JP6178451B1 - メモリセルおよび磁気メモリ - Google Patents
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Abstract
Description
Is∝s×Ie (1)
の関係を満たしている。すなわち、スピン流Isは、スピンsと電子流Ieとの外積に比例する。
一実施形態による磁気メモリはSOT−MRAMであって、少なくとも1つのメモリセルを有し、このメモリセルを図4に示す。一実施形態におけるメモリセル1は、非磁性層(導電層)10と、この非磁性層10上に配置された磁気抵抗素子20と、トランジスタ32と、ダイオード40と、を備えている。磁気抵抗素子20は、例えばMTJ素子であって、図2に示すように、非磁性層10上に設けられた記憶層22と、記憶層上に設けられた参照層26と、記憶層22と、参照層26との間に設けられた非磁性絶縁層24と、備えている。非磁性層10は、2つの端子10a、10bを有する。なお、非磁性層10の端子10bは共通端子となっている。上記説明では、記憶素子20としてMTJ素子を挙げたが、GMR(Giant Magneto-Resistive)素子、すなわち非磁性絶縁層24の代わりに非磁性金属層を用いた磁気抵抗素子であってもよい。
次に、図5を参照して本実施形態の磁気メモリの書き込み方法について説明する。
次に、図6を参照して本実施形態の磁気メモリの読み出し方法について説明する。図6は、図5に示す磁気メモリにおいて、読み出し動作において、ワード線駆動回路60によって駆動される第1および第2ワード線およびビット線駆動回路70によって駆動される第1および第2ビット線に印加される印加電圧を示す図である。
次に、本実施形態の変形例による磁気メモリを図7および図8を参照して説明する。この変形例の磁気メモリは、図5乃至図6に示す本実施形態の磁気メモリにおいて、ダイオード4011〜4022の代わりに、双方向ダイオード4211〜4222にそれぞれ置き換えた構成を有している。これらの双方向ダイオード4211〜4222として例えば、OTS(Ovonic Threshold Switch)等が用いられる。図7は、この変形例の磁気メモリのメモリセル111に書き込みを行う場合の、第1および第2ワード線と、第1および第2ビット線に印加する電圧を示す図である。図8は、この変形例の磁気メモリのメモリセル111から読み出しを行う場合の、第1および第2ワード線と、第1および第2ビット線に印加する電圧を示す図である。
次に、本実施形態の磁気メモリの製造方法について図9乃至図16を参照して説明する。この製造方法は、図5に示すように、メモリセルがマトリクス状に配置された磁気メモリである。
ダイオードは回り込み電流を回避するため、順電圧と逆電圧の電流比が5桁程度以上あることが望ましい。また、読み出し電流を流すため、順電圧を1V程度印加した時の電流が1μA程度以上あることが望ましい。そのような特性をもつショットキーダイオードのシミュレーションを行った。図19(a)は、このシミュレーションに用いたダイオードの形状およびサイズを示す図であり、図19(b)は、シミュレーション結果を示す図である。このシミュレーションでは、アノード電極の界面にショットキー障壁を想定し、カソードに電圧を印加した結果を示している。ドナーあるいはアクセプターは一様に分布していると仮定した。不純物濃度を1×1018cm−3にすることで、10nm(0.01μm)×10nm(0.01μm)という微細素子であっても順方向の電流は1μA以上が得られており、順電圧と逆電圧の電流比は5桁程度が得られている。
Claims (5)
- 第1端子と、第2端子と、前記第1端子と前記第2端子との間の部分と、を有する導電層と、
前記部分に配置された磁気抵抗素子であって、磁化の向きが固定された第1磁性層と、前記部分と前記第1磁性層との間に配置されかつ磁化の向きが可変の第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に配置された非磁性層と、を有する磁気抵抗素子と、
第3端子と、第4端子と、を有し、前記第3端子は前記第1磁性層に電気的に接続されたダイオードと、
第5端子と、第6端子と、ゲート端子と、を有し、前記第5端子は前記第1端子に電気的に接続されたトランジスタと、
前記第2端子と、前記第4端子と、前記第6端子と、前記ゲート端子とに電気的に接続された回路と、
を備え、
前記第2磁性層に情報を書き込む場合は、前記回路は、前記トランジスタをONさせるとともに、前記ダイオードに逆方向電圧を印加し、かつ前記第2端子と前記第6端子との間に電流を供給し、
前記第2磁性層から情報を読み出す場合は、前記回路は、前記トランジスタをOFFさせるとともに、前記第2端子と前記第4端子との間に電流を供給する磁気メモリ。 - 前記ダイオードは、ショットキーダイオードおよび仕事関数が異なる2つの電極を有するMIMダイオードのいずれかである請求項1記載の磁気メモリ。
- 第1端子と、第2端子と、前記第1端子と前記第2端子との間の部分と、を有する導電層と、
前記部分に配置された磁気抵抗素子であって、磁化の向きが固定された第1磁性層と、前記部分と前記第1磁性層との間に配置されかつ磁化の向きが可変の第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に配置された非磁性層と、を有する磁気抵抗素子と、
第3端子と、第4端子と、を有し、前記第3端子は前記第1磁性層に電気的に接続された双方向ダイオードと、
第5端子と、第6端子と、ゲート端子と、を有し、前記第5端子は前記第1端子に電気的に接続されたトランジスタと、
前記第2端子と、前記第4端子と、前記第6端子と、前記ゲート端子とに電気的に接続された回路と、
を備え、
前記第2磁性層に情報を書き込む場合は、前記回路は、前記トランジスタをONさせるとともに、前記双方向ダイオードに閾値以下の電圧を印加し、かつ前記第2端子と前記第6端子との間に電流を供給し、
前記第2磁性層から情報を読み出す場合は、前記回路は、前記トランジスタをOFFさせるとともに、前記第2端子と前記第4端子との間に電流を供給する磁気メモリ。 - 前記第2端子に電気的に接続された第1配線と、前記第4端子に電気的に接続された第2配線と、を更に有し、
前記トランジスタのソースからドレインに向かう方向は、前記第1配線および前記第2配線がそれぞれ延びる方向と交差する請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気メモリ。 - 前記回路は、前記第4端子と前記ゲート端子とに接続された第1回路と、前記第2端子と前記第6端子に接続された第2回路と、を備えた請求項1乃至4のいずれかに記載の磁気メモリ。
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US15/266,120 US9830968B2 (en) | 2016-03-16 | 2016-09-15 | Spin orbit torque (SOT) magnetic memory cell and array |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110419117A (zh) * | 2018-02-28 | 2019-11-05 | Tdk株式会社 | 自旋元件的稳定化方法及自旋元件的制造方法 |
CN110419116A (zh) * | 2018-02-28 | 2019-11-05 | Tdk株式会社 | 自旋元件的稳定化方法及自旋元件的制造方法 |
US11158672B2 (en) | 2018-12-28 | 2021-10-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magnetic tunnel junction elements and magnetic resistance memory devices including the same |
US11495295B2 (en) | 2021-02-17 | 2022-11-08 | Kioxia Corporation | Variable resistance memory device |
US11942127B2 (en) | 2020-10-01 | 2024-03-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magnetic memory device and magnetic memory apparatus |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10490735B2 (en) * | 2016-03-14 | 2019-11-26 | Tdk Corporation | Magnetic memory |
JP7010741B2 (ja) | 2018-03-19 | 2022-01-26 | キオクシア株式会社 | 磁気記憶装置 |
CN112585679A (zh) * | 2018-08-27 | 2021-03-30 | 索尼半导体解决方案公司 | 半导体电路和电子设备 |
JP2020043223A (ja) * | 2018-09-11 | 2020-03-19 | キオクシア株式会社 | 磁気メモリ |
JP2020042879A (ja) * | 2018-09-12 | 2020-03-19 | キオクシア株式会社 | 磁気記憶装置 |
WO2020150451A1 (en) | 2019-01-18 | 2020-07-23 | Everspin Technologies, Inc. | Magnetoresistive stack/structure and methods therefor |
US11127896B2 (en) * | 2019-01-18 | 2021-09-21 | Everspin Technologies, Inc. | Shared spin-orbit-torque write line in a spin-orbit-torque MRAM |
WO2020194366A1 (ja) * | 2019-03-22 | 2020-10-01 | Tdk株式会社 | 不揮発性連想メモリセル、不揮発性連想メモリ装置、及びモニター方法 |
US11244983B2 (en) | 2019-06-25 | 2022-02-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | MRAM memory cell layout for minimizing bitcell area |
US11758821B2 (en) | 2019-07-17 | 2023-09-12 | Industrial Technology Research Institute | Magnetic memory structure |
US11227990B2 (en) | 2019-07-17 | 2022-01-18 | Industrial Technology Research Institute | Magnetic memory structure |
CN112542190A (zh) * | 2019-09-23 | 2021-03-23 | 中电海康集团有限公司 | 存储器、存储器的写入方法和读取方法 |
US11075334B2 (en) | 2019-11-22 | 2021-07-27 | International Business Machines Corporation | Spin-orbit-torque magneto-resistive random access memory with stepped bottom electrode |
JP7311181B2 (ja) * | 2020-01-21 | 2023-07-19 | Yoda-S株式会社 | 磁気デバイス |
CN111354392B (zh) * | 2020-03-06 | 2023-08-08 | 上海新微技术研发中心有限公司 | 磁性存储器阵列及读写控制方法 |
CN113539317B (zh) | 2020-04-16 | 2023-12-08 | 长鑫存储技术有限公司 | 存储器及存储器的读写方法 |
US11145347B1 (en) * | 2020-05-21 | 2021-10-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Memory device and memory circuit |
US11145676B1 (en) * | 2020-05-22 | 2021-10-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Memory device and multi-level memory cell having ferroelectric storage element and magneto-resistive storage element |
US11342015B1 (en) * | 2020-11-24 | 2022-05-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Memory device and memory circuit |
