DE202009003880U1 - Multi-Inlet-Vakuumpumpe - Google Patents
Multi-Inlet-Vakuumpumpe Download PDFInfo
- Publication number
- DE202009003880U1 DE202009003880U1 DE200920003880 DE202009003880U DE202009003880U1 DE 202009003880 U1 DE202009003880 U1 DE 202009003880U1 DE 200920003880 DE200920003880 DE 200920003880 DE 202009003880 U DE202009003880 U DE 202009003880U DE 202009003880 U1 DE202009003880 U1 DE 202009003880U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pumping device
- rotor
- diameter
- inlet
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/522—Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
- F05B2250/00—Geometry
- F05B2250/50—Inlet or outlet
- F05B2250/501—Inlet
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
Multi-Inlet-Vakuumpumpe mit
einer ersten Pumpeinrichtung (10), mit einem ersten Rotorelement (18), mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten ersten Rotorscheiben (20, 21),
einer zweiten Pumpeinrichtung (12) mit einem zweiten Rotorelement (26), mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten zweiten Rotorscheiben (28),
einem Haupteinlass (32) durch den ein erster Fluidstrom (34) von der ersten Pumpeinrichtung (10) angesaugt und in Richtung der zweiten Pumpeinrichtung (12) gefördert wird und
einem Zwischeneinlass (38) durch den ein zweiter Fluidstrom (40) von der zweiten Pupeinrichtung (12) angesaugt und in Richtung eines Pumpenauslasses gefördert wird,
dadurch gekennzeichnet, dass
der Durchmesser zumindest der letzten Rotorscheibe (21) der ersten Pumpeinrichtung (10) dem Durchmesser der ersten Rotorscheibe (28) der zweiten Pumpeinrichtung (12) im Wesentlichen entspricht.
einer ersten Pumpeinrichtung (10), mit einem ersten Rotorelement (18), mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten ersten Rotorscheiben (20, 21),
einer zweiten Pumpeinrichtung (12) mit einem zweiten Rotorelement (26), mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten zweiten Rotorscheiben (28),
einem Haupteinlass (32) durch den ein erster Fluidstrom (34) von der ersten Pumpeinrichtung (10) angesaugt und in Richtung der zweiten Pumpeinrichtung (12) gefördert wird und
einem Zwischeneinlass (38) durch den ein zweiter Fluidstrom (40) von der zweiten Pupeinrichtung (12) angesaugt und in Richtung eines Pumpenauslasses gefördert wird,
dadurch gekennzeichnet, dass
der Durchmesser zumindest der letzten Rotorscheibe (21) der ersten Pumpeinrichtung (10) dem Durchmesser der ersten Rotorscheibe (28) der zweiten Pumpeinrichtung (12) im Wesentlichen entspricht.
Description
- Die Erfindung betrifft eine Multi-Inlet-Vakuumpumpe.
- Multi-Inlet-Vakuumpumpen weisen in einem gemeinsamen Gehäuse mehrere Pumpeinrichtungen auf, bei denen es sich beispielweise um Turbomolekularpumpen ggf. in Verbindung mit einer Holweckstufe handelt. Die einzelnen Pumpeinrichtungen werden üblicherweise von einer gemeinsamen Rotorwelle getragen und von einem einzigen Elektromotor angetrieben. Das Pumpengehäuse weist einen Haupteinlass auf, durch den ein erster Fluidstrom von der ersten Pumpeinrichtung angesaugt wird. Der erste Fluidstrom wird sodann nach dem Durchströmen der ersten Pumpeinrichtung von der zweiten Pumpeinrichtung und ggf. weiteren Pumpeinrichtungen in Richtung eines Auslasses gefördert. Zwischen der ersten und der zweiten Pumpeinrichtung ist ein Zwischeneinlass vorgesehen, durch den ein zweiter Fluidstrom von der zweiten Pumpeinrichtung angesaugt wird. Von der zweiten Pumpeinrichtung wird somit der erste und der zweite Fluidstrom in Richtung des Auslasses gefördert. Ggf. kann ein weiterer Zwischeneinlass zwischen der zweiten und einer dritten Pumpeinrichtung angeordnet sein. Ein entsprechender dritter Fluidstrom wird von der dritten Pumpeinrichtung ebenfalls in Richtung des Auslasses gefördert, wobei sodann von der dritten Pumpeinrichtung alle drei Fluidströme gefördert werden.
