JP6187118B2 - 搬送装置 - Google Patents
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Description
3…制御手段
4,4L,4R…レーザセンサ(光電センサ、検知部)
21…エンドエフェクタ
31…相対変位算出部
32…補正指令生成部
O…基準位置
W…半導体ウェーハ(被搬送物)
SS1…第1のステップ
SS2…第2のステップ
SS3…第3のステップ
SS4…第4のステップ
Claims (6)
- 被搬送物を載置するエンドエフェクタと、当該エンドエフェクタの動作を制御して被搬送物を目標位置に向かって搬送する制御手段と、前記エンドエフェクタの搬送経路上に備えられ、前記エンドエフェクタに載置された前記被搬送物を検知する検知部と、を具備し、
前記制御手段が、前記検知部の出力を基に前記被搬送物と前記エンドエフェクタ上に設けられた基準位置との相対変位を算出する相対変位算出部と、当該相対変位算出部により得られた相対変位を基に被搬送物を目標位置に向かって搬送する際のエンドエフェクタの位置を補正するための補正指令を生成する補正指令生成部と、を備える搬送装置において、
前記制御手段が、
前記エンドエフェクタを予め設定したずらし量分ずらした状態としながら前記目標位置に置かれた被搬送物を受け取らせる第1のステップと、
前記被搬送物を前記検知部に検知させ、前記相対変位算出部に前記被搬送物と前記エンドエフェクタ上に設けられた基準位置との相対変位を算出させて、これを基に前記補正指令に基づいて前記エンドエフェクタの位置補正を行い前記被搬送物を前記目標位置に向かって搬送する第2のステップと、
前記エンドエフェクタ上の基準位置を前記目標位置に重合させて、当該エンドエフェクタに前記被搬送物を受け取らせ、前記被搬送物を前記検知部に検知させ、前記相対変位算出部に前記被搬送物と前記エンドエフェクタ上に設けられた基準位置との相対変位を補正後相対変位として算出させる第3のステップと、
前記補正後相対変位が小さくなるように前記補正指令を修正するための修正パラメータを生成する第4のステップと、
からなる修正パラメータの生成動作を実行して、生成した前記修正パラメータを基に前記補正指令生成部により得られる補正指令を修正し、前記被搬送物を目標位置に向かって搬送するように構成されていることを特徴とする搬送装置。 - 前記修正パラメータが、前記ずらし量と前記補正後相対変位との関係により得られる関数を基に生成されることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記制御手段が、前記ずらし量を順次変更して前記第1〜第3のステップを繰り返し実行し、前記第4のステップにおいて各ずらし量とこれに対応する補正後相対変位との値に基づいて前記修正パラメータを生成することを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送装置。
- 前記制御手段が、前記第1〜第4のステップを組み合わせて実行する修正パラメータの生成を、前記補正後相対変位が所定の値以下になるまで繰り返すことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の搬送装置。
- 前記被搬送物が略正円状であり、前記検知部が当該位置における被搬送物を検知して検知信号を出力する光電センサであり、前記相対変位算出部が前記光電センサによる検知信号とこの検知信号が得られる際のエンドエフェクタの位置とに基づいて、前記被搬送物と前記エンドエフェクタ上に設けられた基準位置との相対変位を算出することを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の搬送装置。
- 前記光電センサが被搬送物の搬送経路を幅方向に横切るように複数個取り付けられており、前記相対変位算出部が少なくとも2つの光電センサからの検知信号を用いて前記相対変位を算出するように構成されていることを特徴とする請求項5に記載の搬送装置。
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JP2013210738A JP6187118B2 (ja) | 2013-10-08 | 2013-10-08 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013210738A JP6187118B2 (ja) | 2013-10-08 | 2013-10-08 | 搬送装置 |
Publications (2)
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JP2015074039A JP2015074039A (ja) | 2015-04-20 |
JP6187118B2 true JP6187118B2 (ja) | 2017-08-30 |
Family
ID=52999310
Family Applications (1)
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JP2013210738A Active JP6187118B2 (ja) | 2013-10-08 | 2013-10-08 | 搬送装置 |
Country Status (1)
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JP2013197454A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 搬送制御装置、搬送システム、基準テーブル作成方法、及び把持位置較正方法 |
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- 2013-10-08 JP JP2013210738A patent/JP6187118B2/ja active Active
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