JP6193783B2 - 圧電アクチュエータおよびこれを備えた圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、電子機器 - Google Patents

Description

本発明は、圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、電子機器に好適な圧電アクチュエータおよびこれを備えた圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、電子機器に関するものである。

複数の内部電極と複数の圧電体層が積層された積層体と、当該積層体の表面に設けられた複数の表面電極とを備えた圧電素子が知られている（例えば、特許文献１を参照）。そして、外部回路と電気的に接続するためのフレキシブル基板が、圧電素子の表面に接続されてなる圧電アクチュエータが知られている。

ここで、バイモルフ構造の圧電素子を備えた従来の圧電アクチュエータにおいて、フレキシブル基板には圧電素子に電圧を印加するための２本の配線が設けられている。

特開２００７−１０９７５４号公報

ここで、圧電アクチュエータにおいて圧電特性が目標とする特性からずれている場合にはその圧電特性を調整する必要があるが、２本の配線を有するフレキシブル基板を圧電素子に接続した状態からの特性調整は困難であった。

圧電特性の調整が可能で、優れた圧電特性の圧電アクチュエータ、およびこれを備えた圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、電子機器が求められている。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、圧電特性の調整が可能で、優れた圧電特性の圧電アクチュエータおよびこれを備えた圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、電子機器を提供することを目的とする。

本発明の圧電アクチュエータは、複数の内部電極および複数の圧電体層が積層された積層体と、該積層体の一方主面に設けられた複数の表面電極と、前記複数の内部電極と前記複数の表面電極とを電気的に接続する複数の側面電極とを有する圧電素子と、該圧電素子の一方主面に接合されたフレキシブル基板とを備えた圧電アクチュエータであって、前記複数の内部電極は、一層おきに設けられた第１の内部電極と、前記積層体の一方主面側に配置されて前記第１の内部電極と対向するように一層おきに設けられた第２の内部電極と、前記積層体の他方主面側に配置されて前記第１の内部電極と対向するように一層おきに設けられた第３の内部電極とを含み、前記複数の表面電極は、前記第１の内部電極と電気的に接続された第１の表面電極と、前記第２の内部電極と電気的に接続された第２の表面電極と、前記第３の内部電極と電気的に接続された第３の表面電極とを含み、前記フレキシブル基板は、前記第１の表面電極と電気的に接続された第１の配線導体と、前記第２の表面電極と電気的に接続された第２の配線導体と、前記第３の表面電極と電気的に接続された第３の配線導体とを含み、前記フレキシブル基板における前記圧電素子と重なる重なり領域に近接してくびれ部が設けられていて、前記フレキシブル基板における前記重なり領域の上から前記くびれ部の少なくとも一部にかけて補強板が設けられていることを特徴とする。

また、本発明の圧電アクチュエータは、上記の構成において、前記圧電素子が長尺状の板体であって、前記第１の表面電極は前記積層体の前記一方主面の長手方向の一端から他端方向へ延設され、前記第２の表面電極および前記第３の表面電極は前記積層体の長手方向の他端部において間に間隙部を設けて前記積層体の幅方向に配置されているとともに、前記フレキシブル基板は前記圧電素子の前記他端部から長手方向に延出されるように接合され、平面視で前記第１の配線導体が前記第２の配線導体と前記第３の配線導体との間に配置されていることを特徴とする。

また、本発明の圧電アクチュエータは、上記の構成において、前記フレキシブル基板の幅が前記圧電素子の幅と同じかまたはこれよりも狭いことを特徴とする。

また、本発明の圧電アクチュエータは、上記の構成において、前記第２の配線導体および前記第３の配線導体は前記第２の表面電極と前記第３の表面電極との間の前記間隙部から引き出されていることを特徴とする。

また、本発明の圧電振動装置は、上記の圧電アクチュエータと、該圧電アクチュエータを構成する前記圧電素子の他方主面に接合された振動板とを有することを特徴とする。

また、本発明の携帯端末は、上記の圧電アクチュエータと、電子回路と、ディスプレイと、筐体とを有しており、前記圧電アクチュエータを構成する前記圧電素子の他方主面が前記ディスプレイまたは前記筐体に接合されていることを特徴とする。

また、本発明の音響発生器は、上記の圧電アクチュエータと、該圧電アクチュエータが取り付けられており、該圧電アクチュエータの振動によって該圧電アクチュエータとともに振動する振動板と、該振動板の外周部に設けられた枠体とを備えていることを特徴とする。

また、本発明の電子機器は、上記の音響発生器と、該音響発生器に接続された電子回路と、該電子回路および前記音響発生器を収容する筐体とを備え、前記音響発生器から音響を発生させる機能を有することを特徴とする。

本発明によれば、フレキシブル基板が圧電素子に接続された状態で、電圧印加による圧電特性の調整が出来ることから、優れた圧電特性の圧電アクチュエータを得ることができる。

（ａ）は本発明の圧電アクチュエータの実施の形態の一例を示す概略斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電素子の概略斜視図、（ｃ）は（ａ）のＡ−Ａ線で切断した断面図である。 （ａ）は図１（ａ）に示すＢ−Ｂ線で切断した断面図、（ｂ）は図１（ａ）に示すＣ−Ｃ線で切断した断面図である。 （ａ）は本発明の圧電アクチュエータの実施の形態の他の例を示す概略斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ線で切断した断面図である。 本発明の圧電アクチュエータの実施の形態の他の例を示す概略斜視図である。 本発明の圧電アクチュエータの実施の形態の他の例を示す概略斜視図である。 本発明の実施の形態の圧電振動装置を模式的に示す概略斜視図である。 本発明の実施の形態の携帯端末を模式的に示す概略斜視図である。 図７に示すＡ−Ａ線で切断した概略断面図である。 図７に示すＢ−Ｂ線で切断した概略断面図である。 （ａ）は、本発明の音響発生器の実施の形態の概略構成を示す模式的な平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線で切断した一例の概略断面図、（ｃ）は、（ａ）のＡ−Ａ線で切断した他の例の概略断面図である。 本発明の電子機器の実施の形態に係る構成を示す図である。

本発明の圧電アクチュエータの実施の形態の一例について、図面を参照して詳細に説明する。

図１（ａ）は本発明の圧電アクチュエータの実施の形態の一例を示す概略斜視図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）に示す圧電素子の概略斜視図、図１（ｃ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線断面図、図１（ｄ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ線で切断した断面図である。また、図２（ａ）は図１（ａ）に示すＢ−Ｂ線で切断した断面図、図２（ｂ）は図１（ａ）に示すＣ−Ｃ線で切断した断面図である。

図１および図２に示す例の圧電アクチュエータ１は、複数の内部電極１２および複数の圧電体層１３が積層された積層体１４と、積層体１４の一方主面に設けられた複数の表面電極１５と、複数の内部電極１２と複数の表面電極１５と電気的に接続する複数の側面電極１６とを有する圧電素子１１、および圧電素子１１の一方主面に接合されたフレキシブル基板２とを備えた圧電アクチュエータ１であって、複数の内部電極１２は、一層おきに設けられた第１の内部電極１２１と、積層体１４の一方主面側に配置されて第１の内部電極１２１と対向するように一層おきに設けられた第２の内部電極１２２と、積層体１４の他方主面側に配置されて第１の内部電極１２１と対向するように一層おきに設けられた第３の内部電極１２３とを含み、複数の表面電極１５は、第１の内部電極１２１と電気的に接続された第１の表面電極１５１と、第２の内部電極１２２と電気的に接続された第２の表面電極１５２と、第３の内部電極１２３と電気的に接続された第３の表面電極１５３とを含み、フレキシブル基板２は、第１の表面電極１５１と電気的に接続された第１の配線導体２２１と、第２の表面電極１５２と電気的に接続された第２の配線導体２２２と、第３の表面電極１５３と電気的に接続された第３の配線導体２２３とを含んでいる。

本例の圧電アクチュエータ１は圧電素子１１を有しており、圧電素子１１を構成する積層体１４は、複数の内部電極１２と複数の圧電体層１３とが積層されて板状に形成されてなるものである。そして、圧電アクチュエータ１は複数の内部電極１２が積層方向に重なる活性部とそれ以外の不活性部とを有し、例えば長尺状に形成されている。携帯端末のディスプレイまたは筐体に取り付ける圧電アクチュエータ１の場合、積層体１４の長さとしては、例えば１８ｍｍ〜２８ｍｍが好ましく、２２ｍｍ〜２５ｍｍが更に好ましい。積層体１４の幅は、例えば１ｍｍ〜６ｍｍが好ましく、３ｍｍ〜４ｍｍが更に好ましい。積層体１４の厚みは、例えば０．２ｍｍ〜１．０ｍｍが好ましく、０．４ｍｍ〜０．８ｍｍが更に好ましい。

積層体１４を構成する複数の内部電極１２は、複数の圧電体層１３を形成するセラミックスと同時焼成により形成されたもので、圧電体層１３と交互に積層されて圧電体層１３を上下から挟んでいる。具体的には、一層おきに設けられた第１の内部電極１２１と、積層体１４の一方主面側に配置されて第１の内部電極１２１と対向するように一層おきに設けられた第２の内部電極１２２と、積層体１４の他方主面側に配置されて第１の内部電極１２１と対向するように一層おきに設けられた第３の内部電極１２３と含んでいる。積層体１４の上側に第２の内部電極１２２および第１の内部電極１２１が配置され、積層体１４の下側に第３の内部電極１２３および第１の内部電極１２１が配置されることにより、それらの間に挟まれた圧電体層１３に駆動電圧を印加するものである。この形成材料として、例えば圧電セラミックスとの反応性が低い銀や銀−パラジウム合金を主成分とする導体、あるいは銅、白金などを含む導体を用いることができるが、これらにセラミック成分やガラス成分を含有させてもよい。

図１および図２に示す例では、第１の内部電極１２１の端部が積層体１４の対向する一対の側面のうちの一方に導出され、第２の内部電極１２２の端部および第３の内部電極１２３の端部が積層体１４の対向する一対の側面のうちの他方に導出されている。携帯端末のディスプレイまたは筐体に取り付ける圧電アクチュエータの場合には、内部電極１２の長さは、例えば１７ｍｍ〜２５ｍｍが好ましく、２１ｍｍ〜２４ｍｍが更に好ましい。内部電極１２の幅は、例えば１ｍｍ〜５ｍｍが好ましく、２ｍｍ〜４ｍｍが更に好ましい。内部電極１２の厚みは、例えば０．１μｍ〜５μｍが好ましい。

積層体１４を構成する圧電体層１３は、圧電特性を有するセラミックスで形成されたもので、このようなセラミックスとして、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ_３−ＰｂＴｉＯ_３）からなるペロブスカイト型酸化物、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３）などを用いることができる。圧電体層１３の１層の厚みは、低電圧で駆動させるために、例えば０．０１〜０．１ｍｍに設定することが好ましい。また、大きな屈曲振動を得るために、２００ｐｍ／Ｖ以上の圧電定数ｄ３１を有することが好ましい。

積層体１４の一方主面には、内部電極１２と電気的に接続された複数の表面電極１５が設けられている。図１および図２に示す形態における複数の表面電極１５は、大きな面積の第１の表面電極１５１、小さな面積の第２の表面電極１５２および第３の表面電極１５３で構成されている。例えば、第１の表面電極１５１は第１の内部電極１２１と電気的に接続され、第２の表面電極１５２は一方主面側に配置された第２の内部電極１２２、第３の表面電極１５３は他方主面側に配置された第３の内部電極１２３と電気的に接続されている。携帯端末のディスプレイまたは筐体に取り付ける圧電アクチュエータの場合には、第１の表面電極１５１の長さは、例えば１７ｍｍ〜２３ｍｍが好ましく、１９ｍｍ〜２１ｍｍが更に好ましい。第１の表面電極１５１の幅は、例えば１ｍｍ〜５ｍｍが好ましく、２ｍｍ〜４ｍｍが更に好ましい。第２の表面電極１５２および第３の表面電極１５３の長さは、例えば１ｍｍ〜３ｍｍとするのが好ましい。第２の表面電極１５２および第３の表面電極１５３の幅は、例えば０．５ｍｍ〜１．５ｍｍとするのが好ましい。

また、圧電アクチュエータ１は、圧電素子１１の一方主面に接合されたフレキシブル基板２を有している。フレキシブル基板２は、例えば樹脂製のベースフィルム２１の表面に３本の配線導体２２（第１の配線導体２２１、第２の配線導体２２２、第３の配線導体２２３）が設けられたフレキシブル・プリント配線基板である。

そして、フレキシブル基板２の一部が圧電素子１１の一方主面に導電性接合材３を介して接合され、配線導体２２が導電性接合材３を介して表面電極１５と電気的に接続されている。具体的には、第１の配線導体２２１が第１の表面電極１５１と電気的に接続され、
第２の配線導体２２２が第２の表面電極１５２と電気的に接続され、第３の配線導体２２３が第３の表面電極１５３と電気的に接続されている。このフレキシブル基板２は、例えば一方の端部で圧電素子１１と接合され、他方の端部で外部回路（コネクタ）と接合されている。

なお、本例では、さらに圧電素子１１との接合部及びその近傍を除く領域にカバーフィルム２３が設けられている。圧電素子１１と重なる領域およびその近傍領域はカバーフィルム２３が設けられていないことで、カバーフィルム２３の厚みによる影響を受けることなく、確実な電気的接続が得られる。

導電性接合材３としては、導電性接着剤やはんだ等が用いられるが、好ましくは導電性接着剤であるのがよい。例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂、あるいは合成ゴムなどの樹脂接着剤３２中に、例えば金、銅、ニッケル、または金メッキした樹脂ボールなどからなる導電粒子３１を分散させてなる導電性接着剤を用いることで、はんだに比べて振動によって生じる応力を低減することができるためである。より好ましくは、導電性接着剤の中でも異方性導電材であるのがよい。異方性導電材は、電気的接合を担う導電粒子３１と接着を担う樹脂接着剤３２からなり、一つの導電粒子３１が表面電極１５と配線導体２２とに接している。すなわち、表面電極１５と配線導体２２との間にあるそれぞれの導電粒子３１が表面電極１５と配線導体２２とに接している。この異方性導電材は、厚み方向には導通が取れ、面内方向には絶縁が取れるため、狭ピッチの配線においても異極の表面電極間で電気的にショートすることがなく、フレキシブル基板２との接続部をコンパクトにすることができる。

また、導電性接合材３が圧電素子１１とフレキシブル基板２との重なる領域から当該重なる領域の外側まで延在している部分を有していてもよい。なお、延在した導電性接合材３は、当該延在した領域において圧電素子１１またはフレキシブル基板２と接合されている。なお、延在した距離ｄ１は、例えば０．０５ｍｍ〜１．５ｍｍに設定される。

この構成によれば、延在した導電性接合材３により圧電素子１１とフレキシブル基板２との接合面積が増すことによって、接合強度が高まるとともに振動を吸収する効果が高まる。また、破壊起点が延在した導電性接合材３の端部へ移動することにより破壊しにくくなる。その結果、長時間駆動してもフレキシブル基板２が圧電素子１１から剥がれるのを抑制できる。

また、本例の圧電アクチュエータ１は、図３に示すように、フレキシブル基板２の上方から見て圧電素子１１と重なる領域に固着された補強板４を備えていてもよい。補強板４とは、フレキシブル基板２の圧電素子１１との接合領域を補強するためのもので、例えばガラスエポキシ（ＦＲ−４）、コンポジット（ＣＥＭ−３）、ポリエーテルイミド、ポリイミド、ポリエステルなどの樹脂、ステンレス、アルミニウムおよびそれらの合金などの金属で、例えば厚み５０〜２００μｍとされたものである。

さらに、補強板４には屈曲部４１が設けられていてもよい。屈曲部４１とは、フレキシブル基板２が補強板４の厚み方向（圧電素子１１の積層方向）に折れ曲がった部位のことである。この構成によれば、補強板４によってフレキシブル基板２の振動が吸収されるとともに、振動が補強板４の屈曲部４１に達した際、屈曲部４１によってさらに振動エネルギーを吸収され、振動が減衰する。その結果、フレキシブル基板２は長時間駆動してもはがれにくくなる。

上述したように、フレキシブル基板２は、第１の表面電極１５１と電気的に接続された第１の配線導体２２１と、第２の表面電極１５２と電気的に接続された第２の配線導体２
２２と、第３の表面電極１５３と電気的に接続された第３の配線導体２２３とを含んでいる。

圧電素子１１の分極時には、積層体１４の上半分の領域と下半分の領域とで、分極方向が逆になるようにプラスマイナス逆に電圧を印加するために、第１の表面電極１５１、第２の表面電極１５２および第３の表面電極１５３が設けられている。そして、このように分極された圧電素子１１に、従来のような２本の配線導体（第１の表面電極１５１に接続された配線導体、第２の表面電極１５２および第３の表面電極１５３に接続された配線導体）が設けられたフレキシブル基板２を接合することで、２本の配線導体へ電圧を印加したときに、上半分の領域が伸びたときは下半分の領域が縮み、上半分の領域が縮んだ時は下半分の領域が伸びるという撓み振動をさせることができる。圧電アクチュエータ１はいわゆるバイモルフ型の圧電アクチュエータであって、表面電極１５から電気信号が入力されて一方主面および他方主面が屈曲面となるように屈曲振動するものである。

ところが、積層体１４の上半分の領域と下半分の領域とで幅や長さのバラツキや厚みバラツキがあることがあり、同じ電圧を印加しても変位量が全く同一とならない場合がある。このような場合に、２本の配線導体を備えたフレキシブル基板２では、あとから再度分極電圧を変えて分極をすることにより調整することができない。

これに対し、フレキシブル基板２の配線導体２２をそれぞれの表面電極１５に対応するように設けたことで、圧電素子１１にフレキシブル基板２を接合した後の圧電アクチュエータ１の状態で、積層体１４の上半分の領域と下半分の領域とにそれぞれ分極電圧を印加できるので、圧電アクチュエータ１に撓み量の個体差があったとしても分極電圧値を変更して再調整することで、撓み量をそろえることができる。したがって、優れた圧電特性の圧電アクチュエータ１を得ることができる。

ここで、図に示すように、圧電素子１１は長尺状の板体であって、第１の表面電極１５１は積層体の一方主面の長手方向の一端から他端方向へ延設され、第２の表面電極１５２および第３の表面電極１５３は積層体１４の長手方向の他端部において間に間隙部を設けて積層体１４の幅方向に配置されている。そして、フレキシブル基板２は圧電素子１１の他端部から長手方向に延出されるように接合され、平面視で第１の配線導体２２１が第２の配線導体２２２と第３の配線導体２２３との間に配置されているのが好ましい。