CN117043864A (zh) * | 2021-07-08 | 2023-11-10 | 华为技术有限公司 | 磁性随机存储器及其数据写入和数据读取方法、电子设备 |
CN113744776B (zh) * | 2021-07-29 | 2023-09-19 | 中国科学院微电子研究所 | 存储器电路及其数据写入和读取方法、存储器、电子设备 |
US11793001B2 (en) | 2021-08-13 | 2023-10-17 | International Business Machines Corporation | Spin-orbit-torque magnetoresistive random-access memory |
US11915734B2 (en) | 2021-08-13 | 2024-02-27 | International Business Machines Corporation | Spin-orbit-torque magnetoresistive random-access memory with integrated diode |
KR20230052116A (ko) | 2021-10-12 | 2023-04-19 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 장치 |
Family Cites Families (51)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5991193A (en) * | 1997-12-02 | 1999-11-23 | International Business Machines Corporation | Voltage biasing for magnetic ram with magnetic tunnel memory cells |
US6868003B2 (en) * | 2001-12-07 | 2005-03-15 | Hynix Semiconductor Inc. | Magnetic random access memory |
JP4047615B2 (ja) * | 2002-04-03 | 2008-02-13 | 株式会社ルネサステクノロジ | 磁気記憶装置 |
US20030218905A1 (en) * | 2002-05-22 | 2003-11-27 | Perner Frederick A. | Equi-potential sensing magnetic random access memory (MRAM) with series diodes |
US6909628B2 (en) * | 2003-02-13 | 2005-06-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | High density magnetic RAM and array architecture using a one transistor, one diode, and one MTJ cell |
US6885577B2 (en) * | 2003-06-18 | 2005-04-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Magnetic RAM cell device and array architecture |
US7180160B2 (en) * | 2004-07-30 | 2007-02-20 | Infineon Technologies Ag | MRAM storage device |
US7286393B2 (en) * | 2005-03-31 | 2007-10-23 | Honeywell International Inc. | System and method for hardening MRAM bits |
JP2008192916A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-21 | Toshiba Corp | 磁気ランダムアクセスメモリ及びその書き込み方法 |
JP4934582B2 (ja) * | 2007-12-25 | 2012-05-16 | 株式会社日立製作所 | スピンホール効果素子を用いた磁気センサ、磁気ヘッド及び磁気メモリ |
US7804709B2 (en) * | 2008-07-18 | 2010-09-28 | Seagate Technology Llc | Diode assisted switching spin-transfer torque memory unit |
US7936580B2 (en) * | 2008-10-20 | 2011-05-03 | Seagate Technology Llc | MRAM diode array and access method |
US7916528B2 (en) * | 2009-03-30 | 2011-03-29 | Seagate Technology Llc | Predictive thermal preconditioning and timing control for non-volatile memory cells |
US9251893B2 (en) * | 2010-08-20 | 2016-02-02 | Shine C. Chung | Multiple-bit programmable resistive memory using diode as program selector |
US8638590B2 (en) * | 2010-09-28 | 2014-01-28 | Qualcomm Incorporated | Resistance based memory having two-diode access device |
FR2970592B1 (fr) * | 2011-01-19 | 2013-02-15 | Centre Nat Rech Scient | Cellule mémoire volatile/non volatile programmable |
WO2013025994A2 (en) * | 2011-08-18 | 2013-02-21 | Cornell University | Spin hall effect magnetic apparatus, method and applications |
JP5740267B2 (ja) * | 2011-09-26 | 2015-06-24 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、ダイオードおよびトランジスタを用いた磁気ランダムアクセスメモリ |
US8681529B2 (en) * | 2011-11-10 | 2014-03-25 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and operation methods associated with resistive memory cell arrays with separate select lines |
JP5553917B2 (ja) * | 2012-01-30 | 2014-07-23 | 株式会社QuantuMag Consultancy | Mtj素子及びその製法、並びにmramデバイス |
JP2013232497A (ja) | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Renesas Electronics Corp | 磁性体装置及びその製造方法 |
KR101929583B1 (ko) * | 2012-06-13 | 2018-12-14 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 비휘발성 자기 메모리 소자 |
US9076537B2 (en) * | 2012-08-26 | 2015-07-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and system for providing a magnetic tunneling junction using spin-orbit interaction based switching and memories utilizing the magnetic tunneling junction |
US9520443B2 (en) * | 2012-09-08 | 2016-12-13 | The Regents Of The University Of California | Systems and methods for implementing magnetoelectric junctions |
US9853053B2 (en) * | 2012-09-10 | 2017-12-26 | 3B Technologies, Inc. | Three dimension integrated circuits employing thin film transistors |
ES2928672T3 (es) | 2012-09-14 | 2022-11-22 | Jamm Tech Inc | Transpondedores de alta temperatura |
KR101266792B1 (ko) * | 2012-09-21 | 2013-05-27 | 고려대학교 산학협력단 | 면내 전류와 전기장을 이용한 수평형 자기메모리 소자 |
KR101266791B1 (ko) * | 2012-09-21 | 2013-05-27 | 고려대학교 산학협력단 | 면내 전류와 전기장을 이용한 자기메모리 소자 |
US8836056B2 (en) * | 2012-09-26 | 2014-09-16 | Intel Corporation | Perpendicular MTJ stacks with magnetic anisotropy enhancing layer and crystallization barrier layer |
US9099641B2 (en) * | 2012-11-06 | 2015-08-04 | The Regents Of The University Of California | Systems and methods for implementing magnetoelectric junctions having improved read-write characteristics |
US8889433B2 (en) * | 2013-03-15 | 2014-11-18 | International Business Machines Corporation | Spin hall effect assisted spin transfer torque magnetic random access memory |
US8963222B2 (en) * | 2013-04-17 | 2015-02-24 | Yimin Guo | Spin hall effect magnetic-RAM |
WO2014204492A1 (en) * | 2013-06-21 | 2014-12-24 | Intel Corporation | Mtj spin hall mram bit-cell and array |
FR3009421B1 (fr) * | 2013-07-30 | 2017-02-24 | Commissariat Energie Atomique | Cellule memoire non volatile |
US20150070981A1 (en) * | 2013-09-06 | 2015-03-12 | Yoshinori Kumura | Magnetoresistance element and magnetoresistive memory |
US20150070983A1 (en) * | 2013-09-09 | 2015-03-12 | Yoshinori Kumura | Magnetic memory device |
EP2851903B1 (en) * | 2013-09-19 | 2017-03-01 | Crocus Technology S.A. | Self-referenced memory device and method for operating the memory device |
US9691458B2 (en) * | 2013-10-18 | 2017-06-27 | Cornell University | Circuits and devices based on spin hall effect to apply a spin transfer torque with a component perpendicular to the plane of magnetic layers |
