JP6196732B2 - ミラートロンスパッタ装置 - Google Patents
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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Description
8 ターゲットホルダー
9 ターゲット
12a,12b 磁石
16,31 ターゲットシールド
16a,18a,32 開口部
18 隔壁
19 ガス供給パイプ
20 ガス供給パイプ
22 基板
32a 開口部の外周縁部
A ターゲットの外周縁部
B ターゲット表面のエロージョン領域の外周縁部
H 磁場空間
Claims (2)
- 被処理対象となる基板が内部に配置された真空容器と、
前記真空容器内に所定の間隔を介して互いに対向するように配置された一対のターゲットであって、その表面中に略円形又は略楕円形状のエロージョン領域とその外側の非エロージョン領域とが存在する一対のターゲットと、
前記各ターゲット表面の間に磁場空間を形成するように前記各ターゲットの近傍の位置にそれぞれ配置される一対の磁石と、
前記各ターゲット表面中の前記各ターゲットの外周縁部及びその周辺の前記非エロージョン領域を前記磁場空間に対して覆うように配置されて前記各ターゲット表面中の前記非エロージョン領域にスパッタ粒子が付着してしまうことを防止する一対のターゲットシールドであって、前記磁場空間内で発生したプラズマと前記各ターゲットからのスパッタ粒子が前記磁場空間と前記各ターゲット表面中のエロージョン領域との間で移動することを可能とする開口部であって、その縁部が、前記各ターゲット表面中のエロージョン領域の外周縁部と略相似の形状を有し且つ前記各ターゲット表面中のエロージョン領域の外周縁部よりも約1〜11mmだけ外側の位置と対向する前記磁場空間側の位置に形成されている開口部を備えた、一対のターゲットシールドと、
を備えたことを特徴とするミラートロンスパッタ装置。 - 被処理対象となる基板が内部に配置された真空容器と、
前記真空容器内に所定の間隔を介して互いに対向するように配置された一対のターゲットであって、その表面中に略円形又は略楕円形状のエロージョン領域とその外側の非エロージョン領域とが存在する一対のターゲットと、
前記各ターゲット表面の間に磁場空間を形成するように前記各ターゲットの近傍の位置にそれぞれ配置される一対の磁石と、
前記各ターゲット表面中の前記各ターゲットの外周縁部及びその周辺の前記非エロージョン領域を前記磁場空間に対して覆うように配置されて前記各ターゲット表面中の前記非エロージョン領域にスパッタ粒子が付着してしまうことを防止する一対のターゲットシールドであって、前記磁場空間内で発生したプラズマと前記各ターゲットからのスパッタ粒子が前記磁場空間と前記各ターゲット表面中のエロージョン領域との間で移動することを可能とする開口部であって、その縁部が、前記各ターゲット表面中のエロージョン領域の外周縁部と略相似の形状を有し且つ前記各ターゲット表面中のエロージョン領域の外周縁部よりも約3〜5mmだけ外側の位置と対向する前記磁場空間側の位置に形成されている開口部を備えた、一対のターゲットシールドと、
を備えたことを特徴とするミラートロンスパッタ装置。
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