圧電素子１１（積層体１４）が長尺状の板体である場合には、圧電素子１１は長手方向に屈曲振動する。そのため、圧電素子１１の長手方向と交差する方向（短手方向）へフレキシブル基板２を延出させる、言い換えれば圧電素子１１の長辺からフレキシブル基板２を延出させると、圧電素子１１の振動によってフレキシブル基板２が幅方向にねじれやすくなり、フレキシブル基板２が圧電素子１１から剥がれやすくなる可能性がある。これに対して、フレキシブル基板２が圧電素子１１の他端部から長手方向に延出されるように接合されていることで、圧電素子１１の振動によってフレキシブル基板２がねじれにくくなるので、フレキシブル基板２が圧電素子１１から剥がれる可能性が低減されて信頼性の高い圧電アクチュエータ１となる。このとき、圧電素子１１の他端から離れた第１の表面電極１５１に接続されている第１の配線導体２２１が、圧電素子１１の他端部に設けられた第２の表面電極１５２および第３の表面電極１５３にそれぞれ接続された、第２の配線導体２２２と第３の配線導体２２３との間に配置されていると、フレキシブル基板２の幅方向における配線導体の配置バランスがよいので、圧電素子１１の振動によるフレキシブル基板２のねじれがより小さいものとなり、フレキシブル基板２が圧電素子１１から剥がれる可能性がより低減されてより信頼性の高い圧電アクチュエータ１となる。

また、図１および図４に示すように、フレキシブル基板２の幅が圧電素子１１の幅と同
じかまたはこれよりも狭いのが好ましい。このようにすることで、圧電アクチュエータ１を携帯端末、電子機器などに搭載する際に場所をとらず、小型化や狭スペースへの搭載に貢献できる。また、フレキシブル基板２が圧電素子１１から幅方向にはみ出す部分、すなわち圧電素子１１の振動によってねじれやすい部分がないので、フレキシブル基板２が圧電素子１１から剥がれる可能性がより低減されてより信頼性の高い圧電アクチュエータ１となる。

また、図４に示すように、平面視で、第２の配線導体２２２および第３の配線導体２２３は第２の表面電極１５２と第３の表面電極１５３との間から引き出されていてもよい。このようにすることで、第１の配線導体２２１、第２の配線導体２２２および第３の配線導体２２３をフレキシブル基板２の幅方向の中央部に配置することとなるので、圧電素子１１の振動によるフレキシブル基板２のねじれがより小さいものとなり、フレキシブル基板２が圧電素子１１から剥がれる可能性がより低減されてより信頼性の高い圧電アクチュエータ１となる。

この場合において、第２の配線導体２２２の先端部および第３の配線導体２２３の先端部は、櫛歯状になっているのがよい。このようにすることで、第２の配線導体２２２および第３の配線導体２２３を幅の小さいものとしても、第２の表面電極１５２および第３の表面電極１５３との接続部における第２の配線導体２２２および第３の配線導体２２３の面積を大きくすることができるので接続信頼性を確保することができる。

さらに、図５に示すように、フレキシブル基板２における圧電素子１１と重なる重なり領域に近接してくびれ部２０が設けられていて、フレキシブル基板２における重なり領域の上からくびれ部２０の少なくとも一部にかけて補強板４が設けられているのが好ましい。このようなくびれ部２０の存在によって、くびれ部２０での変形性がよいことで携帯端末、電子機器などへの搭載容易性が向上するとともに、補強板４によって圧電素子１１の振動がフレキシブル基板２を伝達していくのを抑制することができ、不要な振動によるノイズを抑制することができる。また、フレキシブル基板２における重なり領域の上からくびれ部２０の少なくとも一部にかけて補強板４が設けられていることにより、接合領域である重なり領域から離れた位置でフレキシブル基板２が曲がりやすくなり、接合領域に応力が加わり難くなるので、フレキシブル基板２の曲げに対する接合強度が増し、信頼性が向上する。

なお、圧電素子１１の他方主面を平坦にしておくことにより、例えば振動を加える対象物（例えば後述する振動板など）に他方主面を貼り合わせたときに、振動を加える対象物と一体となって屈曲振動を起こしやすくなり、全体として屈曲振動の効率を上げることができる。

次に、本実施の形態の圧電アクチュエータ１の製造方法について説明する。

まず、圧電体層１３となるセラミックグリーンシートを作製する。具体的には、圧電セラミックスの仮焼粉末と、アクリル系，ブチラール系等の有機高分子からなるバインダーと、可塑剤とを混合してセラミックスラリーを作製する。そして、ドクターブレード法、カレンダーロール法等のテープ成型法を用いることにより、このセラミックスラリーを用いてセラミックグリーンシートを作製する。圧電セラミックスとしては圧電特性を有するものであればよく、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ_３−ＰｂＴｉＯ_３）からなるペロブスカイト型酸化物等を用いることができる。また、可塑剤としては、フタル酸ジブチル（ＤＢＰ），フタル酸ジオクチル（ＤＯＰ）等を用いることができる。

次に、内部電極１２となる導電性ペーストを作製する。具体的には、銀−パラジウム合
金の金属粉末にバインダーおよび可塑剤を添加混合することによって導電性ペーストを作製する。この導電性ペーストを上記のセラミックグリーンシート上に、スクリーン印刷法を用いて内部電極１２のパターンで塗布する。さらに、この導電性ペーストが印刷されたセラミックグリーンシートを複数枚積層し、所定の温度で脱バインダー処理を行なった後、９００〜１２００℃の温度で焼成し、平面研削盤等を用いて所定の形状になるよう研削処理を施すことによって、交互に積層された内部電極１２および圧電体層１３を備えた積層体１４を作製する。

積層体１４は、上記の製造方法によって作製されるものに限定されるものではなく、内部電極１２と圧電体層１３とを複数積層してなる積層体１４を作製できれば、どのような製造方法によって作製されてもよい。

その後、銀を主成分とする導電性粒子とガラスとを混合したものに、バインダー，可塑剤および溶剤を加えて作製した銀ガラス含有導電性ペーストを、表面電極１５のパターンで積層体１４の主面および側面にスクリーン印刷法等によって印刷して乾燥させた後、６５０〜７５０℃の温度で焼き付け処理を行ない、表面電極１５および側面電極１６を形成する。

