JP5554033B2 - 光照射装置及び光照射方法 - Google Patents
光照射装置及び光照射方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5554033B2 JP5554033B2 JP2009194935A JP2009194935A JP5554033B2 JP 5554033 B2 JP5554033 B2 JP 5554033B2 JP 2009194935 A JP2009194935 A JP 2009194935A JP 2009194935 A JP2009194935 A JP 2009194935A JP 5554033 B2 JP5554033 B2 JP 5554033B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- adherend
- light irradiation
- adhesive
- adhesive layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 42
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 42
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 23
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 17
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 16
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 6
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
本発明の目的は、一方の面に接着シートが貼付された半導体ウエハ等の被着体横を通過した紫外線等の光が反射しても、被着体の他方の面側にダメージを与えることのない光照射装置及び光照射方法を提供することにある。
また、凹凸面を有するシート若しくは板材により散乱手段を構成すれば、広く使われるようになった紫外線硬化型の接着シートを硬化させる場合に、難なく対応することができる。
更に、凹凸面を形成可能な接着テープにより散乱手段を構成した場合、発光手段が発する光の漏洩を遮断するカバー材を備えた既存の装置のカバー材内面に、当該接着テープを貼付するだけで対応することができる。
カバー材13を開放した状態で、図示しない搬送手段を介してワークW1をケース材11内の棚板部16及びガラス板17上に配置し、位置決め部材18を介してワークW1を所定位置に位置決めした後に、カバー材13で開口部15を閉塞する。
図示しない給排気ポートを介してケース材11内に窒素ガスを充填した後、紫外線の照射が開始される。
水銀ランプ19が発光した状態で、直動モータMが駆動することにより、スライダ22を介して集光板21が図2中右側から左側に移動することで、ライン光Pが接着シートSの接着剤AD層に対して下面側から走査され、これによって接着シートSの接着剤AD層を硬化反応させる。
この際、ウエハWとリングフレームRFとの間の接着シートS部分を透過した紫外線、つまり、ウエハW横を通過した紫外線は、散乱手段Tの凹凸面によって散乱して反射するが、この散乱された光は反射される前の光に比べて単位面積あたりの照度が極端に小さくなっているので、ウエハWの他方の面(回路面)にダメージを与えることを防止することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
更に、上記実施形態では、接着シートSがウエハWの外周より外側にはみ出す大きさを備えたものを例示したが、ウエハWの外周より外側にはみ出すことのない接着シートSに光を照射する装置であってよい。
11 ケース材
12 発光手段
13 カバー材
15 開口部
AD 接着剤
BS 基材シート
S 接着シート
T 散乱手段
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (3)
- 基材シートの片方の面に光反応型の接着剤層を備えた接着シートであり、前記接着剤層を介して被着体の一方の面に貼付された接着シートに光照射を行う光照射装置において、
前記被着体の一方の面側に配置された発光手段と、
前記被着体の他方の面側に配置されるとともに、前記被着体横を通過して入射された光を散乱させる散乱手段とを有することを特徴とする光照射装置。 - 基材シートの片方の面に紫外線硬化型の接着剤層を備えた接着シートであり、前記接着剤層を介して被着体の一方の面に貼付された接着シートに紫外線を照射して当該接着剤層を硬化させる光照射装置において、
前記接着シートが貼付された半導体ウエハを収容するとともに、上部に開口部を備えたケース材と、
前記ケース材内で前記半導体ウエハ被着体の一方の面側に配置されるとともに、紫外線を発光可能な発光手段と、
前記半導体ウエハの他方の面側に配置されるとともに、前記半導体ウエハ横を通過した紫外線が前記開口部から漏れることを防止するカバー材とを備え、
前記半導体ウエハの他方の面側に配置されるとともに、前記半導体ウエハ横を通過して入射された紫外線を散乱させる散乱手段を有することを特徴とする光照射装置。 - 基材シートの片方の面に光反応型の接着剤層を備えた接着シートであり、前記接着剤層を介して被着体の一方の面に貼付された接着シートに光照射を行う光照射方法において、
前記被着体の一方の面側から光を照射し、
前記被着体横を通過して入射された光を散乱させることで、反射した光によって前記被着体の他方の面側にダメージを与えることを防止することを特徴とする光照射方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009194935A JP5554033B2 (ja) | 2009-08-26 | 2009-08-26 | 光照射装置及び光照射方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009194935A JP5554033B2 (ja) | 2009-08-26 | 2009-08-26 | 光照射装置及び光照射方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011049264A JP2011049264A (ja) | 2011-03-10 |
JP5554033B2 true JP5554033B2 (ja) | 2014-07-23 |
Family
ID=43835337
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009194935A Active JP5554033B2 (ja) | 2009-08-26 | 2009-08-26 | 光照射装置及び光照射方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5554033B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2023042261A1 (ja) * | 2021-09-14 | 2023-03-23 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06204335A (ja) * | 1993-01-06 | 1994-07-22 | Nitto Denko Corp | 紫外線照射装置 |
JP4140762B2 (ja) * | 2002-10-24 | 2008-08-27 | 惠次 飯村 | 光触媒装置 |
JP2005342192A (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Zen World:Kk | 光触媒装置および光触媒装置の製造方法 |
JP2006218424A (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Masataka Murahara | 高圧化学反応方法および装置 |
-
2009
- 2009-08-26 JP JP2009194935A patent/JP5554033B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011049264A (ja) | 2011-03-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPWO2008142975A1 (ja) | ダイシング装置およびダイシング方法 | |
TW201110409A (en) | Energy application device and energy application method | |
JP2019140331A (ja) | チップ移載部材、チップ移載装置、およびチップ移載方法 | |
JP5651361B2 (ja) | エキスパンド装置およびエキスパンド方法 | |
JP5554034B2 (ja) | 光照射装置及び光照射方法 | |
TW202032701A (zh) | 卡盤台 | |
JP5554033B2 (ja) | 光照射装置及び光照射方法 | |
JP2008060393A (ja) | 板状物品のピックアップ装置 | |
JP5728265B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP2010171075A (ja) | 光照射装置及び光照射方法 | |
TW201003821A (en) | Light irradiation device | |
JP5330012B2 (ja) | 光照射装置及び光照射方法 | |
JP2011049263A (ja) | 光照射装置及び光照射方法 | |
JP5346773B2 (ja) | 半導体ウェハの凸部除去装置および除去方法 | |
JP2017006890A (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP2005277299A (ja) | 紫外光照射装置 | |
JP6205446B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP4637084B2 (ja) | エネルギー線照射装置及び照射方法 | |
JP5965133B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP5180801B2 (ja) | アライメント装置及びアライメント方法 | |
JP5690616B2 (ja) | 光照射装置及び光照射方法 | |
JP2013141651A (ja) | エネルギー線照射装置 | |
JP5234866B2 (ja) | 光照射装置 | |
JP2023170500A (ja) | 電磁波照射装置および電磁波照射方法 | |
JP6053154B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131001 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140520 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140528 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5554033 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |