WO2021060227A1

WO2021060227A1 - 高さ補正システム

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Publication number: WO2021060227A1
Application number: PCT/JP2020/035660
Authority: WO
Inventors: 匡隆池尻
Original assignee: 日本電産株式会社
Priority date: 2019-09-27
Filing date: 2020-09-23
Publication date: 2021-04-01
Also published as: JPWO2021060227A1; CN114450130A

Abstract

高さ補正システムは、第１の床面の上の作業台と、第２の床面の上の台車と、台車の上の、エンドエフェクタを有する多関節ロボットアームと、補正テーブルを記憶した記憶装置と、コントローラとを有する。補正テーブルは、作業台上面の各位置について、上面からその直上のエンドエフェクタまでの高さを、各位置に対応付けて格納し、かつ、作業台上面に予め定義された少なくとも３つの基準位置から各基準位置直上のエンドエフェクタまでの基準高さを格納する。コントローラは、基準動作パラメータでアームを動作させて各基準位置からエンドエフェクタまでの高さを計測し、各基準位置について計測した高さ、および、補正テーブルに格納された基準高さのずれ量に基づいて基準動作パラメータを補正して高さのずれを補正する。

Description

高さ補正システム

本開示は高さ補正システムに関する。

自走可能な台車の上に配置された多関節ロボットアーム（以下「ロボットアーム」と略記する。）を用いて部品を搬送するロボットシステムが知られている。ロボットアームの先端部には、部品を把持する把持部等の「エンドエフェクタ」が設けられている。台車が目的の作業台に到達すると、ロボットアームはエンドエフェクタを利用して当該部品を把持し、ロボットアームを伸縮させることで部品を作業台の天板上の特定の位置まで移動させ、他の部品に組み付ける。　

特開平７－２６６２６８号公報は、ロボットアーム（ハンド）の高さ方向や傾きを含む位置決めを行うことのできるハンド位置決め装置を開示する。ハンドは、床面上を走行するモービルロボットに搭載される。ハンド位置決め装置は、アーム先端のカメラでテーブル表面に設けられたマーク（LED）を撮像し、その画像に基づいてアームの高さ位置を補正する。

特開平７－２６６２６８号公報

搬送した部品を他の部品に組み付ける際には、予め定められた精度で部品を作業台の天板上の当該他の部品の位置まで移動させることが求められる。ロボットシステムの製造メーカは、例えばロボットシステムの出荷前に自社工場内で精度を確認する。当該出荷前検査では、典型的には、水平な床面に台車および作業台が設置される。　

一方、ロボットシステムが実際に導入される環境（例えば納入先の工場）によっては、作業台が設置される床面、および／または、台車が走行する床面が完全に水平ではない場合があり得る。そのような環境では、ロボットアームを水平に移動させたはずの場合でも、実際にはロボットアームが作業台の天板から遠ざかり、または近づく。ロボットアームには、高さ方向の位置を補正し、予め定められた精度以内に位置ずれを抑制することが求められる。

本開示の高さ補正システムは、例示的な実施形態において、第１の床面の上の作業台と、第２の床面の上の台車と、前記台車の上の多関節ロボットアームであって、先端部にエンドエフェクタを有する多関節ロボットアームと、予め用意された補正テーブルを記憶した記憶装置と、前記補正テーブルを利用して、前記第１の床面の傾きおよび／または前記第２の床面の傾きに起因する、前記作業台上面から前記エンドエフェクタまでの高さのずれを補正して、前記作業台上面のワークに対し、前記多関節ロボットアームを動作させるコントローラと、を有する高さ補正システムであって、前記補正テーブルは、前記作業台が第１の基準床面に設置され、前記台車が第２の基準床面に設置され、かつ、所与の基準動作パラメータで前記多関節ロボットアームを動作させたときの、前記作業台上面の少なくとも一部の領域内の複数の位置の各々から前記各位置の直上の前記エンドエフェクタまでの高さを、前記各位置に対応付けて格納し、かつ、前記作業台上面に予め定義された少なくとも３つの基準位置から各基準位置直上の前記エンドエフェクタまでの基準高さをそれぞれ格納しており、前記コントローラは、前記作業台上面から、前記少なくとも３つの基準位置を検出し、前記基準動作パラメータで前記多関節ロボットアームを動作させて、検出した前記各基準位置から前記エンドエフェクタまでの高さを計測し、前記各基準位置について計測した前記高さ、および、前記補正テーブルに格納された前記各基準位置における前記基準高さのずれ量に基づいて前記基準動作パラメータを補正することにより、前記作業台上面の前記各位置について、前記第１の床面の傾きおよび／または前記第２の床面の傾きに起因する、前記作業台上面から前記エンドエフェクタまでの高さのずれを補正する。

アーム側と作業台側の双方の傾きが変化し得る環境でも、作業時のアーム高さ位置の精度を向上させることが可能になる。

図１は、ロボットシステム１の外観図である。図２は、ロボットシステム１の、主として制御装置２００のハードウェアブロック図である。図３は、補正テーブル２３０を生成するための環境に設置されたロボットシステム１を示す図である。図４は、生成される補正テーブル２３０の具体例を示す図である。図５は、ロボットアームＡが水平面に設置されたときのロボットアームＡの高さ方向のゆがみの計測結果を格納したテーブルの一例を示す図である。図６は、台車３００が走行する床面ＦＡｒｅｆの傾きの計測結果を格納したテーブルの一例を示す図である。図７は、作業台Ｕが設置される床面ＦＵｒｅｆの傾きの計測結果を格納したテーブルの一例を示す図である。図８は、特定の環境に導入されたロボットシステム１を示す図である。図９は、稼働環境に設置されたロボットシステム１の斜視図である。図１０は、位置ごとの台車３００が走行する床面ＦＡ１の傾きを示す図である。図１１は、位置ごとの作業台Ｕが設置される床面ＦＵ１の傾きを示す図である。図１２は、作業台Ｕの天板Ｕｔｏｐにおける３つの位置Ｐ１，Ｐ２およびＰ３を示す図である。図１３は、３つの基準位置Ｐ１，Ｐ２およびＰ３における、エンドエフェクタ１００の高さの計測結果の例を示す図である。図１４は、差分結果の例を示す図である。図１５は、平面近似を説明するための図である。図１６は、平面近似によって求められた、格子点を構成する各位置におけるエンドエフェクタまでの高さの差分の例を示す図である。図１７は、コントローラ２１０の処理の手順を示すフローチャートである。図１８は、マスタ作業台ＭＵの特性データを取得するロボットシステム２を示す図である。図１９は、マスタ作業台ＭＵのゆがみの計測結果を格納したテーブルの一例を示す図である。図２０は、新規アームＮＡとマスタ作業台ＭＵとが組み合わされたロボットシステム３を示す図である。図２１は、新規アームＮＡのゆがみの計測結果を格納したテーブルの一例を示す図である。図２２は、マスタロボットアームＭＡと新規作業台ＮＵとが組み合わされたロボットシステム４を示す図である。図２３は、新規作業台ＮＵのゆがみの計測結果を格納したテーブルの一例を示す図である。図２４は、作業台Ｕに設けられた、２軸自動ゴニオステージ４００およびマイコン５００を示す図である。図２５Ａは、２軸自動ゴニオステージ４００の外観図である。図２５Ｂは、２軸自動ゴニオステージ４００の外観図である。図２６は、２軸自動ゴニオステージ４００を制御するマイコン５００の処理の手順を示すフローチャートである。

以下、添付の図面を参照しながら、本発明による高さ補正システムの実施形態を説明する。以下では、高さ補正システムの実施形態としてロボットシステムを挙げて説明する。　

図１は、ロボットシステム１の外観図である。ロボットシステム１は、先端部にエンドエフェクタ１００が取り付けられた多関節ロボットアームＡ（以下「ロボットアームＡ」と略記する。）と、制御装置２００と、台車３００と、作業台Ｕとを有する。　

ロボットアームＡは腰部１０２のほか、関節１０４および１０６を有しており、関節を回転させ、または伸縮させることにより、ロボットアームＡの姿勢を変化させる。　

エンドエフェクタ１００は、ロボットアームＡが作業を行えるようにロボットアームＡの先端部に取り付けて用いられる機器である。エンドエフェクタの典型例は、把持部、ナット回し、溶接ガン、およびスプレーガンを含む。エンドエフェクタは、ロボットアームＡの用途に応じて、ユーザが適宜取り替えて使用することができる。　

制御装置２００は、ロボットアームＡの動作を制御する。制御装置２００の上部にはロボットアームＡの腰部１０２が固定されている。制御装置２００とロボットアームＡとは、不図示の電源ケーブル、制御用ケーブルによって接続されている。　

台車３００は、ロボットアームＡおよび制御装置２００を載せて移動する装置である。本実施形態では、台車３００は移動のための駆動力(traction)を発生させる車輪を有し、自動走行する無人搬送車である。自動走行は、無人搬送車が通信によって接続されるコンピュータの運行管理システム（不図示）の指令に基づく走行と、無人搬送車が備える制御装置（不図示）による自律的走行とを含む。本実施形態ではさらに、制御装置２００と台車３００とは不図示の制御用ケーブルによって接続されており、台車３００は制御装置２００からの指令に基づいて走行することもできる。　

自律的走行には、無人搬送車が所定の経路に沿って目的地に向かう走行のみならず、追尾目標に追従する走行も含まれる。また、無人搬送車は、一時的に作業者の指示に基づくマニュアル走行を行ってもよい。　

「自動走行」は、一般には「ガイド式」の走行および「ガイドレス式」の走行の両方を含み得る。「ガイド式」とは、誘導体を連続的または断続的に設置し、誘導体を利用して無人搬送車を誘導する方式である。「ガイドレス式」とは、誘導体を設置せずに誘導する方式である。本開示の実施形態における台車３００は、自己位置推定装置を備え、ガイドレス式で走行することができる。　

「自己位置推定装置」は、レーザレンジファインダなどの外界センサによって取得されたセンサデータに基づいて環境地図上における自己位置を推定する装置である。「外界センサ」は、移動体の外部の状態をセンシングするセンサである。外界センサには、たとえば、レーザレンジファインダ（測域センサともいう）、カメラ（またはイメージセンサ）、ＬＩＤＡＲ（Light Detection and Ranging）、ミリ波レーダ、および磁気センサがある。　

台車３００は、いわゆるＳＬＡＭ（Simultaneous Localization and Mapping）」技術により、自己位置推定と環境地図作成を同時に行うことができる。　

作業台Ｕは天板Ｕｔｏｐを有する。本明細書では、天板Ｕｔｏｐを「作業台Ｕの上面」と呼ぶことがある。ロボットアームＡは天板Ｕｔｏｐ上で作業を行う。例えばロボットアームＡは、エンドエフェクタ１００で把持したワーク（部品）を、天板Ｕｔｏｐ上に載置された部品に組み付ける。または、ロボットアームＡは、エンドエフェクタ１００で把持した部品を、天板Ｕｔｏｐの所定の位置に載置する。　　

ロボットシステム１では、台車３００は床面ＦＡ上を走行し、作業台Ｕは床面ＦＵ上に設置される。なお、本実施形態では作業台Ｕは床面ＦＵ上に固定的に設置されるとして説明するが、作業台Ｕも移動のための駆動力を発生させる車輪を有し、自動走行してもよい。　

図２は、ロボットシステム１の、主として制御装置２００のハードウェアブロック図である。制御装置２００は、コントローラ２１０と、記憶装置２２０とを有する。コントローラ２１０はいわゆるコンピュータであり、たとえば不図示のＣＰＵ、内部メモリ（バッファ、レジスタ）、ロボットアームＡおよび台車３００との間でそれぞれデータを授受するための通信端子を備える。　

記憶装置２２０は、例えばＲＡＭである。記憶装置２２０は、補正テーブル２３０を格納する。補正テーブル２３０は、所定の環境下でロボットアームＡを動作させて予め計測した、位置と高さとを対応付けたテーブルである。補正テーブルの生成方法の詳細は後述する。　

ロボットシステム１が製造メーカから出荷され、例えば納品先の工
場内に実際に導入されたとき、制御装置２００のコントローラ２１０は、導入された環境下で取得したデータと補正テーブル２３０とを用いて、後述の手順によりロボットアームＡの高さ方向のずれを補正することができる。　

図２に示されるロボットアームＡおよび台車３００については具体的な内部ハードウェアの構成の記載および説明は省略する。ロボットアームＡおよび台車３００の各々は公知のロボットアームおよび無人搬送車（いわゆるＡＧＶ）のハードウェア構成を備えていればよい。そのようなハードウェア構成により、ロボットアームＡおよび台車３００の各々は、制御装置２００のコントローラ２１０からの指令に従って動作することができる。　

次に、図３から図７を参照しながら、補正テーブル２３０の具体例および補正テーブル２３０を生成する手順を説明する。　

図３は、補正テーブル２３０を生成するための環境に設置されたロボットシステム１を示している。典型的には、図３に示すロボットシステム１は、ロボットシステム１の製造メーカの検査工場に設置されている。他の例として、ロボットシステム１は、納品先工場等に一旦設置された後、工場内の異なる位置に移設されることもあり得る。　

補正テーブル２３０を生成するための環境下では、作業台Ｕが設置される床面ＦＵｒｅｆ、および、台車３００が走行する床面ＦＡｒｅｆが予め分かっている。そのため、床面ＦＵｒｅｆの傾きおよび床面ＦＡｒｅｆの傾きを予め取得することができ、取得された傾きを利用して補正テーブル２３０を生成することができる。なお本明細書では、作業台Ｕが設置される床面ＦＵｒｅｆを「第１の基準床面」と呼び、台車３００が走行する床面ＦＡｒｅｆを「第２の基準床面」と呼ぶことがある。　

図３に示すようにＸ軸およびＹ軸を取り、以下に説明する補正テーブル２３０の横軸および縦軸に対応させる。　

図４は、生成される補正テーブル２３０の具体例を示している。補正テーブル２３０の右方向は、図３の＋Ｘ方向に対応し、下方向は図３の＋Ｙ方向に対応する。　

図４に示す補正テーブル２３０が示す意味を説明する。まず、作業台Ｕの天板Ｕｔｏｐに、Ｘ座標およびＹ座標によって特定される複数の位置を格子点状に設定する。各格子点の直上１５０ｍｍの高さにエンドエフェクタ１００が来るよう、ロボットアームＡを動作させ、そのときの実際の高さを計測する。「直上」とは、作業台Ｕの天板Ｕｔｏｐに垂直とは限らない。各格子点から鉛直方向に上方、という意味である。　

格子点を示す座標位置に、計測された高さを記述したテーブルが、補正テーブル２３０である。すなわち補正テーブル２３０とは、作業台Ｕとの関係でロボットアームＡを実際に動作させたときの、天板Ｕｔｏｐ上の位置と、そのときのエンドエフェクタ１００の高さとを対応付けて格納したテーブルである。例えば、座標（－１０，－１０）の位置では、本来１５０ｍｍの高さであるべきところ、このロボットシステム１では１４９．６１９６ｍｍになったことを意味する。なお、座標位置および１５０ｍｍという数値は一例である。作業台Ｕの天板Ｕｔｏｐの大きさ、エンドエフェクタ１００に必要とされる作業位置によっては、座標のとり方および高さは適宜変更し得る。　

補正テーブル２３０には、ロボットシステム１の高さ方向の動作精度を左右する種々の要因が反映されている。具体的には、補正テーブル２３０には、（１）ロボットアームＡの高さ方向の精度のばらつき、（２）台車３００が走行する床面ＦＡｒｅｆの傾き、および（３）作業台Ｕが設置される床面ＦＵｒｅｆの傾きである。ロボットアームＡの高さ方向の精度のばらつきには、さらにロボットアームＡの腰部１０２が制御装置２００に固定されたときの傾き、ロボットアームＡの各関節の動作精度のばらつきも含まれ得る。　

補正テーブル２３０を生成するため、上述の要因（１）～（３）を独立して取得する。　

図５は、ロボットアームＡが水平面に設置されたときのロボットアームＡの高さ方向のゆがみの計測結果を格納したテーブルの一例を示している。作業台Ｕが設置される床面および台車３００が走行する床面の両方を水平面に一致させた状態で、エンドエフェクタ１００の天板Ｕｔｏｐからの高さを計測する。高さの計測に当たっては、例えばエンドエフェクタ１００近傍に取り付けたレーザ測距装置（不図示）を利用する方法が考えられる。　

コントローラ２１０はエンドエフェクタ１００を、例えば座標（５・ｍ，５・ｎ）（ｍ：－２から２までの整数、ｎ：－２から２までの整数）の上方１５０ｍｍの位置に順次移動させる。位置が変わるたびに、レーザ測距装置は、ロボットアームＡを天板Ｕｔｏｐから１５０ｍｍの高さまで動くよう動作させたときの、各位置に対応するエンドエフェクタ１００から天板Ｕｔｏｐまでの高さを計測する。このようにして取得された高さの計測結果には、床面の傾きの影響はなく、ロボットアームＡの高さ方向のゆがみのみが反映されている。　

図６は、台車３００が走行する床面ＦＡｒｅｆの傾きの計測結果を格納したテーブルの一例を示している。また図７は、作業台Ｕが設置される床面ＦＵｒｅｆの傾きの計測結果を格納したテーブルの一例を示している。これらは、位置（Ｘ，Ｙ）における、水平面からの高さ方向のずれ量を表している。水平面よりも高い場合には正の値が与えられ、水平面よりも低い場合には負の値が与えられる。　

位置（Ｘ，Ｙ）における、要因（１）を示すテーブル（図５）の値を「Ｖ１（Ｘ，Ｙ）」と表し、要因（２）を示すテーブル（図６）の値を「Ｖ２（Ｘ，Ｙ）」と表し、要因（３）を示すテーブル（図７）の値を「Ｖ３（Ｘ，Ｙ）」と表す。すると補正テーブル２３０の値Ｖ（Ｘ，Ｙ）は以下の式によって算出される。　（式１）　Ｖ（Ｘ，Ｙ）＝Ｖ１（Ｘ，Ｙ）＋Ｖ２（Ｘ，Ｙ）－Ｖ３（Ｘ，Ｙ）　

なお、本実施形態においては、作業台Ｕの天板Ｕｔｏｐは、凹凸が無視できる程度に少ない平坦面であると仮定している。しかしながら、天板Ｕｔｏｐに無視できない凹凸が存在し、ロボットアームＡのエンドエフェクタ１００の位置合わせのために考慮する必要がある場合には、位置ごとの天板Ｕｔｏｐの凹凸を計測したテーブルをさらに考慮して、補正テーブル２３０の値Ｖ（Ｘ，Ｙ）を生成してもよい。　

以上の考え方および手順により、補正テーブル２３０を予め用意することができる。本明細書では、補正テーブル２３０を構成する座標ごとの高さは、その座標における「基準高さ」と呼ぶことがある。また本実施形態では、複数の座標のうちの少なくとも３つの座標を「基準位置」と呼ぶことがある。基準位置の座標は、例えば、（－１０，－１０）、（－１０，１０）および（１０，１０）であり、いずれも天板Ｕｔｏｐの端部の位置を採用した。補正テーブル２３０では、基準位置に対応する高さが関連付けられている。「基準高さ」および「基準位置」は後に説明する。　

次に、ロボットシステム１が実際に導入された環境で、ロボットアームＡを高さ方向について精度よく動作させるための高さ補正方法を説明する。　

高さを補正するためには、所定のデータを事前に取得しておく。　

図８は、特定の環境に導入されたロボットシステム１を示している。図９は、稼働環境に設置されたロボットシステム１の斜視図である。図８に示す鎖線は水平面を示している。図１とは異なる環境であることを示すため、図８および図９では、台車３００が走行する床面ＦＡ１、および、作業台Ｕが設置される床面ＦＵ１が傾いていることをやや強調して記載した。つまり、床面ＦＡ１は床面ＦＡ（図１）と異なっており、床面ＦＵ１も床面ＦＵ（図１）と異なっている。なお、床面ＦＡ１または床面ＦＵ１の一方の傾きが、図１の例と相違していていもよい。床面の傾き以外は、図１の例と同じである。図１に示す作業台ＵおよびロボットアームＡがそのまま異なる環境に導入されるため、図８のロボットシステム１では、ロボットアームＡの高さ方向の精度のばらつきは図１のロボットシステム１と同じである。　

ロボットシステム１が導入された環境において、台車３００が走行する床面ＦＡ１の傾き、および、作業台Ｕが設置される床面ＦＵ１の傾きは、計測可能である。本実施形態では設置者が床面ＦＡ１の傾きおよび床面ＦＵ１の傾きを別個独立で求め、そのデータを制御装置２００の記憶装置２２０に格納しておく。　

図１０は、位置ごとの台車３００が走行する床面ＦＡ１の傾きを示し、図１１は、位置ごとの作業台Ｕが設置される床面ＦＵ１の傾きを示している。図１０の例によれば、台車３００が走行する床面ＦＡ１は、手前ほど（＋Ｙ方向になるほど）高くなるよう傾いている。一方図１１の例によれば、作業台Ｕが設置される床面ＦＵ１の傾きは、右手ほど（＋Ｘ方向になるほど）高くなるよう傾いている。　

次に、導入された環境下でロボットアームＡの高さを計測する。補正テーブル２３０生成時には、格子点状の位置ごとに高さを計測した（図５）。しかしながらここでは、少なくとも３つの位置における高さを計測すればよい。以下では制御装置２００によって自動的に行う例を説明する。　

図１２は、作業台Ｕの天板Ｕｔｏｐにおける３つの位置Ｐ１，Ｐ２およびＰ３を示している。ここでいう３つの位置Ｐ１，Ｐ２およびＰ３は、上述の補正テーブル２３０において高さが対応付けられている基準位置と同じである。そこで以下でも基準位置Ｐ１，Ｐ２およびＰ３と呼ぶ。基準位置Ｐ１，Ｐ２およびＰ３の各座標は、（－１０，－１０）、（－１０，１０）および（１０，１０）である。　　

制御装置２００のコントローラ２１０は、天板Ｕｔｏｐから上述の３つの基準位置を検出する。検出方法の一例として、コントローラ２１０は、図示されない撮像装置で天板Ｕｔｏｐを撮影し、取得した画像から認識される天板Ｕｔｏｐの３つの隅（端部）を基準位置Ｐ１，Ｐ２およびＰ３として決定すればよい。　

コントローラ２１０は、多関節ロボットアームを動作させて、検出した各基準位置からエンドエフェクタまでの高さを計測する。計測方法の一例として、コントローラ２１０は、図５に示すテーブルを生成するときと同様、レーザ測距装置（不図示）を用いることができる。　

図１３は、３つの基準位置Ｐ１，Ｐ２およびＰ３における、エンドエフェクタ１００の高さの計測結果の例を示している。　

コントローラ２１０は、各基準位置について計測した高さ、および、補正テーブル２３０に格納された各基準位置における前記基準高さのずれ量に基づいて高さのずれを補正する。以下、具体的に説明する。　

ロボットアームＡを動作させるため、コントローラ２１０は「基準動作パラメータ」を予め保持している。ある特定の３次元座標位置にエンドエフェクタ１００を移動させる例を考える。コントローラ２１０は、腰部１０２のモータの回転方向および回転角の大きさ、複数の関節の各々に設けられたモータの回転方向および回転角の大きさを指定し、制御量としてロボットアームＡに送信する。ロボットアームＡは受信した制御量に基づいて各モータを指定された回転方向に指定された角度だけ回転させる。このような、所望の３次元座標位置にエンドエフェクタ１００を移動させるためにロボットアームＡの姿勢を決定する制御量が「基準動作パラメータ」である。本実施形態では、天板Ｕｔｏｐ上の格子点の各位置の上方１５０ｍｍに位置させるための、個々の「基準動作パラメータ」が予め用意されていると考えることができる。　

本来、基準動作パラメータで動作すれば所望の３次元座標位置にエンドエフェクタ１００を移動させることができるはずであるが、上述の種々の要因で高さ方向の位置がずれる状況では、本来の高さになるよう「基準動作パラメータ」を補正する必要がある。「基準動作パラメータ」を補正することにより、天板
Ｕｔｏｐの各位置について、台車３００が走行する床面ＦＡ１の傾き、および、作業台Ｕが設置される床面ＦＵ１の傾きに起因する、天板Ｕｔｏｐからエンドエフェクタ１００までの高さのずれを補正することができるようになる。　

そこで、コントローラ２１０は、３つの基準位置Ｐ１，Ｐ２およびＰ３に関し、取得した計測結果と、補正テーブル２３０中の値Ｖとの差分を計算する。図１４は、差分結果の例を示している。基準位置Ｐ１（－１０，－１０）およびＰ３（１０，１０）では誤差はないが、基準位置Ｐ２（－１０，１０）においては０．４ｍｍの誤差が生じていることが理解される。　

３つの基準位置だけではなく、格子点を構成する各位置についても誤差を求めるため、本願発明者は、床面ＦＡｒｅｆの傾き、および床面ＦＵｒｅｆの傾きに起因する高さのずれを平面近似した。　

図１５は、平面近似を説明するための図である。　

基準位置Ｐ１～Ｐ３の座標値と、補正テーブルの値Ｖとを用いると、３次元位置を示す３つの点が得られる。すなわち、基準位置Ｐ１および基準位置Ｐ１における補正テーブル２３０の値Ｖの組、基準位置Ｐ２および基準位置Ｐ２における補正テーブル２３０の値Ｖの組、および、基準位置Ｐ３および基準位置Ｐ３における補正テーブル２３０の値Ｖの組によって、３つの三次元位置を求めることができる。これらの３つの点で張られる仮想的な平面を「平面Ｋｒｅｆ」と呼ぶ。　

一方、基準位置Ｐ１～Ｐ３の座標値と、取得した計測結果（図１３）とを用いても３次元位置を示す３つの点が得られる。すなわち基準位置Ｐ１および基準位置Ｐ１において計測された高さの組、基準位置Ｐ２および基準位置Ｐ２において計測された高さの組、および、基準位置Ｐ３および基準位置Ｐ３において計測された高さの組によって、３つの三次元位置を求めることができる。それらによって張られる仮想的な平面を「平面Ｋｍ」と呼ぶ。　

図１４に示す差分によれば、平面Ｋｒｅｆと平面Ｋｍとは、基準位置Ｐ１上方の座標（－１０，－１０，１４９．６１９６）の点、および、基準位置Ｐ３上方の座標（１０，１０，１４９．９４８）の点を共有する。つまり平面Ｋｒｅｆおよび平面Ｋｍは、この２点を通過する直線Ｌで交わっている。そして基準位置Ｐ２の上方において、０．４ｍｍの誤差が生じている、と言うことができる。　

本願発明者は、ロボットシステム１が導入された環境にいて、天板Ｕｔｏｐに設定された複数の格子点の位置のうち、基準位置以外のＮ個の格子点の位置に対応する高さを、平面Ｋｍまでの高さとして求めることとした。つまりコントローラ２１０は、格子点を構成する、当該Ｎ個の位置の各々を通る鉛直線が仮想的な平面Ｋｍと交わる位置における高さを、当該Ｎ個の位置の各々におけるエンドエフェクタまでの高さとして近似する。　

図１６は、平面近似によって求められた、格子点を構成する各位置におけるエンドエフェクタまでの高さの差分の例を示している。位置ごとに、補正テーブル２３０の値Ｖと図１６に示す差分テーブルの値とを加算すると、新たに導入された環境下でロボットアームＡの高さを推定することができる。　

コントローラ２１０は、近似した各位置における高さが、本来必要とされていた高さ（本実施形態では１５０ｍｍ）に近づくよう、３つの基準位置およびＮ個の位置の各々における基準動作パラメータを補正する。これにより、天板Ｕｔｏｐの各位置について、台車３００が走行する床面ＦＡ１の傾き、および、作業台Ｕが設置される床面ＦＵ１の傾きに起因する、天板Ｕｔｏｐからエンドエフェクタ１００までの高さのずれを補正することができる。　

なお、補正テーブル２３０（図４）に格納された位置ごとの高さ値の精度が十分高いと言える場合がある。その場合には、コントローラ２１０に、上述のＮ個の各位置について近似された高さと、補正テーブル２３０に格納されたＮ個の各位置における高さとのずれ量（差分）をより小さくするよう、Ｎ個の位置の各々に関する基準動作パラメータを補正させてもよい。　

図１７は、コントローラ２１０の処理の手順を示すフローチャートである。　

ステップＳ１０においてコントローラ２１０は、作業台Ｕの天板Ｕｔｏｐ（上面）から、各基準位置を検出する。　

ステップＳ１２においてコントローラ２１０は、基準動作パラメータでロボットアームを動作させて、検出した各基準位置からエンドエフェクタまでの高さを計測する。　

ステップＳ１４においてコントローラ２１０は、各基準位置について計測した高さ、および、補正テーブルに格納された各基準位置における基準高さのずれ量に基づいて基準動作パラメータを補正する。これにより、作業台上面の各位置について、床面ＦＡの傾きおよび／または床面ＦＵの傾きに起因する、作業台上面からエンドエフェクタまでの高さのずれを補正することができる。　

上述の説明では、コントローラ２１０が３つの基準位置を検出すること、および、高さを計測することは必須ではなく他の方法を用いてもよい。例えば水平方向の移動の精度が十分確保できるのであれば、水平方向に関して３つの基準位置の位置をティーチングし、ロボットアームＡを基準位置上方でそれぞれ停止させることができるのであれば、コントローラ２１０が３つの基準位置を検出する必要はない。また、３つの基準位置の上方のエンドエフェクタ１００の位置（高さ）を人為的に計測し、計測結果を送信して記憶装置２２０に格納させてもよい。　

ここまでは、１組のロボットアームＡおよび作業台Ｕを想定し、補正テーブル２３０を作成した環境と設置される環境とが異なっている場合の高さ方向の補正処理の例を説明した。　

以下では、補正処理の２つの変形例を説明する。　

第１の変形例として、特定のロボットアームおよび作業台の組み合わせを基準として、ロボットアームは同じだが他の作業台が組み合わされた場合、または、作業台は同じだが他のロボットアームが新しく組み合わされた場合を想定した補正処理を説明する。　

第２の変形例として、高さ方向の位置ずれをロボットアームに補正させるのではなく、上下方向の高さおよび角度を調整可能な作業台を用いる例を説明する。　

第１の変形例では、「マスタロボットアーム」および「マスタ作業台」という語を導入する。「マスタロボットアーム」および「マスタ作業台」は、組み合わせの基準となる特定のロボットアームおよび作業台を意味する。以下ではマスタロボットアームには「ＭＡ」という参照符号を付し、マスタ作業台には「ＭＵ」という参照符号を付す。マスタロボットアームＭＡおよびマスタ作業台ＭＵの組み合わせの例は、図１～図３におけるロボットアームＡおよび作業台Ｕである。マスタロボットアームＭＡおよびマスタ作業台ＭＵの各ハードウェア構成は、ロボットアームＡおよび作業台Ｕの各ハードウェア構成と同じである。以下では、適宜同じ参照符号を付して説明する。　

本変形例では、「マスタロボットアーム」とは異なる他のロボットアーム（新規アーム）と、「マスタ作業台」とが組み合わされた場合および、「マスタロボットアームＭＡ」と、「マスタ作業台ＭＵ」とは異なる他の作業台（新規作業台）とが組み合わされた場合の例を説明する。　

まず、マスタロボットアームＭＡとマスタ作業台ＭＵの各々に固有の特性を示す特性データを取得しておく。　

マスタロボットアームＭＡの特性データの取得方法は、図５に示されるテーブルの取得方法と同じである。すなわち、マスタロボットアームＡが水平面に設置されたときのマスタロボットアームＡの高さ方向のゆがみが、マスタロボットアームＭＡの特性データである。　

一方、作業台ＭＵの特性データの取得方法は以下のとおりである。　

図１８は、マスタ作業台ＭＵの特性データを取得するロボットシステム２を示している。床面ＦＵおよびＦＡは水平面である。　

コントローラ２１０は、例えば天板Ｕｔｏｐの座標（－１０，－１０）の上方１５０ｍｍの高さにエンドエフェクタ１００が位置するようマスタロボットアームＭＡを制御する。そしてその姿勢をそのまま維持させながら、コントローラ２１０は、台車３００をＸ方向に平行に定量ピッチ（例えば＋５）だけ移動させては停止し、移動させては停止する動作を繰り返し実行させる。停止するたびにレーザ測距装置は、天板Ｕｔｏｐからエンドエフェクタ１００までの高さを計測する。その結果、座標（－１０，－１０）、（－５，－１０）、（０，－１０）、（５，－１０）および（１０，－１０）の各座標位置における高さの計測結果が取得される。　

さらに同様に、Ｙ方向に＋５だけずれた位置に移動し、天板Ｕｔｏｐの座標（－１０，－５）、（－５，－５）、・・・、（１０，－５）の各位置における高さの計測結果を取得する。同様の動作を、座標（１０，１０）の位置における高さの計測結果を取得するまで継続する。　

床面ＦＵおよびＦＡは水平面であること、および、マスタロボットアームＭＡの姿勢が維持されていることにより、得られた高さの計測結果は、マスタ作業台ＭＵの「ゆがみ」を反映していると言える。図１９は、マスタ作業台ＭＵのゆがみの計測結果を格納したテーブルの一例を示している。　

次に、新規アームＮＡとマスタ作業台ＭＵとが組み合わされた場合の高さ補正処理の例を説明する。　

図２０は、新規アームＮＡとマスタ作業台ＭＵとが組み合わされたロボットシステム３を示している。まず、新規アームＮＡを制御する制御装置２００は、新規アームＮＡのゆがみの計測結果を取得する。計測方法は、図５に関連して説明した、ロボットアームＡを用いた高さ方向のゆがみの計測方法と同じである。新規アームＮＡのゆがみの計測時には、新規アームＮＡは、マスタロボットアームＭＡのゆがみが計測されたときのマスタロボットアームＭＡの位置に設置される。上述のように、本変形例ではマスタロボットアームＭＡおよびマスタ作業台ＭＵの組み合わせの例として、図１～図３におけるロボットアームＡおよび作業台Ｕを挙げた。その例に沿うと、新規アームＮＡは図３に示すロボットアームＡの位置に設置される。なお新規アームＮＡが載置される制御装置２００および台車３００は、図３におけるロボットアームＡを載置していた制御装置２００および台車３００と完全に同じである必要はない。　

図２１は、新規アームＮＡのゆがみの計測結果を格納したテーブルの一例を示している。ゆがみの計測条件は、図５に示すマスタロボットアームＭＡのゆがみの計測時と同じである。したがって、図２１に示す計測結果は、新規アームＮＡの特性データである。位置（Ｘ，Ｙ）における当該テーブルの値を「Ｖ１_ＮＡ（Ｘ，Ｙ）」と表す。　

上述のように、補正テーブル２３０の値Ｖ（Ｘ，Ｙ）は、上述の（式１）によって算出されていた。（式１）を再掲する。　（式１）Ｖ（Ｘ，Ｙ）＝Ｖ１（Ｘ，Ｙ）＋Ｖ２（Ｘ，Ｙ）－Ｖ３（Ｘ，Ｙ）　

この式の「Ｖ１（Ｘ，Ｙ）」がマスタロボットアームＭＡの歪みを表す。そこで「Ｖ１（Ｘ，Ｙ）」に代えて、「Ｖ１_ＮＡ（Ｘ，Ｙ）」を用いて（式１）を終止した（式２）を求める。　（式２）Ｖｒｅｖ（Ｘ，Ｙ）＝Ｖ１_ＮＡ（Ｘ，Ｙ）＋Ｖ２（Ｘ，Ｙ）－Ｖ３（Ｘ，Ｙ）　

このようにして修正された補正テーブルの値Ｖｒｅｖ（Ｘ，Ｙ）を得ることができる。なお、Ｖ２（Ｘ，Ｙ）およびＶ３（Ｘ，Ｙ）は、それぞれ、台車３００が走行する床面の傾きの計測結果を格納したテーブルの値、および、マスタ作業台ＭＵが設置される床面の傾きの計測結果を格納したテーブルの値を示している。新規アームＮＡおよびマスタ作業台ＭＵが設置される環境に応じて計測される必要がある。　

修正された補正テーブルを利用してエンドエフェクタ１００の高
さを補正する方法は、上述のとおりである。すなわち上述した「ロボットアームＡ」を「新規アームＮＡ」に読み替えれば、新規アームＮＡまたはマスタ作業台ＭＵが水平面ではない床面に設置された場合でも、エンドエフェクタ１００の高さを補正することができる。　

次に、マスタロボットアームＭＡと新規作業台ＮＵとが組み合わされた場合の高さ補正処理の例を説明する。　

図２２は、マスタロボットアームＭＡと新規作業台ＮＵとが組み合わされたロボットシステム４を示している。まず、制御装置２００は、新規作業台ＮＵのゆがみの計測結果を取得する。計測方法は、図１８および図１９に関連して説明した、マスタ作業台ＭＵの高さ方向のゆがみの計測方法と同じである。新規作業台ＮＵのゆがみの計測時には、新規作業台ＮＵは、マスタ作業台ＭＵのゆがみが計測されたときのマスタ作業台ＭＵの位置に設置される。例えばマスタ作業台ＭＵは、図１８に示すマスタ作業台ＭＵの位置に設置される。　

図２３は、新規作業台ＮＵのゆがみの計測結果を格納したテーブルの一例を示している。コントローラ２１０は、位置ごとに、当該テーブルの値と、図１９に示される、マスタ作業台ＭＵのゆがみの計測結果を格納したテーブルの値との差分を算出する。得られた差分を位置ごとに配置した差分テーブルは、マスタ作業台ＭＵの特性データを基準とした、新規作業台ＮＵの特性データである。位置（Ｘ，Ｙ）における当該差分テーブルの値を「Ｖ_ｄｉｆｆ（Ｘ，Ｙ）」と表す。　

図５に示すテーブルは、マスタ作業台ＭＵとマスタロボットアームＭＡとを水平面に設置したときの、マスタロボットアームＭＡの特性データである。マスタ作業台ＭＵに代えて新規作業台ＮＵを採用した場合、マスタロボットアームＭＡの高さ方向のゆがみの計測結果には、上述した新規作業台ＮＵの特性データが反映される。換言すると、図５に示すテーブルを、上述の差分テーブルで修正することにより、新規作業台ＮＵとマスタロボットアームＭＡとを水平面に設置したときのマスタロボットアームＭＡの特性データが得られる。　

具体的には、下記の（式３）により、修正した補正テーブルの値Ｖｒｅｖ（Ｘ，Ｙ）を得ることができる。　（式３）Ｖｒｅｖ（Ｘ，Ｙ）＝Ｖ１（Ｘ，Ｙ）＋Ｖ_ｄｉｆｆ（Ｘ，Ｙ）＋Ｖ２（Ｘ，Ｙ）－Ｖ３（Ｘ，Ｙ）　

なお、Ｖ２（Ｘ，Ｙ）およびＶ３（Ｘ，Ｙ）は、それぞれ、台車３００が走行する床面の傾きの計測結果を格納したテーブルの値、および、新規作業台ＮＵが設置される床面の傾きの計測結果を格納したテーブルの値を示している。マスタロボットアームＭＡおよび新規作業台ＮＵが設置される環境に応じて計測される必要がある。　

これまでの説明では、ロボットアームの基準動作パラメータを補正することによって、作業台上面（天板）からエンドエフェクタまでの高さのずれを補正した。以下では、ロボットアームの基準動作パラメータを補正するのではなく、天板の傾きを調整する機構（傾き調整機構）を有する作業台が天板の傾きを調整する。本実施形態においては、傾き調整機構として２軸自動ゴニオステージを採用する。　

図２４は、作業台Ｕに設けられた、２軸自動ゴニオステージ４００およびマイコン５００を示している。マイコン５００は２軸自動ゴニオステージ４００（以下「ゴニオステージ４００」と略記する。）を制御して、作業台Ｕの天板Ｕｔｏｐの傾きを調整する。　

まず、傾き調整機構である２軸自動ゴニオステージ４００を説明する。２軸自動ゴニオステージを採用する場合、ロボットアームの基準動作パラメータを補正しなくても、エンドエフェクタと天板との高さが一定になるよう調整できる。天板に垂直なＺ軸方向の絶対的な高さは、ロボットアームの動作によって調整する。　

本実施形態では、例えば特開２００６－０９０５１０公報に記載された周知の２軸自動ゴニオステージを利用する。以下、特開２００６－０９０５１０公報の図２および図３に記載された２軸自動ゴニオステージを説明する。　

図２５Ａおよび図２５Ｂは、２軸自動ゴニオステージ４００の外観図である。図２５Ａは、摺動体４２の天板を床面と平行な状態にしたときのゴニオステージ４００を示している。図２５Ｂは、摺動体４２の天板を傾斜させたゴニオステージ４００を示している。以下、ゴニオステージ４００の概要を説明する。　

ゴニオステージ４００は、各々が一軸方向に縦湾曲線摺動する２つのステージを、軸が互いに直交するよう９０度回転させて重ねて構成されている。　

摺動体４２は軸体４１に対して縦湾曲線摺動するように設けられている。　

具体的には、軸体４１に、縦湾曲形状の第一負荷溝４７ａが形成された第一負荷部構成材４７が設けられる。一方、摺動体４２に、縦湾曲形状の第二負荷溝４８ａが形成された第二負荷部構成材４８が設けられる。第一負荷溝４７ａ及び第二負荷溝４８ａは対向して負荷路４３が形成され、この負荷路４３には該負荷路４３を転動移動する複数の転動体（図示省略）が配設される。これらの転動体は負荷路４３を移動する板状の転動体保持器（図示省略）により所定間隔を保持して配設されている。なお、重ね合わされた各ステージには、負荷路４３は左右一箇所ずつ設けられている。　

各ステージは、ウオーム４６を駆動するサーボモータ４４、ウオーム４６を受ける軸受け４５、転動体保持器の脱落を阻止するストッパーネジ４９を有している。ウオーム４６は、サーボモータ４４の駆動軸と連結体を介して連結されている。ウオーム４６は、摺動体４２の下面（図示せず）に設けられた螺合部と螺合する。サーボモータ４４がウオーム４６を駆動すると、ウオーム４６の回転方向に応じた方向に螺合部が送り出され、摺動体４２の傾きが変化する。両方のステージの各サーボモータ４４を、所望の移動量に応じた回転数だけ回転させると、摺動体４２の天板の傾きを変化させることができる。移動量は、摺動体４２の移動量を示す目盛り板５０により知ることができる。　

上述のゴニオステージ４００の天板と作業台Ｕの天板Ｕｔｏｐの裏面とを固定することにより、天板Ｕｔｏｐの傾きを調整することが可能になる。ゴニオステージ４００を制御するマイコン５００と、コントローラ２１０とが通信し、マイコンがコントローラ２１０から天板Ｕｔｏｐの傾きの調整を行うために必要なデータを受け取り、各サーボモータの制御を行ってもよいし、マイコン５００を省略して制御装置２００のコントローラ２１０が直接ゴニオステージ４００の各サーボモータの制御を行ってもよい。前者の具体例を説明する。　

図１５に示す状況を考える。現在の天板Ｕｔｏｐは仮想的な平面Ｋｍと平行である。マイコン５００は、コントローラ２１０から、想的な平面Ｋｍ上の位置のＺ座標に相当する、基準位置Ｐ１～Ｐ３の各々について計測した高さのデータを取得する。さらにマイコン５００は、補正テーブル２３０に格納された各基準高さのずれ量のデータを取得する。そしてマイコン５００は、基準位置Ｐ１～Ｐ３の各々について計測した高さ、および、ずれ量に基づいて、現在の基準動作パラメータで動作させたロボットアームのエンドエフェクタ１００の高さが、天板Ｕｔｏｐ上の位置によることなく一定になるよう、現在の天板Ｕｔｏｐ（仮想的な平面Ｋｍ）の傾きを調整する。すなわち、ゴニオステージ４００を用いて天板Ｕｔｏｐの傾きを調整することにより、天板Ｕｔｏｐの各位置について、作業台Ｕが設置された床面の傾きおよび／または台車３００が走行する床面の傾きに起因する、天板Ｕｔｏｐからエンドエフェクタ１００までの高さのずれを補正することができる。　

なお、エンドエフェクタ１００の高さを天板Ｕｔｏｐ上の位置によることなく一定に保つ、ことは、厳密でなくてもよい。例えば、マイコン５００は、各基準位置について計測した高さと、補正テーブルに格納された各基準位置における基準高さとのずれ量が所定の閾値以下になるよう、天板Ｕｔｏｐの傾きを調整してもよい。本変形例による天板Ｕｔｏｐの傾きの調整は、ロボットアームの基準動作パラメータの補正に代わる処理である。他の処理はそのまま本変形例においても採用できる。なお、実際に組み合わせた場合の処理の説明は重複するために省略する。　

図２６は、マイコン５００の処理の手順を示すフローチャートである。　

ステップＳ２０において、マイコン５００は、コントローラ２１０から、基準動作パラメータでロボットアームを動作させたときの各基準位置からエンドエフェクタまでの高さの計測結果を受け取る。マイコン５００が補正テーブル２３０を有しない場合には、マイコン５００はコントローラ２１０から補正テーブル２３０も受け取ってもよい。　

ステップＳ２２において、マイコン５００は、各基準位置について計測した高さ、および、補正テーブルに格納された各基準位置における基準高さのずれ量に基づいて作業台上面の傾きを調整する。これによりマイコン５００は、作業台上面の各位置について、台車が走行する床面の傾きおよび／または作業台が設置された床面の傾きに起因する、作業台上面からエンドエフェクタまでの高さのずれを補正する。　

なお、ゴニオステージは２軸である必要はなく、３軸であってもよい。３軸の場合には、高さ方向（Ｚ方向）に上下する機構を設ければよい。例えば、リニアステッピングモータを利用してＺ軸方向に上下させてもよい。作業台側が３軸のすべてを調整できるため、ロボットアームが高さ方向を調整する必要がなくなることである。つまり、ロボットアームの動作プログラムには、高さ方向を調整する処理を含める必要がなくなる。さらに、ロボットアーム側の３軸方向の位置決めが別のメカ機構や力センサを用いたならい動作によって保障される場合、ティーチングプレイバックにより、ロボットアームに一定の動作を行わせ、微調整を作業台に担わせることができる。

本発明の例示的な実施形態は、高さ方向の精度が要求されるロボットアームを有するロボットシステムに利用できる。

Ａ　ロボットアーム　ＦＵ，ＦＡ　床面　Ｕ　作業台　Ｕｔｏｐ　天板　　１　ロボットシステム　１００　エンドエフェクタ　２００　制御装置　２１０　コントローラ　２２０　記憶装置　２３０　補正テーブル　３００　台車　４００　２軸自動ゴニオステージ　５００　マイコン

Claims

第１の床面の上の作業台と、　第２の床面の上の台車と、　前記台車の上の多関節ロボットアームであって、先端部にエンドエフェクタを有する多関節ロボットアームと、　予め用意された補正テーブルを記憶した記憶装置と、　前記補正テーブルを利用して、前記第１の床面の傾きおよび／または前記第２の床面の傾きに起因する、前記作業台上面から前記エンドエフェクタまでの高さのずれを補正して、前記作業台上面のワークに対し、前記多関節ロボットアームを動作させるコントローラと、　を有する高さ補正システムであって、　前記補正テーブルは、前記作業台が第１の基準床面に設置され、前記台車が第２の基準床面に設置され、かつ、所与の基準動作パラメータで前記多関節ロボットアームを動作させたときの、前記作業台上面の少なくとも一部の領域内の複数の位置の各々から前記各位置の直上の前記エンドエフェクタまでの高さを、前記各位置に対応付けて格納し、かつ、前記作業台上面に予め定義された少なくとも３つの基準位置から各基準位置直上の前記エンドエフェクタまでの基準高さをそれぞれ格納しており、　前記コントローラは、　　前記作業台上面から、前記少なくとも３つの基準位置を検出し、　　前記基準動作パラメータで前記多関節ロボットアームを動作させて、検出した前記各基準位置から前記エンドエフェクタまでの高さを計測し、　　前記各基準位置について計測した前記高さ、および、前記補正テーブルに格納された前記各基準位置
における前記基準高さのずれ量に基づいて前記基準動作パラメータを補正することにより、前記作業台上面の前記各位置について、前記第１の床面の傾きおよび／または前記第２の床面の傾きに起因する、前記作業台上面から前記エンドエフェクタまでの高さのずれを補正する、高さ補正システム。
前記コントローラは、前記各基準位置について計測した前記高さと、前記補正テーブルに格納された前記各基準位置における前記基準高さとのずれ量をより小さくするよう、前記基準動作パラメータを補正する、請求項１に記載の高さ補正システム。
前記少なくとも３つの基準位置は、前記作業台上面の第１基準位置、第２基準位置および第３基準位置を含み、　前記補正テーブルは、　　前記第１基準位置と、前記第１基準位置における前記エンドエフェクタまでの第１基準高さとを対応付け、　　前記第２基準位置と、前記第２基準位置における前記エンドエフェクタまでの第２基準高さとを対応付け、　　前記第３基準位置と、前記第３基準位置における前記エンドエフェクタまでの第３基準高さとを対応付け、　　前記作業台上面のさらにＮ個（Ｎ：正の整数）の位置の各々と、前記Ｎ個の位置の各々における前記エンドエフェクタまでの高さとを対応付けて格納しており、　前記コントローラは、　　前記第１基準位置および前記第１基準位置において計測された前記高さの組、前記第２基準位置および前記第２基準位置において計測された前記高さの組、および、前記第３基準位置および前記第３基準位置において計測された前記高さの組によって定まる３つの三次元位置を通る仮想的な平面を算出し、　　前記Ｎ個の位置の各々を通る鉛直線が前記仮想的な平面と交わる位置における高さを、前記Ｎ個の位置の各々における前記エンドエフェクタまでの高さとして近似し、　　前記Ｎ個の位置の各々について前記補正テーブルに対応付けられた高さ、および、近似された前記高さのずれ量に基づいて、前記Ｎ個の位置の各々における前記基準動作パラメータを補正する、請求項１または２に記載の高さ補正システム。
前記コントローラは、前記Ｎ個の位置の各々について近似された前記高さと、前記補正テーブルに格納された前記Ｎ個の位置の各々における前記高さとのずれ量をより小さくするよう、前記Ｎ個の位置の各々における前記基準動作パラメータを補正する、請求項３に記載の高さ補正システム。
前記第１基準位置、第２基準位置、第３基準位置および前記Ｎ個の位置は、前記作業台上面の格子点の位置である、請求項１から４のいずれかに記載の高さ補正システム。
前記第１の床面の傾きは前記第１の基準床面の傾きと異なっており、　前記コントローラは、前記第１の床面の傾きに起因する、前記作業台上面から前記エンドエフェクタまでの高さのずれを補正する、請求項１から５のいずれかに記載の高さ補正システム。
前記第２の床面の傾きは前記第２の基準床面の傾きと異なっており、　前記コントローラは、前記第２の床面の傾きに起因する、前記作業台上面から前記エンドエフェクタまでの高さのずれを補正する、請求項１から６のいずれかに記載の高さ補正システム。
前記作業台は、前記補正テーブルが作成されたときの作業台とは異なる、請求項１から７のいずれかに記載の高さ補正システム。
前記台車および前記多関節ロボットアームの組み合わせは、前記補正テーブルが作成されたときの台車および多関節ロボットアームの組み合わせとは異なる、請求項１から７のいずれかに記載の高さ補正システム。