そして、表面電極１５または側面電極１６に電圧を印加して、圧電体層１３の分極処理を行い、圧電素子が作製される。

なお、表面電極１５と内部電極１２とを電気的に接続する場合、圧電体層１３を貫通するビアを形成して接続しても、積層体１４の側面に側面電極を形成しても良く、どのような製造方法によって作製されてもよい。

次に、フレキシブル基板２および補強板３を用意する。例えば、あらかじめ所望の形状に加工された例えば厚み１２５μｍのポリイミドシート（補強板用多数個取りシート）を、フレキシブル基板２（ベースフィルム２１）が多数配列されたシート（ベースフィルム用多数個取りシート）の配線導体２２が設けられていない側の面の所定の位置に、熱硬化型接着剤を用いて貼り合せる。ここで、屈曲部３１を有する補強板３は、フレキシブル基板２をシートから金型等を用いて切り離す際（個片にする際）に、補強板３もあわせて最終形状に加工されてもよく、金型などであらかじめ最終形状に加工した補強板３を所定の位置に最初から貼り合せてもよい。

次に、導電性接合部材を用いて、フレキシブル基板２を圧電素子１１に接続固定（接合）する。

まず、圧電素子１１の所定の位置に例えば半田、銀ペースト、異方性導電材などからなる導電性接合部材用ペーストをスクリーン印刷等の手法を用いて塗布形成する。その後、フレキシブル基板２を当接させた状態で導電性接合部材用ペーストを硬化させることにより、フレキシブル基板２を圧電素子１１に接続固定する。なお、導電性接合部材用ペーストは、フレキシブル基板２側に塗布形成しておいてもよい。

導電性接合部材が導電性接着剤の場合であって、導電性接着剤を構成する樹脂が熱可塑性樹脂からなる場合は、導電性接着剤を圧電素子１１またはフレキシブル基板２の所定の位置に塗布形成した後、圧電素子１１とフレキシブル基板２とを導電性接着剤を介して当接させた状態で加熱加圧することで、熱可塑性樹脂が軟化流動し、その後常温に戻すことで、再び熱可塑性樹脂が硬化し、フレキシブル基板２が圧電素子１１に接続固定される。

また、上述では、導電性接着剤を圧電素子１１またはフレキシブル基板２に塗布形成す
る手法を示したが、予めシート状に形成された導電性接着剤のシートを圧電素子１１とフレキシブル基板２との間に挟んだ状態で加熱加圧して接合してもよい。

さらに、所望の形状をした金型を用いて、後述するフレキシブル基板２を圧電素子１１に接合すると同時に、補強板３をフレキシブル基板２に固着し、補強板３に屈曲部３１を形成するようにしてもよい。

以上の方法により、圧電アクチュエータ１を作製することができる。

なお、作製された圧電アクチュエータ１に容量値のずれがあった場合には、分極電圧値を調整することで容量値を再調整する。分極電圧と容量値に相関があるため、分極電圧値を調整することで容量値を調整し、圧電アクチュエータ１の容量ばらつきを抑えることが可能である。

通常、フレキシブル基板が圧電素子に接続された状態の圧電アクチュエータにおいて、フレキシブル基板に設けられる配線導体が２本の場合、積層体の対向する一対の側面のうちの他方に導出された一方主面側（上側）の内部電極と他方主面側（下側）の内部電極とが電気的に接続されて同時に電圧が印加されるため、容量値のばらつきによって圧電アクチュエータの変位が目標値からずれている際に、再調整が不可能であった。

これに対し、本発明の圧電アクチュエータ１は、フレキシブル基板２に設けられる配線導体２２が３本であって、圧電素子１０の一方主面側（上側）の内部電極１２と電気的に接続された配線導体２２と他方主面側（下側）の内部電極１２と電気的に接続された配線導体２２とがそれぞれ独立して存在しているため、一方主面側（上側）の内部電極１２と他方主面側（下側）の内部電極１２とに独立して電圧を印加することができるため、圧電アクチュエータ１に容量値のずれがあった場合に、一方主面側（上側）と他方主面側（下側）とに個別に電圧を印加することができる。

本実施形態の圧電振動装置は、図６に示すように、圧電アクチュエータ１と、圧電アクチュエータ１を構成する圧電素子１１の他方主面に接合された振動板８１とを有するものである。なお、圧電素子１１の一方主面に接合されたフレキシブル基板２は図６では省略している。

振動板８１は、例えば矩形状の薄板である。振動板８１は、アクリル樹脂やガラス等の剛性および弾性が大きい材料を好適に用いて形成することができる。また、振動板８１の厚みは、例えば０．４ｍｍ〜１．５ｍｍに設定される。

振動板８１は、圧電素子１１の他方主面に、接合部材８２を介して接合されている。接合部材８２を介して、振動板８１に他方主面の全面が接合されていてもよく、略全面が接合されていてもよい。

接合部材８２は、フィルム状の形状を有している。また、接合部材８２は、振動板８１よりも柔らかく変形しやすいもので形成されており、振動板８１よりもヤング率，剛性率，体積弾性率等の弾性率や剛性が小さい。すなわち、接合部材８２は、圧電アクチュエータ１（圧電素子１１）の駆動によって振動板８１を振動させたときに変形可能であり、同じ力が加わったときに、振動板８１よりも大きく変形するものである。そして、接合部材８２の一方主面（図の＋ｚ方向側の主面）には積層体１１の他方主面（図の−ｚ方向側の主面）が全体的に固着され、接合部材８２の他方主面（図の−ｚ方向側の主面）には振動板８１の一方主面（図の＋ｚ方向側の主面）の一部が固着されている。

振動板８１よりも変形可能な接合部材８２で圧電素子１１と振動板８１とを接合することで、圧電アクチュエータ１から振動が伝達されたとき、変形可能な接合部材８２が振動板８１よりも大きく変形する。

このとき、振動板８１から反射される逆位相の振動を変形可能な接合部材８２で緩和することができるので、圧電アクチュエータ１（圧電素子１１）が周囲の振動の影響を受けずに振動板８１へ強い振動を伝達させることができる。

