JP6196148B2 - Defocus control device and defocus control method - Google Patents

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Description

本発明は、ディスプレイの画像検査を行う際に、モアレ防止のデフォーカス状態を一定に制御することで、検査精度の向上を実現するデフォーカス制御装置およびデフォーカス制御方法に関する。   The present invention relates to a defocus control apparatus and a defocus control method for realizing improvement in inspection accuracy by controlling a defocus state for preventing moiré to be constant when performing image inspection of a display.

液晶パネル等のディスプレイの製造ラインにおいて、例えば、残像やムラなどの画像検査を行う際には、ディスプレイに表示させた特定の検査パタンをカメラで撮像し、画像処理を施すことで、不良箇所あるいは不良品を検出、判別することが行われる。   In a production line of a display such as a liquid crystal panel, for example, when performing image inspection such as afterimages and unevenness, a specific inspection pattern displayed on the display is imaged with a camera, and image processing is performed. Detecting and discriminating defective products is performed.

このとき、ディスプレイの画素とカメラの画素とが干渉してモアレが生じる場合がある。そして、撮影した画像に、本来はないはずのモアレ模様が発生してしまうことで、検出・判別精度に影響を与えてしまうこととなる。このようなモアレ模様の発生を防止するためには、カメラ側で敢えてデフォーカスさせて撮像することが考えられる。   At this time, the display pixel and the camera pixel interfere with each other to cause moire. Then, a moire pattern that should not be originally generated occurs in the photographed image, which affects detection / discrimination accuracy. In order to prevent the occurrence of such a moire pattern, it is conceivable to defocus on the camera side and take an image.

しかしながら、検査装置が複数ある場合、あるいは1つの装置を多目的に使用する場合などには、装置間あるいは検査毎のデフォーカス状態が異なってしまうと、検査結果に悪影響が生じる。そこで、このような悪影響を回避するためには、デフォーカス状態を、あらかじめ決めた(例えば、モアレが生じないがなるべく合焦に近い)一定の状態に制御することが必要である。   However, when there are a plurality of inspection apparatuses or when one apparatus is used for multiple purposes, if the defocus state differs between apparatuses or for each inspection, the inspection result is adversely affected. Therefore, in order to avoid such an adverse effect, it is necessary to control the defocus state to a predetermined state (for example, as close to focusing as possible without causing moire).

具体的な方法として、例えば、
(方法1)レンズのフォーカスリングを特定の位置に合わせる
(方法2)ディスプレイ前方に特定距離を隔てて仮設置したターゲットパタンに合焦させる
(方法3)表示した水平や垂直のエッジパタンの撮像画像でエッジ波形の勾配を特定の値に合わせる
(方法4)専用の光学フィルタを用いてモアレ模様の発生を抑える
などがある(例えば、特許文献1参照)。
As a specific method, for example,
(Method 1) A lens focus ring is adjusted to a specific position. (Method 2) A target pattern temporarily installed at a specific distance in front of the display is focused. (Method 3) A captured image of a displayed horizontal or vertical edge pattern. The slope of the edge waveform is adjusted to a specific value (Method 4) by using a dedicated optical filter to suppress the occurrence of moire patterns (for example, see Patent Document 1).

また、場合によっては、デフォーカス状態の指標となる量を取得し、これを用いて、画像処理手段において特徴量や結果などを最適フォーカスを含む特定のデフォーカス状態に補正することもある。デフォーカス状態の指標となる量としては、例えば、方法2で挙げたように、表示した水平や垂直エッジパタンを撮像した画像におけるエッジ波形の勾配などが用いられる。   In some cases, an amount serving as an index of the defocus state is acquired, and this is used to correct the feature amount, the result, or the like to a specific defocus state including the optimum focus in the image processing unit. As an amount serving as an index of the defocus state, for example, as described in the method 2, the gradient of the edge waveform in the image obtained by imaging the displayed horizontal or vertical edge pattern is used.

特許5289561号公報Japanese Patent No. 5289561

しかしながら、上述した従来の方法1〜4には、以下のような課題があり、精度や再現性が不十分であったり、コストが高かったりする問題があった。
まず、方法1は、目盛などを参照しても、合わせる毎にバラツキが生じる。この結果、精度や再現性は、4つの方法の中で最も劣ることとなる。
However, the above-described conventional methods 1 to 4 have the following problems, and there are problems that accuracy and reproducibility are insufficient and costs are high.
First, even if the method 1 refers to a scale or the like, variation occurs every time the method is combined. As a result, accuracy and reproducibility are inferior among the four methods.

方法2は、被写界深度の一端でターゲットパタンに合焦させた場合と、他方の端で合焦させた場合とでは、ディスプレイの位置におけるデフォーカス状態が異なり、精度や再現性に影響が生じる。   In Method 2, the defocus state at the position of the display differs between when the target pattern is focused at one end of the depth of field and when focused at the other end, which affects accuracy and reproducibility. Arise.

方法3は、水平あるいは垂直のエッジパタンを撮像した画像のエッジ波形の勾配を用いているが、被写体のエッジ位置とカメラの画素位置との相対関係によって、得られる勾配にバラツキが生じ、精度に影響が生じることとなる。方法4は、特殊な光学部品を用いる必要があるとともに、カメラの構成が特殊であり、コストが高くなる。   Method 3 uses the gradient of the edge waveform of an image obtained by imaging a horizontal or vertical edge pattern. However, the obtained gradient varies depending on the relative relationship between the edge position of the subject and the pixel position of the camera, and this affects the accuracy. Will occur. Method 4 requires the use of special optical components, has a special camera configuration, and increases costs.

そして、デフォーカスが著しいほど、精度や再現性の問題は軽減されるが、撮像画像を用いた本来の画像検査の精度や検出能は、劣化し易い。逆に、画像検査に適しており、モアレが生じないがなるべく合焦に近いデフォーカス状態を制御、管理することは、困難となる。   And as the defocus is more remarkable, the problem of accuracy and reproducibility is reduced, but the accuracy and detectability of the original image inspection using the captured image are likely to deteriorate. On the other hand, it is suitable for image inspection, and moire does not occur, but it is difficult to control and manage a defocus state that is as close to focus as possible.

上述した4つの方法のうち、方法3が、素性がよくてコストも低い。この方法3は、ディスプレイに表示した水平あるいは垂直エッジパタンを撮像して、その垂直あるいは水平波形を得ている。図5は、従来方法3の検出原理の説明図である。左側が黒、右側が白の垂直エッジパタン101をカメラ102で撮像すると、画素位置に応じて変化する画素値データを得ることができる。   Of the four methods described above, Method 3 has good features and low cost. In this method 3, the horizontal or vertical edge pattern displayed on the display is imaged to obtain the vertical or horizontal waveform. FIG. 5 is an explanatory diagram of the detection principle of the conventional method 3. When the camera 102 captures an image of the vertical edge pattern 101 with black on the left side and white on the right side, pixel value data that changes according to the pixel position can be obtained.

そして、画素値データの変化に相当する勾配が特定の値となるように焦点調整を行うことで、デフォーカス状態を一定状態としている。このため、変化の急峻な波形を少ない画素数で表すことになり、その精度は、決して高くなく、エッジ位置とカメラ画素位置との相対関係によって得られるエッジの勾配にバラツキが生じる問題があった。   Then, the defocus state is made constant by performing focus adjustment so that the gradient corresponding to the change in the pixel value data becomes a specific value. For this reason, a waveform with a steep change is represented by a small number of pixels, and its accuracy is never high, and there is a problem in that the edge gradient obtained by the relative relationship between the edge position and the camera pixel position varies. .

このような問題を解決するためには、エッジ波形の急峻な変化を、より多くの画素を用いて取得できれば、高精度のエッジ勾配を得ることができ、デフォーカス制御が高い精度で再現性よく行えることとなる。しかしながら、高解像度のカメラは、高価であり、解像度にも限界がある。また検査などの画像処理においては、画素数が多いために処理時間が長くなる。   In order to solve such a problem, if a sharp change in the edge waveform can be acquired using more pixels, a highly accurate edge gradient can be obtained, and defocus control can be performed with high accuracy and good reproducibility. It will be possible. However, high resolution cameras are expensive and have limited resolution. In image processing such as inspection, the processing time is long because of the large number of pixels.

本発明は、前記のような課題を解決するためになされたものであり、従来と同等の光学系を用いて高精度にエッジ勾配を検出し、デフォーカス制御の高精度化を実現することのできるデフォーカス制御装置およびデフォーカス制御方法を得ることを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and it is possible to detect an edge gradient with high accuracy by using an optical system equivalent to the conventional one and realize high defocus control accuracy. An object of the present invention is to obtain a defocus control device and a defocus control method that can be used.

本発明に係るデフォーカス制御装置は、ディスプレイに表示した検査パタンをカメラで撮像することで得られる撮像画像に画像処理を施し、ディスプレイの画像検査を行う画像処理部を備えたデフォーカス制御装置であって、直線状の光学的にシャープなエッジを有し、ディスプレイの前面に接して配置されることで、ディスプレイに表示された画像を、透過させる部分と透過させない部分に分割する透過型ターゲットをさらに備え、透過型ターゲットは、カメラにより撮像された撮像画像におけるエッジの方向が、撮像画像の水平方向あるいは垂直方向に対して、0度より大きく90度より小さい所定の傾きを有するように、カメラに対する相対位置が定められて配置され、画像処理部は、ディスプレイで一定輝度として表示され、透過型ターゲットを透過して得られた撮像画像から、エッジの方向と交差する垂直方向あるいは水平方向の1画素幅の1ライン分の画素値データを2ライン分抽出し、抽出した2ライン分の画素値データから、1画素分のピッチ、およびピッチに対する水平方向あるいは垂直方向の勾配を算出することで、デフォーカス量を定量評価するものである。   A defocus control apparatus according to the present invention is a defocus control apparatus including an image processing unit that performs image processing on a captured image obtained by capturing an inspection pattern displayed on a display with a camera and performs image inspection on the display. A transmissive target that divides an image displayed on the display into a transparent part and a non-transparent part by having a linear optically sharp edge and being placed in contact with the front surface of the display. The transmissive target further includes a camera such that an edge direction in a captured image captured by the camera has a predetermined inclination greater than 0 degree and smaller than 90 degrees with respect to a horizontal direction or a vertical direction of the captured image. The image processing unit is displayed at a constant brightness on the display, and is transmissive. Two lines of pixel value data for one line of one pixel width in the vertical or horizontal direction intersecting the edge direction are extracted from the captured image obtained through the target, and the pixel values for the two lines extracted are extracted. The defocus amount is quantitatively evaluated by calculating the pitch of one pixel and the horizontal or vertical gradient with respect to the pitch from the data.

また、本発明に係るデフォーカス制御方法は、ディスプレイに表示した検査パタンをカメラで撮像することで得られる撮像画像に画像処理を施し、ディスプレイの画像検査を行う画像処理部により実行されるデフォーカス制御方法であって、ディスプレイに表示された画像を、透過させる部分と透過させない部分に分割してカメラを介して取得するために、直線状の光学的にシャープなエッジを有する透過型ターゲットを、カメラにより撮像された撮像画像におけるエッジの方向が、撮像画像の水平方向あるいは垂直方向に対して、0度より大きく90度より小さい所定の傾きを有するように、カメラに対する相対位置を定めて配置するステップと、画像処理部において、ディスプレイで一定輝度として表示され、透過型ターゲットを透過した撮像画像を取得するステップと、エッジの方向と交差する垂直方向あるいは水平方向の1画素幅の1ライン分の画素値データを2ライン分抽出するステップと、デフォーカス量を定量評価するために、抽出した2ライン分の画素値データから、1画素分のピッチ、およびピッチに対する水平方向あるいは垂直方向の勾配を算出するステップとを備えるものである。   In addition, the defocus control method according to the present invention performs defocusing executed by an image processing unit that performs image processing on a captured image obtained by capturing an inspection pattern displayed on a display with a camera and performs image inspection on the display. A control method for dividing an image displayed on a display into a transmissive part and a non-transmissive part through a camera in order to obtain a transmissive target having a linear optically sharp edge, The relative position with respect to the camera is determined and arranged so that the edge direction in the captured image captured by the camera has a predetermined inclination greater than 0 degrees and smaller than 90 degrees with respect to the horizontal direction or the vertical direction of the captured image. In the step and the image processing unit, it is displayed as a constant brightness on the display and is transmitted through the transmission target. In order to quantitatively evaluate the defocus amount, a step of acquiring a captured image, a step of extracting pixel value data for one line of one pixel width in the vertical direction or the horizontal direction intersecting the edge direction, and A step of calculating a pitch for one pixel and a gradient in a horizontal direction or a vertical direction with respect to the pitch from the extracted pixel value data for two lines.

