JP6208251B2 - 物理量計測装置 - Google Patents

物理量計測装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6208251B2
JP6208251B2 JP2015546592A JP2015546592A JP6208251B2 JP 6208251 B2 JP6208251 B2 JP 6208251B2 JP 2015546592 A JP2015546592 A JP 2015546592A JP 2015546592 A JP2015546592 A JP 2015546592A JP 6208251 B2 JP6208251 B2 JP 6208251B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
passage
sub
physical quantity
measuring device
main air
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2015546592A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2015068569A1 (ja
Inventor
崇裕 三木
崇裕 三木
余語 孝之
孝之 余語
浩昭 星加
浩昭 星加
丈夫 細川
丈夫 細川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Astemo Ltd
Original Assignee
Hitachi Automotive Systems Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Automotive Systems Ltd filed Critical Hitachi Automotive Systems Ltd
Publication of JPWO2015068569A1 publication Critical patent/JPWO2015068569A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6208251B2 publication Critical patent/JP6208251B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F5/00Measuring a proportion of the volume flow
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6842Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G01F1/6965Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters comprising means to store calibration data for flow signal calculation or correction

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Combined Controls Of Internal Combustion Engines (AREA)

Description

本発明は、自動車の内燃機関の燃焼室に連結する吸気管に挿入される湿度センサを備えた物理量測定装置に関するものである。
自動車分野においては燃費、CO2、排気ガス(主に窒素酸化物(NOx)、粒子状物質(PM))規制は年々厳しくなっており、将来の内燃機関制御では規制達成のために新たな制御手法が数多く検討されている。その中で、各種制御に使用される物理量計測装置は多種多様となっている。特に、内燃機関の燃焼室に連結する吸気管の空気、温度、湿度、圧力等の物理量は、燃費、排ガス等に直接影響するため正確な測定が要求される。
燃費、CO2、排気ガス規制は、欧州のNEDCに代表されるような走行サイクルに基づき算出され規定されるものである。将来規制では、規定値のみならず走行サイクル条件や車載診断システム(OBD)規制値も変更が実施される。
現在、吸気管内に挿入される物理量計測装置としては、質量流量、圧力、温度の計測が一般的に使用されているが上記を背景に、内燃機関制御で絶対湿度(空気中の水分量)を使用した制御が注目されている。
空気中の水分は、内燃機関の燃焼制御では火炎伝播時間に影響するため、例えばガソリンエンジンでは燃焼効率が悪化する。または、ディーゼルエンジンにおいては、燃焼温度低下にともないPMの排出量増加などの影響が知られている。
ここで絶対湿度とは、空気中に含まれる水分量(gグラム/kgキログラム)を示し、空気中の温度、相対湿度、圧力より算出することが可能である。一方、相対湿度は空気中の水分量の割合(%パーセント)を示す。
前記述べたように温度、圧力センサは、古くから自動車分野で使用されているが、吸気管を流れる空気中の相対湿度センサとしてはあまり知られていない。
現在自動車分野では、湿度センサが空気流量測定装置に一体で構成されたものが公知技術としてあげられる。(特許文献1乃至3参照。)
特許文献1および2の空気流量測定装置は、主空気通路(単に吸気管ともいう)を流れる空気を取込む副通路を備え、さらには副通路を流れる空気を取込む第2副通路を備える。副通路ないには空気流量を計測する発熱式抵抗体が配置され質量流量を検出する。また第2副通路内に配置された湿度センサで空気の相対湿度検出を行うものである。
特開2010−43883号公報 特開2012−163505号公報 特開2013−36892号公報
近年は、自動車分野において,車両基本性能に加えて,排ガス規制や安全性,快適性,利便性などを向上させるためにさまざまな技術的改良がなされている。そうした、技術改良においては多種多様なセンサが使用されている。そのため、センサとエンジンコントロールユニット(以下ECU)とを繋ぐワイヤハーネス数も増加し複雑化しておりコスト面およびエンジンルーム内のスペース面で課題を抱えている。
このため、現在は複数のセンサや制御機器を一体化した物理量計測装置のニーズが高まっている。現在では吸気管内の物理量計測で使用される温度、流量センサを一体化した空気流量測定装置が一般的である。更には、特許文献1〜3参照の湿度センサや圧力センサを一体化した空気流量測定装置がある。
前記空気流量測定装置のように、内燃機関の燃焼室に連結する吸気管内で使用されるセンサにおいては、塵やダスト(以下汚損物とする)または水滴の付着防止や物理量の過渡的変化への追従(単に応答性能ともいう)などを考慮した一体化が必要となる。
吸気管の最上流部(最下流部は燃焼室側とする)には大気中の空気を取込む際、空気中に含まれる汚損物または雨水の浸入を除去するためフィルターエレメントを備えたエアクリーナが配置される。しかし、フィルターエレメントによる汚損物や水滴の除去能力は完全ではなく一定量が吸気管内に侵入する。センサには、通常物理量を検出するためのセンサを空気中に暴露させ物理量を計測する。そのため、汚損物または水滴が検出素子に付着することで恒久的な性能劣化または一時的な出力異常が発生する。特に、自動車で使用されるセンサは数十年にも及ぶ動作時間を要求されるためその防止策は必須となる。
また、自動車走行中の加減速により、吸気管内の空気は過渡的に変化する。そのため、吸気管内の物理量計測に使用されるセンサはその過渡的変化に追従する必要がある。例えば、ガソリンエンジンに使用される空気流量測定装置は燃焼室に取込まれる空気の質量流量を測定し、その質量流量に基づき燃料噴射量が決められている。そのため、空気の過渡的変化時にセンサ出力の応答遅れが発生すると質量流量計測に誤差が生じ、燃費悪化につながる。
自動車分野で一般的に使用される空気流量測定装置では、前記環境条件を考慮するため主空気通路を迂回する副通路を備える。副通路内には、流量センサが配置されるが、汚損物や水滴が流量センサに付着するのを抑制する構造を備える。例えば、特許文献1および2記載のように、副通路の中に第2副通路を設けている。
また、吸気管内空気の過渡的な変化に追従するために、副通路入口は吸気管の中央付近に配置可能なように筐体長さが設置される。理想的な空気流においては、吸気管中央が最も流速が早く安定した流れとなるため過渡的変化に追従し易くなる。一方、壁面付近は、壁面抵抗が発生しもっとも流速が遅くなる。
つまり、複数のセンサをひとつの物理量測定装置に一体化する場合、第1に環境条件を考慮し、個々のセンサ性能を維持することが重要である。第2にそのセンサ性能を維持するための最適な搭載位置をひとつの筐体で実現する必要がある。
ここで、特許文献1および2の湿度センサを一体化した空気流量測定装置は、主空気通路を迂回する副通路に流量センサ配置し、さらには副通路を迂回する第2副通路内に湿度センサが配置されている。この場合、第2副通路内に配置される湿度センサの応答性能は、副通路内に取込まれる流速に依存する。また、湿度センサに到達する空気は副通路および第2副通路の壁面抵抗をうけ流速が低下するため改善の余地が残る。
一方、特許文献3の空気流量測定装置は、筐体の外壁から主空気通路に露出して湿度センサを備える。前記湿度センサは、空気流量測定装置の筐体を樹脂成形する際に樹脂モールドされて筐体に一体化している。この場合、吸気管内の空気と共に飛来する汚損物や水滴に湿度センサが直接暴露されることとなる。湿度センサに汚損物が付着した場合は、長期的な特性ずれが発生するリスクを伴う。一方、水滴が付着した場合は、結露状態となり湿度センサが飽和状態となり湿度検出として一定期間所望の値を得られないおそれがある。
本発明の目的は、複数の物理量センサを一体化しても応答性を維持しつつ耐環境性能を維持した物理量計測装置を提供することにある。
本発明では湿度センサを一体化させる際に上記課題を解決するために、例えば特許請求の範囲に記載の構成を採用する。
具体的には、吸気管に支持固定されるフランジと、前記フランジと樹脂で一体成形され吸気管内部に挿入される筐体部と、前記筐体部を構成するハウジングおよびカバーと、を備え、内燃機関の燃焼室に連結され吸気管内部の主空気通路を流れる空気の物理量を測定するセンサを少なくとも一つ以上備えた物理量測定装置において、前記筐体部または前記フランジ部に設けられ主空気通路の空気を迂回させる少なくとも一つの副通路または主空気通路と連結する導入孔と、前記筐体部に前記副通路または導入孔とは構造的に分離された第2副通路と、有し、前記副通路内もしくは導入孔内に空気の物理量を検出するセンサを備え、前記第2副通路内部に空気の湿度を測定する湿度センサを備えたことを特徴とする。
本発明によれば、複数の物理量センサを一体化しても応答性を維持しつつ耐環境性能を維持した物理量計測装置を提供することが可能となる。
湿度センサを備えた物理量測定装置の実施例1を示した図である。 湿度センサを備えた物理量測定装置内部構成を示す例である。 図2における物理量測定装置の正面図である。 図2における回路パッケージを示した図である。 図2における第2副通路内部構成(横断面)を示した図である。 湿度センサを備えた物理量装置の実施例2を示した側面図(断面)である。 図6における物理量測定装置の正面図(断面図)である。 湿度センサを備えた物理量装置の実施例3を示した側面図(断面図)である。
以下、実施例について図面を用いて詳細に説明する。
本実施例では、物理量測定装置として空気流量測定装置を例に挙げ説明する。
図1〜図5は、湿度センサを備えた空気流量測定装置の構成例を示す。内燃機関で使用される空気流量測定装置は、通常エアクリーナ下流部に配置される。そして、エアクリーナに連結される吸気管または専用ダクト106に挿入される。
ここでエアクリーナとは、空気中の塵・ダスト等を濾過するフィルターエレメントを有し、清浄な空気を吸気管内へ取込むために内燃機関に連結される吸気管の最上流部に設置される。空気流量測定装置は、回路パッケージ(または回路基板)400等を備える筐体部が吸気管または専用ダクト106の開口部に挿入され筐体部とともに樹脂成形されるフランジ部101がねじ(図には記載していない)にて締付固定される。また、ゴム材料で成形されたシール材104を設けることで、吸気管ダクトまたは専用ダクト106内からの流体の漏れおよび外部環境からの塵、ダスト等の進入を防止する。
空気流量測定装置は、ハウジング102とカバー103a、103bとで構成される筐体と、ハウジング102とカバー103a、103bの内壁形状で構成される副通路300と、前記副通路300とは独立した第2副通路200と、前記筐体内に配置される回路パッケージ400と、前記副通路300内に空気流量を計測する流量センサ401と、前記第2副通路200内に空気の湿度を計測する湿度センサ402を備える。
樹脂材料で成形されるハウジング102は、金属部材で形成されたコネクタターミナル105と、ECU側のコネクタと機械的に接続されるコネクタ100形状を備える。コネクタターミナル105は、ハウジング102の樹脂成形時にインサート成形され、コネクタターミナル105は回路パッケージ400のリードフレーム403に溶接され電気的に接続される。一方、コネクタターミナル105の先端部は、車両側のECUとハーネスを介して電気的に接続される。
樹脂材料で成形されるカバー103a、104bは、ハウジング102内に配置される回路パッケージ400、湿度センサ402、流量センサ401、リードフレーム403、コネクタターミナル105等を保護するためハウジング102の外周に設けられた溝形状に勘合され、接着固定される。
回路パッケージ400としては、電子部品をはんだ等で搭載するセラミック基板やプリント基板などがあるが、本例では半導体パッケージとして知られるリードフレーム403上に、電子部品を搭載しエポキシ樹脂で封士したものをさす。
ハウジング102とカバー103a、103bとで形成される副通路300および第2副通路200は、主空気通路301を流れる空気(以下主空気という)を迂回させ、主空気とともに飛来する汚損物または水滴等が流量センサ401および湿度センサ402に直接付着することを抑制する役割をもつ。また同時に、副通路300内に迂回される空気は整流効果が得られ、空気の乱れを抑制する効果を果たし安定した物理量計測が可能となる。さらには、副通路300および第2副通路200はそれぞれ独立して形成され、それぞれ主空気を直接取込む構造となる。
これにより、副通路300、第2副通路200には内部にそれぞれ流量センサ401および湿度センサ402が独立して配置することが出来るため、それぞれのセンサに適した通路構造とすることができ、互いのセンサの性能に影響を与えることなく、性能確保および一体化が容易となる。
一般的に、空気中の物理量である流量および湿度は、過渡的に変化する時間(以下応答時定数という)はそれぞれ異なる。空気流量の応答時定数が数ミリ秒に対し、湿度の応答時定数は数秒である。湿度変化は、温度および圧力変化に依存するが、おもに温度の応答時定数によるものである。理想的な吸気管内の主空気流れは、中心付近が最も流速が早く壁面に近づくほど流速が低下する分布をもつ。そのため、流量センサ400が配置される副通路300を、主空気通路301内の流速分布で流速がもっとも速い箇所となる主空気通路中心10付近に配置することで、主空気の過渡的変化に追従し易くなる。一方、応答時定数の遅い湿度センサ402が配置される第2副通路200は、比較的流速の遅い箇所となる主空気通路中心10とフランジ101との間となる空気量測定装置の筐体部に形成可能である。
さらには、主空気通路を飛来する汚損物または水滴付着を抑制する副通路構造とすることで耐環境性能を維持することが可能となる。
図1〜図5をもちいて第2副通路の詳細について説明する。
湿度センサ402が配置される第2副通路200は主空気を迂回させるため入口201と出口202を有しており、入口201はハウジング102の一部に形成され、主空気通路300の上流側に配置される。一方、出口202は、空気流量測定装置の側壁となるカバー103aに形成され、主空気通路300の下流側に配置される。また、入口201は、主空気流れ11に対して垂直方向に開口している。
これにより、空気流れで発生する動圧で主空気を第2副通路200内に取込むことが可能となり、応答性を向上させることができる。
さらには、入口201はハウジング102で形成される傾斜部203を備え、出口202は主空気流れ11に対して入口201とは垂直方向にオフセットした位置に配置され、第2副通路200は少なくともひとつの曲がり部を有している。
これにより、主空気通路11内を飛来する汚損物および水滴が入口201の壁面に衝突するため直接第2副通路200内部へ侵入するのを抑制することができ、湿度センサ402の耐環境性能を向上させることができる。
一方、前記出口202の開口面積は、入口201の開口面積よりも大きく設定されている。これにより、出口202部の開口面積に依存して入口―出口部間の圧力差が変化し、湿度センサ402の応答性能を調整することが可能となる。さらには、カバー103aは、ハウジング102よりも構造形状が簡単なため構造変更にともなるコスト影響を極力抑制することができる。
実施例1では、湿度センサを備えた物理量測定装置として空気流量測定装置の例を示した。本実施例2では、物理量測定装置として吸気管内の圧力を測定する圧力測定装置に湿度センサを一体化させた例を示す。
図6は、実施例1で示した同形状の湿度センサ402が配置される第2副通路200を有した圧力測定装置の構成例である。
図6〜図7の湿度センサを備えた圧力測定装置のうち、既に説明した図1〜図5に示された同一の符号を付された構成と、同一の機能を有する部分については、説明を省略する。
実施例2の圧力測定装置は、吸気管または専用ダクト106に挿入され、支持されるフランジ101を有し、フランジ101部に電子部品を搭載する回路基板500が回路室503に配置され、圧力センサ502が回路基板500裏面に実装される。回路基板500とコネクタターミナル105はアルミワイヤ501により接続され、ECUとの電気的接続を可能にしている。図7に示すように圧力センサ502は、フランジ102部に形成される主空気通路301に連結する導入孔504内部に配置され、主空気通路301内部の圧力測定を可能にしている。導入孔504は1つの開口部を有し、開口部は筐体部を挿入する吸気管の内壁部に位置しており。圧力センサ502は、主空気通路内の静圧(ここで静圧とは空気が静止状態で働く圧力をいう)を計測するため極力流速変化を伴わない位置に導入孔が配置するのが好ましい。そのため、本実施例の構成とすることで、主空気流れの影響を受けず安定した静圧計測可能としている。同時に、主空気とともに飛来してくる汚損物および水滴が副通路内に侵入しづらい構成となる。
実施例1同様に、導入孔504は第2副通路200と独立して形成され、それぞれ圧力センサ502および湿度センサ402の性能(応答性や計測安定性)や耐環境性能を考慮した場所に配置される。これにより、各センサの性能確保および一体化が容易となる。
実施例1または2では、流量センサ401または圧力センサ502など少なくともひとつの物理量センサと湿度センサ402を一体化した物理量測定装置の例を示した。
本実施例3では、流量センサ401、圧力センサ502、湿度センサ402を一体化した物理量測定装置の例を図8に示す。
図8は、実施例1および2で示した同形状の湿度センサ402が配置される第2副通路200と、流量センサ401が配置される副通路300と、圧力センサ502が配置される導入孔504がそれぞれ独立して形成され、主空気通路301の空気を取込むまたは連結した構成をとり、3種類のセンサを一体化した物理量測定装置の構成例である。
図8の湿度センサ402、流量センサ401、圧力センサ502を備えた物理量測定装置のうち、既に説明した図1〜図7に示された同一の符号を付された構成と、同一の機能を有する部分については、説明を省略する。
これまで述べてきたように、各物理量センサを配置する副通路をそれぞれ独立させることでセンサ性能確保および一体化が容易となる。複数の物理量センサ一体化することで部品点数やコスト低減など前に述べた通り今後ニーズが高い物理量測定装置となる。
10 主空気通路中心
11 主空気通路流れ方向
100 コネクタ
101 フランジ
102 ハウジング
103a カバー
103b カバー
104 シール材
105 コネクタターミナル
106 吸気管(または専用ダクト)
200 第2副通路
201 第2副通路 入口
202 第2副通路 出口
203 第2副通路 傾斜部
300 副通路
301 主空気通路
400 回路パッケージ
401 流量センサ
402 湿度センサ
403 リードフレーム
500 回路基板
501 アルミワイヤ
502 圧力センサ
503 回路室
504 導入孔