- Aufgabe der Erfindung ist es, eine Multi-Inlet-Vakuumpumpe mit hohem Saugvermögen im Zwischeneinlass zu realisieren.
- Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch eine Multi-Inlet-Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 1.
- Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, weist die erste Pumpeinrichtung insbesondere eine in Förderrichtung letzte Rotorscheibe mit größerem Durchmesser auf. Der Durchmesser der letzten Rotorscheibe der ersten Pumpeinrichtung entspricht hierbei vorzugsweise dem Durchmesser der ersten Rotorscheibe der zweiten Pumpeinrichtung, wobei es besonders bevorzugt ist, dass die Rotorscheiben der zweiten Pumpeinrichtung alle den selben Durchmesser aufweisen. Durch Vergrößern des Durchmessers der letzten Rotorscheibe der ersten Pumpeinrichtung verglichen mit den anderen Rotorscheiben der ersten Pumpeinrichtung erfolgt ein radikales Umlenken des ersten Förderstroms nach außen noch innerhalb der ersten Pumpeinrichtung. Im Bereich des Zwischeneinlasses ist der erste Förderstrom somit schon umgelenkt. Der Zwischeneinlass ist hierbei vorzugsweise derart angeordnet, dass er zwischen der letzten Rotorscheibe der ersten Pumpeinrichtung mit vergrößertem Durchmesser und der ersten Rotorscheibe der zweiten Pumpeinrichtung vorgesehen ist. Der größere Durchmesser des letzten Flügels der ersten Rotorstufe verbessert die Kompression zum Auslass in den Zwischeneinlass und vermindert damit die Rückströmung der Fluide aus dem Zwischeneinlass entgegen dem Förderstrom. Dieses Kompressionsverbesserung lässt sich zwar auch durch mehrere Stufen gleichen Rotordurchmessers der ersten Stufe erzielen; dies ist aber die teurere Lösung.
- Vorzugsweise weist nicht nur die letzte Rotorscheibe der ersten Pumpeinrichtung einen größeren, im Wesentlichen den selben Durchmesser wie die Rotorscheiben der zweiten Pumpeinrichtung auf. Vielmehr ist es beispielsweise auch möglich, dass die letzten beiden, oder sogar mehr als zwei in Strömungsrichtung letzte Rotorscheiben der ersten Pumpeinrichtung einen größeren Durchmesser aufweisen, als die übrigen Rotorscheiben der ersten Pumpeinrichtung. Ebenfalls ist es möglich, dass mindestens zwei letzte Rotorscheiben der ersten Pumpeinrichtung im Wesentlichen den selben Durchmesser aufweisen, wie die erste Rotorscheibe der zweiten Pumpeinrichtung, wobei die Rotorscheiben der zweiten Pumpeinrichtung vorzugsweise alle den selben Durchmesser aufweisen. Ggf. kann der Durchmesser der letzten Rotorscheiben der ersten Pumpeinrichtung stufenweise ansteigen. Ausgehend von dem relativ kleinem Durchmesser der ersten Rotorscheiben der ersten Pumpeinrichtung vergrößert sich der Durchmesser der Rotorscheiben somit stufenweise bis zumindest die letzte Rotorscheibe einen dem Durchmesser der Rotorscheiben der zweiten Pumpeinrichtungen entsprechenden Durchmesser aufweist.
- Ggf. kann die Multi-Inlet-Vakuumpumpe auch mehrere Zwischeneinlässe aufweisen. Hierzu ist in Strömungsrichtig vor und/oder nach der ersten bzw. zweiten Pumpeinrichtung eine weitere Pumpeinrichtung angeordnet. Zwischen benachbarten Pumpeinrichtungen können jeweils Zwischeneinlässe vorgesehen sein. Erfindungsgemäß relevant ist das zwei benachbarte Pumpeinrichtungen, die zur Vereinfachung als erste und zweite Pumpeinrichtung bezeichnet sind, wie vorstehend beschrieben erfindungsgemäß ausgebildet sind. Bei einer Multi-Inlet-Vakuumpumpe mit mehreren Zwischeneinlässen ist es erfindungsgemäß auch möglich, dass die erfindungsgemäße Ausgestaltung im Bereich eines Zwischeneinlasses mehrfach vorgesehen ist.
- Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die anliegende Zeichnung näher erläutert.
- Die Figur zeigt einen schematischen Längsschnitt einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.
- Die Figur zeigt den hinsichtlich der Erfindung wesentlichen Teil einer Multi-Inlet-Vakuumpumpe. Es handelt sich hierbei um eine erste Pumpeinrichtung
10 und eine weitere bzw. zweite Pumpeinrichtung12 , die in einem gemeinsamen Gehäuse14 angeordnet sind. Zusätzlich kann in dem Gehäuse auf der in der Figur rechten Seite eine dritte Pumpeinrichtung, wie beispielsweise eine Holweckstufe vorgesehen sein. - Die erste Pumpeinrichtung
10 weist ein auf einer Rotorwelle16 angeordnetes Rotorelement18 auf. Das Rotorelement18 weist im dargestellten Ausführungsbeispiel vier radial verlaufende Rotorscheiben20 mit gleichem Außendurchmesser sowie eine Rotorscheibe21 mit größerem Aussendruchmesser auf. Die Rotorscheiben20 ,21 weisen Rotorflügel zum Transport von Fluid insbesondere Gas auf. Zwischen benachbarten Rotorscheiben20 sind stationäre Startorscheiben22 angeordnet. Die Startorscheiben22 sind beispielsweise über Ringe fest in dem Gehäuse14 gehalten. - Ferner ist von der Rotorwelle
16 , die im dargestellten Ausführungsbeispiel über zwei Lager24 gelagert ist, ein weiteres bzw. zweites Rotorelement26 der zweiten Pumpeinrichtung12 getragen. Das zweite Rotorelement26 weist im dargestellten Ausführungsbeispiel ebenfalls fünf Rotorscheiben28 auf. Zwischen den Rotorscheiben28 sind wiederum stationär ggf. über Startorringe mit dem Gehäuse14 verbundene Startorscheiben30 angeordnet. Die Rotorscheiben28 weisen in einem äußeren, in der Figur unschraffiert dargestellten Bereich, wiederum Flügel zum Transport von Fluid auf. - Die erste Pumpeinrichtung
10 saugt das Gas durch einen Haupteinlass32 in dem Gehäuse14 an. Hierdurch entsteht ein erster Fluidstrom34 in Richtung der zweiten Pumpeinrichtung12 , bzw. in Förderrichtung36 . Die Förderrichtung36 entspricht der Hauptförderrichtung von dem Haupteinlass32 in Richtung eines Auslasses der in Förderrichtung hinter der letzten Pumpeinrichtung, das heißt in der Figur auf der rechten Seite in dem Gehäuse vorgesehen ist. - Ferner weist das Gehäuse
14 einen Zwischeneinlass38 auf. Der Zwischeneinlass ist in dem Gehäuse14 zwischen der ersten Pumpeinrichtung10 und der zweiten Pumpeinrichtung12 angeordnet. Durch den Zwischeneinlass38 wird ein zweiter Fluidstrom40 , ebenfalls in Förderrichtung36 erzeugt. Der zweite Fluidstrom40 wird durch die zweite Pumpeinrichtung12 und eine ggf. nachgeschaltete weitere Pumpeinrichtung in Richtung des Pumpenauslasses gefördert. Bei Multi-Inlet-Pumpen liegt im dargestellten Ausführungsbeispiel insbesondere ein Hochvakuum an dem Haupteinlass32 und ein etwas geringeres Vakuum an dem Zwischeneinlass38 an. Um ein möglichst hohes Saugvermögen, das heißt ein geringes Vakuum auch an dem Zwischeneinlass38 erzeugen zu können, ist im dargestellten Ausführungsbeispiel der Radius der Rotorscheiben28 der zweiten Pumpeinrichtung12 größer als der Radius der Rotorscheiben20 der ersten Pumpeinrichtung10 . - Erfindungsgemäß weist die erste Pumpeinrichtung
10 eine zusätzliche in Förderrichtung36 letzte Rotorscheibe21 mit einem größeren Außendurchmesser als die Rotorscheiben20 auf. Hierdurch wird der erste Fluidstrom34 nach Durchtreten der ersten Rotorscheiben20 durch die Rotorscheibe21 radial nach außen umgelenkt (Pfeil42 ). Im Bereich der Flügel (unschraffierter Bereich) der Rotorscheibe21 tritt der erste Fluidstrom durch die Rotorscheibe21 hindurch (Pfeil44 ). - Die letzte Rotorscheibe
21 der ersten Pumpeinrichtung10 weist einen Außendurchmesser auf, der im Wesentlichen dem Außendurchmesser der Rotorscheibe29 der zweiten Pumpeinrichtung12 entspricht. Hierdurch ist trotz der auf die gesamt Multi-Inlet-Vakuumpumpe bezogenen unterschiedlichen Durchmessern der Rotorscheiben gewährleistet, dass sich der erste Fluidstrom und der zweite Fluidstrom40 gut vereinen. - Die beiden Rotorelemente
18 ,26 sind von einer gemeinsamen Welle16 getragen und durch einen gemeinsamen Elektromotor angetrieben. - Ebenso ist es erfindungsgemäß möglich, eine Multi-Inlet-Vakuumpumpe mit mehreren Zwischeneinlässen zu schaffen, wobei mindestens einer der Zwischeneinlässe wie vorstehend anhand der Figur erläutert, ausgebildet ist. Vorzugsweise können mehrere Zwischeneinlässe erfindungsgemäß ausgebildet sein. Unabhängig von der Ausgestaltung der einzelnen Zwischeneinlässe ist es ferner möglich, das bezogen auf das in der Figur dargestellte Ausführungsbeispiel in Strömungsrichtung
36 vor der ersten Pumpeinrichtung mindestens eine weitere Pumpeinrichtung angeordnet ist. Ferner kann in Strömungsrichtung36 nach der zweiten Pumpeinrichtung12 mindestens eine weitere Pumpeinrichtung vorgesehen sein.
Claims (6)
- Multi-Inlet-Vakuumpumpe mit einer ersten Pumpeinrichtung (
10 ), mit einem ersten Rotorelement (18 ), mit mehreren in Förderrichtung (36 ) hintereinander angeordneten ersten Rotorscheiben (20 ,21 ), einer zweiten Pumpeinrichtung (12 ) mit einem zweiten Rotorelement (26 ), mit mehreren in Förderrichtung (36 ) hintereinander angeordneten zweiten Rotorscheiben (28 ), einem Haupteinlass (32 ) durch den ein erster Fluidstrom (34 ) von der ersten Pumpeinrichtung (10 ) angesaugt und in Richtung der zweiten Pumpeinrichtung (12 ) gefördert wird und einem Zwischeneinlass (38 ) durch den ein zweiter Fluidstrom (40 ) von der zweiten Pupeinrichtung (12 ) angesaugt und in Richtung eines Pumpenauslasses gefördert wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser zumindest der letzten Rotorscheibe (21 ) der ersten Pumpeinrichtung (10 ) dem Durchmesser der ersten Rotorscheibe (28 ) der zweiten Pumpeinrichtung (12 ) im Wesentlichen entspricht. - Multi-Inlet-Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser von mindestens zwei letzten Rotorscheiben (
21 ) der ersten Pumpeinrichtung (10 ) im Wesentlichen dem Durchmesser der ersten Rotorscheibe (28 ) der zweiten Pumpeinrichtung (12 ) entspricht. - Multi-Inlet-Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere insbesondere alle Rotorscheiben der zweiten Pumpeinrichtung (
12 ) den selben Durchmesser aufweisen. - Multi-Inlet-Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch mindestens eine weitere in Strömungsrichtung (
36 ) vor der ersten Pumpeinrichtung (10 ) und/oder nach der zweiten Pumpeinrichtung (12 ) angeordnete Pumpeinrichtung. - Multi-Inlet-Vakuumpumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen benachbarten Pumpeinrichtungen ein Zwischeneinlass vorgesehen ist.
- Multi-Inlet-Vakuumpumpe nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser der letzten Rotorscheibe einer in Strömungsrichtung (
36 ) vorgelagerten Pumpeinrichtung den Durchmesser der ersten Rotorscheibe der in Strömungsrichtung (36 ) nachgeordneten Pumpeinrichtung entspricht.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200920003880 DE202009003880U1 (de) | 2009-03-19 | 2009-03-19 | Multi-Inlet-Vakuumpumpe |
EP10707509A EP2409039A1 (de) | 2009-03-19 | 2010-03-03 | Multi-inlet-vakuumpumpe |
US13/257,002 US8992162B2 (en) | 2009-03-19 | 2010-03-03 | Multi-inlet vacuum pump |
JP2012500175A JP5553883B2 (ja) | 2009-03-19 | 2010-03-03 | 複数入口式真空ポンプ |
PCT/EP2010/052698 WO2010105908A1 (de) | 2009-03-19 | 2010-03-03 | Multi-inlet-vakuumpumpe |
TW99107189A TW201102512A (en) | 2009-03-19 | 2010-03-12 | Multi-inlet vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200920003880 DE202009003880U1 (de) | 2009-03-19 | 2009-03-19 | Multi-Inlet-Vakuumpumpe |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE202009003880U1 true DE202009003880U1 (de) | 2010-08-05 |
Family
ID=42199942
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE200920003880 Expired - Lifetime DE202009003880U1 (de) | 2009-03-19 | 2009-03-19 | Multi-Inlet-Vakuumpumpe |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8992162B2 (de) |
EP (1) | EP2409039A1 (de) |
JP (1) | JP5553883B2 (de) |
DE (1) | DE202009003880U1 (de) |
TW (1) | TW201102512A (de) |
WO (1) | WO2010105908A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102014105582A1 (de) * | 2014-04-17 | 2015-10-22 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11519419B2 (en) | 2020-04-15 | 2022-12-06 | Kin-Chung Ray Chiu | Non-sealed vacuum pump with supersonically rotatable bladeless gas impingement surface |
GB2604382A (en) * | 2021-03-04 | 2022-09-07 | Edwards S R O | Stator Assembly |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1508006A (en) * | 1921-09-01 | 1924-09-09 | American Pulley Co | Shaft hanger |
DE19821634A1 (de) * | 1998-05-14 | 1999-11-18 | Leybold Vakuum Gmbh | Reibungsvakuumpumpe mit Stator und Rotor |
US20080193303A1 (en) * | 2004-11-01 | 2008-08-14 | Ian David Stones | Pumping Arrangement |
DE102008024764A1 (de) * | 2008-05-23 | 2009-11-26 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Mehrstufige Vakuumpumpe |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61247893A (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-05 | Hitachi Ltd | 真空ポンプ |
US5219269A (en) | 1988-07-13 | 1993-06-15 | Osaka Vacuum, Ltd. | Vacuum pump |
EP0407647B1 (de) | 1989-07-14 | 1993-10-06 | Haberl, Ralph, Dr.med. | Einrichtung zur Bewertung ausgewählter Signalanteile in physiologischen Messsignalen, insbesondere von Spätpotentialen in Elektrokardiogrammen |
GB9921983D0 (en) | 1999-09-16 | 1999-11-17 | Boc Group Plc | Improvements in vacuum pumps |
US6503050B2 (en) * | 2000-12-18 | 2003-01-07 | Applied Materials Inc. | Turbo-molecular pump having enhanced pumping capacity |
EP1249613B1 (de) | 2001-03-15 | 2004-01-28 | VARIAN S.p.A. | Turbinenpumpe mit einer Statorstufe integriert mit einem Distanzring |
GB0124731D0 (en) | 2001-10-15 | 2001-12-05 | Boc Group Plc | Vacuum pumps |
DE202005019644U1 (de) | 2005-12-16 | 2007-04-26 | Leybold Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
-
2009
- 2009-03-19 DE DE200920003880 patent/DE202009003880U1/de not_active Expired - Lifetime
-
2010
- 2010-03-03 EP EP10707509A patent/EP2409039A1/de not_active Withdrawn
- 2010-03-03 US US13/257,002 patent/US8992162B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-03 JP JP2012500175A patent/JP5553883B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-03 WO PCT/EP2010/052698 patent/WO2010105908A1/de active Application Filing
- 2010-03-12 TW TW99107189A patent/TW201102512A/zh unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1508006A (en) * | 1921-09-01 | 1924-09-09 | American Pulley Co | Shaft hanger |
DE19821634A1 (de) * | 1998-05-14 | 1999-11-18 | Leybold Vakuum Gmbh | Reibungsvakuumpumpe mit Stator und Rotor |
US20080193303A1 (en) * | 2004-11-01 | 2008-08-14 | Ian David Stones | Pumping Arrangement |
DE102008024764A1 (de) * | 2008-05-23 | 2009-11-26 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Mehrstufige Vakuumpumpe |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102014105582A1 (de) * | 2014-04-17 | 2015-10-22 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201102512A (en) | 2011-01-16 |
JP5553883B2 (ja) | 2014-07-16 |
EP2409039A1 (de) | 2012-01-25 |
WO2010105908A1 (de) | 2010-09-23 |
US8992162B2 (en) | 2015-03-31 |
US20120087776A1 (en) | 2012-04-12 |
JP2012520961A (ja) | 2012-09-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2295812B1 (de) | Vakuumpumpe | |
EP3408503B1 (de) | Strömungsmaschine mit beschaufeltem diffusor | |
EP1811184B1 (de) | Laufrad für ein Pumpenaggregat und zugehöriges Pumpenaggregat | |
DE102012003680A1 (de) | Vakuumpumpe | |
WO2017186565A1 (de) | Dunstabzugsvorrichtung mit diagonalventilator | |
EP2401505B1 (de) | Multi-inlet-vakuumpumpe | |
EP3224483A1 (de) | Kreiselpumpe mit einer leiteinrichtung | |
DE202009003880U1 (de) | Multi-Inlet-Vakuumpumpe | |
DE112011101494T5 (de) | Verdichter eines Abgasturboladers | |
EP2933497A2 (de) | Vakuumpumpe | |
DE202013010204U1 (de) | Multi-Inlet-Vakuumpumpe | |
DE102016208265A1 (de) | Rückführstufe, Radialturboverdichter | |
DE202011002809U1 (de) | Statorelement sowie Hochvakuumpumpe | |
EP3032107B1 (de) | Turbomolekularpumpe | |
EP2886870B2 (de) | Vakuumpumpe mit verbesserter Einlassgeometrie | |
DE102011108115A1 (de) | Turbomolekularpumpe | |
EP3865711A1 (de) | Ventilator mit abdeckscheibe an der rotorglocke | |
EP3577346B1 (de) | Turboverdichter mit integrierten strömungskanälen | |
EP2902637B1 (de) | Vakuumpumpe | |
DE112015002919T5 (de) | Turbolader | |
DE202010012795U1 (de) | Vakuumpumpe | |
DE202017103826U1 (de) | Turboverdichter mit integrierten Strömungskanälen | |
DE102015113985A1 (de) | Zentrifugalpumpe | |
DE102014114801B4 (de) | Strömungsmaschine mit halbaxialem Laufrad | |
DE202013005458U1 (de) | Vakuumpumpe |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R163 | Identified publications notified | ||
R207 | Utility model specification |
Effective date: 20100909 |
|
R150 | Term of protection extended to 6 years |
Effective date: 20120523 |
|
R157 | Lapse of ip right after 6 years |