本発明によれば、垂直エッジパタンあるいは水平エッジパタンをあらかじめ決められた角度だけ傾けた状態で撮像し、撮像画像の水平方向あるいは垂直方向の画素値データの変化から1画素当たりの勾配を算出し、算出した勾配が一定量となるようにデフォーカス量を調整することにより、従来と同等の光学系を用いて高精度にエッジ勾配を検出し、デフォーカス制御の高精度化を実現することのできるデフォーカス制御装置およびデフォーカス制御方法を得ることができる。   According to the present invention, imaging is performed with the vertical edge pattern or horizontal edge pattern tilted by a predetermined angle, and the gradient per pixel is calculated from the change in the pixel value data in the horizontal or vertical direction of the captured image. By adjusting the defocus amount so that the gradient is constant, the edge gradient can be detected with high accuracy using an optical system equivalent to the conventional one, and defocus control can be realized with high accuracy. A focus control device and a defocus control method can be obtained.

本発明の実施の形態1におけるデフォーカス制御装置の構成図である。It is a block diagram of the defocus control apparatus in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1における透過型ターゲットの説明図である。It is explanatory drawing of the transmission type target in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1における画像処理部による勾配算出方法に関する説明図である。It is explanatory drawing regarding the gradient calculation method by the image processing part in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1における画像処理部による勾配算出方法に関する別の説明図である。It is another explanatory drawing regarding the gradient calculation method by the image processing part in Embodiment 1 of this invention. 従来方法3の検出原理の説明図である。It is explanatory drawing of the detection principle of the conventional method 3.

以下、本発明のデフォーカス制御装置およびデフォーカス制御方法の好適な実施の形態につき、図面を用いて説明する。
本発明は、ディスプレイの表示輝度は一定として、ディスプレイの上に配置する透過型ターゲットのエッジ方向を、撮像画像の水平方向あるいは垂直方向に対して所定量だけ傾けることで、従来と同等の光学系を用いた場合にも、高精度に算出できるエッジ勾配を用いてデフォーカス量の定量評価を実現することを技術的特徴としている。
Hereinafter, preferred embodiments of a defocus control device and a defocus control method of the present invention will be described with reference to the drawings.
The present invention provides an optical system equivalent to the conventional one by tilting the edge direction of a transmissive target disposed on the display by a predetermined amount with respect to the horizontal direction or the vertical direction of the captured image, with the display brightness being constant Even in the case where is used, the technical feature is to realize the quantitative evaluation of the defocus amount using the edge gradient that can be calculated with high accuracy.

実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1におけるデフォーカス制御装置の構成図である。ディスプレイ1の前面には、光拡散部2と、透過型ターゲット3とが接して設置されている。そして、本実施の形態1におけるデフォーカス制御装置は、ディスプレイの画像を取得するカメラ10と、カメラ10で撮像された画像から勾配を算出する画像処理部20と、カメラ10で撮像された画像を表示する表示部30とを備えて構成されている。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a configuration diagram of a defocus control apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. On the front surface of the display 1, a light diffusing unit 2 and a transmissive target 3 are installed in contact with each other. The defocus control apparatus according to the first embodiment includes a camera 10 that acquires a display image, an image processing unit 20 that calculates a gradient from the image captured by the camera 10, and an image captured by the camera 10. And a display unit 30 for displaying.

そして、画像処理部20で算出される勾配があらかじめ決められた一定値となるように、カメラ10に接続されたレンズ11を調整して焦点位置合わせを行うことで、デフォーカス量を定量的に合わせ込むことができる。なお、デフォーカス量を調整するには、以下の2つの方法がある。
(調整方法1)手動調整
画像処理部20で算出された勾配を表示部30に表示させ、その表示内容を見ながら、オペレータがレンズ11を調整し、一定の勾配に合わせ込む。
(調整方法2)自動調整
画像処理部20で算出された勾配が一定の勾配となるように、レンズ11を自動調整できる構成を備えることで、自動調整も可能である。具体的には、レンズに自動フォーカス調整用の機構があれば、画像処理結果に基づいてフォーカス調整の自動化を実現できる。
Then, the defocus amount is quantitatively adjusted by adjusting the lens 11 connected to the camera 10 so that the gradient calculated by the image processing unit 20 becomes a predetermined constant value. Can be combined. There are the following two methods for adjusting the defocus amount.
(Adjustment Method 1) Manual Adjustment The gradient calculated by the image processing unit 20 is displayed on the display unit 30, and the operator adjusts the lens 11 while viewing the display content to adjust the gradient to a certain gradient.
(Adjustment Method 2) Automatic Adjustment Automatic adjustment is also possible by providing a configuration in which the lens 11 can be automatically adjusted so that the gradient calculated by the image processing unit 20 is a constant gradient. Specifically, if the lens has a mechanism for automatic focus adjustment, the focus adjustment can be automated based on the image processing result.

図2は、本発明の実施の形態1における透過型ターゲット3の説明図である。透過型ターゲット3は、図2に例示したように、光学的にシャープな直線状のエッジを有するものであり、このエッジが水平方向あるいは垂直方向から、例えば、5〜15°程度と少し傾いた状態(すなわち、0度より大きく90度より小さい所定の傾きを有し、水平方向および垂直方向とは一致しない状態)で設置されている。   FIG. 2 is an explanatory diagram of the transmission target 3 according to Embodiment 1 of the present invention. As illustrated in FIG. 2, the transmission target 3 has an optically sharp linear edge, and the edge is slightly inclined, for example, about 5 to 15 ° from the horizontal direction or the vertical direction. It is installed in a state (that is, a state having a predetermined inclination larger than 0 degree and smaller than 90 degrees and not coincident with the horizontal direction and the vertical direction).

なお、図2では、垂直エッジおよび水平エッジを持った透過型ターゲット3を、傾けて設置した場合を例示しているが、傾きのあるエッジを有するターゲットを用いることも可能である。また、エッジを撮像した画像が、水平方向または垂直方向から所定の角度を持って傾いていればよく、カメラ側を傾けてもよい。   FIG. 2 illustrates the case where the transmission type target 3 having the vertical edge and the horizontal edge is installed at an angle, but a target having an inclined edge can also be used. Further, the image obtained by imaging the edge may be inclined at a predetermined angle from the horizontal direction or the vertical direction, and the camera side may be inclined.

次に、本実施の形態1におけるデフォーカス制御方法を、具体的に説明する。ディスプレイ1には、全面あるいは少なくとも透過型ターゲット3のエッジ部分を含む領域で、同一輝度のパタンを発光させ、これをカメラ10で撮像する。   Next, the defocus control method in the first embodiment will be specifically described. On the display 1, a pattern having the same luminance is emitted on the entire surface or an area including at least the edge portion of the transmission target 3, and this is imaged by the camera 10.

図3は、本発明の実施の形態1における画像処理部20による勾配算出方法に関する説明図である。まず始めに、図3(a)に示すように、画像処理部20は、垂直方向から所定角度だけ傾いて設置された透過型ターゲット3を撮像したことにより得られた画像について、垂直方向に2画素ピッチ離れた2本のラインL1、L2の画素値データを抽出する。   FIG. 3 is an explanatory diagram relating to a gradient calculation method by the image processing unit 20 according to Embodiment 1 of the present invention. First, as illustrated in FIG. 3A, the image processing unit 20 performs an operation on the image obtained by imaging the transmission target 3 installed at a predetermined angle from the vertical direction. Pixel value data of two lines L1 and L2 separated by a pixel pitch are extracted.

図3(b)は、2本のラインL1、L2の画素値データの変化を示した図であり、横軸が画素位置、縦軸が画素値(輝度値)を示している。画素値は、例えば、黒パタンが0、白パタンが255の輝度階調として得られ、黒パタンから白パタンへと切り変わるところは、輝度値が0から255に、図3(b)に示すように遷移していくこととなる。   FIG. 3B is a diagram illustrating changes in the pixel value data of the two lines L1 and L2, where the horizontal axis indicates the pixel position and the vertical axis indicates the pixel value (luminance value). For example, the pixel value is obtained as a luminance gradation in which the black pattern is 0 and the white pattern is 255, and the luminance value is changed from 0 to 255 as shown in FIG. The transition will be as follows.

そして、画像処理部20は、2本のラインL1、L2それぞれについて、黒パタンの画素値と白パタンの画素値との輝度差を1に正規化した際に、中間点である1/2の位置に対応する画素位置を、P1、P2として算出する。次に、画像処理部20は、P1とP2の画素位置の差分の1/2の値を算出することで、カメラ10の1画素分のピッチを算出できる。   Then, when the luminance difference between the pixel value of the black pattern and the pixel value of the white pattern is normalized to 1 for each of the two lines L1 and L2, the image processing unit 20 reduces the intermediate point to ½. Pixel positions corresponding to the positions are calculated as P1 and P2. Next, the image processing unit 20 can calculate the pitch of one pixel of the camera 10 by calculating a value that is ½ of the difference between the pixel positions of P1 and P2.

次に、画像処理部20は、図3(c)に示すように、ラインL1あるいはラインL2の画素値データの遷移状態から、P1あるいはP2における勾配を求め、1画素に対応する画素値データの変化量を得ることができる。   Next, as shown in FIG. 3C, the image processing unit 20 obtains a gradient at P1 or P2 from the transition state of the pixel value data of the line L1 or line L2, and obtains the pixel value data corresponding to one pixel. The amount of change can be obtained.

そして、最もピントが合った状態では、この傾きの大きさ(すなわち、絶対値)が最も1に近い状態となり、デフォーカス状態が進む(すなわち、画像ボケがより大きくなる)に従って、傾きの大きさが小さくなることになる。ただし、最もピントが合った状態では、モアレが生じてしまう。そこで、最もピントが合った状態の勾配量より小さい値を有し、モアレが生じないがなるべく合焦に近い所定勾配量をあらかじめ設定しておき、画像処理部20で算出される勾配が、所定勾配量に一致するようにレンズ11を自動調整あるいは手動調整する。   In the most in-focus state, the magnitude of the inclination (that is, the absolute value) is closest to 1, and the degree of inclination is increased as the defocus state progresses (that is, the image blur becomes larger). Will become smaller. However, moire occurs in the most focused state. Therefore, a predetermined gradient amount that has a value smaller than the gradient amount in the most in-focus state and that is close to the in-focus as much as possible without moiré is set in advance, and the gradient calculated by the image processing unit 20 is a predetermined gradient amount. The lens 11 is automatically adjusted or manually adjusted so as to match the gradient amount.

ここで、本実施の形態1では、図3(a)に示すように、所定角度傾けたエッジパタンの画素値データの遷移に基づいて、勾配を算出している。この結果、従来と同等の光学系を用いた場合にも、白パタンから黒パタンに遷移する間に含まれる画素数をより多くすることができ、勾配を高精度に求めることができる。   Here, in the first embodiment, as shown in FIG. 3A, the gradient is calculated based on the transition of the pixel value data of the edge pattern tilted by a predetermined angle. As a result, even when an optical system equivalent to the conventional one is used, the number of pixels included during the transition from the white pattern to the black pattern can be increased, and the gradient can be obtained with high accuracy.

すなわち、エッジを傾けることで、図3(a)で垂直方向の2ラインL1、L2として得られる画素値データは、輝度値が徐々に変化していく複数の画素からなり、垂直エッジに対して水平方向に1ラインを引いた場合の1画素を、より高分解能化したことと等価となる。
上記では2画素ピッチ離れた2本のラインを抽出して傾きを求める場合の例について説明したが、2画素ピッチ以外にも1画素ピッチや3画素ピッチなどでも同様に傾きを求めることができ、あるいは3本以上のラインを抽出して用いてもよい。
That is, by tilting the edge, the pixel value data obtained as the two vertical lines L1 and L2 in FIG. 3A is composed of a plurality of pixels whose luminance values are gradually changed. This is equivalent to increasing the resolution of one pixel when one line is drawn in the horizontal direction.
In the above description, an example in which two lines separated by two pixel pitches are extracted and the inclination is obtained has been described. Alternatively, three or more lines may be extracted and used.

図4は、本発明の実施の形態1における画像処理部20による勾配算出方法に関する別の説明図である。この図4では、ほぼエッジに沿ってエッジをまたいだ垂直あるいは水平の1画素幅の波形を3本抽出した場合を例示している。そして、この図4では、2画素分離れたラインL1とラインL3に基づいて、カメラ10の1画素分のピッチを求め、さらに、ラインL1、L3の間のラインL2から勾配を算出している。   FIG. 4 is another explanatory diagram regarding the gradient calculation method by the image processing unit 20 according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 4 exemplifies a case where three vertical or horizontal one-pixel width waveforms extending substantially along the edge are extracted. In FIG. 4, the pitch of one pixel of the camera 10 is obtained based on the line L1 and the line L3 separated by two pixels, and the gradient is calculated from the line L2 between the lines L1 and L3. .

上述したように、適切なデフォーカス状態となる所定勾配量をあらかじめ設定しておき、それぞれの検査装置において、あるいは検査条件の設定を行う毎に、勾配量が所定勾配量になるようにフォーカス調整を行う。そして、フォーカス調整後は、フォーカスを固定し、また、透過型ターゲットを取り除いた後、本来の目的であるディスプレイの残像、ムラ、その他の検査を開始する。   As described above, a predetermined gradient amount that achieves an appropriate defocus state is set in advance, and focus adjustment is performed so that the gradient amount becomes the predetermined gradient amount in each inspection apparatus or each time an inspection condition is set. I do. After the focus adjustment, the focus is fixed, and after the transmissive target is removed, inspections such as afterimages, unevenness, and the like of the display are started.

なお、手動でフォーカス制御を行う場合には、エッジの勾配量を、適切なデフォーカス状態となる所定勾配量に近づけることはできても、ほぼ同じとすることは容易ではない。そのような場合には、例えば、所定勾配量と、実際の調整後の勾配量との比により、画像処理の中での補正処理としてデフォーカス管理を行うことも有効である。   In the case where manual focus control is performed, it is not easy to make the edge gradient amount substantially the same even though the gradient amount of the edge can be brought close to a predetermined gradient amount that achieves an appropriate defocus state. In such a case, for example, it is also effective to perform defocus management as a correction process in the image processing based on a ratio between a predetermined gradient amount and an actually adjusted gradient amount.

また、ディスプレイの輝度の均一性が問題となる場合には、透過型ターゲット3を設置していない状態で撮像した画像を用い、処理画像の輝度の正規化を行うことができる。   Further, when the uniformity of the brightness of the display becomes a problem, it is possible to normalize the brightness of the processed image using an image captured without the transmissive target 3 being installed.

また、光拡散部2は、透過型ターゲットやレンズなどで反射した光がディスプレイに映り込むのを防止する効果はあるが、このような反射光が軽微であれば必ずしも設置は必要ではない。   Further, the light diffusing unit 2 has an effect of preventing the light reflected by the transmissive target or the lens from being reflected on the display, but the light diffusing unit 2 is not necessarily installed if such reflected light is slight.

以上のように、実施の形態1によれば、垂直エッジパタンあるいは水平ヘッジパタンをあらかじめ決められた角度だけ傾けた状態で撮像し、撮像画像の水平方向あるいは垂直方向の画素値データの変化から1画素当たりの勾配を高精度に算出している。さらに、適切なデフォーカス状態となる所定勾配量に合わせ込むようにレンズ調整を行うことで、モアレの発生を抑制した上で、ディスプレイの残像、ムラ、その他の検査を安定した精度で実行することが可能となる。   As described above, according to the first embodiment, an image is captured with the vertical edge pattern or the horizontal hedge pattern tilted by a predetermined angle, and one pixel is detected from the change in the pixel value data in the horizontal direction or the vertical direction of the captured image. The hitting gradient is calculated with high accuracy. Furthermore, by adjusting the lens so that it is adjusted to a predetermined gradient amount that achieves an appropriate defocus state, the occurrence of moiré is suppressed, and afterimages, unevenness, and other inspections on the display are executed with stable accuracy. Is possible.

1 ディスプレイ、2 光拡散部、3 透過型ターゲット、10 カメラ、11 レンズ、20 画像処理部、30 表示部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Display, 2 Light-diffusion part, 3 Transmission type target, 10 Camera, 11 Lens, 20 Image processing part, 30 Display part.

Claims (5)