Claims (4)

  1. 吸気管に支持固定されるフランジと、前記フランジと樹脂で一体成形され吸気管内部に挿入される筐体部と、前記筐体部を構成するハウジングおよびカバーと、を備え、内燃機関の燃焼室に連結され吸気管内部の主空気通路を流れる空気の物理量を測定するセンサを少なくとも一つ以上備えた物理量測定装置において、
    前記筐体部または前記フランジ部に設けられ主空気通路の空気を迂回させる少なくとも一つの副通路または主空気通路と連結する導入孔と、
    前記筐体部に前記副通路または導入孔とは構造的に分離された第2副通路と、有し、
    前記副通路内もしくは導入孔内に空気の物理量を検出するセンサを備え、
    前記第2副通路は、前記フランジと主空気通路中心との間に設けられ、
    前記第2副通路内部に空気の湿度を測定する湿度センサを備え
    前記第2副通路の入口は、前記主空気通路内の空気流れに対して垂直方向に開口し、
    前記第2副通路の出口は、主空気流れ方向に対して平行に開口し、前記主空気通路内の空気流れの下流側のカバー側壁に形成され、前記主空気通路内の空気流れに対して前記入口から垂直方向にオフセットした位置に配置されることを特徴とする物理量測定装置。
  2. 請求項1に記載の物理量測定装置において、
    前記第2副通路の入口は、主空気流れ上流部に配置され、かつ、傾斜部を有し、
    前記傾斜部は、前記ハウジングおよび前記カバーで構成される筐体部に形成されることを特徴とする物理量測定装置。
  3. 請求項に記載の物理量測定装置において、
    前記第2副通路は、少なくとも一つ以上の曲がり部を有することを特徴とする物理量測定装置。
  4. 請求項1に記載の物理量測定装置において、
    前記出口の開口部の開口面積は、前記口の開口部の開口面積よりも大きいことを特徴とする物理量測定装置。
JP2015546592A 2013-11-07 2014-10-22 物理量計測装置 Expired - Fee Related JP6208251B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013230773 2013-11-07
JP2013230773 2013-11-07
PCT/JP2014/078007 WO2015068569A1 (ja) 2013-11-07 2014-10-22 物理量計測装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2015068569A1 JPWO2015068569A1 (ja) 2017-03-09
JP6208251B2 true JP6208251B2 (ja) 2017-10-04

