JP6185957B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
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- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
- F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/542—Bladed diffusers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
12 ローター軸
14 回転軸
16 ローターディスク
26 ステーターディスク
36 スペーサーリング
50 吸い込み領域
58 矢印
68 インレットフランジ
70 ポンプインレット(主インレット)
72 ハウジング
74 ローターハブ
76,78 ホルベックロータースリーブ
80,82 ホルベックステータースリーブ
84 ローラー支承部
86 永久磁石支承部
88 ローター側の支承半部
90 ステーター側の支承半部
92,94 永久磁石リング
96 半径方向の支承間隙
98 安全用支承部
100 スプラッシュナット
102 吸収性のディスク
104 駆動モーター
106 制御ユニット
108,108’,108’’ ステーター部材
110 区分面
112 区分面
114 区分面
116 長手方向軸
118,118’,118’’ ウェブ部分
120 溝
122 中間インレット
124,124’,124’’ ホルベックポンプステージ
126,126’,126’’ ステーター
128 ローター
130,130’ ウェブ
132,132’ 溝
134 開口部
136 第一のポンプ作用を奏する部分
138 第二のポンプ作用を奏する部分
140 第一のホルベックねじ山
142 第二のホルベックねじ山
144 ホルベックロータースリーブ
146 ポンピング方向
148 流れ経路
150 外側
152 余量チャネル
154 余量チャネルインレット
156 余量開口
Claims (8)
- 真空ポンプであって、主インレット(70)からガスの為のアウトレットへと延在するポンプチャネル(10)に沿ってガスをポンピングする為の少なくとも一つのポンプ機構(125,124’、124’’)を有するものにおいて、
ポンプ機構(124,124’、124’’)が、ポンプ機構(124,124’、124’’)の第二のポンプ作用を奏する部分(138)の流れ上流に設けられた、ポンプ機構(124,124’,124’’)の第一のポンプ作用を奏する部分(136)が、第二のポンプ作用を奏する部分(138)よりも高い圧縮能力を有するよう形成されており、及び/又は、
ポンプ機構(124,124’、124’’)が、第二のポンプ作用を奏する部分(138)が、第一のポンプ作用を奏する部分(126)よりも高い吸引能力を有するよう形成されており、
ガスの為の少なくとも一つの中間インレット(122)及び/又は少なくとも一つの余量開口(156)がポンプチャネル(10)内に開口しており、その際、第一のポンプ作用を奏する部分(136)が、余量開口156)及び/又は中間インレット(122)の開口部(134)の流れ上流に存在し、そしてその際、第二のポンプ作用を奏する部分(138)が余量開口(156)及び/又は中間インレット(122)の開口部(134)の流れ下流に存在し、
中間インレット(122)の開口部(134)及び/又は余量開口(156)の開口部が、直列に配置され、かつ互いに入り込むよう接続された、ホルベックポンプ機構の二つのホルベックポンプステージ(124’、124’’)の間で、ポンプチャネル(10)内に開口していることを特徴とする真空ポンプ。 - 第一のポンプ作用を奏する部分が、開口部(134)の流れ上流に位置するホルベックポンプステージ(124’)により形成され、かつ、第二のポンプ作用を奏する部分が、開口部の流れ下流に位置するホルベックポンプステージ(124’’)により形成されることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 第一のポンプ作用を奏する部分(136)が、第一のホルベックねじ山(140)を有し、第二のポンプ作用を奏する部分(138)が第二のホルベックねじ山(142)を有することを特徴とする請求項1または2に記載の真空ポンプ。
- 第一のホルベックねじ山(140)と第二のホルベックねじ山(142)が、第一のホルベックねじ山(140)が第二のホルベックねじ山(142)に対してより高い圧縮能力を実現するよう形成されていることを特徴とする請求項3に記載の真空ポンプ。
- 第一のホルベックねじ山(140)と第二のホルベックねじ山(142)が、第二のホルベックねじ山(142)が第一のホルベックねじ山(140)に対してより高い吸引能力を実現するよう形成されていることを特徴とする請求項3または4に記載の真空ポンプ。
- 各ホルベックねじ山(140,142)が、ステーター要素(126,126’、126’’)の側面に、またはステーター要素(126,126’、126’’)と協働する、各ポンプ作用を奏する部分のローター要素(128)の側面に形成されており、かつ、ねじ線形状の、側面を推移する複数のウェブ(130,130’)と、これらの間に位置する複数の溝(132,132’)により形成されていることを特徴とする請求項3から5のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 第一のホルベックねじ山(140)のより高い圧縮能力、及び/又は、第二のホルベックねじ山(142)のより高い吸引能力が、両方のホルベックねじ山(140,142)が、以下のパラメーター、つまり:
溝(132,132’)の数量、溝(132,132’)又はウェブ(130,130’)の勾配角度、ステーター要素(126,126’、126’’)とこれに付随するローター要素(128)の間のホルベック間隙の大きさ、溝(132,132’)の深さ、ウェブ(130,130’)の高さ、溝(132,132’)の幅、ウェブ(130,130’)の幅、
の少なくとも一つにおいて異なっていることにより達成されることを特徴とする請求項3から6のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 - 真空装置であって、真空装置内に統合された、または真空装置に設けられた請求項1から7のいずれか一項に記載の真空ポンプを有することを特徴とする真空装置。
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