ディスプレイに表示した検査パタンをカメラで撮像することで得られる撮像画像に画像処理を施し、前記ディスプレイの画像検査を行う画像処理部を備えたデフォーカス制御装置であって、
直線状の光学的にシャープなエッジを有し、前記ディスプレイの前面に接して配置されることで、前記ディスプレイに表示された画像を、透過させる部分と透過させない部分に分割する透過型ターゲットをさらに備え、
前記透過型ターゲットは、前記カメラにより撮像された前記撮像画像における前記エッジの方向が、前記撮像画像の水平方向あるいは垂直方向に対して、0度より大きく90度より小さい所定の傾きを有するように、前記カメラに対する相対位置が定められて配置され、
前記画像処理部は、前記ディスプレイで一定輝度として表示され、前記透過型ターゲットを透過して得られた撮像画像から、前記エッジの方向と交差する垂直方向あるいは水平方向の1画素幅の1ライン分の画素値データを2ライン分抽出し、抽出した前記2ライン分の画素値データから、1画素分のピッチ、および前記ピッチに対する水平方向あるいは垂直方向の勾配を算出することで、デフォーカス量を定量評価する
デフォーカス制御装置。
A defocus control device including an image processing unit that performs image processing on a captured image obtained by capturing an inspection pattern displayed on a display with a camera, and performs image inspection on the display,
A transmissive target having a linear optically sharp edge and arranged in contact with the front surface of the display to divide the image displayed on the display into a transparent portion and a non-transmissive portion Prepared,
The transmissive target has a predetermined inclination in which the direction of the edge in the captured image captured by the camera is greater than 0 degree and smaller than 90 degrees with respect to the horizontal direction or the vertical direction of the captured image. , The relative position with respect to the camera is determined and arranged,
The image processing unit is displayed on the display with a constant luminance, and from a captured image obtained by transmitting through the transmission target, corresponds to one line of one pixel width in a vertical direction or a horizontal direction intersecting the edge direction. The pixel value data is extracted for two lines, and the defocus amount is calculated by calculating a pitch for one pixel and a horizontal or vertical gradient with respect to the pitch from the extracted pixel value data for the two lines. Defocus control device for quantitative evaluation.
請求項1に記載のデフォーカス制御装置であって、
前記撮像画像、および前記画像処理部で算出された前記勾配を表示する表示部をさらに備え、
前記表示部に表示される前記勾配が、適切なデフォーカス状態となる値としてあらかじめ設定された所定勾配量と一致するように、前記カメラに取り付けられたレンズのフォーカスを手動調整可能とする
デフォーカス制御装置。
The defocus control device according to claim 1,
A display unit for displaying the captured image and the gradient calculated by the image processing unit;
The focus of the lens attached to the camera can be manually adjusted so that the gradient displayed on the display unit coincides with a predetermined gradient amount set in advance as a value for achieving an appropriate defocus state. Control device.
請求項1に記載のデフォーカス制御装置であって、
前記カメラは、外部からの指令信号に基づいてフォーカス状態を自動調整可能な機構を有し、
前記画像処理部は、算出した前記勾配が、適切なデフォーカス状態となる値としてあらかじめ設定された所定勾配量に一致するように、前記カメラに対する前記指令信号を生成することで、前記カメラに取り付けられたレンズのフォーカスを自動調整可能とする
デフォーカス制御装置。
The defocus control device according to claim 1,
The camera has a mechanism capable of automatically adjusting the focus state based on a command signal from the outside,
The image processing unit is attached to the camera by generating the command signal for the camera so that the calculated gradient matches a predetermined gradient amount that is set in advance as a value that provides an appropriate defocus state. Defocus control device that can automatically adjust the focus of the lens.
請求項2に記載のデフォーカス制御装置であって、
前記画像処理部は、手動調整完了後に算出した前記勾配と、前記所定勾配量との比率に応じて、前記画像検査を行う際に補正処理を行う
デフォーカス制御装置。
The defocus control device according to claim 2,
The defocus control device, wherein the image processing unit performs a correction process when performing the image inspection according to a ratio between the gradient calculated after completion of manual adjustment and the predetermined gradient amount.
ディスプレイに表示した検査パタンをカメラで撮像することで得られる撮像画像に画像処理を施し、前記ディスプレイの画像検査を行う画像処理部により実行されるデフォーカス制御方法であって、
前記ディスプレイに表示された画像を、透過させる部分と透過させない部分に分割して前記カメラを介して取得するために、直線状の光学的にシャープなエッジを有する透過型ターゲットを、前記カメラにより撮像された前記撮像画像における前記エッジの方向が、前記撮像画像の水平方向あるいは垂直方向に対して、0度より大きく90度より小さい所定の傾きを有するように、前記カメラに対する相対位置を定めて配置するステップと、
前記画像処理部において、
前記ディスプレイで一定輝度として表示され、前記透過型ターゲットを透過した撮像画像を取得するステップと、
前記エッジの方向と交差する垂直方向あるいは水平方向の1画素幅の1ライン分の画素値データを2ライン分抽出するステップと、
デフォーカス量を定量評価するために、抽出した前記2ライン分の画素値データから、1画素分のピッチ、および前記ピッチに対する水平方向あるいは垂直方向の勾配を算出するステップと
を備えるデフォーカス制御方法。
A defocus control method executed by an image processing unit that performs image processing on a captured image obtained by capturing an inspection pattern displayed on a display with a camera, and performs image inspection on the display,
In order to divide the image displayed on the display into a transmissive part and a non-transmissive part and obtain it via the camera, a transmissive target having a linear optically sharp edge is captured by the camera. The relative position with respect to the camera is determined so that the edge direction in the captured image has a predetermined inclination greater than 0 degrees and smaller than 90 degrees with respect to the horizontal direction or the vertical direction of the captured image. And steps to
In the image processing unit,
Obtaining a captured image that is displayed at a constant brightness on the display and transmitted through the transmissive target;
Extracting two lines of pixel value data for one line of one pixel width in the vertical or horizontal direction intersecting the edge direction;
A defocus control method comprising: calculating a pitch for one pixel and a horizontal or vertical gradient with respect to the pitch from the extracted pixel value data for the two lines in order to quantitatively evaluate a defocus amount .
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