Family

ID=53041351

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015546592A Expired - Fee Related JP6208251B2 (ja) 2013-11-07 2014-10-22 物理量計測装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6208251B2 (ja)
WO (1) WO2015068569A1 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6766620B2 (ja) 2016-12-02 2020-10-14 株式会社デンソー 物理量計測装置、異常検出装置、及び異常検出方法
JP7035512B2 (ja) 2017-07-24 2022-03-15 株式会社デンソー 物理量計測装置及び物理量計測装置の製造方法
JP7065207B2 (ja) * 2018-12-05 2022-05-11 日立Astemo株式会社 物理量測定装置
WO2020250871A1 (ja) * 2019-06-13 2020-12-17 日立オートモティブシステムズ株式会社 物理量検出装置
JP2021039026A (ja) 2019-09-04 2021-03-11 株式会社デンソー 空気流量測定装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58160817A (ja) * 1982-03-18 1983-09-24 Japan Electronic Control Syst Co Ltd 熱線式吸気流量計
JP3602762B2 (ja) * 1999-12-28 2004-12-15 株式会社日立ユニシアオートモティブ 流量計測装置
JP3848934B2 (ja) * 2003-05-16 2006-11-22 三菱電機株式会社 空気流量測定装置
JP4929333B2 (ja) * 2009-09-30 2012-05-09 日立オートモティブシステムズ株式会社 センサの構造
JP5396410B2 (ja) * 2011-02-09 2014-01-22 日立オートモティブシステムズ株式会社 センサの構造

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2015068569A1 (ja) 2017-03-09
WO2015068569A1 (ja) 2015-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5178388B2 (ja) 空気流量測定装置
JP5396410B2 (ja) センサの構造
JP5049996B2 (ja) 熱式流量測定装置
JP6208251B2 (ja) 物理量計測装置
JP5183164B2 (ja) 流量測定装置
JP5445535B2 (ja) 空気流量測定装置
JP4416012B2 (ja) 吸入空気流量測定装置
JP5557767B2 (ja) センサの構造
JP2012083119A (ja) センサの構造
JP5168223B2 (ja) 空気流量測定装置
JPWO2019049513A1 (ja) 熱式流量計
JP5675717B2 (ja) 空気物理量検出装置
JP5779471B2 (ja) 湿度検出装置
JP6069504B2 (ja) 温湿度センサ
ZA200206052B (en) Device for measuring air flow, comprising a device for separating foreign particles.
WO2018193743A1 (ja) 湿度測定装置
JP5542614B2 (ja) 流量測定装置
JP2003161652A (ja) 流量測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20170119

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170124

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20170125

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170302

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170808

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170906

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6208251

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees