JP6190621B2 - 光照射装置および照射方法 - Google Patents
光照射装置および照射方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6190621B2 JP6190621B2 JP2013102405A JP2013102405A JP6190621B2 JP 6190621 B2 JP6190621 B2 JP 6190621B2 JP 2013102405 A JP2013102405 A JP 2013102405A JP 2013102405 A JP2013102405 A JP 2013102405A JP 6190621 B2 JP6190621 B2 JP 6190621B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- accommodating
- light
- accommodating means
- air
- irradiated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Description
特許文献1に記載の光照射装置は、ウエハ(被照射体)を支持するカバー部材で開口が覆われるハウジング(第2収容手段)と、当該第2収容手段内に設けられた紫外線照射手段とを備え、紫外線照射手段の紫外線発光ダイオード(発光手段)が移動しながら被照射体に光を照射し、発光手段が発した熱を発光ダイオード取り付け部材に設けられた放熱フィンが放熱するとともに、この放熱フィンに冷却用ファンが冷風を供給することで、発光手段を冷却するようになっている。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な矢印AR方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「右」がX軸の矢印方向で「左」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
接着剤AD層は、光硬化型(紫外線硬化型)のもので構成され、所定波長(例えば、λ=365nm)の光LLが照射されることによって硬化するように設計され、接着剤AD層が硬化することでその接着力が低下してウエハWFから剥離しやすくなっている。
接着剤AD層への光LLの照射が終了すると、第1収容手段3が発光手段31を消灯し、移動手段がリニアモータ4を駆動し、第1収容手段3を図2中実線で示す位置に復帰させる。そして、接着剤AD層が硬化され当該接着剤AD層の接着力が低下された被照射体WKは、図示しない搬送手段等によって次工程へ搬送され、以降上述と同様の動作が繰り返される。なお、第1収容手段3および第2収容手段5は、第1収容手段3が図2中実線で示す位置に復帰した時点や、発光手段31の温度を測定可能な図示しない検温手段の測定値が所定の温度にまで下がった時点で第1、第2ファン33、54の駆動を停止してもよい。
さらに、第1、第2吸気口32、51は、第1、第2収容手段3、5の右面または左面のみに設けられてもよい。また、第2吸気口51を設けなくてもよい。そして、第1ファン33および第2排気手段52は、第1、第2収容手段3、5の前面または後面のみに設けてもよい。
さらに、第1、第2吸気口32、51の少なくとも一方に、空気を取り込むファン等の吸気手段を設けてもよい。
また、第2ファン54は、ダクト53の左端に限らず中央や右端または上部や下部に設けてもよいし、複数個所に設けてもよい。そして、ダクト53を設けずに、開口部55に直接第2ファン54を取り付けてもよい。また、第1収容手段3の移動距離と略等しい幅の第2ファン54を直接的または間接的に第2収容手段5の前面や後面に取り付けてもよい。
さらに、被照射体WKは、上述のものに限らず、被塗布体に光反応して硬化する塗料が塗布されたものや、容器に入った光反応物等何ら限定されることはない。
さらに、発光手段31は、接着剤AD層が硬化する波長の光だけを照射できるものであってもよいし、接着剤AD層が硬化する波長を含む光を照射できるものであってもよい。
また、発光手段31は、LED(発光ダイオード、Light Emitting Diode)、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、蛍光灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプなどが例示でき、それらを適宜組み合わせてもよいし、被照射体に光反応を起こさせることができるもので構成されていれば、紫外線に限らず赤外線、自然光、マイクロ波等、他の光を照射可能なものであってよく、それらを適宜組み合わせてもよい。
さらに、光反応としては、光によって軟化する反応、光によって昇温、降温する反応、光によって接着力が増す反応等の他の反応であってもよい。
また、発光手段31が発光した光LLを集光して、ライン光を形成する集光手段を設けてもよい。集光手段は、発光手段31の上方に配置したレンズや、発光手段31の下方に配置した凹面鏡や反射板等であってよい。
さらに、発光手段31は、冷却効率を向上させるために放熱器や放熱板等が接続されたものであってもよい。
また、支持手段2は、石英ガラス22がなくてもよいし、石英ガラス22の代わりに樹脂板等であってもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
2…支持手段
3…第1収容手段
4…リニアモータ(移動手段)
5…第2収容手段
31…発光手段
32…第1吸気口
33…第1ファン(第1排気手段)
51…第2吸気口
52…第2排気手段
AD…接着剤(被照射面)
WK…被照射体
Claims (3)
- 被照射体を支持する支持手段と、
光を発光する発光手段を収容する第1収容手段と、
前記被照射体の被照射面に沿って前記第1収容手段を移動させる移動手段と、
前記第1収容手段を移動可能に収容する第2収容手段とを備え、
前記第1収容手段は、当該第1収容手段の移動方向側の面に設けられ空気を取り入れ可能な第1吸気口と、当該第1収容手段の移動方向と前記被照射面の直交方向とに直交する面に設けられ当該第1収容手段内の空気を排気する第1排気手段とを有し、
前記第2収容手段は、前記第1排気手段における排気方向の前方に位置するとともに、当該第1排気手段が排気した空気を当該第2収容手段の外部に排気する第2排気手段を有することを特徴とする光照射装置。 - 前記移動手段は、前記被照射面に沿う1軸方向両側に前記第1収容手段を移動可能に設けられ、
前記第2収容手段は、前記第1収容手段の移動方向の一方向および他方向の少なくとも一方の前方に位置するとともに、前記第1吸気口に対向し、当該第2収容手段の外部の空気を取り入れ可能な第2吸気口を有することを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。 - 光を発光する発光手段を収容する第1収容手段と、
前記第1収容手段を移動可能に収容する第2収容手段とを備えた光照射装置を用いた光照射方法であって、
被照射体を支持する工程と、
前記発光手段で光を発光する工程と、
前記第1収容手段を前記被照射体の被照射面に沿って移動させる工程と、
前記第1収容手段を移動させつつ当該移動方向側の面から当該第1収容手段内に空気を取り入れる工程と、
前記第1収容手段の移動方向と前記被照射面の直交方向とに直交する面から当該第1収容手段内の空気を排気する行程と、
前記第1収容手段から排気される空気の排気方向の前方において、当該第1収容手段から排気される空気を第2収容手段の外部に排気する工程とを備えていることを特徴とする光照射方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013102405A JP6190621B2 (ja) | 2013-05-14 | 2013-05-14 | 光照射装置および照射方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013102405A JP6190621B2 (ja) | 2013-05-14 | 2013-05-14 | 光照射装置および照射方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014221466A JP2014221466A (ja) | 2014-11-27 |
JP6190621B2 true JP6190621B2 (ja) | 2017-08-30 |
Family
ID=52121297
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013102405A Expired - Fee Related JP6190621B2 (ja) | 2013-05-14 | 2013-05-14 | 光照射装置および照射方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6190621B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7087306B2 (ja) | 2017-09-04 | 2022-06-21 | 三菱マテリアル株式会社 | カッター |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2691546B2 (ja) * | 1988-01-29 | 1997-12-17 | コニカ株式会社 | Idカードの保護層形成装置 |
JPH03278860A (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-10 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 紫外線照射装置 |
US5097136A (en) * | 1990-05-29 | 1992-03-17 | Ultra-Lum, Inc. | Apparatus for curing photosensitive coatings |
JP3232575B2 (ja) * | 1990-10-16 | 2001-11-26 | ソニー株式会社 | 半導体処理装置 |
JPH0720576A (ja) * | 1993-06-29 | 1995-01-24 | Iwasaki Electric Co Ltd | 紫外線照射装置 |
JP2007329300A (ja) * | 2006-06-08 | 2007-12-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 紫外線照射装置および紫外線照射装置を備えた切削機 |
-
2013
- 2013-05-14 JP JP2013102405A patent/JP6190621B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7087306B2 (ja) | 2017-09-04 | 2022-06-21 | 三菱マテリアル株式会社 | カッター |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014221466A (ja) | 2014-11-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI375256B (en) | Light irradiation apparatus | |
JP5754965B2 (ja) | インプリント装置、および、物品の製造方法 | |
WO2005086150A1 (ja) | 光ディスクの紫外線照射装置及び光ディスクへの紫外線照射方法 | |
JP4852907B2 (ja) | ディスプレイパネルの貼り合せ装置 | |
JP2018180107A5 (ja) | ||
JP2007026517A (ja) | 紫外線照射装置 | |
US8748850B2 (en) | Energy application device and energy application method | |
JP6190621B2 (ja) | 光照射装置および照射方法 | |
JP5728265B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP6019730B2 (ja) | 紫外線照射装置及び紫外線照射ヘッド | |
JP7073606B2 (ja) | 離間装置および離間方法 | |
JP6053154B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP6053150B2 (ja) | 光照射装置および照射方法 | |
JP2011189312A (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
KR101460018B1 (ko) | Uv 경화장치 | |
JP2005293826A (ja) | 光ディスクの紫外線照射装置及び光ディスクへの紫外線照射方法 | |
JP3414950B2 (ja) | 紫外線硬化装置 | |
JP5681546B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP2013141651A (ja) | エネルギー線照射装置 | |
JP6205446B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP5554033B2 (ja) | 光照射装置及び光照射方法 | |
JP2017011245A (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP2017183234A (ja) | 照射器具、及び、照射装置 | |
JP2023114875A (ja) | エネルギー付与装置およびエネルギー付与方法 | |
JP5651354B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160309 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170307 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170801 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170807 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6190621 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |