圧力が第二所定値よりも高い場合に前記第一加熱体による加熱を停止させる
ことを特徴とする、請求項１記載の接合装置。 The said control apparatus stops the heating by said 1st heating body, when the said applied pressure is higher than a 2nd predetermined value, The joining apparatus of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記冷却管が、前記第二加熱体よりも前記第一加熱体に近接して配置される
ことを特徴とする、請求項１又は２記載の接合装置。 The joining apparatus according to claim 1, wherein the cooling pipe is disposed closer to the first heating body than the second heating body. 前記制御装置は、前記加圧力が増大するほど前記冷却媒体による冷却量を増大させる
ことを特徴とする、請求項１〜３の何れか１項に記載の接合装置。 The said control apparatus increases the cooling amount by the said cooling medium, so that the said applied pressure increases, The joining apparatus of any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. 接合体の端部と被接合体の端部とを、アモルファス材を用いた液相拡散接合により接合する方法であって、
前記接合体の前記端部と前記被接合体の前記端部とを隙間をあけて保持するとともに前記隙間に前記アモルファス材を配置する保持工程と、
前記保持工程後に、第一加熱体により前記接合体を加熱して、前記接合体の前記端部と前記被接合体の前記端部との接合部分に加圧力を発生させると共に、第二加熱体により前記アモルファス材を加熱して前記接合体と前記被接合体とを接合する接合工程と、を備え、
前記接合工程において、前記加圧力が第一所定値よりも高い場合に冷却管の内部に冷却媒体を流通させて前記接合体を冷却する
ことを特徴とする、接合方法。 A method of joining the end of the joined body and the end of the joined body by liquid phase diffusion bonding using an amorphous material,
A holding step of holding the end of the joined body and the end of the joined body with a gap and disposing the amorphous material in the gap;
After the holding step, the joined body is heated by a first heated body to generate a pressure at a joined portion between the end portion of the joined body and the end portion of the joined body, and a second heated body. A step of heating the amorphous material to join the joined body and the joined body, and
In the joining step, when the applied pressure is higher than a first predetermined value, a cooling medium is circulated inside the cooling pipe to cool the joined body. 前記接合工程において、前記加圧力が第二所定値よりも高い場合に前記第一加熱体による加熱を停止する
ことを特徴とする、請求項５記載の接合方法。 6. The joining method according to claim 5, wherein, in the joining step, heating by the first heating body is stopped when the applied pressure is higher than a second predetermined value. 前記接合工程において、前記加圧力が増大するほど前記冷却媒体による冷却量を増大する
ことを特徴とする、請求項５又は６記載の接合方法。 The joining method according to claim 5 or 6, wherein, in the joining step, the amount of cooling by the cooling medium increases as the applied pressure increases.

Images