中でも、接合部材８２の少なくとも一部が粘弾性体で構成されていることで、圧電アクチュエータ１（圧電素子１１）からの強い振動を振動板８１へ伝える一方、振動板８１から反射される弱い振動を接合部材８２が吸収することができる点で好ましい。例えば、不織布等からなる基材の両面に粘着剤が付着された両面テープや、弾性を有する接着剤を含む構成の接合部材を用いることができ、これらの厚みとしては例えば１０μｍ〜２０００μｍのものを用いることができる。

接合部材８２は、単一のものであっても、いくつかの部材からなる複合体であっても構わない。このような接合部材８２としては、例えば、不織布等からなる基材の両面に粘着剤が付着された両面テープや、弾性を有する接着剤である各種弾性接着剤等を好適に用いることができる。また、接合部材８２の厚みは、圧電アクチュエータ１（圧電素子１１）の屈曲振動の振幅よりも大きいことが望ましいが、厚すぎると振動が減衰されるので、例えば、０．１ｍｍ〜０．６ｍｍに設定される。ただし、本発明の圧電振動装置においては、接合部材８２の材質に限定はなく、接合部材８２が振動板８１よりも固く変形し難いもので形成されていても構わない。また、場合によっては、接合部材８２を有さない構成であっても構わない。

このような構成を備える本例の圧電振動装置は、電気信号を加えることによって圧電アクチュエータ１（圧電素子１１）を屈曲振動させ、それによって、振動板８１を振動させる圧電振動装置として機能する。なお、振動板８１の長さ方向における他方端部（図の−ｙ方向端部や振動板８１の周縁部等を、図示せぬ支持部材によって支持しても構わない。

本例の圧電振動装置は、圧電素子１１の平坦な他方主面に振動板８１が接合されている。これにより、圧電素子１１と振動板８１とが強固に接合された圧電振動装置とすることができる。

また、本例の圧電振動装置は、優れた圧電特性の圧電アクチュエータ１を用いて構成されていることから、高性能の圧電振動装置とすることができる。

本実施形態の携帯端末は、図７〜図９に示すように、圧電アクチュエータ１と、電子回路（図示せず）と、ディスプレイ９１と、筐体９２とを有しており、圧電アクチュエータ１を構成する圧電素子１１の他方主面がディスプレイ９１または筐体９２に接合されていることを特徴とする。なお、図６は本発明の携帯端末を模式的に示す概略斜視図であり、図８は図７に示すＡ−Ａ線で切断した概略断面図、図９は図７に示すＢ−Ｂ線で切断した概略断面図である。圧電素子１１の一方主面に接合されたフレキシブル基板は図８および図９では省略している。

本例では、圧電アクチュエータ１はディスプレイ９１のカバーとなる筐体９２の一部に取り付けられ、この筐体９２の一部が振動板９２２として機能するようになっている。

筐体９２は、１つの面が開口した箱状の筐体本体９２１と、筐体本体９２１の開口を塞ぐ振動板９２２とを有している。この筐体９２（筐体本体９２１および振動板９２２）は
、剛性および弾性率が大きい合成樹脂等の材料を好適に用いて形成することができる。

振動板９２２の周縁部は、筐体本体９２１に接合材９３を介して振動可能に取り付けられている。接合材９３は、振動板９２２よりも柔らかく変形しやすいもので形成されており、振動板９２２よりもヤング率，剛性率，体積弾性率等の弾性率や剛性が小さい。すなわち、接合材９３は変形可能であり、同じ力が加わったときに振動板９２２よりも大きく変形する。

接合材９３は、単一のものであっても、いくつかの部材からなる複合体であっても構わない。このような接合材９３としては、例えば不織布等からなる基材の両面に粘着剤が付着された両面テープ等を好適に用いることができる。接合材９３の厚みは、厚くなりすぎて振動が減衰されないように設定されており、例えば０．１ｍｍ〜０．６ｍｍに設定される。ただし、本発明の携帯端末においては、接合材９３の材質に限定はなく、接合材９３が振動板９２２よりも固く変形し難いもので形成されていても構わない。また、場合によっては、接合材９３を有さない構成であっても構わない。

電子回路（図示せず）としては、例えば、ディスプレイ９１に表示させる画像情報や携帯端末によって伝達する音声情報を処理する回路や、通信回路等が例示できる。これらの回路の少なくとも１つであってもよいし、全ての回路が含まれていても構わない。また、他の機能を有する回路であってもよい。さらに、複数の電子回路を有していても構わない。なお、電子回路と圧電アクチュエータ１とは図示しない接続用配線で接続されている。

ディスプレイ９１は、画像情報を表示する機能を有する表示装置であり、例えば、液晶ディスプレイ，有機ＥＬディスプレイ等の既知のディスプレイを好適に用いることができる。なお、ディスプレイ９１は、タッチパネルのような入力装置を有するものであっても良い。また、ディスプレイ９１のカバー（振動板９２２）が、タッチパネルのような入力装置を有するものであっても構わない。さらに、ディスプレイ９１全体や、ディスプレイ９１の一部が振動板として機能するようにしても構わない。

携帯端末は、アンテナなどを介してデータの送受信などを行う通信手段（通信部）を有しているものである。たとえば、スマートフォンに代表される携帯電話や、タブレットＰＣ、ノート型ＰＣと言ったモバイル機器、ゲーム機などが挙げられる。

ここで、圧電アクチュエータ１と筐体９２（振動板９２２）とが該筐体９２（振動板９２２）よりも変形可能な接合部材を用いて接合されているのが好ましい。すなわち、図８および図９においては接合部材８２が変形可能な接合部材である。

筐体９２よりも変形可能な接合部材８２で圧電アクチュエータ１と筐体９２とを接合することで、圧電アクチュエータ１から振動が伝達されたとき、変形可能な接合部材８２が筐体９２よりも大きく変形する。この接合部材８２は、圧電アクチュエータ１の駆動によって筐体９２を振動させたときに変形可能であり、同じ力が加わったときに、筐体９２よりも大きく変形するものである。このような接合部材８２は、例えばフィルム状の形状を有している。そして、筐体９２よりも柔らかく変形しやすいもので形成されており、筐体９２よりもヤング率，剛性率，体積弾性率等の弾性率や剛性が小さい。

このとき、筐体９２から反射される逆位相の振動を変形可能な接合部材８２で緩和することができるので、圧電アクチュエータ１が周囲の振動の影響を受けずに筐体９２へ強い振動を伝達させることができる。

中でも、接合部材８２の少なくとも一部が粘弾性体で構成されていることで、圧電アク
チュエータ１からの強い振動を筐体９２へ伝える一方、筐体９２から反射される弱い振動を接合部材８２が吸収することができる点で好ましい。例えば、不織布等からなる基材の両面に粘着剤が付着された両面テープや、弾性を有する接着剤を含む構成の接合部材を用いることができ、これらの厚みとしては例えば１０μｍ〜２０００μｍのものを用いることができる。

本例では圧電アクチュエータ１が筐体９２に接合されたものを示したが、圧電アクチュエータ１がディスプレイ９１に接合されていてもよく、この場合、圧電アクチュエータ１とディスプレイ９１とが該ディスプレイ９１よりも変形可能な接合部材を用いて接合されているのが好ましい。

また、本実施形態の携帯端末は、ディスプレイ９１または筐体９２が、耳の軟骨または気導を通して音情報を伝える振動を生じさせることを特徴とする。本例の携帯端末は、振動板（ディスプレイ９１または筐体９２）を直接または他の物を介して耳に接触させて、耳の軟骨に振動を伝えることによって音情報を伝達することができる。すなわち、振動板（ディスプレイ９１または筐体９２）を直接または間接的に耳に接触させて、耳の軟骨に振動を伝えることによって音情報を伝達することができる。これにより、例えば、周囲が騒がしいときにおいても音情報をクリアに伝達することができ、騒音下でもクリアに音声が聞え、難聴者でも音声を認識することが可能な携帯端末を得ることができる。なお、振動板（ディスプレイ９１または筐体９２）と耳との間に介在する物は、例えば、携帯端末のカバーであっても良いし、ヘッドホンやイヤホンでも良く、振動を伝達可能な物であればどんなものでも構わない。また、振動板（ディスプレイ９１または筐体９２）から発生する音を空気中に伝播させることにより、音情報を伝達するような携帯端末であっても構わない。さらに、複数のルートを介して音情報を伝達するような携帯端末であっても構わない。

本例の携帯端末によれば、優れた圧電特性の圧電アクチュエータ１を用いて構成されていることから、高音質の携帯端末を得ることができる。

また、本実施形態の音響発生器１０は、図１０に示すように、上述の圧電アクチュエータ１と、圧電アクチュエータ１が取り付けられており、圧電アクチュエータ１の振動によって圧電アクチュエータ１とともに振動する振動板２０と、振動板２０の外周部に設けられた枠体３０とを備えているものである。

圧電アクチュエータ１は、電圧の印加を受けて振動することによって振動板２０を励振する励振器である。圧電アクチュエータ１の主面と振動板２０の主面とがエポキシ系樹脂等の接着剤により接合され、圧電アクチュエータ１が屈曲振動することにより、圧電アクチュエータ１が振動板２０に一定の振動を与えて音を発生させることができる。

振動板２０は、張力がかかっている状態でその周縁部が枠体３０に固定されていて、圧電素子アクチュエータ１の振動によって圧電アクチュエータ１とともに振動するようになっている。この振動板２０は樹脂や金属等の種々の材料を用いて形成することができ、例えば厚さ１０〜２００μｍのポリエチレン、ポリイミド、ポリプロピレン等の樹脂フィルムで振動板２０を構成することができる。樹脂フィルムは金属板などに比べて弾性率および機械的なＱ値の低い材料であるため、振動板２０を樹脂フィルムにより構成することで、振動板２０を大きな振幅で屈曲振動させ、音圧の周波数特性における共振ピークの幅を広く、高さを低くして共振ピークとディップとの差を低減することができる。

枠体３０は、振動板２０の周縁部で振動板２０を支持する支持体として機能し、例えばステンレスなどの金属、樹脂など種々の材料を用いて形成することができる。この枠体３
は、図１０（ｂ）に示すように一つの枠部材（上枠部材３０１）からなるものでもよく、図１０（ｃ）に示すように二つの枠部材（上枠部材３０１および下枠部材３０２）からなるものでもよい。この場合、二つの枠部材で振動板２０を挟むことで、振動板２の張りを安定させることができる。なお、上枠部材３０１および下枠部材３０２は、それぞれの厚みが例えば１００〜５０００μｍとされる。

本例の音響発生器１０においては、図１０（ｂ）および図１０（ｃ）に示すように、圧電アクチュエータ１から振動板２０の表面の少なくとも圧電アクチュエータ１の周辺部までを覆うように設けられた樹脂層４０をさらに有するのが好ましい。樹脂層４０としては、例えばアクリル系樹脂を用いることができる。かかる樹脂層４０に圧電アクチュエータ１（圧電素子１１）を埋設することで適度なダンパー効果を誘発させることができるので、共振現象を抑制して、音圧の周波数特性におけるピークやディップを小さく抑えることができる。なお、図１０（ｂ）および図１０（ｃ）に示すように、樹脂層４０は上枠部材３０１と同じ高さとなるように形成されていてもよい。

このような音響発生器１０は、優れた圧電特性の圧電アクチュエータ１を用いて構成されていることから、高音質の音を発することができる。

次に、音響発生器を搭載した電子機器について、図１１を用いて説明する。図１１は、実施形態に係る電子機器５０の構成を示す図である。なお、図には、説明に必要となる構成要素のみを示しており、一般的な構成要素についての記載を省略している。

図１１に示すように、本例の電子機器５０は、音響発生器１０と、音響発生器１０に接続された電子回路６０と、電子回路６０および音響発生器１０を収容する筐体７０とを備え、音響発生器１０から音響を発生させる機能を有する。

電子機器５０は、電子回路６０を備える。電子回路６０は、たとえば、コントローラ５０ａと、送受信部５０ｂと、キー入力部５０ｃと、マイク入力部５０ｄとから構成される。電子回路６０は、音響発生器１０に接続されており、音響発生器１０へ音声信号を出力する機能を有している。音響発生器１０は電子回路６０から入力された音声信号に基づいて音響を発生させる。

また、電子機器５０は、表示部５０ｅと、アンテナ５０ｆと、音響発生器１０とを備える。また、電子機器５０は、これら各デバイスを収容する筐体７０を備える。なお、図１１では、１つの筐体７０にコントローラ５０ａをはじめとする各デバイスがすべて収容されている状態をあらわしているが、各デバイスの収容形態を限定するものではない。本実施形態では、少なくとも電子回路６０と音響発生器１０とが、１つの筐体７０に収容されていればよい。

コントローラ５０ａは、電子機器５０の制御部である。送受信部５０ｂは、コントローラ５０ａの制御に基づき、アンテナ５０ｆを介してデータの送受信などを行う。キー入力部５０ｃは、電子機器５０の入力デバイスであり、操作者によるキー入力操作を受け付ける。マイク入力部５０ｄは、同じく電子機器５０の入力デバイスであり、操作者による音声入力操作などを受け付ける。表示部５０ｅは、電子機器５０の表示出力デバイスであり、コントローラ５０ａの制御に基づき、表示情報の出力を行う。

そして、音響発生器１０は、電子機器５０における音響出力デバイスとして動作する。なお、音響発生器１０は、電子回路６０のコントローラ５０ａに接続されており、コントローラ５０ａによって制御された電圧の印加を受けて音響を発することとなる。

図１１では、電子機器５０が携帯用端末装置であるものとして説明を行ったが、電子機器５０の種別を問うものではなく、音響を発する機能を有する様々な民生機器に適用されてよい。たとえば、薄型テレビやカーオーディオ機器は無論のこと、音響を発する機能を有する製品、例を挙げれば、掃除機や洗濯機、冷蔵庫、電子レンジなどといった種々の製品に用いられてよい。

本例の電子機器５０によれば、音質の向上した音響発生器１を用いて構成されていることから、高音質の電子機器を得ることができる。また、筐体７０を備えることで、低周波数の音圧を上昇させることができる。

１：圧電アクチュエータ
１１：圧電素子
１２：内部電極
１２１：第１の内部電極
１２２：第２の内部電極
１２３：第３の内部電極
１３：圧電体層
１４：積層体
１５：表面電極
１５１：第１の表面電極
１５２：第２の表面電極
１５３：第３の表面電極
１６：側面電極
２：フレキシブル基板
２１：ベースフィルム
２２：配線導体
２２１：第１の配線導体
２２２：第２の配線導体
２２３：第３の配線導体
２３：カバーフィルム
３：導電性接合材
３１：導電粒子
３２：樹脂接着剤
４：補強板
４１：屈曲部
８１：振動板
８２：接合部材
９１：ディスプレイ
９２：筐体
９２１：筐体本体
９２２：振動板
９３：接合材
１０：音響発生器
２０：振動板
３０：枠体
３０１：上枠部材
３０２：下枠部材
４０：樹脂層
５０：電子機器
６０：電子回路
７０：筐体
５０ａ：コントローラ
５０ｂ：送受信部
５０ｃ：キー入力部
５０ｄ：マイク入力部
５０ｅ：表示部
５０ｆ：アンテナ

Claims (8)

1. 複数の内部電極および複数の圧電体層が積層された積層体と、該積層体の一方主面に設けられた複数の表面電極と、前記複数の内部電極と前記複数の表面電極とを電気的に接続する複数の側面電極とを有する圧電素子と、該圧電素子の一方主面に接合されたフレキシブル基板とを備えた圧電アクチュエータであって、
   前記複数の内部電極は、一層おきに設けられた第１の内部電極と、前記積層体の一方主面側に配置されて前記第１の内部電極と対向するように一層おきに設けられた第２の内部電極と、前記積層体の他方主面側に配置されて前記第１の内部電極と対向するように一層おきに設けられた第３の内部電極とを含み、
   前記複数の表面電極は、前記第１の内部電極と電気的に接続された第１の表面電極と、前記第２の内部電極と電気的に接続された第２の表面電極と、前記第３の内部電極と電気的に接続された第３の表面電極とを含み、
   前記フレキシブル基板は、前記第１の表面電極と電気的に接続された第１の配線導体と、前記第２の表面電極と電気的に接続された第２の配線導体と、前記第３の表面電極と電気的に接続された第３の配線導体とを含み、
   前記フレキシブル基板における前記圧電素子と重なる重なり領域に近接してくびれ部が設けられていて、前記フレキシブル基板における前記重なり領域の上から前記くびれ部の少なくとも一部にかけて補強板が設けられていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
2. 前記圧電素子は長尺状の板体であって、前記第１の表面電極は前記積層体の前記一方主面の長手方向の一端から他端方向へ延設され、前記第２の表面電極および前記第３の表面電極は前記積層体の長手方向の他端部において間に間隙部を設けて前記積層体の幅方向に配置されているとともに、前記フレキシブル基板は前記圧電素子の前記他端部から長手方向に延出されるように接合され、平面視で前記第１の配線導体が前記第２の配線導体と前記第３の配線導体との間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
3. 前記フレキシブル基板の幅が前記圧電素子の幅と同じかまたはこれよりも狭いことを特徴とする請求項２に記載の圧電アクチュエータ。
4. 平面視で、前記第２の配線導体および前記第３の配線導体は前記第２の表面電極と前記第３の表面電極との間の前記間隙部から引き出されていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の圧電アクチュエータ。
5. 請求項１乃至請求項４のうちのいずれかに記載の圧電アクチュエータと、該圧電アクチュエータを構成する前記圧電素子の他方主面に接合された振動板とを有することを特徴とする圧電振動装置。
6. 請求項１乃至請求項４のうちのいずれかに記載の圧電アクチュエータと、電子回路と、ディスプレイと、筐体とを有しており、
   前記圧電アクチュエータを構成する前記圧電素子の他方主面が前記ディスプレイまたは前記筐体に接合されていることを特徴とする携帯端末。
7. 請求項１乃至請求項４のうちのいずれかに記載の圧電アクチュエータと、該圧電アクチュエータが取り付けられており、該圧電アクチュエータの振動によって該圧電アクチュエータとともに振動する振動板と、該振動板の外周部に設けられた枠体とを備えていることを特徴とする音響発生器。
8. 請求項７に記載の音響発生器と、該音響発生器に接続された電子回路と、該電子回路および前記音響発生器を収容する筐体とを備え、前記音響発生器から音響を発生させる機能を有することを特徴とする電子機器。

Images