JP6204832B2 - めっき装置およびめっき方法 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記基板ホルダの下端部は先の尖った形状を有することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第2の越流堰の上端には前記めっき液を前記アノード室に流入させるための切り欠き部が設けられていることを特徴とする。
2 ロードポート
3 制御部
4 アライナ
6 スピン・リンス・ドライヤ(SRD)
8,202 基板ホルダ
10 テーブル
12 基板搬送ロボット
14 基板ホルダ開閉機構
16 基板ホルダ起倒機構
20 保管槽
22 前洗浄槽
22a 前洗浄セル
24,200 めっき槽
25,204 めっきセル
26 リンス槽
26a リンスセル
27,206 オーバーフロー槽
28 ブロー槽
30 パドルモータユニット
32 排気ダクト
33,212 アノード
34,210 アノードホルダ
35,214 電源
36,224 側板
36a,39b,50a 切り欠き部
37 底板
38,216 パドル
39,218 電場調整板(レギュレーションプレート)
39a,218a 開口
39c,39d,50b,50c 傾斜面
41 ポンプ
42 温度調整器
43,208 めっき液循環ライン
44 フィルタ
46,220 アノード室
48,222 カソード室
50,226 仕切り壁
52 表側テーパー面
53 裏側テーパー面
54 第1保持部材
56 ヒンジ
57 下端部
58 第2保持部材
62 シールホルダ
64 押えリング
66 基板側シール部材
68 ホルダ側シール部材
92 ハンドレバー
100 トランスポータ
101 リフタ
102 固定ベース
103 グリッパ
104 アーム
Claims (9)
- 基板を保持する基板ホルダと、
アノードと、
めっき液を貯留し、前記アノードと前記基板を保持した前記基板ホルダとを収容し、上部に開口を有するめっきセルと、
前記アノードと前記基板との間に配置され、前記めっきセルを、前記アノードを収容するアノード室と前記基板ホルダを収容するカソード室とに仕切る電場調整板と、
前記めっきセルの側板に隣接して配置されたオーバーフロー槽と、
前記基板を保持した前記基板ホルダを下降させて前記カソード室内の前記めっき液に浸漬させ、前記基板ホルダを前記カソード室から引き上げるトランスポータとを備え、
前記めっきセルは、底板と、前記めっきセルの側面を構成する前記側板および仕切り壁とを有しており、前記仕切り壁は前記側板よりも高く、
前記側板は、前記基板を保持した前記基板ホルダを前記カソード室内のめっき液に浸漬させるときに、前記カソード室内のめっき液が越流して前記オーバーフロー槽へ流入する高さを有する第1の越流堰を構成し、
前記電場調整板は、前記基板を保持した前記基板ホルダを前記カソード室内のめっき液に浸漬させるときに、前記カソード室内のめっき液が越流して前記アノード室へ流入する高さを有する第2の越流堰を構成し、
前記第2の越流堰は、前記第1の越流堰よりも15mm〜25mm高く、
前記トランスポータは、前記基板ホルダを200mm/sec〜400mm/secの速度で前記カソード室内に下降させ、前記基板ホルダを25mm/sec〜150mm/secの速度で前記カソード室から上昇させることを特徴とするめっき装置。 - 前記めっきセルは第1のめっきセルであり、
前記めっき装置は、該第1のめっきセルに隣接する第2のめっきセルをさらに備え、
前記仕切り壁は、前記第1のめっきセルと前記第2のめっきセルとを仕切っており、前記基板を保持した前記基板ホルダを前記カソード室内のめっき液に浸漬させるときに、前記カソード室内のめっき液が越流して前記第2のめっきセルへ流入する高さを有する第3の越流堰を構成し、
前記第3の越流堰は、前記第1の越流堰よりも15mm〜25mm高いことを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。 - 前記基板ホルダの下端部はテーパー面から構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のめっき装置。
- 前記基板ホルダの下端部は先の尖った形状を有することを特徴とする請求項1または2に記載のめっき装置。
- 前記第2の越流堰の上端には前記めっき液を前記アノード室に流入させるための切り欠き部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のめっき装置。
