JP6189199B2 - コンタクト検査装置、コンタクト検査方法及び電子部品 - Google Patents
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一端が電源に接続され、所定の定電流を出力する定電流源と、
一端が接地された検出抵抗と、
整流特性を有する検査対象素子の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極と、
前記検査対象素子の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極と、
前記第1の検査電極と前記検出抵抗の他端との間が導通している第1導通状態と、前記第1の検査電極と逆方向試験装置の高電位側端子との間が導通している第2導通状態とを切替可能な第1の切替スイッチと、
前記第2の検査電極と前記定電流源の出力との間が導通している第3導通状態と、前記第2の検査電極と前記逆方向試験装置の低電位側端子との間が導通している第4導通状態とを切替可能な第2の切替スイッチと、
前記検出抵抗の検出部の電圧と所定の基準電圧とを比較し、この比較結果に基づいて、前記検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態を検出する比較検出部と、
を備え、
前記検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査において、前記第1の検査電極と該第1の検査電極よりも高電位となっている前記第2の検査電極との間に、前記検査対象素子が順方向に接続され、前記第1の切替スイッチが前記第1導通状態に切替られ、かつ前記第2の切替スイッチが前記第3導通状態に切替られた状態で、前記比較検出部が前記接触状態を検出し、
前記検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験において、前記第1の切替スイッチが前記第2導通状態に切替られ、前記第2の切替スイッチが前記第4導通状態に切替られる。
前記比較検出部は、前記比較結果に基づいて、前記検査対象素子と前記第1の検査電極との接触抵抗の値と前記検査対象素子と前記第2の検査電極との接触抵抗の値の和が、所定の許容値以下か否か検出し、
前記許容値及び前記電源の電圧に基づいて、前記定電流源が出力する電流の値と前記検出抵抗の値が決められている。
前記第1の切替スイッチは、前記第1の検査電極と接続された第1の接点と、前記逆方向試験装置の高電位側端子と接続された第2の接点と、第3の接点と、を備え、
前記第2の切替スイッチは、前記第2の検査電極と接続された第4の接点と、前記逆方向試験装置の低電位側端子と接続された第5の接点と、第6の接点と、を備え、
一端が前記定電流源の出力に接続され他端が前記第6の接点に接続され、前記定電流源の出力と前記第6の接点との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第1スイッチと、
一端が前記第3の接点に接続され他端が前記検出抵抗の検出部に接続され、前記第3の接点と前記検出抵抗の検出部との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第2スイッチと、
を更に備える。
前記第1スイッチ及び前記第2スイッチを制御し、前記コンタクト検査のときに、前記第1スイッチを導通状態にさせ、前記第2スイッチを導通状態にさせる制御部
を更に備える。
前記制御部は、前記第1の切替スイッチ及び前記第2の切替スイッチを制御し、コンタクト検査のときに、前記第1の切替スイッチを第1導通状態にさせ、前記第2の切替スイッチを第3導通状態にさせ、逆方向試験のときに、第1の切替スイッチを第2導通状態にさせ、第2の切替スイッチを第4導通状態にさせる。
前記検査対象素子は、ダイオードであり、前記第1の検査電極には前記ダイオードのカソードが接続され、前記第2の検査電極には前記ダイオードのアノードが接続される。
一端が電源に接続され、第1の定電流を出力する第1検査用電流源と、
一端が前記電源に接続され、前記第1検査用電流源が出力する電流より大きい第2の定電流を出力する第2検査用電流源と、
整流特性を有する第1検査対象素子の一端または整流特性を有し該第1検査対象素子より漏れ電流が大きい第2検査対象素子の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極と、
前記第1検査対象素子の他端または前記第2検査対象素子の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極と、
一端が接地された第1検査用検出抵抗と、
一端が接地され前記第1検査用検出抵抗よりも抵抗値が小さい第2検査用検出抵抗と、前記第1の検査電極と前記第1検査用検出抵抗の他端または前記第2検査用検出抵抗の他端との間が導通している第1導通状態と、前記第1の検査電極と逆方向試験装置の高電位側端子との間が導通している第2導通状態とを切替可能な第1の切替スイッチと、
前記第2の検査電極と前記第1検査用電流源の他端または前記第2検査用電流源の他端との間が導通している第3導通状態と、前記第2の検査電極と前記逆方向試験装置の低電位側端子との間が導通している第4導通状態とを切替可能な第2の切替スイッチと、
前記第1検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態である第1接触状態を検査する場合、前記第1検査用検出抵抗の検出部の電圧と所定の第1基準電圧とを比較し、比較して得た第1比較結果に基づいて、前記第1接触状態を検出し、前記第2検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態である第2接触状態を検査する場合、前記第2検査用検出抵抗の検出部の電圧と所定の第2基準電圧とを比較し、比較して得た第2比較結果に基づいて、前記第2接触状態を検出する比較検出部と、
を備え、
前記第1検査対象素子または前記第2検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査において、前記第1の検査電極と該第1の検査電極よりも高電位となっている前記第2の検査電極との間に、前記第1検査対象素子または前記第2検査対象素子が順方向に接続され、前記第1の切替スイッチが前記第1導通状態に切替られ、かつ前記第2の切替スイッチが前記第3導通状態に切替られた状態で、前記比較検出部が前記第1接触状態または前記第2接触状態を検出し、
前記第1検査対象素子または前記第2検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験において、前記第1の切替スイッチが前記第2導通状態に切替られ、前記第2の切替スイッチが前記第4導通状態に切替られる。
前記比較検出部は、前記第1比較結果に基づいて、前記第1検査対象素子と前記第1の検査電極との接触抵抗の値と前記第1検査対象素子と前記第2の検査電極との接触抵抗の値の和が所定の第1許容値以下か否か検出し、前記第2比較結果に基づいて、前記第2検査対象素子と前記第1の検査電極との接触抵抗の値と前記第2検査対象素子と前記第2の検査電極との接触抵抗の値の和が所定の第2許容値以下か否か検出し、
前記第1の許容値及び前記電源の電圧に基づいて、前記第1検査用電流源が出力する電流の値と前記第1検査用検出抵抗の値が決められており、
前記第2の許容値及び前記電源の電圧に基づいて、前記第2検査用電流源が出力する電流の値と前記第2検査用検出抵抗の値が決められている。
前記第1基準電圧と前記第2基準電圧は等しく、前記第2検査用検出抵抗の値に対する前記第1検査用検出抵抗の値の比は、前記第1検査用電流源が出力する電流の値に対する前記第2検査用電流源が出力する電流の値の比に等しい。
前記第1の切替スイッチは、前記第1の検査電極に接続された第1の接点と前記逆方向試験装置の高電位側端子と接続されている第2の接点とが導通している前記第1導通状態と、前記第1の接点と第3の接点が導通している前記第2導通状態とを切替可能であり、
前記第2の切替スイッチは、前記第2の検査電極に接続された第4の接点と前記逆方向試験装置の低電位側端子と接続されている第5の接点とが導通している前記第3導通状態と、前記第4の接点と第6の接点が導通している前記第4導通状態とを切替可能であり、
前記第1検査用電流源の出力と前記第6の接点との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第1検査用第1スイッチと、
前記第2検査用電流源の出力と前記第6の接点との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第2検査用第1スイッチと、
前記第3の接点と前記第1検査用検出抵抗との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第1検査用第2スイッチと、
前記第3の接点と前記第2検査用検出抵抗との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第2検査用第2スイッチと、
を備え、
前記コンタクト検査のときに、前記第1検査用第1スイッチが導通状態に切替られ、前記第1検査用第2スイッチが導通状態に切替られ、前記第2検査用第1スイッチが非導通状態に切替られ、前記第2検査用第2スイッチが非導通状態に切替られ、
前記逆方向試験のときに、前記第1検査用第1スイッチが非導通状態に切替られ、前記第1検査用第2スイッチが非導通状態に切替られ、前記第2検査用第1スイッチが導通状態に切替られ、前記第2検査用第2スイッチが導通状態に切替られる。
前記第1検査用第1スイッチ、前記第1検査用第2スイッチ、前記第2検査用第1スイッチ及び第2検査用第2スイッチを制御する制御部
を更に備え、
前記制御部は、前記コンタクト検査で前記第1接触状態を検査する場合、前記第1検査用第1スイッチを導通状態にさせ、前記第1検査用第2スイッチを導通状態にさせ、前記第2検査用第1スイッチを非導通状態にさせ、前記第2検査用第2スイッチを非導通状態にさせ、
前記制御部は、前記コンタクト検査で前記第2接触状態を検査する場合、前記第1検査用第1スイッチを非導通状態にさせ、前記第1検査用第2スイッチを非導通状態にさせ、前記第2検査用第1スイッチを導通状態にさせ、前記第2検査用第2スイッチを導通状態にさせる。
前記制御部は、前記第1の切替スイッチと前記第2の切替スイッチを制御し、前記コンタクト検査のときに、前記第1の切替スイッチを前記第1導通状態にし、前記第2の切替スイッチを前記第3導通状態にし、前記逆方向試験のときに、前記第1の切替スイッチを前記第2導通状態にし、前記第2の切替スイッチを前記第4導通状態にする。
前記第1検査対象素子は、前記第1の検査電極には前記第1ダイオードのカソードが接続され、前記第2の検査電極には前記ダイオードのアノードが接続される第1ダイオードであり、
前記第2検査対象素子は、前記第1ダイオードより漏れ電流が大きい第2ダイオードであり、前記第1の検査電極には前記第2ダイオードのカソードが接続され、前記第2の検査電極には前記第2ダイオードのアノードが接続される。
一端が電源に接続され、所定の定電流を出力する定電流源と、一端が接地された検出抵抗と、整流特性を有する検査対象素子の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極と、前記検査対象素子の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極と、を備え、前記検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査のときに、前記第1の検査電極と該第1の検査電極よりも高電位となる前記第2の検査電極との間に、前記検査対象素子が順方向に接続されるコンタクト検査装置が実行するコンタクト検査方法であって、
第1の切替スイッチが、前記コンタクト検査のときに前記第1の検査電極と前記検出抵抗の検出部との間を導通させるステップと、
第2の切替スイッチが、前記コンタクト検査のときに前記第2の検査電極と前記定電流源の出力との間を導通させるステップと、
比較検出部が、前記コンタクト検査のときに、前記検出抵抗の検出部の電圧と所定の基準電圧とを比較し、この比較結果に基づいて、前記検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態を検出するステップと、
前記第1の切替スイッチが、前記検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときに前記第1の検査電極と逆方向試験装置の高電位側端子との間を導通させるステップと、
前記第2の切替スイッチが、前記逆方向試験のときに前記第2の検査電極と前記逆方向試験装置の低電位側端子との間を導通させるステップと、
を有する。
整流特性を有する電子部品であって、
一端が電源に接続され、所定の定電流を出力する定電流源と、
一端が接地された検出抵抗と、
当該電子部品の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極と、
当該電子部品の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極と、
前記第1の検査電極と前記検出抵抗の検出部との間が導通している第1導通状態と、前記第1の検査電極と逆方向試験装置の高電位側端子との間が導通している第2導通状態とを切替可能な第1の切替スイッチと、
前記第2の検査電極と前記定電流源の出力との間が導通している第3導通状態と、前記第2の検査電極と前記逆方向試験装置の低電位側端子との間が導通している第4導通状態とを切替可能な第2の切替スイッチと、
前記検出抵抗の検出部の電圧と所定の基準電圧とを比較し、この比較結果に基づいて、前記検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態を検出する比較検出部と、
を備え、
前記検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査のときに、前記第1の切替スイッチが前記第1導通状態に切替られ、前記第2の切替スイッチが前記第3導通状態に切替られ、前記比較検出部が前記接触状態を検出し、
前記検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときに、前記第1の切替スイッチが前記第2導通状態に切替られ、前記第2の切替スイッチが前記第4導通状態に切替られるコンタクト検査装置によって、前記第1の検査電極と該第1の検査電極よりも高電位となっている前記第2の検査電極との間に順方向に接続された後に前記コンタクト検査が行われた電子部品。
各実施形態に係るコンタクト検査装置について説明する前に、各実施形態の特徴を明確にするために、比較対象として説明する比較例に係るコンタクト検査装置100について説明する。比較例に係るコンタクト検査装置100は、整流特性を有する検査対象素子に対する検査電極の接触状態を検査する。この比較例では、一例として検査対象素子はダイオードDである。
更に、コンタクト検査装置100は、一端が電流制定用抵抗RBに接続され、電圧+Vが入力され、制御信号Sxが入力された第1スイッチSW1を備える。
更に、コンタクト検査装置100は、第1の端子T1を介してダイオードDのカソードに接続可能で、第1の切替スイッチRL1の第1の接点Nd1に接続された第1の検査電極E1を備える。一例として、コンタクト検査及び逆方向検査の際に、第1の検査電極E1の先端が第1の端子T1に接続される。
更に、コンタクト検査装置100は、入力が検出抵抗RSの一端と接続された比較検出部CMPを備える。
第2スイッチSW2は、制御信号Sxに応じて第2スイッチSW2の一端と他端との導通及び非導通を切り替える。第2スイッチSW2は、例えばゲートが制御部CONの第1出力に接続されたトランジスタである。
第1の実施形態に係るコンタクト検査装置1は、整流特性を有する電子部品(以下、検査対象素子という)に対する検査電極の接触状態を検査する。検査対象素子は、例えば、ダイオードまたはMOSトランジスタなどである。各実施形態において、一例として検査対象素子は、ダイオードDである。なお、各実施形態において、検査対象素子は、パッケージされていないチップ状態の検査対象素子であってもよいし、パッケージされた製品状態の検査対象素子であってもよい。
更に、コンタクト検査装置1は、一端が検出抵抗RSの他端と接続された比較検出部CMPを備える。
また、制御部CONは、第2の切替スイッチRL2に第2切替スイッチ制御信号SR2を出力し、第2の切替スイッチRL2を制御する。
続いて、検査対象素子(ここでは一例としてダイオードD)に順方向に電流を印加するコンタクト検査のときの各部の処理について説明する。
続いて、検査対象素子(ここでは一例としてダイオードD)に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときの処理について説明する。
以上のように、第1の実施形態に係るコンタクト検査装置1は、一端が電源に接続され、所定の定電流を出力する定電流源CCCと、一端が接地された検出抵抗RSと、を備える。
一方、検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときに、第1の切替スイッチRL1が第2導通状態に切替られ、第2の切替スイッチRL2が第4導通状態に切替られる。
続いて、第2の実施形態について説明する。第1の実施形態に係るコンタクト検査装置1は、一種類の検査対象素子に対する検査電極の接触状態を検査可能で、電流源CCCの電流値と検出抵抗RSの値を一組としていた。
一方、第2検査対象素子の一例である第2ダイオードD2に対するコンタクト検査及び逆方向試験を行う場合、第2ダイオードD1のカソードが第1の検査電極E1に接続され、第2ダイオードD1のアノードが第2の検査電極E2に接続される。
更に、コンタクト検査装置2は、一端が接地され他端が第2検査用第2スイッチSSW2の他端に接続され、第1検査用検出抵抗RS1よりも抵抗値が小さい第2検査用検出抵抗RS2を備える。
より詳細には、第1の切替スイッチRL1は、第1の検査電極E1に接続された第1の接点Nd1と逆方向試験装置IDTの高電位側端子と接続されている第2の接点Nd2とが導通している第1導通状態と、第1の接点Nd1と第3の接点Nd3が導通している第2導通状態とを切替可能である。
より詳細には、第2の切替スイッチRL2は、第2の検査電極E2に接続された第4の接点Nd4と逆方向試験装置IDTの低電位側端子と接続されている第5の接点Nd5とが導通している第3導通状態と、第4の接点Nd4と第6の接点Nd6が導通している第4導通状態とを切替可能である。
更に、第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の少なくともいずれかが第1検査対象素子に接触していない場合、第1検査用検出抵抗RS1には電流が流れないので、第1検査用検出抵抗RS1の両端にかかる電圧は0Vである。
更に、第1の検査電極E1及び第2の検査電極E2の少なくともいずれかが第2検査対象素子に接触していない場合、第2検査用検出抵抗RS2には電流が流れないので、第2検査用検出抵抗RS2の両端にかかる電圧は0Vである。
続いて、第1検査対象素子または第2検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査のときの各部の処理について説明する。コンタクト検査において、第1の検査電極E1とこの第1の検査電極E1よりも高電位となっている第2の検査電極E2との間に、第1検査対象素子または第2検査対象素子が順方向に接続される。
続いて、第1検査対象素子または第2検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときの各部の処理について説明する。本実施形態では一例として、コンタクト検査が終わった後に逆方向試験を行う。その際、第1検査対象素子または第2検査対象素子は、コンタクト検査の際に接続された状態が維持されたまま、逆方向試験が行われる。
以上のように、第2の実施形態に係るコンタクト検査装置2は、一端が電源に接続され、第1の定電流を出力する第1検査用電流源FCSと、一端がこの電源に接続され、第1検査用電流源FCSが出力する電流より大きい第2の定電流を出力する第2検査用電流源SCSと、を備える。
その場合、コンタクト検査装置2は、ユーザが入力した漏れ電流の値を受け付ける入力部を更に備え、制御部CONは、例えば、この入力部が受け付けた漏れ電流の値を取得してもよい。
VGen 電圧源
RB 電流制定用抵抗
RL1 第1の切替スイッチ
RL2 第2の切替スイッチ
Nd1 第1の接点
Nd2 第2の接点
Nd3 第3の接点
Nd4 第4の接点
Nd5 第5の接点
Nd6 第6の接点
SW1 第1スイッチ
SW2 第2スイッチ
E1 第1の検査電極
E2 第2の検査電極
T1 第1の端子
T2 第2の端子
D ダイオード
RS 検出抵抗
IDT 逆方向試験装置
CCC 定電流源
CRD 定電流ダイオード
CON 制御部
CMP 比較検出部
FCS 第1検査用電流源
SCS 第2検査用電流源
FSW1 第1検査用第1スイッチ
SSW1 第2検査用第1スイッチ
FSW2 第1検査用第2スイッチ
SSW2 第2検査用第2スイッチ
RS1 第1検査用検出抵抗
RS2 第2検査用検出抵抗
D1 第1ダイオード
D2 第2ダイオード
Claims (14)
- 一端が電源に接続され、所定の定電流を出力する定電流源と、
一端が接地された検出抵抗と、
整流特性を有する検査対象素子の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極と、
前記検査対象素子の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極と、
前記第1の検査電極と前記検出抵抗の検出部との間が導通している第1導通状態と、前記第1の検査電極と逆方向試験装置の高電位側端子との間が導通している第2導通状態とを切替可能な第1の切替スイッチと、
前記第2の検査電極と前記定電流源の出力との間が導通している第3導通状態と、前記第2の検査電極と前記逆方向試験装置の低電位側端子との間が導通している第4導通状態とを切替可能な第2の切替スイッチと、
前記検出抵抗の検出部の電圧と所定の基準電圧とを比較し、この比較結果に基づいて、前記検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態を検出する比較検出部と、
を備え、
前記検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査において、前記第1の検査電極と該第1の検査電極よりも高電位となっている前記第2の検査電極との間に、前記検査対象素子が順方向に接続され、前記第1の切替スイッチが前記第1導通状態に切替られ、かつ前記第2の切替スイッチが前記第3導通状態に切替られた状態で、前記比較検出部が前記接触状態を検出し、
前記検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験において、前記第1の切替スイッチが前記第2導通状態に切替られ、前記第2の切替スイッチが前記第4導通状態に切替られる
コンタクト検査装置。 - 前記比較検出部は、前記比較結果に基づいて、前記検査対象素子と前記第1の検査電極との接触抵抗の値と前記検査対象素子と前記第2の検査電極との接触抵抗の値の和が、所定の許容値以下か否か検出し、
前記許容値及び前記電源の電圧に基づいて、前記定電流源が出力する電流の値と前記検出抵抗の値が決められている
請求項1に記載のコンタクト検査装置。 - 前記第1の切替スイッチは、前記第1の検査電極と接続された第1の接点と、前記逆方向試験装置の高電位側端子と接続された第2の接点と、第3の接点と、を備え、
前記第2の切替スイッチは、前記第2の検査電極と接続された第4の接点と、前記逆方向試験装置の低電位側端子と接続された第5の接点と、第6の接点と、を備え、
一端が前記定電流源の出力に接続され他端が前記第6の接点に接続され、前記定電流源の出力と前記第6の接点との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第1スイッチと、
一端が前記第3の接点に接続され他端が前記検出抵抗の検出部に接続され、前記第3の接点と前記検出抵抗の検出部との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第2スイッチと、
を更に備える請求項1または2に記載のコンタクト検査装置。 - 前記第1スイッチ及び前記第2スイッチを制御し、前記コンタクト検査のときに、前記第1スイッチを導通状態にさせ、前記第2スイッチを導通状態にさせる制御部
を更に備える請求項3に記載のコンタクト検査装置。 - 前記制御部は、前記第1の切替スイッチ及び前記第2の切替スイッチを制御し、前記コンタクト検査のときに、前記第1の切替スイッチを第1導通状態にさせ、前記第2の切替スイッチを第3導通状態にさせ、前記逆方向試験のときに、第1の切替スイッチを第2導通状態にさせ、第2の切替スイッチを第4導通状態にさせる
請求項4に記載のコンタクト検査装置。 - 前記検査対象素子は、ダイオードであり、前記第1の検査電極には前記ダイオードのカソードが接続され、前記第2の検査電極には前記ダイオードのアノードが接続される
請求項1から5のいずれか一項に記載のコンタクト検査装置。 - 一端が電源に接続され、第1の定電流を出力する第1検査用電流源と、
一端が前記電源に接続され、前記第1検査用電流源が出力する電流より大きい第2の定電流を出力する第2検査用電流源と、
整流特性を有する第1検査対象素子の一端または整流特性を有し該第1検査対象素子より漏れ電流が大きい第2検査対象素子の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極と、
前記第1検査対象素子の他端または前記第2検査対象素子の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極と、
一端が接地された第1検査用検出抵抗と、
一端が接地され前記第1検査用検出抵抗よりも抵抗値が小さい第2検査用検出抵抗と、前記第1の検査電極と前記第1検査用検出抵抗の他端または前記第2検査用検出抵抗の他端との間が導通している第1導通状態と、前記第1の検査電極と逆方向試験装置の高電位側端子との間が導通している第2導通状態とを切替可能な第1の切替スイッチと、
前記第2の検査電極と前記第1検査用電流源の他端または前記第2検査用電流源の他端との間が導通している第3導通状態と、前記第2の検査電極と前記逆方向試験装置の低電位側端子との間が導通している第4導通状態とを切替可能な第2の切替スイッチと、
前記第1検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態である第1接触状態を検査する場合、前記第1検査用検出抵抗の検出部の電圧と所定の第1基準電圧とを比較し、比較して得た第1比較結果に基づいて、前記第1接触状態を検出し、前記第2検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態である第2接触状態を検査する場合、前記第2検査用検出抵抗の検出部の電圧と所定の第2基準電圧とを比較し、比較して得た第2比較結果に基づいて、前記第2接触状態を検出する比較検出部と、
を備え、
前記第1検査対象素子または前記第2検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査において、前記第1の検査電極と該第1の検査電極よりも高電位となっている前記第2の検査電極との間に、前記第1検査対象素子または前記第2検査対象素子が順方向に接続され、前記第1の切替スイッチが前記第1導通状態に切替られ、かつ前記第2の切替スイッチが前記第3導通状態に切替られた状態で、前記比較検出部が前記第1接触状態または前記第2接触状態を検出し、
前記第1検査対象素子または前記第2検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験において、前記第1の切替スイッチが前記第2導通状態に切替られ、前記第2の切替スイッチが前記第4導通状態に切替られる
コンタクト検査装置。 - 前記比較検出部は、前記第1比較結果に基づいて、前記第1検査対象素子と前記第1の検査電極との接触抵抗の値と前記第1検査対象素子と前記第2の検査電極との接触抵抗の値の和が所定の第1許容値以下か否か検出し、前記第2比較結果に基づいて、前記第2検査対象素子と前記第1の検査電極との接触抵抗の値と前記第2検査対象素子と前記第2の検査電極との接触抵抗の値の和が所定の第2許容値以下か否か検出し、
前記第1の許容値及び前記電源の電圧に基づいて、前記第1検査用電流源が出力する電流の値と前記第1検査用検出抵抗の値が決められており、
前記第2の許容値及び前記電源の電圧に基づいて、前記第2検査用電流源が出力する電流の値と前記第2検査用検出抵抗の値が決められている
請求項7に記載のコンタクト検査装置。 - 前記第1基準電圧と前記第2基準電圧は等しく、前記第2検査用検出抵抗の値に対する前記第1検査用検出抵抗の値の比は、前記第1検査用電流源が出力する電流の値に対する前記第2検査用電流源が出力する電流の値の比に等しい
請求項7または8に記載のコンタクト検査装置。 - 前記第1の切替スイッチは、前記第1の検査電極に接続された第1の接点と前記逆方向試験装置の高電位側端子と接続されている第2の接点とが導通している前記第1導通状態と、前記第1の接点と第3の接点が導通している前記第2導通状態とを切替可能であり、 前記第2の切替スイッチは、前記第2の検査電極に接続された第4の接点と前記逆方向試験装置の低電位側端子と接続されている第5の接点とが導通している前記第3導通状態と、前記第4の接点と第6の接点が導通している前記第4導通状態とを切替可能であり、 前記第1検査用電流源の出力と前記第6の接点との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第1検査用第1スイッチと、
前記第2検査用電流源の出力と前記第6の接点との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第2検査用第1スイッチと、
前記第3の接点と前記第1検査用検出抵抗との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第1検査用第2スイッチと、
前記第3の接点と前記第2検査用検出抵抗との間が導通している導通状態と導通していない非導通状態とを切り替える第2検査用第2スイッチと、
を備え、
前記コンタクト検査のときに、前記第1検査用第1スイッチが導通状態に切替られ、前記第1検査用第2スイッチが導通状態に切替られ、前記第2検査用第1スイッチが非導通状態に切替られ、前記第2検査用第2スイッチが非導通状態に切替られ、
前記逆方向試験のときに、前記第1検査用第1スイッチが非導通状態に切替られ、前記第1検査用第2スイッチが非導通状態に切替られ、前記第2検査用第1スイッチが導通状態に切替られ、前記第2検査用第2スイッチが導通状態に切替られる
請求項7から9のいずれか一項に記載のコンタクト検査装置。 - 前記第1検査用第1スイッチ、前記第1検査用第2スイッチ、前記第2検査用第1スイッチ及び第2検査用第2スイッチを制御する制御部
を更に備え、
前記制御部は、前記コンタクト検査で前記第1接触状態を検査する場合、前記第1検査用第1スイッチを導通状態にさせ、前記第1検査用第2スイッチを導通状態にさせ、前記第2検査用第1スイッチを非導通状態にさせ、前記第2検査用第2スイッチを非導通状態にさせ、
前記制御部は、前記コンタクト検査で前記第2接触状態を検査する場合、前記第1検査用第1スイッチを非導通状態にさせ、前記第1検査用第2スイッチを非導通状態にさせ、 前記第2検査用第1スイッチを導通状態にさせ、前記第2検査用第2スイッチを導通状態にさせる
請求項10に記載のコンタクト検査装置。 - 前記制御部は、前記第1の切替スイッチと前記第2の切替スイッチを制御し、前記コンタクト検査のときに、前記第1の切替スイッチを前記第1導通状態にし、前記第2の切替スイッチを前記第3導通状態にし、前記逆方向試験のときに、前記第1の切替スイッチを
前記第2導通状態にし、前記第2の切替スイッチを前記第4導通状態にする
請求項11に記載のコンタクト検査装置。 - 前記第1検査対象素子は、第1ダイオードであり、前記第1の検査電極には前記第1ダイオードのカソードが接続され、前記第2の検査電極には前記第1ダイオードのアノードが接続され、
前記第2検査対象素子は、前記第1ダイオードより漏れ電流が大きい第2ダイオードであり、前記第1の検査電極には前記第2ダイオードのカソードが接続され、前記第2の検査電極には前記第2ダイオードのアノードが接続される
請求項7から12のいずれか一項に記載のコンタクト検査装置。 - 一端が電源に接続され、所定の定電流を出力する定電流源と、一端が接地された検出抵抗と、整流特性を有する検査対象素子の一端に電気的に接続可能な第1の検査電極と、前記検査対象素子の他端に電気的に接続可能な第2の検査電極と、を備え、前記検査対象素子に順方向に電流を印加するコンタクト検査のときに、前記第1の検査電極と該第1の検査電極よりも高電位となる前記第2の検査電極との間に、前記検査対象素子が順方向に接続されるコンタクト検査装置が実行するコンタクト検査方法であって、
第1の切替スイッチが、前記コンタクト検査のときに前記第1の検査電極と前記検出抵抗の検出部との間を導通させるステップと、
第2の切替スイッチが、前記コンタクト検査のときに前記第2の検査電極と前記定電流源の出力との間を導通させるステップと、
比較検出部が、前記コンタクト検査のときに、前記検出抵抗の検出部の電圧と所定の基準電圧とを比較し、この比較結果に基づいて、前記検査対象素子に対する前記第1の検査電極及び前記第2の検査電極の接触状態を検出するステップと、
前記第1の切替スイッチが、前記検査対象素子に逆方向に電圧を印加する逆方向試験のときに前記第1の検査電極と逆方向試験装置の高電位側端子との間を導通させるステップと、
前記第2の切替スイッチが、前記逆方向試験のときに前記第2の検査電極と前記逆方向試験装置の低電位側端子との間を導通させるステップと、
を有するコンタクト検査方法。
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