US9343658B2 (en) | 2013-10-30 | 2016-05-17 | The Regents Of The University Of California | Magnetic memory bits with perpendicular magnetization switched by current-induced spin-orbit torques |
KR102191217B1 (ko) | 2014-04-28 | 2020-12-16 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자, 자기 기억 소자 및 이들의 제조 방법 |
US10008248B2 (en) * | 2014-07-17 | 2018-06-26 | Cornell University | Circuits and devices based on enhanced spin hall effect for efficient spin transfer torque |
US9461094B2 (en) * | 2014-07-17 | 2016-10-04 | Qualcomm Incorporated | Switching film structure for magnetic random access memory (MRAM) cell |
FR3025674B1 (fr) * | 2014-09-04 | 2016-09-09 | Commissariat Energie Atomique | Porte c munie d'une sauvegarde non volatile |
US9269415B1 (en) * | 2014-09-18 | 2016-02-23 | International Business Machines Corporation | Utilization of the anomalous hall effect or polarized spin hall effect for MRAM applications |
US9218864B1 (en) * | 2014-10-04 | 2015-12-22 | Ge Yi | Magnetoresistive random access memory cell and 3D memory cell array |
CN104393169B (zh) | 2014-10-10 | 2017-01-25 | 北京航空航天大学 | 一种无需外部磁场的自旋轨道动量矩磁存储器 |
US9240799B1 (en) * | 2014-11-04 | 2016-01-19 | Regents Of The University Of Minnesota | Spin-based logic device |
US11257862B2 (en) * | 2015-01-30 | 2022-02-22 | Yimin Guo | MRAM having spin hall effect writing and method of making the same |
US9542987B2 (en) * | 2015-02-02 | 2017-01-10 | Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. | Magnetic memory cells with low switching current density |
US20160300999A1 (en) * | 2015-04-07 | 2016-10-13 | Ge Yi | Magnetoresistive Random Access Memory Cell |
JP6089081B1 (ja) | 2015-09-16 | 2017-03-01 | 株式会社東芝 | 磁気メモリ |
-
2016
- 2016-03-16 JP JP2016053011A patent/JP6178451B1/ja active Active
- 2016-09-05 TW TW105128666A patent/TWI622192B/zh active
- 2016-09-09 CN CN201610811789.8A patent/CN107204201B/zh active Active
- 2016-09-15 US US15/266,120 patent/US9830968B2/en active Active
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110419117A (zh) * | 2018-02-28 | 2019-11-05 | Tdk株式会社 | 自旋元件的稳定化方法及自旋元件的制造方法 |
CN110419116A (zh) * | 2018-02-28 | 2019-11-05 | Tdk株式会社 | 自旋元件的稳定化方法及自旋元件的制造方法 |
CN110419116B (zh) * | 2018-02-28 | 2022-11-15 | Tdk株式会社 | 自旋元件的稳定化方法及自旋元件的制造方法 |
CN110419117B (zh) * | 2018-02-28 | 2023-04-18 | Tdk株式会社 | 自旋元件的稳定化方法及自旋元件的制造方法 |
US11158672B2 (en) | 2018-12-28 | 2021-10-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magnetic tunnel junction elements and magnetic resistance memory devices including the same |
US11942127B2 (en) | 2020-10-01 | 2024-03-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magnetic memory device and magnetic memory apparatus |
US11495295B2 (en) | 2021-02-17 | 2022-11-08 | Kioxia Corporation | Variable resistance memory device |
US11756617B2 (en) | 2021-02-17 | 2023-09-12 | Kioxia Corporation | Variable resistance memory device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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