- 基板を保持する基板ホルダと、アノードと、めっき液を貯留し前記アノードと前記基板ホルダに保持された前記基板とを収容するめっきセルと、前記アノードと前記基板との間に配置され、前記めっきセルを、前記アノードを収容するアノード室と前記基板ホルダを収容するカソード室とに仕切る電場調整板と、前記めっきセルの側板に隣接して配置されたオーバーフロー槽とを備えためっき装置のめっき方法において、
前記基板を前記基板ホルダにより保持し、
前記カソード室内のめっき液を、前記側板および前記電場調整板を越流させて前記オーバーフロー槽および前記アノード室に流入させながら、前記基板ホルダに保持された前記基板を前記カソード室内の前記めっき液に浸漬させ、その後、
前記アノードと前記基板との間に電圧を印加して前記基板をめっきし、
前記基板を前記カソード室内の前記めっき液に浸漬させるときの前記基板ホルダの下降速度は、200mm/sec〜400mm/secの範囲内であることを特徴とするめっき方法。 - 基板を保持する基板ホルダと、アノードと、めっき液を貯留し前記アノードと前記基板ホルダに保持された前記基板とを収容するめっきセルと、前記アノードと前記基板との間に配置され、前記めっきセルを、前記アノードを収容するアノード室と前記基板ホルダを収容するカソード室とに仕切る電場調整板と、前記めっきセルの側板に隣接して配置されたオーバーフロー槽とを備えためっき装置のめっき方法において、
前記基板を前記基板ホルダにより保持し、
前記カソード室内のめっき液を、前記側板および前記電場調整板を越流させて前記オーバーフロー槽および前記アノード室に流入させながら、前記基板ホルダに保持された前記基板を前記カソード室内の前記めっき液に浸漬させ、その後、
前記アノードと前記基板との間に電圧を印加して前記基板をめっきし、
前記基板のめっき後に前記基板を前記カソード室内の前記めっき液から引き上げるときの前記基板ホルダの上昇速度は、25mm/sec〜150mm/secの範囲内であることを特徴とするめっき方法。 - 基板を保持する基板ホルダと、アノードと、めっき液を貯留し前記アノードと前記基板ホルダに保持された前記基板とを収容する第1のめっきセルと、前記アノードと前記基板との間に配置され、前記第1のめっきセルを、前記アノードを収容するアノード室と前記基板ホルダを収容するカソード室とに仕切る電場調整板と、前記第1のめっきセルの側板に隣接して配置されたオーバーフロー槽と、前記第1のめっきセルに隣接して配置された第2のめっきセルと、前記第1のめっきセルと前記第2のめっきセルとを仕切る仕切り壁とを備えためっき装置のめっき方法において、
前記カソード室内のめっき液を、前記側板、前記電場調整板、および前記仕切り壁を越流させて前記オーバーフロー槽、前記アノード室、および前記第2のめっきセルに流入させながら前記基板ホルダに保持された前記基板を前記カソード室内の前記めっき液に浸漬させ、その後、
前記アノードと前記基板との間に電圧を印加して前記基板をめっきし、
前記基板を前記カソード室内の前記めっき液に浸漬させるときの前記基板ホルダの下降速度は、200mm/sec〜400mm/secの範囲内であることを特徴とするめっき方法。 - 基板を保持する基板ホルダと、アノードと、めっき液を貯留し前記アノードと前記基板ホルダに保持された前記基板とを収容する第1のめっきセルと、前記アノードと前記基板との間に配置され、前記第1のめっきセルを、前記アノードを収容するアノード室と前記基板ホルダを収容するカソード室とに仕切る電場調整板と、前記第1のめっきセルの側板に隣接して配置されたオーバーフロー槽と、前記第1のめっきセルに隣接して配置された第2のめっきセルと、前記第1のめっきセルと前記第2のめっきセルとを仕切る仕切り壁とを備えためっき装置のめっき方法において、
前記カソード室内のめっき液を、前記側板、前記電場調整板、および前記仕切り壁を越流させて前記オーバーフロー槽、前記アノード室、および前記第2のめっきセルに流入させながら前記基板ホルダに保持された前記基板を前記カソード室内の前記めっき液に浸漬させ、その後、
前記アノードと前記基板との間に電圧を印加して前記基板をめっきし、
前記基板のめっき後に前記基板を前記カソード室内の前記めっき液から引き上げるときの前記基板ホルダの上昇速度は、25mm/sec〜150mm/secの範囲内であることを特徴とするめっき方法。
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